特許 6265844 基板収納容器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6265844

(24)【登録日】2018年1月5日

(45)【発行日】2018年1月24日

(54)【発明の名称】基板収納容器

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20180115BHJP

   B65D 85/86 20060101ALI20180115BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 T

   B65D85/38 R

【請求項の数】3

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2014-125540(P2014-125540)

(22)【出願日】2014年6月18日

(65)【公開番号】特開2016-4949(P2016-4949A)

(43)【公開日】2016年1月12日

【審査請求日】2016年9月8日

(73)【特許権者】

【識別番号】000190116

【氏名又は名称】信越ポリマー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100112335

【弁理士】

【氏名又は名称】藤本 英介

(74)【代理人】

【識別番号】100101144

【弁理士】

【氏名又は名称】神田 正義

(74)【代理人】

【識別番号】100101694

【弁理士】

【氏名又は名称】宮尾 明茂

(74)【代理人】

【識別番号】100124774

【弁理士】

【氏名又は名称】馬場 信幸

(72)【発明者】

【氏名】小川 統

(72)【発明者】

【氏名】冨永 公徳

(72)【発明者】

【氏名】藤本 康大

【審査官】 内田 正和

(56)【参考文献】

【文献】 特表２０１１−５１４０１４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２０１４／０１９４０５０（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７３

Ｂ６５Ｄ ８５／８６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口した正面に着脱自在に嵌め合わされる蓋体とを備え、容器本体の底部後方両側に、外部から内部に基板用の気体を供給する給気弁をそれぞれ取り付け、容器本体の底部前方両側に、内部から外部に気体を排気する排気弁をそれぞれ取り付けた基板収納容器であって、
容器本体の底部後方両側に、複数の給気弁に連通する中空の吹き出しノズルをそれぞれ立て設け、各吹き出しノズルの周壁に、基板方向に基板用の気体を吹き出す吹出孔を設け、複数の吹き出しノズルの上部を容器本体の上部に保持部材を介して支持させ、
保持部材を容器本体の上部後方に整合するよう板形の略弓なりに形成して容器本体の上部後方内面と複数の吹き出しノズルの上部との間に介在するとともに、この保持部材の上面に、容器本体の上部内面に密接する圧縮可能な複数の接触部を形成してこれら複数の接触部の高さを揃え、保持部材の下面には、複数の吹き出しノズルの上部に嵌まる嵌合保持部をそれぞれ形成したことを特徴とする基板収納容器。

【請求項2】

基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口した正面に着脱自在に嵌め合わされる蓋体とを備え、容器本体の底部後方両側に、外部から内部に基板用の気体を供給する給気弁をそれぞれ取り付け、容器本体の底部前方両側に、内部から外部に気体を排気する排気弁をそれぞれ取り付けた基板収納容器であって、
容器本体を多色成形してその背面壁に基板用の観察窓を一体形成し、容器本体の底部後方両側に、複数の給気弁に連通する中空の吹き出しノズルをそれぞれ立て設け、各吹き出しノズルの周壁には、基板方向に基板用の気体を吹き出す吹出孔を設け、
容器本体の観察窓内面から容器本体の正面方向に複数の保持部材をそれぞれ突出させ、この複数の保持部材の自由端部に、吹き出しノズルの上部に嵌まる嵌合保持部を一体形成したことを特徴とする基板収納容器。

【請求項3】

吹き出しノズルの上部と保持部材の嵌合保持部とを相互に対応する多角形に形成することにより、吹き出しノズルの回転を規制するようにした請求項１又は２記載の基板収納容器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、半導体ウェーハ等からなる基板を収納、保管、搬送、輸送する際に使用される基板収納容器に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来における基板収納容器は、図示しないが、例えば、複数枚の半導体ウェーハを整列収納する容器本体と、この容器本体の開口した正面に着脱自在に嵌合される蓋体とを備え、容器本体の底板後部の両側に、容器本体の外部から内部に半導体ウェーハ用のパージガスを供給する給気弁がそれぞれ嵌着され、容器本体の底板前部の両側に、半導体ウェーハ用のパージガスの供給に伴い容器本体の内部から外部にエアを排気する排気弁がそれぞれ嵌着されており、これら複数の給気弁と排気弁とにより、容器本体内のエアが半導体ウェーハ用のパージガスに置換される（特許文献１参照）。

【0003】

パージガスとしては、例えば、半導体ウェーハの表面状態の変質を抑制する不活性ガスやドライエアが使用される。このパージガスに容器本体内のエアを効率的に置換したい場合には、各給気弁に吹き出しノズルが連設され、この吹き出しノズルに、パージガスを吹き出す吹出孔が穿孔される。各吹き出しノズルは、細長い中空筒形に形成され、容器本体の底板後部に固定されて給気弁に連通しており、周壁の上下方向に、半導体ウェーハ方向にパージガスを吹き出す複数の吹出孔が並べて穿孔されている（特許文献２参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特許第４２０１５８３号公報

【特許文献2】特許第３９６０７８７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

従来における基板収納容器は、以上のように構成され、給気弁に連通する吹き出しノズルの活用により、容器本体内のエアの効率的な置換が期待できるものの、吹き出しノズルの上部がフリーの場合には、容器本体内のエアを効率良く置換することに支障を来すおそれが考えられる。

【0006】

この点について説明すると、吹き出しノズルの上部が特に保持されずにフリーの場合には、基板収納容器の外部から内部にパージガスが高圧で供給されたり、基板収納容器が高速で搬送されたりすると、振動や加速度の作用により、吹き出しノズルの上部が前後左右に揺れ、吹き出しノズルの姿勢が不安定となる。吹き出しノズルが揺れ、姿勢が安定しないと、吹き出しノズルの吹出孔の位置が当初の設定位置から横方向にずれたり、容器本体の底板に対する固定が緩んだり、その結果、容器本体内のエアをパージガスに効率良く置換することに困難を来すおそれが考えられる。

【0007】

本発明は上記に鑑みなされたもので、吹き出しノズルの揺れや姿勢の不安定化を抑制し、容器本体内の気体を基板用の気体に効率良く置換することのできる基板収納容器を提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明においては上記課題を解決するため、基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口した正面に着脱自在に嵌め合わされる蓋体とを備え、容器本体の底部後方両側に、外部から内部に基板用の気体を供給する給気弁をそれぞれ取り付け、容器本体の底部前方両側に、内部から外部に気体を排気する排気弁をそれぞれ取り付けたものであって、
容器本体の底部後方両側に、複数の給気弁に連通する中空の吹き出しノズルをそれぞれ立て設け、各吹き出しノズルの周壁に、基板方向に基板用の気体を吹き出す吹出孔を設け、複数の吹き出しノズルの上部を容器本体の上部に保持部材を介して支持させ、
保持部材を容器本体の上部後方に整合するよう板形の略弓なりに形成して容器本体の上部後方内面と複数の吹き出しノズルの上部との間に介在するとともに、この保持部材の上面に、容器本体の上部内面に密接する圧縮可能な複数の接触部を形成してこれら複数の接触部の高さを揃え、保持部材の下面には、複数の吹き出しノズルの上部に嵌まる嵌合保持部をそれぞれ形成したことを特徴としている。

【0009】

また、本発明においては上記課題を解決するため、基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口した正面に着脱自在に嵌め合わされる蓋体とを備え、容器本体の底部後方両側に、外部から内部に基板用の気体を供給する給気弁をそれぞれ取り付け、容器本体の底部前方両側に、内部から外部に気体を排気する排気弁をそれぞれ取り付けたものであって、
容器本体を多色成形してその背面壁に基板用の観察窓を一体形成し、容器本体の底部後方両側に、複数の給気弁に連通する中空の吹き出しノズルをそれぞれ立て設け、各吹き出しノズルの周壁には、基板方向に基板用の気体を吹き出す吹出孔を設け、
容器本体の観察窓内面から容器本体の正面方向に複数の保持部材をそれぞれ突出させ、この複数の保持部材の自由端部に、吹き出しノズルの上部に嵌まる嵌合保持部を一体形成したことを特徴としている。

【0010】

また、吹き出しノズルの上部と保持部材の嵌合保持部とを相互に対応する多角形に形成することにより、吹き出しノズルの回転を規制することができる。

【0011】

ここで、特許請求の範囲における基板には、少なくともφ３００や４５０ｍｍの半導体ウェーハ、ガラスウェーハ、マスクガラス等が必要数含まれる。容器本体は、透明、不透明、半透明のいずれでも良い。また、給気弁、排気弁、吹き出しノズルとその吹出孔の数、保持部材は、必要に応じ、増減することができる。基板用の気体には、少なくとも各種のパージガス（例えば、アルゴンガス等の不活性ガスやドライエア）が含まれる。

【0012】

給気弁については、底板後部の取付孔に嵌められる上部ハウジングと、この上部ハウジングの開口面に下方から嵌められる下部ハウジングと、これら上部ハウジングと下部ハウジングとの間に上下動可能に内蔵されて基板用の気体の流動を制御する弁体とから構成し、容器本体に改造を施さない観点から、上部ハウジングと下部ハウジングとに吹き出しノズルの下部を挟み持たせることができる。

【0013】

吹き出しノズルの上部は、容器本体の上部及び周壁（背面壁や側壁）内面、容器本体の上部、あるいは容器本体の周壁内面に保持部材により支持させることができる。さらに、保持部材は、各種の合成樹脂（例えば、ＰＣやＰＥＥＫ等）や変形可能な弾性部材により形成することができ、接触部を、容器本体の上部内面の形状に応じ、突出させたり、凹ませたりすることが可能である。

【0014】

本発明によれば、容器本体の上部と背面壁内面のいずれかに吹き出しノズルの上部が保持され、吹き出しノズルの動きが規制されるので、例え基板収納容器に基板用の気体が高圧で供給されたり、基板収納容器に加速度や熱履歴等が作用しても、吹き出しノズルの上部が揺れたり、振動したりするのを抑制することができ、しかも、吹き出しノズルが回転するのを防ぐことができる。

【発明の効果】

【0015】

請求項１記載の発明によれば、保持部材の保持機能により、吹き出しノズルの吹出孔の位置が周方向に回転して当初の設定位置から側方や後方にずれたり、吹き出しノズルが緩んだりすることが少ない。したがって、基板用の気体を基板方向に常時適切に噴射することができるので、容器本体内の気体を基板用の気体に効率良く置換することができるという効果がある。また、容器本体と保持部材とが一体ではなく、別体なので、容器本体の構成を何ら変更する必要がなく、容器本体を既存の製法により製造することができる。また、保持部材の上面に複数の接触部を形成し、この複数の接触部の高さを揃えるので、保持部材の姿勢を傾けることなく、安定させることが可能になる。さらに、保持部材の接触部が圧縮可能なので、容器本体の上部と複数の吹き出しノズルの上部とに隙間なく密接させることができ、吹き出しノズルのがたつき等を防止することが可能になる。

【0016】

請求項２記載の発明によれば、保持部材の保持機能により、吹き出しノズルの吹出孔の位置が周方向に回転して当初の設定位置から側方や後方にずれたり、吹き出しノズルが緩んだりすることが少ない。したがって、基板用の気体を基板方向に常時適切に噴射することができるので、容器本体内の気体を基板用の気体に効率良く置換することができるという効果がある。また、容器本体の観察窓と複数の保持部材とを一体成形するので、保持部材の製造を簡略化することができる。また、全ての吹き出しノズルをまとめて保持部材により保持するのではなく、吹き出しノズルを一本ごとに保持部材で保持するので、保持部材の構成の多様化が期待できる。さらに、接触部を省略することができるので、保持部材の構成の簡素化を図ることができる。
請求項３記載の発明によれば、簡易な構成で吹き出しノズルの保持を容易にしたり、吹き出しノズルの回転を有効に防ぐことができる。

【図面の簡単な説明】

【0017】

【図1】本発明に係る基板収納容器の実施形態を模式的に示す全体斜視図である。

【図2】図１のＩＩ‐ＩＩ線断面図である。

【図3】図１のＩＩＩ‐ＩＩＩ線断面図である。

【図4】本発明に係る基板収納容器の実施形態における給気弁と吹き出しノズルとを模式的に示す断面説明図である。

【図5】本発明に係る基板収納容器の実施形態における排気弁を模式的に示す断面説明図である。

【図6】本発明に係る基板収納容器の実施形態における吹き出しノズルを模式的に示す説明図である。

【図7】本発明に係る基板収納容器の実施形態における左右一対の吹き出しノズルと保持部材とを模式的に示す分解斜視図である。

【図8】本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体、吹き出しノズル、及び保持部材を模式的に示す断面説明図である。

【図9】本発明に係る基板収納容器の第２の実施形態を模式的に示す説明図である。

【図10】本発明に係る基板収納容器の第３の実施形態における容器本体の背面壁の観察窓と保持部材とを模式的に示す平面説明図である。

【図11】本発明に係る基板収納容器の第３の実施形態を模式的に示す部分断面説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0018】

以下、図面を参照して本発明の好ましい実施の形態を説明すると、本実施形態における基板収納容器は、図１ないし図８に示すように、複数枚の半導体ウェーハＷを収納する容器本体１と、この容器本体１の開口した正面２に着脱自在に嵌合される蓋体２０と、容器本体１の正面２に嵌合された蓋体２０を施錠する施錠機構２６とを備え、容器本体１の底板６に、複数の給気弁３０と排気弁５０とをそれぞれ配設するとともに、複数の給気弁３０に連通する縦長の吹き出しノズル７０をそれぞれ立設し、この複数の吹き出しノズル７０の上部を容器本体１の天板１０に保持部材８０を介して支持させるようにしている。

【0019】

各半導体ウェーハＷは、例えば７７５μｍの厚さを有するφ３００ｍｍの丸いシリコンウェーハからなり、半導体部品の製造工程（５００〜６００工程にも及ぶ）で各種の加工や処理が適宜施され、容器本体１に２５枚が水平に挿入して整列収納される。

【0020】

容器本体１、蓋体２０、施錠機構２６、及び吹き出しノズル７０は、所要の樹脂を含有する成形材料により射出成形されたり、射出成形された複数の部品の組み合わせにより構成されたりする。係る成形材料に含まれる樹脂としては、例えばポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等があげられる。

【0021】

これらの樹脂には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等からなる導電物質やアニオン、カチオン、非イオン系等の各種帯電防止剤が必要に応じて添加される。また、ベンゾトリアゾール系、サリシレート系、シアノアクリレート系、オキザリックアシッドアニリド系、ヒンダードアミン系の紫外線吸収剤が添加されたり、剛性を向上させるガラス繊維や炭素繊維等も選択的に添加される。

【0022】

容器本体１は、図１ないし図３に示すように、正面２が開口したフロントオープンボックスタイプに形成され、開口した正面２を水平横方向に向けた状態で半導体製造工場の天井搬送機構に把持して工程間を搬送されたり、半導体加工装置に付属の蓋体開閉装置上に位置決めされたりして搭載される。

【0023】

容器本体１は、その内部両側、換言すれば、両側壁３の内面に、半導体ウェーハＷを水平に支持する左右一対の支持片４がそれぞれ対設され、両側壁３の内面後部に、半導体ウェーハＷの過剰な挿入を規制する位置規制部５がそれぞれ一体形成される。左右一対の支持片４は、上下方向に所定のピッチで配列され、各支持片４が半導体ウェーハＷの側部周縁を支持する細長い板形に形成されており、支持片４の前部表面に、半導体ウェーハＷの飛び出しを規制する段差部が一体形成される。

【0024】

容器本体１の底板６における前後部の両側には円筒形の取付孔７がそれぞれ貫通して穿孔され、底板６後部両側の取付孔７には、容器本体１の外部から内部に矢印で示す半導体ウェーハＷ用のパージガス（例えば、不活性ガスやドライエア）を供給する給気弁３０がそれぞれ嵌着されており、底板６前部両側の取付孔７には、半導体ウェーハＷ用のパージガスの供給に伴い容器本体１の内部から外部に矢印で示すエアを排気する排気弁５０がそれぞれ嵌着される。複数の取付孔７のうち、少なくとも底板６後部両側の取付孔７の周縁部には、下方に突出する円筒形のリブ７ａが一体形成される（図４参照）。

【0025】

容器本体１の底板６裏面における前部両側と後部中央とには、容器本体１を位置決めする位置決め具８がそれぞれ配設される。各位置決め具８は、基本的には平面略楕円形を呈する断面略Ｖ字形状に形成されてその一対の斜面を備えた凹部を下方に指向させ、蓋体開閉装置の位置決めピンに上方から凹部を嵌合・摺接させることにより、容器本体１を高精度に位置決めするよう機能する。また、容器本体１の底板６裏面には、別体のボトムプレート９が螺子具を介して水平に螺着され、このボトムプレート９が複数の位置決め具８をそれぞれ露出させる。

【0026】

容器本体１の天板１０中央部には、半導体製造工場の天井搬送機構に把持される搬送用のトップフランジ１１が着脱自在に装着され、容器本体１の正面２内周における上下の両側には、施錠機構２６用の施錠穴がそれぞれ穿孔される。また、容器本体１の両側壁３中央部には、握持操作用に機能するグリップ１２がそれぞれ着脱自在に装着され、両側壁３の下部には、搬送用のサイドレール１３がそれぞれ選択的に水平に装着される。

【0027】

蓋体２０は、図１ないし図３に示すように、容器本体１の開口した正面２内に圧入して嵌合される蓋本体２１と、この蓋本体２１の開口した正面を被覆する表面プレート２４と、容器本体１の正面２内周と蓋本体２１との間に介在される密封封止用のシールガスケット２３とを備え、容器本体１の開口した正面２の内周に蓋本体２１の周壁が接触する。蓋本体２１は、基本的には底の浅い断面略皿形に形成され、内部に補強用や取付用のリブが複数配設されており、半導体ウェーハＷに対向する対向面である裏面に、半導体ウェーハＷの前部周縁を弾発的に保持するフロントリテーナ２２が装着される。

【0028】

蓋本体２１の裏面周縁部には枠形の嵌合溝が凹み形成され、この嵌合溝内に、容器本体１の正面２内周に圧接するシールガスケット２３が密嵌されており、蓋本体２１の周壁における上下の両側部には、容器本体１の施錠穴に対向する施錠機構２６用の出没孔が貫通して穿孔される。

【0029】

表面プレート２４は、横長の正面矩形に形成され、補強用や取付用のリブ、螺子孔等が複数配設される。この表面プレート２４の両側部には、施錠機構２６用の操作孔２５がそれぞれ穿孔される。また、シールガスケット２３は、例えば耐熱性や耐候性等に優れるポリエステル系、ポリスチレン系、ポリオレフィン系の熱可塑性エラストマー等を成形材料として弾性変形可能な枠形に成形される。

【0030】

施錠機構２６は、蓋体２０の蓋本体２１における左右両側部にそれぞれ軸支されて外部から回転操作される左右一対の回転プレートと、各回転プレートの回転に伴い蓋体２０の上下方向にスライドする複数の進退動プレートと、各進退動プレートのスライドに伴い蓋本体２１の出没孔から出没して容器本体１の施錠穴に接離する複数の施錠爪とを備え、蓋体２０の蓋本体２１と表面プレート２４との間に介在される。

【0031】

各回転プレートは、蓋体２０の表面プレート２４の操作孔２５に対向し、この操作孔２５を貫通した蓋体開閉装置の操作キーにより回転操作される。また、各施錠爪は、基本的には断面略Ｌ字形状に屈曲形成されてその先端部に回転可能なローラを備え、蓋本体２１内の出没孔付近に揺動可能に軸支されて進退動プレートの先端部にピンを介し連結されており、容器本体１の施錠穴にローラを接離する。

【0032】

複数の給気弁３０と排気弁５０とは、蓋体開閉装置に対する基板収納容器の搭載時に蓋体開閉装置に着脱自在に接続され、パージガスやエアを基板収納容器の内外に流通させることにより、半導体ウェーハＷの表面状態の変質を抑制したり、基板収納容器の内外圧力差を解消するよう機能する。

【0033】

各給気弁３０は、図４に示すように、底板６の後部両側の取付孔７と、この後部両側の取付孔７に遊嵌される上部ハウジング３１と、この上部ハウジング３１に下方から遊嵌され、後部両側の取付孔７の周縁部から下方に延出するリブ７ａに接触するまで螺入固定される下部ハウジング３７とを備え、これら上部ハウジング３１と下部ハウジング３７との間に、パージガスの流動を制御する弁体４０が上下動可能に内蔵される。

【0034】

上部ハウジング３１は、例えば容器本体１内にパージガスを流出させる開口付きの断面略逆Ｕ字形状に形成され、開口した内周部にフィルタ押さえ３４が嵌合される。このフィルタ押さえ３４の上部内面の中央からは、弁体４０案内用の芯出し３２が下方に向けて突出形成される。

【0035】

フィルタ押さえ３４の内部上方には、開口を区画する格子リブが形成され、この格子リブに、濾過用の薄いフィルタ３３が覆着されて上部ハウジング３１の開口内周の段差部との間に保持される。また、上部ハウジング３１の外周面の上部段差には、吹き出しノズル７０の内周面に密接するＯリング３５が嵌着され、外周面の下部から半径外方向に吹き出しノズル７０固定用の係止部３６が先細りに突出形成される。

【0036】

下部ハウジング３７は、例えば容器本体１の外部から内部にパージガスを流入させる開口３８付きの断面略Ｕ字形状に形成され、上部ハウジング３１に外側から隙間を介して遊嵌される。この下部ハウジング３７の周壁の内周面には、吹き出しノズル７０取付用の螺子溝３９が螺刻形成される。

【0037】

弁体４０は、例えば断面略凸字形状に形成され、中心の凸部に、上部ハウジング３１の芯出し３２にスライド可能に嵌挿されるガイド穴４１が穿孔される。この弁体４０の上面には凸部を包囲する嵌合穴が穿孔され、この嵌合穴に、弁体４０を下方に弾圧付勢して下部ハウジング３７の開口３８を閉塞するコイル形のバネ部材４２が嵌合される。また、弁体４０の下面にはエンドレスの切り欠きが形成され、この切り欠きに、下部ハウジング３７中央の開口３８を包囲してパージガスの流通を規制するＯリング３５Ａが嵌着される。

【0038】

このような弁体４０は、下部ハウジング３７に接触する場合には、下部ハウジング３７中央の開口３８を閉塞し、容器本体１の外部から内部にパージガスが流入するのを規制するよう機能する。これに対し、パージガスの供給に伴い、下部ハウジング３７から上昇して離隔する場合には、下部ハウジング３７の開口３８を開放し、容器本体１の外部から内部にパージガスを流入させるよう機能する。

【0039】

各排気弁５０は、図５に示すように、底板６前部の取付孔７にＯリングを介し嵌合される上部ハウジング５１と、この上部ハウジング５１の開口した下面に下方から嵌合される下部ハウジング５８とを備え、これら上部ハウジング５１と下部ハウジング５８との間に、エアの流動を制御する弁体６１が上下動可能に内蔵される。

【0040】

上部ハウジング５１は、例えば容器本体１のエアを流入させる開口付きの断面略逆Ｕ字形状に形成され、内部の上方に、開口を区画する格子リブが形成されており、この格子リブに、濾過用の薄いフィルタ５２が断面略逆皿形状のフィルタ押さえ５３を介して覆着される。上部ハウジング５１は、その外周面の上部に、取付孔７の周縁部に係合する係合部５４が先細りに突出形成され、外周面の下部には、下部ハウジング５８取付用の螺子５５が螺刻形成される。また、フィルタ押さえ５３は、その外周面の上部段差に、フィルタ５２用のＯリング５６が嵌着され、下面中央から弁体６１案内用の芯出し５７が下方に向けて突出形成される。

【0041】

下部ハウジング５８は、例えば容器本体１の内部から外部にエアを流出させる開口５９付きの断面略Ｕ字形状に形成され、上部ハウジング５１に外側から螺嵌される。この下部ハウジング５８の周壁の内周面には、上部ハウジング５１の螺子５５に螺合する螺子溝６０が螺刻形成される。

【0042】

弁体６１は、例えば断面略逆凸字形状に形成され、上面の中心部に、フィルタ押さえ５３の芯出し５７にスライド可能に嵌挿されるガイド穴６２が穿孔される。弁体６１の上面周縁部には、エンドレスの切り欠きが形成され、この切り欠きに、フィルタ押さえ５３に下方から圧接してエアの漏洩を防止するＯリング５６Ａが嵌着される。弁体６１の下面の凸部には、弁体６１を上方に弾圧付勢してフィルタ押さえに圧接するコイル形のバネ部材６３が嵌合され、このバネ部材６３が下部ハウジング内面の開口５９周縁部付近に支持される。

【0043】

このような弁体６１は、上部ハウジング５１のフィルタ押さえ５３に接触する場合には、容器本体１の内部から外部にエアが流出するのを規制するよう機能する。また、容器本体１内にパージガスが充満してエアが押されるのに伴い、フィルタ押さえ５３から下降して離隔する場合には、容器本体１の内部から外部にエアを流出させる。

【0044】

各吹き出しノズル７０は、図３、図４、図６、図７に示すように、例えば上下方向に細長い中空の円柱形状に形成され、給気弁３０の上部ハウジング３１と下部ハウジング３７との間に支持されて上部ハウジング３１に着脱自在に連通する。この吹き出しノズル７０は、その周壁の下部から取付孔７の周縁部に干渉するフランジ７１が半径外方向に突出形成され、このフランジ７１に円筒形状の筒部７２が一体形成されており、上部ハウジング３１と下部ハウジング３７とを嵌合固定している。筒部７２の内周面には、給気弁３０の上部ハウジング３１の係止部３６に係止される凹部７３が切り欠かれる。

【0045】

筒部７２の外周面上部には、取付孔７内に圧接する気密確保用のＯリング７４が嵌合され、筒部７２の外周面下部には、給気弁３０の下部ハウジング３７の螺子溝３９に螺合される螺子７５が螺刻形成される。また、吹き出しノズル７０の周壁の上下方向には、前方の半導体ウェーハＷ方向、換言すれば、容器本体１の正面２方向に給気弁３０からのパージガスを吹き出す複数の吹出孔７６が並べて穿孔され、各吹出孔７６が半導体ウェーハＷ間にパージガスを吹き出す。

【0046】

保持部材８０は、図３、図７、図８に示すように、所定の材料により平坦な板形状に形成され、容器本体１の天板１０内面と吹き出しノズル７０の上端部との間に介在される。この保持部材８０の所定の材料としては、特に限定されるものではないが、例えば変形可能なポリエステル系、ポリスチレン系、ポリオレフィン系の熱可塑性エラストマー等があげられる。

【0047】

保持部材８０は、容器本体１の天板１０の後部形状に整合するよう緩やかな略弓なりに形成され、その両端部が容器本体１の前後方向にそれぞれ平面略Ｖ字形状に屈曲形成される。この保持部材８０の屈曲部付近と両端部の上面には、容器本体１の天板１０内面に隙間なく密接する平面円形状でボタン形状の接触部８１がそれぞれ圧縮可能に突出形成され、保持部材８０の下面には、複数の吹き出しノズル７０の上端部にそれぞれ上方から圧接嵌合する平面円形状で断面皿形状の嵌合保持部８２が一体形成される。

【0048】

上記構成において、基板収納容器内のエアをパージガスに置換するため、容器本体１にパージガスが高圧で供給されると、パージガスは、給気弁３０の弁体４０を押し上げ、給気弁３０から吹き出しノズル７０内に流入し、吹き出しノズル７０の複数の吹出孔７６から半導体ウェーハＷ間にそれぞれ噴射される。この際、保持部材８０に吹き出しノズル７０の上端部が保持され、固定されているので、例えパージガスが高圧で供給されても、吹き出しノズル７０の上部が前後左右に揺れ、吹き出しノズル７０の姿勢が不安定になるのを有効に防止することができる。

【0049】

容器本体１にパージガスが高圧で供給され、充満すると、容器本体１内のエアは、パージガスに押されて排気弁５０の弁体６１を押し下げ、排気弁５０から容器本体１の外部に流出する。このエアの流出により、基板収納容器内のエアがパージガスに置換されることとなる。

【0050】

上記構成によれば、保持部材８０の保持機能により、吹き出しノズル７０の吹出孔７６の位置が周方向に回転して当初の設定位置から側方や後方にずれたり、吹き出しノズル７０が緩んだりすることがない。したがって、パージガスを半導体ウェーハＷ方向に常時適切に噴射することができるので、容器本体１内のエアをパージガスに効率良く置換することができる。

【0051】

また、容器本体１と保持部材８０とが一体ではなく、別体なので、容器本体１の構成を何ら変更する必要がなく、容器本体１を既存の製法により製造することができる。また、保持部材８０の上面に複数の接触部８１を間隔をおいて突出形成し、この複数の接触部８１の高さを揃えるので、保持部材８０の姿勢を傾けることなく、安定させることが可能になる。さらに、保持部材８０に圧縮変形可能な弾性を付与すれば、容器本体１の天板１０と複数の吹き出しノズル７０の上端部とに隙間なく密接させることができ、吹き出しノズル７０のがたつき等を有効に防止することが可能になる。

【0052】

次に、図９は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、吹き出しノズル７０の上端部と保持部材８０の嵌合保持部８２とを相互に対応する平面四角形状にそれぞれ形成し、吹き出しノズル７０の回転を規制するようにしている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。

【0053】

本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、吹き出しノズル７０の上端部と保持部材８０の嵌合保持部８２とがそれぞれ方向性を有する多角形状なので、吹き出しノズル７０の保持を容易化したり、吹き出しノズル７０の回転を有効に防止したりすることができるのは明らかである。

【0054】

次に、図１０と図１１とは本発明の第３の実施形態を示すもので、この場合には、容器本体１を二色成形してその背面壁１４に視認可能な半導体ウェーハＷ用の観察窓１５を縦長に一体形成し、観察窓１５の内面上部から容器本体１の正面２方向に複数の保持部材８０を間隔をおき水平に突出させ、各保持部材８０を細長く伸長形成してその自由端部に、吹き出しノズル７０の上端部に嵌合する断面皿形状の嵌合保持部８２を一体形成するようにしている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。

【0055】

本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、容器本体１の観察窓１５と複数の保持部材８０とを一体成形するので、保持部材８０の製造を簡略化することができるのは明らかである。また、全ての吹き出しノズル７０をまとめて保持部材８０により保持するのではなく、吹き出しノズル７０を一本ごとに保持部材８０で保持するので、保持部材８０の構成の多様化が期待できる。さらに、接触部８１を省略することができるので、保持部材８０の構成の簡素化を図ることができる。

【0056】

なお、上記実施形態では吹き出しノズル７０を中空の円柱形状に形成したが、中空の円錐台形状等に形成しても良い。また、吹き出しノズル７０の上端部と保持部材８０の嵌合保持部８２とをそれぞれ平面四角形状に形成したが、平面三角形、六角形、八角形等にそれぞれ形成しても良い。また、円形の一部を切り欠いた回転止め付きの形状であったりしても良いし、吹き出しノズル７０の上端部外周面と嵌合保持部８２の内周面とをそれぞれ螺刻形成し、これらを螺合して吹き出しノズル７０の回転を規制しても良い。

【0057】

また、保持部材８０の接触部８１を突出形成したが、容器本体１の天板１０内面に密接するのであれば、保持部材８０の接触部８１を凹み形成することもできる。さらに、容器本体１の側壁３の内面上部から容器本体１の内方向に複数の保持部材８０を水平に突出させ、各保持部材８０の自由端部に、吹き出しノズル７０の上端部に嵌合する断面皿形状の嵌合保持部８２を一体形成することもできる。

【産業上の利用可能性】

【0058】

本発明に係る基板収納容器は、半導体等の製造分野で使用される。

【符号の説明】

【0059】

１ 容器本体
２ 正面
３ 側壁（周壁）
６ 底板
７ 取付孔
７ａ リブ
１０ 天板
１４ 背面壁（周壁）
１５ 観察窓
２０ 蓋体
３０ 給気弁
３１ 上部ハウジング
３７ 下部ハウジング
４０ 弁体
５０ 排気弁
５１ 上部ハウジング
５８ 下部ハウジング
６１ 弁体
７０ 吹き出しノズル
７６ 吹出孔
８０ 保持部材
８１ 接触部
８２ 嵌合保持部
Ｗ 半導体ウェーハ（基板）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】