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特許第6267982号(P6267982)
IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版
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6267982
感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、感活性光線性又は感放射線性膜、感活性光線性又は感放射線性膜を備えたマスクブランクス、パターン形成方法、電子デバイスの製造方法、新規化合物、及び、新規化合物の製造方法
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