特許 6268921 通信デバイスおよび通信デバイスの制御方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6268921

(24)【登録日】2018年1月12日

(45)【発行日】2018年1月31日

(54)【発明の名称】通信デバイスおよび通信デバイスの制御方法

(51)【国際特許分類】

   G05B 19/418 20060101AFI20180122BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20180122BHJP

   B65G 1/137 20060101ALI20180122BHJP

【ＦＩ】

   G05B19/418 Z

   H01L21/68 A

   B65G1/137 A

【請求項の数】8

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2013-223188(P2013-223188)

(22)【出願日】2013年10月28日

(65)【公開番号】特開2015-87790(P2015-87790A)

(43)【公開日】2015年5月7日

【審査請求日】2016年8月23日

(73)【特許権者】

【識別番号】000006297

【氏名又は名称】村田機械株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100109210

【弁理士】

【氏名又は名称】新居 広守

(72)【発明者】

【氏名】谷本 好史

【審査官】 藤島 孝太郎

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１０−０２０６１１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−０３０００３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−１３５２５５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−３１０４６７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０５Ｂ １９／０４ −１９／０５

１９／４１８

Ｇ０５Ｄ １／００ − １／０２

Ｈ０１Ｌ ２１／６７ −２１／６８３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

製造装置と接続される通信デバイスであって、
ネットワークを介して通信する通信部と、
前記製造装置と接続するための少なくとも一つのＩＯポートと、
前記製造装置と前記製造装置を制御する製造コントローラとが前記ネットワークを介して通信しているパケットデータを、前記通信部を介してモニタリングするパケットモニタ部と、
前記ＩＯポートの状態をモニタリングするＩＯモニタ部と、
前記パケットモニタ部および前記ＩＯモニタ部によってモニタリングされたモニタリング情報を、前記製造装置に処理対象物を搬送するため及び／又は前記製造装置から処理対象物を搬送するための搬送装置へ前記通信部を介し、かつ、前記製造コントローラを介さずに送信する制御部とを備える
通信デバイス。

【請求項2】

前記通信部は、
前記製造装置が接続される第１の通信ポートと、
外部装置が接続される第２の通信ポートと、
前記搬送装置が接続される第３の通信ポートと、
前記第１の通信ポートと前記第２の通信ポートとの間でパケットデータを中継する中継部とを有し、
前記パケットモニタ部は、前記中継部によって中継されている前記製造装置と前記外部装置との間のパケットデータをモニタリングする
請求項１に記載の通信デバイス。

【請求項3】

前記ＩＯポートは、前記製造装置の前記処理対象物を搬出入するための載置ポートに接続され、
前記ＩＯモニタ部は、前記載置ポートの状態をモニタリングする
請求項１または請求項２に記載の通信デバイス。

【請求項4】

前記制御部は、さらに、前記パケットモニタ部によってモニタリングされたモニタリング情報に含まれる、前記製造装置が前記載置ポートを識別するための第１識別情報を、前記搬送装置が前記載置ポートを識別するための第２識別情報に変換し、変換した前記第２識別情報を含むモニタリング情報を前記搬送装置へ送信する
請求項３に記載の通信デバイス。

【請求項5】

前記制御部は、さらに、前記パケットモニタ部によってモニタリングされたモニタリング情報に、所定のコマンドが含まれるか否かを判定し、所定のコマンドが含まれる場合に、前記モニタリング情報を前記搬送装置へ送信する
請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の通信デバイス。

【請求項6】

前記搬送装置は、前記製造装置へ前記処理対象物を搬送する搬送台車と、複数の前記搬送台車を制御する搬送コントローラとを備え、
前記制御部は、前記モニタリング情報を前記搬送台車および前記搬送コントローラの少なくとも１つに送信する
請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載の通信デバイス。

【請求項7】

前記搬送コントローラによって、前記製造装置へ前記処理対象物を搬送する搬送台車が前記複数の搬送台車の中から割り当てられ、割り当てられた搬送台車を識別するための第３識別情報が前記製造装置へ送信され、
前記制御部は、前記第３識別情報で識別された搬送台車へ前記モニタリング情報を送信する
請求項６に記載の通信デバイス。

【請求項8】

ネットワークを介して通信する通信部と、製造装置と接続するための少なくとも一つのＩＯポートとを備える通信デバイスの制御方法であって、
前記製造装置と前記製造装置を制御する製造コントローラとが前記ネットワークを介して通信しているパケットデータを、前記通信部を介してモニタリングするパケットモニタステップと、
前記ＩＯポートの状態をモニタリングするＩＯモニタステップと、
前記パケットモニタステップおよび前記ＩＯモニタステップにおいてモニタリングされたモニタリング情報を、前記製造装置に処理対象物を搬送するため及び／又は前記製造装置から処理対象物を搬送するための搬送装置へ前記通信部を介し、かつ、前記製造コントローラを介さずに送信する制御ステップとを含む
通信デバイスの制御方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、製造装置と接続される通信デバイスおよび通信デバイスの制御方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来から、例えば半導体製造装置の載置ポートへ、ウェハを収納したポッド（ＦＯＵＰ：Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄなど）を載置、および搬出するために、天井走行台車などの搬送台車が用いられている。半導体製造装置本体は、製造コントローラにより制御される。一方、天井走行台車は、搬送コントローラにより制御される。また、載置ポートと天井走行台車との間は、ＳＥＭＩ（Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ ａｎｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ）のＥ８４通信が適用されている（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。

【0003】

このようなシステムでは、製造コントローラから、製造スケジュールに基づいた所定のポッドに対する処理が半導体製造装置に対して指示される。また、製造スケジュールに基づいた処理に対応するように、搬送コントローラで搬送スケジュールが生成され、搬送コントローラから天井走行台車に対して搬送指示が行われる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１０−１８４７６０号公報

【特許文献2】特開２０１１−０１８７３７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、上記のようなシステムでは、半導体製造装置から製造スケジュールの変更の要求があった場合、製造コントローラは変更の要求に基づいて製造スケジュールを変更する。そして、製造コントローラは、その変更を搬送コントローラに伝える。搬送コントローラは、製造スケジュールの変更に基づいてポッドの搬入ができるよう天井走行台車に指示を出す。

【0006】

すなわち、製造側の上位のコントローラからの指示を、搬送側の上位のコントローラが受けて天井走行台車の制御が行われる。

【0007】

このように、半導体製造装置等で製造スケジュールの変更があった場合、一旦上位の製造コントローラに上げて、さらに製造コントローラから搬送コントローラへスケジュールの変更が伝えられ、搬送コントローラから天井走行台車に搬送指示が出されるため、時間がかかる。このため、すでに天井走行台車が走行を開始しているような場合に、天井走行台車の搬送経路の変更が効率よくできない場合があり、搬送の効率、ひいては製造の効率が低下するという問題がある。

【0008】

そこで、本発明は上記の事情に鑑みてなされたものであり、天井走行台車などの搬送台車を含む搬送装置において搬送経路の変更を効率よく行うことができる通信デバイスを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記目的を達成するため、本発明の一態様に係る通信デバイスは、製造装置と接続される通信デバイスであって、ネットワークを介して通信する通信部と、前記製造装置と接続するための少なくとも一つのＩＯポートと、前記製造装置が前記ネットワークを介して通信しているパケットデータを、前記通信部を介してモニタリングするパケットモニタ部と、前記ＩＯポートの状態をモニタリングするＩＯモニタ部と、前記パケットモニタ部および前記ＩＯモニタ部によってモニタリングされたモニタリング情報を、前記製造装置に処理対象物を搬送するため及び／又は前記製造装置から処理対象物を搬送するための搬送装置へ前記通信部を介して送信する制御部とを備える。

【0010】

これにより、例えば、製造装置においてエラーが発生した場合等に、上位のコントローラから製造スケジュールの変更通知を受ける前に、搬送装置が製造装置の状態を知ることができ、状態に応じて搬送経路の変更を効率よく行うことができる。

【0011】

また、前記通信部は、前記製造装置が接続される第１の通信ポートと、外部装置が接続される第２の通信ポートと、前記搬送装置が接続される第３の通信ポートと、前記第１の通信ポートと前記第２の通信ポートとの間でパケットデータを中継する中継部とを有し、前記パケットモニタ部は、前記中継部によって中継されている前記製造装置と前記外部装置との間のパケットデータをモニタリングしてもよい。

【0012】

これにより、通信デバイスは、例えば製造コントローラである外部装置と製造装置との間における例えばＬＡＮ接続等のネットワーク接続に対して、中継装置として構成されるため、通信デバイスのために新たな例えばＬＡＮケーブル等を敷設する必要がない。

【0013】

また、前記ＩＯポートは、前記製造装置の前記処理対象物を搬出入するための載置ポートに接続され、前記ＩＯモニタ部は、前記載置ポートの状態をモニタリングしてもよい。

【0014】

これにより、処理対象物を搬出入するための載置ポートの状態をモニタリングすることができる。

【0015】

また、前記制御部は、さらに、前記パケットモニタ部によってモニタリングされたモニタリング情報に含まれる、前記製造装置が前記載置ポートを識別するための第１識別情報を、前記搬送装置が前記載置ポートを識別するための第２識別情報に変換し、変換した前記第２識別情報を含むモニタリング情報を前記搬送装置へ送信してもよい。

【0016】

これにより、製造コントローラにおける載置ポートの識別情報と、搬送装置における載置ポートの識別情報が異なっていても、モニタリングした情報を搬送装置側で正しく認識することができる。

【0017】

また、前記制御部は、さらに、前記パケットモニタ部によってモニタリングされたモニタリング情報に、所定のコマンドが含まれるか否かを判定し、所定のコマンドが含まれる場合に、前記モニタリング情報を前記搬送装置へ送信してもよい。

【0018】

これにより、例えば、マニュアルモードに変更されたといった装置の状態が変化したことを示すコマンド、およびエラーが発生したことを示すコマンド等の所定のコマンドに応じた対応をすることができる。

【0019】

また、前記搬送装置は、前記製造装置へ前記処理対象物を搬送する搬送台車と、複数の前記搬送台車を制御する搬送コントローラとを備え、前記制御部は、前記モニタリング情報を前記搬送台車および前記搬送コントローラの少なくとも１つに送信してもよい。

【0020】

これにより、モニタリング情報を搬送台車および搬送コントローラの少なくとも１つに送信することができる。

【0021】

また、前記搬送コントローラによって、前記製造装置へ前記処理対象物を搬送する搬送台車が前記複数の搬送台車の中から割り当てられ、割り当てられた搬送台車を識別するための第３識別情報が前記製造装置へ送信され、前記制御部は、前記第３識別情報で識別された搬送台車へ前記モニタリング情報を送信してもよい。

【0022】

これにより、搬送に割り当てられた搬送台車の例えば台車番号等の第３識別情報が通知されている場合には、搬送台車にもモニタリング情報を送信することができ、さらに迅速に対応することができる。

【0023】

なお、これらの包括的または具体的な態様は、システム、方法、集積回路、コンピュータプログラムまたはコンピュータ読み取り可能なＣＤ−ＲＯＭ（Ｃｏｍｐａｃｔ Ｄｉｓｃ Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）などの記録媒体で実現されてもよく、システム、方法、集積回路、コンピュータプログラムおよび記録媒体の任意な組み合わせで実現されてもよい。

【発明の効果】

【0024】

本発明によれば、例えば製造スケジュールの変更があった場合等であっても、天井走行台車などの搬送台車を含む搬送装置において搬送経路の変更を効率よく行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【0025】

【図1】図１は、本発明に係る通信デバイスが用いられる製造システムの概要の一例を示す概略図である。

【図2】図２は、実施の形態における通信デバイスが用いられる製造システムにおける接続の一例を示す図である。

【図3】図３は、実施の形態における通信デバイスの機能構成を示すブロック図である。

【図4A】図４Ａは、実施の形態における通信デバイスの制御部が有する変換テーブルの一例を示す図である。

【図4B】図４Ｂは、実施の形態における通信デバイスの制御部が有する変換テーブルの一例を示す図である。

【図5】図５は、実施の形態における通信デバイスの動作の流れを示すフローチャートである。

【図6】図６は、実施の形態の通信デバイスが用いられる製造システムにおける接続の他の一例を示す図である。

【図7】図７は、実施の形態における通信デバイスの制御部が有する変換テーブルの他の一例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0026】

以下、実施の形態について、図面を参照しながら具体的に説明する。

【0027】

なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも包括的または具体的な例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、ステップ、ステップの順序などは、一例であり、本発明を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。

【0028】

（実施の形態）
図１は、本発明に係る通信デバイスが用いられる製造システムの概要の一例を示す概略図である。

【0029】

製造システム１０は、例えば半導体等の製品を製造するためのシステムであり、製造系システムとして、図１に示すように製造装置２１、２２、２３、…、ＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ Ａｒｅａ Ｎｅｔｗｏｒｋ）２４、および製造コントローラ２５を備えている。また、搬送系システムとして、搬送コントローラ３１、無線アクセスポイント３２、３３、複数台の天井走行台車（搬送台車）３４、ＬＡＮ３５、およびレール３６を備えている。なお、半導体等の製造システムでは、一般的に複数の製造装置が備えられるが、図１では便宜上３台の製造装置を図示している。また、天井走行台車（搬送台車）３４は、一般的に複数台（例えば数十〜数百台）備えられるが、図１では便宜上１台しか図示していない。また、ＬＡＮ２４およびＬＡＮ３５は独立のＬＡＮであっても良いし、例えばゲートウェイ等を介して接続されていてもよい。

【0030】

製造装置２１、２２、２３は、例えば半導体等の製品を製造する製造装置であり、例えばウェハ等の処理対象物を収納したポッド３７を搬出入するための載置ポートを１つ以上備えている。図１に示す例では、製造装置２１は、４つの載置ポートを備えている。また、製造装置２２、２３は、それぞれ２つの載置ポートを備えている。

【0031】

ＬＡＮ２４は、各製造装置２１、２２、２３と製造コントローラ２５とを接続するためのネットワークである。

【0032】

製造コントローラ２５は、製造スケジュールを生成し、生成した製造スケジュールに基づいて、ＬＡＮ２４を介して接続されている各製造装置２１、２２、２３に対して、所定のポッド３７（実際には、ポッドに収納されている処理対象物）に対する処理を指示する。また、製造コントローラ２５は、搬送コントローラ３１に対して、処理が行われる所定のポッド３７の搬送を要求する。

【0033】

搬送コントローラ３１は、製造コントローラ２５からの要求により、搬送スケジュールを生成する。搬送コントローラ３１は、生成した搬送スケジュールに基づいて、各天井走行台車３４に対して、所定のポッド３７の搬送を指示する。

【0034】

無線アクセスポイント３２、３３は、ＬＡＮ３５に接続され、無線ＬＡＮにより天井走行台車（搬送台車）３４と通信を行うための無線ＬＡＮアクセスポイントである。

【0035】

天井走行台車３４は、レール３６に吊り下げられる形で取り付けられており、レール３６に沿って走行し、製造装置２１、２２、２３等にポッド３７を搬送する。また、各天井走行台車３４は、制御部および通信部（図示しない）を備えており、搬送コントローラ３１および各製造装置２１、２２、２３と通信し、製造装置２１、２２、２３の載置ポートへのポッド３７の搬出入を制御する。

【0036】

ＬＡＮ３５は、各天井走行台車３４と、搬送コントローラ３１および各製造装置２１、２２、２３とを接続するためのネットワークである。

【0037】

通信デバイス１００は、製造系システムおよび搬送系システムに接続される。

【0038】

図２は、本実施の形態における通信デバイス１００が用いられる製造システムにおける接続の一例を示す図である。ここでは、４つの載置ポートを備えている製造装置２１に対して通信デバイス１００が接続されている例を示している。また、図１と同様に図面上、ＬＡＮ２４およびＬＡＮ３５は接続されていないが、独立のＬＡＮであってもよいし、例えばゲートウェイ等を介して接続されていてもよい。

【0039】

通信デバイス１００は、ハブ（ＨＵＢ）４１を介してＬＡＮ２４に接続されている。また、通信デバイス１００は、ハブ４２を介してＬＡＮ３５に接続されている。通信デバイス１００は、ＬＡＮを介して製造装置２１に接続されている。さらに、通信デバイス１００の各ＩＯポート１０６〜１０９は、製造装置２１の各載置ポート（ＬＰ１、ＬＰ２、ＬＰ３、ＬＰ４）に接続されている。なお、図２では、通信デバイス１００と製造コントローラ２５が同じハブ４１に接続されているが、製造コントローラ２５はＬＡＮ２４に直接または他のハブを介して接続されていてもよい。また、通信デバイス１００と搬送コントローラ３１が同じハブ４２に接続されているが、搬送コントローラ３１はＬＡＮ３５に直接または他のハブを介して接続されていてもよい。

【0040】

図３は、本実施の形態における通信デバイス１００の機能構成を示すブロック図である。

【0041】

通信デバイス１００は、製造装置２１、２２、２３と接続される装置であり、図３に示すように、第１通信ポート１０１、第２通信ポート１０２、中継部１０３、パケットモニタ部１０４、制御部１０５、ＩＯポート１０６、１０７、１０８、１０９、ＩＯモニタ部１１０、および第３通信ポート１１１を備えている。また、第１通信ポート１０１、第２通信ポート１０２、第３通信ポート１１１、および中継部１０３により、通信部１２０が構成されている。

【0042】

第１通信ポート１０１、第２通信ポート１０２、および第３通信ポート１１１は、ＬＡＮを介して通信が行われるポートである。

【0043】

中継部１０３は、第１通信ポート１０１と第２通信ポート１０２の間でパケットデータを中継する。すなわち、第１通信ポート１０１に接続されている製造装置２１と第２通信ポート１０２に接続されている製造コントローラ２５との間でパケットデータを中継する。

【0044】

パケットモニタ部１０４は、中継部１０３によって中継されている第１通信ポート１０１と第２通信ポート１０２との間のパケットデータをモニタリングする。すなわち、第１通信ポート１０１に接続されている製造装置２１と第２通信ポート１０２に接続されている製造コントローラ２５との間で通信されているパケットデータをモニタリングする。

【0045】

ＩＯポート１０６、１０７、１０８、１０９は、例えば有線のパラレル通信線により製造装置２１の各載置ポート（ＬＰ１、ＬＰ２、ＬＰ３、ＬＰ４）に接続され、信号の入出力を行う片側８ビット、双方向で１６ビットのパラレルポートである。ここで、入出力される信号は、例えばＥ８４通信プロトコルに基づく、ポッド３７の搬出入に関する信号である。

【0046】

ＩＯモニタ部１１０は、各ＩＯポート１０６、１０７、１０８、１０９で入出力される信号をモニタリングすることで、各ＩＯポート１０６、１０７、１０８、１０９の状態をモニタリングする。ここで、各ＩＯポート１０６、１０７、１０８、１０９の状態とは、各ＩＯポート１０６、１０７、１０８、１０９から受け取ったそれぞれ例えば８ビット等のデータのデータパターンである。

【0047】

制御部１０５は、パケットモニタ部１０４およびＩＯモニタ部１１０によってモニタリングされたモニタリング情報を、搬送コントローラ３１および天井走行台車３４へ第３通信ポート１１１を介して送信する。また、制御部１０５は、第３通信ポート１１１を介して天井走行台車３４から受信したデータを各ＩＯポート１０６、１０７、１０８、１０９に出力する。これにより、製造装置２１の各載置ポート（ＬＰ１、ＬＰ２、ＬＰ３、ＬＰ４）と天井走行台車３４との間で、ポッド３７の搬出入に関する信号をやり取りすることができる。

【0048】

また、制御部１０５は、変換テーブル１１２を有しており、この変換テーブル１１２を用いて、パケットモニタ部１０４によってモニタリングされたモニタリング情報に含まれる、製造装置２１が載置ポートを識別するための第１識別情報を、搬送コントローラ３１および天井走行台車３４が載置ポートを識別するための第２識別情報に変換する。ここで、第１識別情報は、製造装置２１が載置ポートを識別するための情報であり、製造装置２１内で一意に特定されるローカルなＩＤ（例えば１〜４等のポート番号）である。また、第２識別情報は、搬送コントローラ３１および天井走行台車３４が載置ポートを識別するための情報であり、製造システム１０内で一意に特定されるグローバルなＩＤ（グローバルＩＤ）である。

【0049】

図４Ａおよび図４Ｂは、制御部１０５が有する変換テーブル１１２の一例を示す図である。

【0050】

変換テーブル１１２は、図４Ａおよび図４Ｂに示すように、通信デバイス１００に接続されている製造装置２１の例えばＩＰ（Ｉｎｔｅｒｎｅｔ Ｐｒｏｔｏｃｏｌ）アドレス等の装置アドレス、載置ポートのポート番号、載置ポートのグローバルＩＤ、および載置ポートに割り当てられた天井走行台車３４の台車番号を対応付けて管理している。

【0051】

製造コントローラ２５は、製造装置２１の装置アドレスおよび載置ポートのポート番号を用いて、製造システム１０内において載置ポートを識別している。また、搬送コントローラ３１および天井走行台車３４は、上記のようにグローバルＩＤを用いて、製造システム１０内において載置ポートを識別している。

【0052】

次に、上記のように構成された製造システム１０および通信デバイス１００の動作について説明する。

【0053】

製造システム１０において、製造コントローラ２５は、製造スケジュールを生成し、生成した製造スケジュールに基づいて、ＬＡＮ２４を介して接続されている各製造装置２１、２２、２３に対して、所定のポッド３７に対する処理を指示する。また、製造コントローラ２５は、搬送コントローラ３１に対して、処理が行われる所定のポッド３７の搬送を要求する。

【0054】

搬送コントローラ３１は、製造コントローラ２５からの要求により、搬送スケジュールを生成する。搬送コントローラ３１は、生成した搬送スケジュールに基づいて、各天井走行台車３４に対して、所定のポッド３７の搬送を指示する。すなわち、処理が行われる所定のポッド３７の搬送を複数の天井走行台車３４の中から１台の天井走行台車３４を割り当て、割り当てた天井走行台車３４に対して対象のポッド３７の搬送を指示する。このとき、搬送コントローラ３１は、割り当てた天井走行台車３４を識別するための第３識別情報を、搬送先である製造装置に送信する。ここで、第３識別情報は、製造装置が天井走行台車３４を識別するための情報であり、製造システム１０内で天井走行台車３４を一意に特定する台車番号である。

【0055】

対象のポッド３７を搬送する天井走行台車３４が、処理が行われる製造装置（例えば製造装置２１）に到着すると、天井走行台車３４と製造装置２１の対象となる載置ポート（例えばＬＰ１）との間で、ポッド３７の搬出入に関する信号がやり取りされ、ポッド３７の搬出入（移載）が制御される。具体的には、制御部１０５は、ＩＯモニタ部１１０によってモニタリングされたモニタリング情報、すなわち各載置ポート（ＬＰ１、ＬＰ２、ＬＰ３、ＬＰ４）の状態を天井走行台車３４へ送信する。また、制御部１０５は、天井走行台車３４から受信したデータを各ＩＯポート１０６、１０７、１０８、１０９に出力する。これにより、製造装置２１の各載置ポート（ＬＰ１、ＬＰ２、ＬＰ３、ＬＰ４）と天井走行台車３４との間で、ポッド３７の搬出入に関する信号をやり取りすることができる。

【0056】

そして、製造装置２１の載置ポート（ＬＰ１）にポッド３７が載置されると、ポッド３７に収納された処理対象物が製造装置２１において処理される。

【0057】

このようにして、製造システム１０において、一連の処理が行われ、例えば半導体等の製品の製造が行われる。

【0058】

ところで、製造装置２１は、各載置ポート（ＬＰ１、ＬＰ２、ＬＰ３、ＬＰ４）単位に、例えば、マニュアルモードに変更されたといった装置の状態が変化した場合、またはエラーが発生した場合等には、製造コントローラ２５に所定のコマンドを送信する。これにより、製造コントローラ２５は、例えば製造装置２１のどの載置ポートが使用できなくなったか等の製造装置２１の各載置ポートの状態が分かる。そして、例えば製造装置２１の載置ポートが使用できなくなった場合には、製造コントローラ２５は、製造スケジュールの変更を行うことになる。

【0059】

このような場合における通信デバイス１００の動作について説明する。

【0060】

図５は、本実施の形態における通信デバイス１００の動作の流れを示すフローチャートである。

【0061】

パケットモニタ部１０４は、第１通信ポート１０１に接続されている製造装置２１と第２通信ポート１０２に接続されている製造コントローラ２５との間で通信されているパケットデータをモニタリングする（ステップＳ１０１）。そして、パケットモニタ部１０４は、モニタリングしたパケットデータを制御部１０５に通知する。

【0062】

制御部１０５は、パケットデータに含まれているコマンドの対象となる載置ポートのポート番号を、変換テーブル１１２を用いて製造システム１０内で一意に特定されるグローバルＩＤに変換する（ステップＳ１０２）。例えば、図４Ａに示すような変換テーブル１１２を用いると、制御部１０５は、ポート番号が例えば「２」であれば、グローバルＩＤとして「１０２」に変換する。ここで、コマンドとは、製造装置２１から製造コントローラ２５に送信される、例えば、マニュアルモードに変更されたといった装置の状態が変化したことを示すコマンド、エラーが発生したことを示すコマンド、および製造装置の載置ポートにおける処理対象物に対する処理が完了したことを示すコマンド等である。

【0063】

次に、制御部１０５は、パケットデータに含まれているコマンドの対象となる載置ポートへのポッド３７の搬送に割り当てられた天井走行台車３４の台車番号が通知されているか否かを判定する（ステップＳ１０３）。ここで、天井走行台車３４の台車番号は、上記のように搬送コントローラ３１において天井走行台車３４が割り当てられ、搬送コントローラ３１から送信される。例えば、グローバルＩＤが「１０２」の載置ポートへの搬送に台車番号が「５１１」の天井走行台車３４が通知されれば、制御部１０５は、図４Ｂに示すように変換テーブル１１２を更新する。この変換テーブル１１２を用いて、制御部１０５は、天井走行台車３４の台車番号が通知されているか否かを判定する。

【0064】

この判定の結果、天井走行台車３４の台車番号が通知されている場合（ステップＳ１０３でＹｅｓ）、制御部１０５は、パケットモニタ部１０４によってモニタリングされたモニタリング情報を、通知されている台車番号で特定される天井走行台車３４、および搬送コントローラ３１へ送信する（ステップＳ１０４）。具体的には、パケットデータに含まれているコマンド、およびコマンドの対象となる載置ポートのグローバルＩＤが送信される。これを受けて、天井走行台車３４は、コマンドの内容に応じて、対象となる載置ポートへの移動を変更する。例えば、マニュアルモードに変更されたといった装置の状態が変化したことを示すコマンド、およびエラーが発生したことを示すコマンド等の、載置ポートが使用できなくなったことを示すコマンドである場合には、天井走行台車３４は、対象となる載置ポートでのポッドの移載を中止する。また、搬送コントローラ３１は、コマンドの内容およびコマンドの対象となる載置ポートに応じて、搬送スケジュールを生成し直し、変更し、例えば、当該走行台車３４の進行経路上に他の移載の可能な載置ポートがあれば、その載置ポートでのポッドの移載を行わせる。

【0065】

一方、天井走行台車３４の台車番号が通知されていない場合（ステップＳ１０３でＮｏ）、制御部１０５は、パケットモニタ部１０４によってモニタリングされたモニタリング情報を、搬送コントローラ３１へ送信する（ステップＳ１０５）。これを受けて、搬送コントローラ３１は、モニタリング情報、すなわちコマンドの内容およびコマンドの対象となる載置ポートに応じて、搬送スケジュールを生成し直す。

【0066】

次に、通信デバイス１００と製造装置との接続の他の例について説明する。

【0067】

図６は、本実施の形態における通信デバイス１００が用いられる製造システムにおける接続の他の一例を示す図である。ここでは、２つの載置ポートを備えている製造装置２２、２３に対して通信デバイス１００が接続されている例を示している。図７は、制御部１０５が有する変換テーブル１１２の一例を示す図である。

【0068】

通信デバイス１００は、ハブ４１を介してＬＡＮ２４に接続されている。また、通信デバイス１００は、ハブ４２を介してＬＡＮ３５に接続されている。通信デバイス１００は、ＬＡＮおよびハブ４３を介して製造装置２２、２３に接続されている。さらに、通信デバイス１００の各ＩＯポート１０６〜１０９は、製造装置２２の各載置ポート（ＬＰ１、ＬＰ２）、および製造装置２３の各載置ポート（ＬＰ１、ＬＰ２）に接続されている。

【0069】

このように接続された場合には、制御部１０５が有する変換テーブル１１２は、図７に示すように、通信デバイス１００に接続されている製造装置２２、２３の装置アドレス、載置ポートのポート番号、載置ポートのグローバルＩＤ、および載置ポートに割り当てられた天井走行台車３４の台車番号を対応付けて管理している。図７の例では、製造装置２２の装置アドレスが「ＩＰ２」、製造装置２３の装置アドレスが「ＩＰ３」である。

【0070】

以上のように、本実施の形態では、製造装置２１（２２、２３、…）と製造コントローラ２５との間で通信されているパケットデータをモニタリングし、モニタリングしたモニタリング情報を、天井走行台車３４および搬送コントローラ３１の少なくとも１つへ送信している。これにより、製造コントローラ２５から製造スケジュールの変更通知を受ける前に、製造装置の状態を知ることができ、状態に応じて搬送スケジュールを変更することができるので、搬送経路の変更を効率よく行うことができる。また、搬送に割り当てられた天井走行台車３４の台車番号が通知されている場合には、天井走行台車３４にもモニタリング情報を送信しているので、さらに迅速に対応することができる。

【0071】

なお、本実施の形態では、制御部１０５は、製造装置２１と製造コントローラ２５との間で通信されているパケットデータをモニタリングし、すべてのモニタリング情報を天井走行台車３４および搬送コントローラ３１へ、または搬送コントローラ３１へ送信しているが、これに限られるものではない。例えば、制御部１０５は、製造装置２１と製造コントローラ２５との間で通信されているパケットデータに所定のコマンドが含まれているか否かを判定し、所定のコマンドが含まれている場合にだけ、モニタリング情報を天井走行台車３４および搬送コントローラ３１の少なくとも１つへ送信しても構わない。

【0072】

ここで、所定のコマンドとは、製造装置２１から製造コントローラ２５に送信される、例えば、マニュアルモードに変更されたといった装置の状態が変化したことを示すコマンド、およびエラーが発生したことを示すコマンド等の、載置ポートが使用できなくなったことを示すコマンドとすることができる。この場合、制御部１０５は、モニタリング情報を天井走行台車３４および搬送コントローラ３１の少なくとも１つへ送信することで、天井走行台車３４は、対象となる載置ポートへの移載を中止することができる。また、例えば、製造装置の載置ポートにおける処理対象物に対する処理が完了したことを示すコマンド等であっても構わない。この場合、制御部１０５は、モニタリング情報を搬送コントローラ３１へ送信することで、例えば処理対象物に対する処理が完了した載置ポートの近くに、天井走行台車３４を事前に配置することができる。

【0073】

また、本実施の形態では、搬送台車として天井走行台車を用いているが、これに限られるものではなく、例えば地上を走行する走行台車等であっても構わない。

【0074】

また、本実施の形態では、制御部１０５は、変換テーブル１１２を用いて、製造装置のポート番号をグローバルＩＤに変換しているが、これに限られるものではない。例えば、製造コントローラ２５における載置ポートの識別情報と、搬送コントローラ３１における載置ポートの識別情報が同じであれば、識別情報を変換する必要はない。

【0075】

以上、一つまたは複数の態様に係る通信デバイスについて、実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、この実施の形態に限定されるものではない。本発明の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を本実施の形態に施したものや、異なる実施の形態における構成要素を組み合わせて構築される形態も、一つまたは複数の態様の範囲内に含まれてもよい。

【産業上の利用可能性】

【0076】

本発明は、天井走行台車などの搬送台車を含む搬送装置において搬送経路の変更を効率よく行うことができ、例えば半導体等の製品を製造するための製造システムに利用可能である。

【符号の説明】

【0077】

１０ 製造システム
２１、２２、２３ 製造装置
２４ ＬＡＮ
２５ 製造コントローラ
３１ 搬送コントローラ
３２、３３ 無線アクセスポイント
３４ 天井走行台車（搬送台車）
３５ ＬＡＮ
３６ レール
３７ ポッド
１００ 通信デバイス
１０１ 第１通信ポート
１０２ 第２通信ポート
１０３ 中継部
１０４ パケットモニタ部
１０５ 制御部
１０６、１０７、１０８、１０９ ＩＯポート
１１０ ＩＯモニタ部
１１１ 第３通信ポート
１２０ 通信部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4A】

【図4B】

【図5】

【図6】

【図7】