特許第6265997号(P6265997)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6265997電子サイクロトロン共鳴（ＥＣＲ）による気体媒体からの軸方向に高域であるプラズマを生成させるための装置
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