特許 6271289 接着剤塗布装置、表示装置用部材の製造装置及び表示装置用部材の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6271289

(24)【登録日】2018年1月12日

(45)【発行日】2018年1月31日

(54)【発明の名称】接着剤塗布装置、表示装置用部材の製造装置及び表示装置用部材の製造方法

(51)【国際特許分類】

   B05C 9/12 20060101AFI20180122BHJP

   B05D 3/06 20060101ALI20180122BHJP

   B05D 7/24 20060101ALI20180122BHJP

   G09F 9/00 20060101ALI20180122BHJP

   B05C 5/02 20060101ALN20180122BHJP

   B05D 1/26 20060101ALN20180122BHJP

【ＦＩ】

   B05C9/12

   B05D3/06 101Z

   B05D7/24 301P

   B05D7/24 301T

   G09F9/00 342

   !B05C5/02

   !B05D1/26 Z

【請求項の数】5

【全頁数】28

(21)【出願番号】特願2014-31154(P2014-31154)

(22)【出願日】2014年2月20日

(65)【公開番号】特開2015-155089(P2015-155089A)

(43)【公開日】2015年8月27日

【審査請求日】2017年2月15日

(73)【特許権者】

【識別番号】000002428

【氏名又は名称】芝浦メカトロニクス株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100081961

【弁理士】

【氏名又は名称】木内 光春

(72)【発明者】

【氏名】西垣 寿

(72)【発明者】

【氏名】田辺 昌平

(72)【発明者】

【氏名】瀧澤 洋次

(72)【発明者】

【氏名】池下 雄介

【審査官】 高崎 久子

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１２−０７１２８１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−３０５４２６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−１６０７３５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ０５Ｃ５／００−２１／００

Ｂ０５Ｄ

Ｇ０９Ｆ９／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

表示装置を構成する一対のワークを、エネルギーの照射により硬化する接着剤を介して貼り合せるために、前記一対のワークの少なくとも一方に対して、接着剤を塗布する接着剤塗布装置において、
ワークと相対移動して接着剤をワークに始端と終端を有する形状に塗布する塗布部と、
前記ワークと相対移動し、前記塗布部により塗布された前記接着剤に対して、エネルギーを照射することにより、前記接着剤を仮硬化させる照射部と、
を有し、
前記照射部は、塗布された前記接着剤の終端において、前記塗布部の移動による前記ワーク側の接着剤と前記塗布部側の接着剤との切り離しにより前記ワーク側の接着剤に生じた突出部分が消失する第１のタイミングと、前記突出部分が消失した後の前記接着剤の終端に崩れが発生する第２のタイミングとの間に、前記エネルギーを照射するタイミングが設定されていることを特徴とする接着剤塗布装置。

【請求項2】

前記第２のタイミングは、塗布された前記接着剤の終端に隆起が生じるタイミングであることを特徴とする請求項１記載の接着剤塗布装置。

【請求項3】

前記照射部は、第１のタイミングと第２のタイミングとの間で、前記終端に到達するように前記ワークに対して相対移動することを特徴とする請求項１または２に記載の接着剤塗布装置。

【請求項4】

表示装置を構成する一対のワークのうち、少なくとも一方に、エネルギーの照射により硬化する接着剤を塗布する請求項１〜３のいずれか１項に記載の接着剤塗布装置を有し、
前記一対のワークを、前記塗布した接着剤によって貼り合わせる貼合装置と、
前記貼合装置において貼り合わされた前記一対のワークの前記接着剤を硬化させる硬化装置と、
前記一対のワークを、前記接着剤塗布装置、前記貼合装置及び前記硬化装置の間で搬送する搬送装置と、
を有することを特徴とする表示装置用部材の製造装置。

【請求項5】

表示装置を構成する一対のワークを、エネルギーの照射により硬化する接着剤を介して貼り合わせる表示装置用部材の製造方法において、
塗布部とワークを相対移動させて接着剤をワークに始端と終端を有する形状に塗布し、
前記接着剤に対してエネルギーを照射する照射部によって、塗布された前記接着剤の終端において、前記塗布部の移動による前記ワーク側の接着剤と前記塗布部側の接着剤との切り離しにより前記ワーク側の接着剤に生じた突出部分が消失する第１のタイミングと、前記突出部分が消失した後の前記接着剤の終端に崩れが発生する第２のタイミングとの間に、前記塗布部により塗布された接着剤に対してエネルギーを照射することにより、前記接着剤を仮硬化させ、
前記一対のワークを、前記仮硬化させた接着剤によって貼り合わせ、
前記貼り合わされた前記一対のワークの前記接着剤を硬化させることを特徴とする表示装置用部材の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、例えば、表示装置を構成する一対のワークを貼り合わせるために、ワークに接着剤を塗布する技術に改良を施した接着剤塗布装置、表示装置用部材の製造装置及び表示装置用部材の製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

一般的に、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイを代表とする平板状の表示装置（フラットパネルディスプレイ）は、表示パネルと、必要に応じて操作用のタッチパネルや表面を保護する保護パネル（カバーパネル）、バックライトやその導光板等が、フラットパネルディスプレイの筐体に組み込まれて構成されている。

【0003】

これらの表示パネル、タッチパネル、保護パネル、バックライトやその導光板等（以下、ワークと呼ぶ）は、積層されてフラットパネルディスプレイの筐体に組み込まれる。それぞれのワークは、個別にあるいは予め積層された状態で組み込まれる。例えば、保護カバーにタッチパネルを積層した複合パネルとして構成されたものを用いることもある。

【0004】

また、表示パネルには、タッチパネルの機能が組み込まれたものが用いられることもある。このように、ワークとしては様々な形態があるが、以下、表示装置を構成するワークを、２以上積層したものを、表示装置用部材と呼ぶ。

【0005】

このような、表示装置用部材として積層される各ワークの間にギャップが設けられると、外光反射により、ディスプレイの表示面の視認性が低下する。これに対処するため、各ワークを、接着層を介して貼り合せて積層することによって、各ワークの間のギャップを埋めることが行われている。

【0006】

かかるワークの積層には、接着シートを用いて貼り合わせる方法と流動性の有る液状の接着剤を用いて貼り合わせる方法がある。接着シートは、接着剤に比べて比較的高価であり、剥離紙の剥離等の工程が必要となる。このため、近年のコスト削減の要求などから、接着剤を用いた貼り合わせが主流となってきている。

【0007】

また、かかる接着層は、各ワークの間の緩衝材として、ワークを保護する機能を求められる場合がある。さらに、ディスプレイの大型化などから、ワークも大面積となり、変形が生じやすい。このため、変形を吸収してワークを保護するために、接着層に要求される厚みが増える傾向にある。例えば、数１００μｍの厚みが要求されるようになってきている。

【0008】

液状の接着剤を用いてかかる接着層の厚みを確保しようとすると、必要な接着剤の量が増える。すると、ワークに塗布された接着剤が流動して、ワークからはみ出しやすくなる。そこで、ワークの表面に接着剤を塗布するとともに、塗布形状が崩れないように仮硬化を行っていた（特許文献１参照）。

【0009】

つまり、スリット型のノズルから、ＵＶ硬化樹脂の接着剤をワークの塗布面に塗布しながら、ノズルとワークとを相対移動させることにより、ワークの塗布面の全体に接着剤を塗布する。このとき、ノズルの直後近傍に追従して、照射部によりＵＶ光を照射することにより、接着剤を仮硬化させて流動を抑制していた。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0010】

【特許文献1】特開２０１２−７１２８１号公報

【発明の開示】

【発明が解決しようとする課題】

【0011】

上記のような接着剤の塗布直後には、接着剤の表面の形状が安定しない場合がある。このように接着剤の貼合面の形状が不安定な状態でワークを貼り合わせると、貼り合わされた接着剤の縁部が、視認領域に入ってしまう等、所望の状態とならない可能性がある。また、塗布後、時間の経過とともに、接着剤の表面には、隆起や窪みによる崩れが生じる。この崩れが貼合面にある状態で貼り合わせると、隆起や窪みを押圧しきれずに、ボイドとなってしまう。

【0012】

また、一般的な保護パネルは、窓部と枠部を有している。窓部は、表示パネルの表示領域を視認できる領域である。枠部は、窓部の大きさと形状を画するように形成された可視光の透過率が低い部分である。近年では、表示パネルの表示領域のサイズが同等であっても、表示パネル自体のサイズは小さくしようとする要求が高い。このような場合、図１９（Ａ）に示すように、表示パネルＤに接着剤Ｒを介して貼り合わせる保護パネルＣは、その窓部領域Ｃ１が広くなり、枠部領域Ｃ２が非常に狭くなる。すると、接着剤Ｒの端部の位置及び形状が、図１９（Ａ）に示す程度の状態となるように、高い精度が要求される。

【0013】

例えば、図１９（Ｂ）に示すように、窓部領域Ｃ１から、接着剤Ｒの端部が見えてしまうと、表示領域を邪魔することになってしまう。接着剤Ｒの端部は、ある程度の丸みを帯びたＲ形状となるので、上面から見て、窓部領域Ｃ１の内側に、このＲ部分が見えないように、接着剤Ｒを塗布する必要がある。もし、窓部領域Ｃ１の内側にＲ部分が存在すると、図中の白矢印で示した点線部分に対応する箇所が、上面から見て二重線のように見えてしまうことがある。従って、このＲ部分を極めて小さくする必要がある。もちろんＲ部分だけが窓部領域Ｃ１の内側に存在するような状態も問題となる。

【0014】

また、接着剤Ｒの端部が表示領域に重ならないようにするとしても、図１９（Ｃ）に示すように、表示パネルＤ又は保護パネルＣの縁部から接着剤Ｒがはみ出すことは、他の部材へ悪影響を及ぼす可能性があるため、許容されないことが多い。

【0015】

さらに、接着剤Ｒは塗布直後から流動を開始するため、時間の経過とともに端部形状が変化する。例えば、接着剤Ｒは、塗布後、時間の経過とともに、その表面における保護パネルＣとの貼合面に、隆起や窪みによる崩れが生じる。この崩れがある状態で貼り合わせると、図１９（Ｄ）に示すように、隆起や窪みを押圧しきれずに、ボイドＢとなってしまう。

【0016】

本発明は、上記のような従来技術の問題点を解決するために提案されたものであり、その目的は、ワークに塗布された接着剤の変動を仮硬化することで抑制し、また、適切なタイミングで仮硬化させることにより適切な形状に限定することができ、貼り合わせ品質の低下を防止できる接着剤塗布装置、表示装置用部材の製造装置及び表示装置用部材の製造方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0018】

上記の目的を達成するため、本発明は、表示装置を構成する一対のワークを、エネルギーの照射により硬化する接着剤を介して貼り合せるために、前記一対のワークの少なくとも一方に対して、接着剤を塗布する接着剤塗布装置において、ワークと相対移動して接着剤をワークに始端と終端を有する形状に塗布する塗布部と、前記ワークと相対移動し、前記塗布部により塗布された前記接着剤に対して、エネルギーを照射することにより、前記接着剤を仮硬化させる照射部と、を有し、前記照射部は、塗布された前記接着剤の終端において、前記塗布部の移動による前記ワーク側の接着剤と前記塗布部側の接着剤との切り離しにより前記ワーク側の接着剤に生じた突出部分が消失する第１のタイミングと、前記突出部分が消失した後の前記接着剤の終端に崩れが発生する第２のタイミングとの間に、前記エネルギーを照射するタイミングが設定されていることを特徴とする。

【0028】

なお、上記の各態様は、ワークを積層して表示装置用部材を製造する製造装置及び製造方法の発明としても捉えることができる。

【発明の効果】

【0029】

以上、説明したように、本発明によれば、ワークに塗布された接着剤の表面形状の変動を仮硬化することで抑制し、また、適切なタイミングで仮硬化させることにより適切な形状に限定することができ、貼り合わせ品質の低下を防止できる接着剤塗布装置、表示装置用部材の製造装置及び表示装置用部材の製造方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0030】

【図1】実施形態の表示装置用部材の製造装置を示す簡略構成図

【図2】実施形態の塗布装置を示す簡略構成図

【図3】実施形態における塗布部、照射部と仮硬化状態を示す斜視図

【図4】塗布部と照射部を示す一部透視平面図

【図5】塗布の始端における接着剤の形態の変化を示す説明図

【図6】塗布の終端における接着剤の形態の変化を示す説明図

【図7】実施形態の貼合装置を示す簡略構成図

【図8】実施形態の硬化装置を示す簡略構成図

【図9】制御装置の構成を示すブロック図

【図10】実施形態における各部の動作を示すタイムチャート

【図11】実施形態における塗布開始から塗布終端手前までの動作を示す説明図

【図12】実施形態における塗布終端から照射終了までの動作を示す説明図

【図13】終端の接着剤の引き伸ばし態様を示す斜視図

【図14】照射部を分割構成とした例を示す斜視図

【図15】照射タイミングが異なる複数の照射源の例を示す一部透視平面図

【図16】配置位置が異なる複数の照射源の例を示す一部透視平面図

【図17】塗布中に照射部と塗布部との間隔を変える例を示す説明図

【図18】塗布部の他の態様を示す斜視図

【図19】貼合時の接着剤の状態を示す説明図

【発明を実施するための形態】

【0031】

本発明の実施の形態（以下、実施形態と呼ぶ）について、図面を参照して具体的に説明する。

【0032】

［構成］
まず、本実施形態の構成を、図１〜図９を参照して説明する。
［ワーク］
本実施形態において、貼り合わせの対象となるワークＳ１、Ｓ２は、表示装置用部材を構成する部材であり、表示パネルに保護パネル（カバーパネル）を接着剤Ｒを介して貼り合わせることにより、表示装置用部材の積層体が構成される。本装置は、このような表示装置用部材の積層体を製造する表示装置用部材の製造装置である。

【0033】

［表示装置用部材の製造装置］
図１に示すように、表示装置用部材の製造装置１００は、接着剤塗布装置１、貼合装置２、硬化装置３及び搬送装置４を有する。表示装置用部材の製造装置１００は、また、制御装置７を備えている。制御装置７は、各部を構成する装置の動作の制御や、ワークＳ１、Ｓ２の搬送タイミングの制御等を行う。

【0034】

搬送装置４は、ワークＳ１、Ｓ２を各部へ搬送する搬送部とその駆動機構から構成される。搬送部としては、たとえば、ターンテーブル、コンベア等が考えられるが、上記の各装置の間でワークＳ１、Ｓ２搬送可能なものであれば、どのような装置であってもよい。

【0035】

ワークＳ１、Ｓ２は、ローダ５によって表示装置用部材の製造装置１００に搬入され、搬送装置４で搬送される。搬送装置４に沿って接着剤塗布装置１、貼合装置２及び硬化装置３が配置されている。不図示のピックアップ手段によって、ワークＳ１、Ｓ２は搬送装置４からピックアップされ、不図示の搬入口を介して各装置への搬入及び搬出がなされる。各装置での、以下に詳述する工程を経て、表示装置用部材Ｌが製造され、アンローダ６によって表示装置用部材の製造装置１００から搬出される。

【0036】

［接着剤塗布装置］
接着剤塗布装置１は、図２に示すように、支持部１２、塗布部１０、照射部１１を有する。
［支持部］
支持部１２は、接着剤塗布装置１におけるワークＳ１を、塗布面を上に向けて支持する。この支持部１２は、ステージ１２ａ、駆動機構１２ｂを有する。ステージ１２ａは、ワークＳ１が載置される平板状のテーブルである。駆動機構１２ｂは、ステージ１２ａを水平方向に往復移動させる機構である。駆動機構１２ｂとしては、例えば、駆動源によって回転するボールねじとすることが考えられる。ただし、載置されたワークＳ１を水平方向に往復移動可能な装置であれば、どのような装置であってもよい。駆動機構１２ｂにおけるステージ１２ａの移動の開始、停止及び速度は、制御装置７によって制御される。

【0037】

［塗布部］
塗布部１０は、例えば、タンクＴに収容された接着剤Ｒを、流通経路である配管及び供給量を調節するバルブを介して、ポンプにより送り出すことによりワークＳ１に供給するスリットを備えたスリットコータである。

【0038】

スリットは、ワークＳ１の塗布面に平行で、ワークＳ１の相対移動の方向に直交する方向に細長く延びた開口であり、その長手方向の長さが、ワークＳ１の幅と同等若しくは僅かに短くなっている。図３に示すように、塗布部１０の先端部分は、このようなスリットをワークＳ１に対向する位置に備えたノズル（スリットノズル）を形成している。

【0039】

さらに、塗布部１０には、遮蔽部１０ａが設けられている。遮蔽部１０ａは、照射部１１からのエネルギーを遮って、ノズル先端の接着剤Ｒに照射されることを防止する部材である。この遮蔽部１０ａは、例えば、塗布部１０の照射部１１側に取り付けられた板状の部材とすることができる。なお、塗布部１０と照射部１１との距離、照射部１１の照射強度、照射方向、照射範囲等によっては、ノズル先端の接着剤Ｒへの照射エネルギーの影響が少ない場合もあり、かかる場合には、遮蔽部１０ａは設けなくてもよい。

【0040】

また、塗布部１０は、例えば、不図示の駆動機構によって、ワークＳ１の塗布面に対して直交する方向に昇降するように設けられている。ノズルからの接着剤Ｒの吐出量は、制御装置７のバルブ制御及びポンプ制御によって調節される。なお、吐出直後の接着剤Ｒの形状は、接着剤Ｒの吐出速度、粘度及び温度、塗布面と塗布部１０との相対移動速度及びクリアランスなどに左右される。また、塗布後の接着剤Ｒの形状は、後述するように変化する。

【0041】

なお、接着剤Ｒは、外部からエネルギーの照射により硬化する樹脂であればよい。例えば、紫外線（ＵＶ）硬化樹脂や熱硬化樹脂が考えられる。本実施形態では、紫外線（ＵＶ）硬化樹脂を用いて説明する。使用される接着剤Ｒの粘度は、特に限定はされない。但し、仮硬化による流動の抑制の必要性が高い粘度としては、２千〜数万ｃｐｓが想定され、比較的粘度の低い２千〜５千ｃｐｓが好ましい。

【0042】

［照射部］
照射部１１は、接着剤Ｒに対して仮硬化のためのエネルギーを照射する処理部である。この照射部１１は、図４に示すように、エネルギーを照射する照射源１１ａを複数有している。この照射部１１においては、例えば、複数のＬＥＤやＬＤ、ランプ等の照射源１１ａが、ワークＳ１の塗布面に平行であって、図中、白矢印で示すワークＳ１の相対移動の方向に直交する方向に等間隔でワークＳ１に対向して配置されている。例えば、接着剤ＲがＵＶ硬化樹脂である場合、照射源１１ａはＵＶ（紫外線）光を出力するものとし、照射源１１ａからのＵＶ光を、ワークＳ１に塗布された接着剤Ｒに照射する。また、接着剤Ｒが熱硬化樹脂の場合は、照射部１１は、熱源からの熱エネルギーを照射することになる。この場合の照射部１１は、例えば、Ｉｒ（赤外線）を出力するものとすることができる。なお、図３では、２列となっているが、１列であっても、３列以上であってもよく、特に限定されない。また、照射源１１ａ同士が密着又は連結していてもよく、その配置も千鳥（ジグザク）状態で配置されていてもよい。

【0043】

照射部１１による照射は、接着剤Ｒが仮硬化状態となるように行われる。仮硬化とは、完全には至らない硬化状態となることをいう。例えば、完全硬化に必要なエネルギー量より少ないエネルギー量を照射することで接着剤Ｒを仮硬化状態にできる。これは、弱い強度で照射することや短い時間で照射することにより、接着剤Ｒを仮硬化状態とすることができる。また、ある種のＵＶ硬化樹脂では、大気中でＵＶ照射すると、酸素阻害等により接着剤Ｒの表面の硬化が進まないタイプの仮硬化状態となる。

【0044】

照射部１１によるエネルギー照射のＯＮ、ＯＦＦ、照射エネルギーの強度は、制御装置７によって制御される。また、照射部１１は、塗布部１０との間隔が可変に構成されている。例えば、図２に示すように、位置変更手段である変位機構１１ｘによって、塗布部１０に対する水平方向の間隔が変動可能に設けられている。この変位機構１１ｘは、塗布部１０との水平方向の間隔を所望の距離に固定した状態と、ワークＳ１の相対移動の方向に塗布部１０とは独立して移動する状態と、を切り替え可能に設けられている。変位機構１１ｘとしては、例えば、駆動源によって回転するボールねじとすることが考えられる。変位機構１１ｘによる照射部１１の移動の開始、停止及び速度は、制御装置７によって制御される。

【0045】

なお、変位機構１１ｘは、照射部１１を水平方向に往復移動可能な装置であれば、どのような装置であってもよい。例えば、変位機構１１ｘに、塗布部１０と独立して移動する機能を設けずに、照射部１１と塗布部１０との間隔を所望の位置に固定できるだけとしてもよい。つまり、相対移動の加減速、定常速度を予め設定すれば、所望の照射タイミングで照射が可能となるように、照射部１１と塗布部１０との間隔を決定することができる。よって、そのように決定された間隔で、照射部１１を配置すればよい。従って、例えば、変位機構１１ｘとしては、塗布部１０を、取り付け穴としての長孔にスライド移動可能に且つ、ねじ等により所望の位置で固定可能な構成としてもよい。複数の取り付け穴のいずれに取り付けるかにより、塗布部１０の位置を変更可能な変位機構１１ｘとしてもよい。スライダにスライド移動可能に設け、複数箇所のストッパにより固定位置を決定できる変位機構１１ｘとしてもよい。このような構成とした場合、温度変化などに応じて、塗布部１０の位置を微調整することができる。

【0046】

さらに、本実施形態では、照射部１１が接着剤Ｒにエネルギーを照射する照射タイミングが、制御装置７によって制御される。この照射タイミングは、発明者が精査した以下のような接着剤Ｒの流動態様に基づいて、接着剤Ｒの表面におけるワークＳ２との貼合面が平坦となる第１のタイミングと、貼合面に崩れが発生する第２のタイミングとの間に設定されている。

【0047】

（接着剤の流動態様）
発明者が、接着剤Ｒの流動を精査したところ、以下のような現象が生じていることが判明した。接着剤ＲがワークＳ１上に平面状に塗布された場合、その塗布された接着剤Ｒの端部は、時間とともにその形状が変化する。つまり、接着剤Ｒが矩形状に塗布された場合、その端部である４辺の形状が、塗布された時から変化する。この時、ワークＳ１と接触する塗布部分に対向する接着剤Ｒの表面側、つまり貼合面となる上面側の形状が主に変化する。この変化は、塗布直後から始まり、一定の時間で収束する。この収束までの時間は、接着剤Ｒの状態（粘度、厚さ、塗布直後の形状等）によって変動する。

【0048】

より具体的には、接着剤Ｒを吐出する塗布部１０のノズルとワークＳ１とを相対的に移動させて、ワークＳ１表面に接着剤Ｒを塗布する場合、塗布直後、つまりワークＳ１の表面に接着剤Ｒが接触した直後の接着剤Ｒにおける塗布の始端の表面は、図５の（ａ）に示すように、ワークＳ１と接着剤Ｒの接触部分をアンカーにして、塗布部１０が移動する方向に引かれて緩やかに傾斜した曲率半径の大きな曲面ｒ１が生じる。同時に、接着剤Ｒには、始端方向、つまり始端での外縁に向かう方向に表面張力が働く。塗布部１０が離れるに従って引っ張られる力が弱くなり、代わりに表面張力が強く働くので、図５の（ｂ）に示すように、表面の断面縁部の角部の曲率半径が最小となる略直角近くまで接着剤Ｒが流動し、接着剤Ｒの表面のうち、他方のワークＳ２との貼合面に、ワークＳ１の表面と略平行な平坦面ｒ２が生じる。この平坦面ｒ２が生じる時点が第１のタイミングである。

【0049】

その後、時間の経過に従って、図５の（ｃ）に示すように、表面張力により、断面角部の接着剤Ｒがさらに外縁に向かう方向とは逆となる内側に移動して、平坦面ｒ２と異なる高さの隆起ｒ３が生じる。このとき、一部に窪みが生じる場合もある。このように接着剤Ｒに隆起、窪みの少なくとも一方が生じた状態を、崩れと呼ぶ。この崩れが生じる時点が第２のタイミングである。この第２のタイミングが過ぎた後も崩れはしばらく続いて収束する。

【0050】

一方、塗布の終端では、塗布部１０が接着剤Ｒの吐出を停止した後、上昇して行くに従って、図６の（ａ）に示すように、接着剤Ｒが引き伸ばされ、その後、図６の（ｂ）に示すように、ワークＳ１側と塗布部１０側の接着剤Ｒが切れるので、その縁部の角部に突出ｒ４が生じる。この突出ｒ４は、図６の（ｃ）に示すように、時間の経過に従って、ワークＳ１側の接着剤Ｒに重力や表面張力等によって吸収されて消失するので、接着剤Ｒの表面のうち、他方のワークＳ２との貼合面に、ワークＳ１の表面と略平行な平坦面ｒ５が生じる。この平坦面ｒ５が生じる時点も、第１のタイミングである。その後、時間の経過に従って、図５（ｃ）と同様に、平坦面ｒ５と異なる高さの崩れが生じる。この崩れが生じる時点も、第２のタイミングである。

【0051】

なお、塗布の始端から終端に至る途中における塗布方向と平行な縁部、つまり側端でも、図５と同様の変化を生じる。但し、後述するように、塗布部１０が移動することによる引っ張り状態や塗布方向との位置関係から、始端とは相違するタイミングで変化が進む。

【0052】

以上から、始端における第１のタイミングと第２のタイミングとの間隔、終端における第１のタイミングと第２のタイミングとの間隔、および側端における第１のタイミングと第２のタイミングとの間隔は、必ずしも一致していない。また、塗布の始端又は側端においては、塗布の開始とほぼ同時に平坦面が生じている場合もある。その場合には、始端又は側端においては、第１のタイミングは塗布開始のタイミングとほぼ同時となる。

【0053】

もし、第１のタイミングよりも早く仮硬化してしまうと、曲率半径の大きな曲面のｒ１状態で形状が固定されてしまうので、図１９（Ｂ）に示したような二重線や、接着剤Ｒの縁部の角部が見えることによる線が生じやすい。第２のタイミングより仮硬化が遅くなると、崩れが生じた状態で形状が固定されてしまうので、図１９（Ｄ）に示すように、ボイドＢが発生しやすい。

【0054】

第１のタイミング、第２のタイミングは、接着剤Ｒの各部に照射を開始するタイミングとして許容される時間の前端と後端となる。接着剤Ｒの各部に対する照射時間は、接着剤Ｒの形状が固定される最低時間であればよい。これは、照射によって生ずる仮硬化の状態に依存する。例えば、少なくとも仮硬化率２０％となることが望ましい。これ以下だと、貼り合わせ時に貼り合わせ圧力で流動し、図１９（Ｃ）に示すように、接着剤Ｒのはみ出しにつながる。

【0055】

以上のことは、特に、照射タイミングの後端となる第２のタイミングに影響する。すなわち、第２のタイミングが、崩れが生じるまでの限界点であるため、照射を第２のタイミングで行うと、上記のような仮硬化率を維持することができない可能性がある。この場合、第２タイミングよりも少し前に、照射タイミングを設定することになる。

【0056】

（照射タイミングの設定態様）
本実施形態における第１のタイミングと第２のタイミングとの間の照射タイミングは、例えば、図５の（ｂ）、図６の（ｃ）に示すように、接着剤Ｒの縁部に平坦面ｒ２、ｒ５が生じてから、これに崩れが生じるまでの間である。崩れが生じるまでとは、崩れがボイドの原因とならない許容範囲内で維持されている状態である。

【0057】

このような照射タイミングの設定は、以下のような態様によって実現できる。
（1） 照射箇所への照射部の到達時間
まず、塗布済の接着剤Ｒに対する照射部１１の到達時間が、上記の第１のタイミングと第２のタイミングの間となるように設定する。つまり、照射部１１によって照射を行いたい接着剤Ｒの位置へ照射部１１が位置付けされ、その照射を行いたい接着剤Ｒの部分が塗布された時から上記照射部１１の位置付けまでの時間、すなわち照射部１１の接着剤Ｒへの到達時間が、第１のタイミングと第２のタイミングの間となるように、塗布部１０と照射部１１との間隔を設定して、塗布部１０と照射部１１の同一箇所への到達時間差を生じさせる。この到達時間差によって、到達とともにエネルギーを照射すると、照射時間差を生じさせることができる。ここでいう間隔は、照射部１１が塗布部１０から独立して移動して、変動する態様も含む。

【0058】

このような間隔設定により、照射部１１が塗布の始端に到達した時に照射を開始して、その後の照射を継続することにより、接着剤Ｒが平坦な状態で仮硬化させることができる。この場合、照射部１１と塗布部１０との間隔の設定によっては、後述のように塗布の終端の手前で照射部１１の照射を一旦停止することなく、照射を連続して行うことも可能となる。

【0059】

(2) 所定時間の設定
接着剤Ｒの塗布開始時から塗布の始端に照射部１０が照射するまでの時間である始端照射タイミングと、接着剤Ｒの塗布終了時から塗布の終端に照射部１０が照射するまでの時間である終端照射タイミングとを設定する。なお、塗布開始時とは、例えば、塗布部１０から吐出した接着剤Ｒがワークに付着して、塗布部１０が相対移動を始める時点をいう。塗布終了時とは、例えば、塗布部１０が接着剤Ｒの吐出を終了して、塗布部１０が上昇を開始する時点をいう。

【0060】

(3) 塗布の始端及び終端におけるタイミング設定
例えば、接着剤Ｒの塗布の始端における第１のタイミングを、塗布部１０の移動により引きずられるようにして、その断面が曲面変形している接着剤Ｒの端面が、その曲面状の変形の曲率が最小状態に戻って平坦化するタイミングとする。一方、接着剤Ｒの塗布の終端における第１のタイミングを、塗布部１０の移動によるワークＳ１側の接着剤Ｒと塗布部１０側の接着剤Ｒとの切り離しにより、ワークＳ１側の接着剤Ｒに生じた突出部分が消失するタイミングとする。また、接着剤Ｒの塗布の始端及び終端における第２のタイミングを、縁部に崩れが発生するタイミングとする。

【0061】

(4) 接着剤の粘度に応じたタイミング設定
また、接着剤Ｒの粘度により、図５及び図６に例示したような接着剤Ｒの変化の速度は異なる。つまり、接着剤Ｒの粘度が高いほど流動が遅くなるので変化が遅く、粘度が低いほど流動が速くなるので変化が速い。このため、接着剤Ｒの粘度が高い程、第１のタイミング及び第２のタイミングを遅くして、接着剤Ｒの粘度が低いほど、第１のタイミング及び第２のタイミングを早くする。

【0062】

（試験）
上記のような接着剤Ｒの粘度は、接着剤Ｒの種類や温度で決まる。さらに、接着剤Ｒの塗布厚も、接着剤Ｒの流動に影響を与える。この塗布厚や初期の塗布形状は、接着剤の吐出量や塗布部１０の移動速度によっても影響される。このため、上記の第１のタイミング、第２のタイミングは、あらかじめ想定される接着剤の種類、温度、塗布厚、塗布動作状態等によって試験を行なって、決定することができる。

【0063】

例えば、第２のタイミングを決定するための試験の例を説明する。まず、ワークＳ１として、１０インチサイズの表示装置用の基板を用い、塗布部１０としてスリットノズルを用いる。この基板に対して、スリットノズルで５秒かけて略全面に接着剤Ｒを塗布する。粘度２５００ｃｐｓの接着剤を、常温で、塗布厚２００μｍで塗布した場合、その縁部は、１〜２秒で崩れが始まる。第２のタイミングは、この崩れの状態を観察して時間を計測することにより求めることができる。この崩れが始まる時間が、例えば、塗布後、始端、終端、側端ともに２秒とすると、第２のタイミングは、塗布開始から２秒となる。第１のタイミングについても、始端においては、塗布開始からの接着剤Ｒの形状、終端においては、塗布終了から接着剤Ｒが切れた後の形状を観察して時間を計測することにより、求めることができる。

【0064】

なお、上記のような試験結果から、粘度、塗布厚、温度、塗布動作状態と、貼合面が平坦化する時間、あるいは崩れが始まる時間との関係式を求め、この関係式に基づいて制御することもできる。

【0065】

［貼合装置］
貼合装置２は、図７（Ａ）に示すように、ワークＳ１、Ｓ２を積層して貼り合せる貼合部２０を備える。貼合部２０は、チャンバ２１内に下側プレート２２と上側プレート２３を対向配置した構成となっている。チャンバ２１は上下動が可能であり、上方に移動すると下側プレート２２と上側プレート２３が外部に開放されワークＳ１、Ｓ２が搬入可能となる。下方に移動すると下側プレート２２と上側プレート２３はチャンバ内に収容され、チャンバ内部に密閉空間が形成される。チャンバ２１は不図示の排気手段によって内部圧力を調整可能となっている。つまり、ワークＳ１、Ｓ２が搬入されると、チャンバ２１が下降して内部が密閉された上で減圧され、減圧雰囲気下で貼り合せが行われるようになっている。

【0066】

下側プレート２２は、支持部として、プレート上に載置されたワークＳ１を支持する。上側プレート２３は、保持部として、ワークＳ２を保持機構により保持する。本実施形態では、例として、下側プレート２２に、接着剤Ｒが塗布されたワークＳ１が支持され、上側プレート２３にワークＳ２が保持される場合を説明する。

【0067】

上側プレート２３の保持機構として、たとえば、静電チャック、メカチャック、真空チャック、粘着チャック等、現在又は将来において利用可能なあらゆる保持機構が適用可能である。複数の種類のチャックを併用することも可能である。上側プレート２３には、駆動部として、昇降機構２５が備えられている。この昇降機構２５によって、上側プレート２３は下側プレート２２に接離可能に移動し、図７（Ｂ）に示すように、上側プレート２３に保持されたワークＳ２を下側プレート２２に支持されたワークＳ１に押し付けて積層する。ワークＳ１とワークＳ２は、ワークＳ１の表面に塗布された接着剤Ｒを介して貼り合わされ、積層体Ｓ１０が形成される。

【0068】

下側プレート２２は、載置されたワークＳ１の位置がずれないように、上側プレート２３と同様の保持機構を備えていてもよい。

【0069】

［硬化装置］
図８に示すように、硬化装置３は、ワークＳ１とワークＳ２を接着している接着剤Ｒを硬化する硬化部３０を備える。硬化部３０は、積層体Ｓ１０が載置されるステージ３１と、ステージ３１上に配置された照射ユニット３３を備える。

【0070】

照射ユニット３３は、硬化エネルギー、例えば、ＵＶを発することができる１つまたは複数のランプやＬＥＤ等から構成されている。照射ユニット３３の照射は、接着剤Ｒを硬化するのに必要な量のエネルギーを照射することができるように調節されている。このエネルギーの量は、照射の強度と時間により調整される。

【0071】

［制御装置］
制御装置７は、表示装置用部材の製造装置１００の動作を制御する装置である。本実施形態においては、特に、上記のように、照射部１１による照射のタイミングが、接着剤Ｒにおける貼合面の形状が平坦となる第１のタイミングと、貼合面の形状に崩れが生じる第２のタイミングとの間となるように、ステージ１２ａの移動、塗布部１０の昇降及び接着剤Ｒの吐出量、照射部１１の照射タイミング、照射強度、移動等を制御する。制御装置７は、例えば、専用の電子回路若しくは所定のプログラムで動作するコンピュータ等によって実現できる。この制御装置の制御による各部の動作の詳細は、本実施形態の作用として後述する。

【0072】

このような制御を実現するための制御装置７の構成を、仮想的な機能ブロック図である図９を参照して説明する。すなわち、制御装置７は、機構制御部７０、記憶部７１、照射指示部７２、照射強度指示部７３、入出力制御部７４を有する。なお、オペレータが、制御装置７を操作するためのスイッチ、タッチパネル、キーボード、マウス等の入力装置については、説明を省略する。

【0073】

機構制御部７０は、支持部３、塗布部１０、照射部１１、貼合部２０、硬化部３０等の
機構部の駆動源、バルブ、スイッチ、電源等を制御する処理部である。

【0074】

記憶部７１は、始端照射タイミング、終端照射タイミング等、本装置の処理に必要な情報を記憶する処理部である。上記のように、始端照射タイミング、終端照射タイミングは、それぞれ第１のタイミングと第２のタイミングとの間に設定されている。

【0075】

照射指示部７２は、始端照射タイミング、終端照射タイミングに従って、照射部１１の照射を制御する処理部である。照射強度指示部７３は、照射部１１の照射強度を制御する処理部である。入出力制御部７４は、制御対象となる各部との間での信号の変換や入出力を制御するインタフェースである。

【0076】

なお、制御装置７には、装置の状態を確認するためのディスプレイ、ランプ、メータ等の出力装置７５が接続されている。上記の第１のタイミング、第２のタイミング、始端照射タイミング、終端照射タイミング等を、出力装置７５に表示してもよい。

【0077】

［作用］
以上のような構成を有する本実施形態の作用を、上記の図１〜図９に加えて、図１０のタイムチャート、図１１及び図１２の状態遷移図を参照して説明する。なお、図１１及び図１２におけるステージ１２ａ、ワークＳ１、Ｓ２、塗布部１０、照射部１１の位置及び大きさ等は、説明のための便宜的な表現に過ぎない。

【0078】

（概要）
まず、図１に示すように、塗布部１０と照射部１１の直下を、ワークＳ１を載置したステージ１２ａが、駆動機構１２ｂによって水平方向（図中、矢印が示す右から左）に、移動する。塗布部１０と照射部１１のステージ１２ａに対する相対移動は、ワークＳ１に対する相対移動と同義である。

【0079】

接着剤Ｒの塗布は、ワークＳ１の一辺の端部（図中、左端）から始まり、これに対向する一辺の端部（図中、右端）で終了する。この塗布が開始する始端側を、塗布上流側とし、塗布が終了する終端側を塗布下流側とする。そして、図３に示すように、塗布部１０の塗布上流側に配置された照射部１１が、その直下の塗布部分に仮硬化のためのエネルギー、例えばＵＶ光を照射することにより、接着剤Ｒを仮硬化状態（図中、網掛け部分）とする。

【0080】

（タイムチャート）
次に、接着剤塗布装置１における各部の動作タイミングを、図１０のタイムチャートを参照して説明する。図１０の横軸は時間である。図１０の縦軸は、(ａ)はステージ１２ａの移動速度、（ｂ）は塗布部１０からの接着剤Ｒの吐出量、（ｃ）は塗布部１０の高さ、（ｄ）は照射部１１による接着剤Ｒへの照射のＯＮ・ＯＦＦ及び照射強度である。また、上記の始端側の第１のタイミングをＴ１、第２のタイミングをＴ２、終端側の第１のタイミングをＴ１´、第２のタイミングをＴ２´で示す。以下、（ａ）〜（ｄ）を詳説する。

【0081】

（ａ）ステージの移動速度
時点Ａは塗布の開始を示す。時点Ｂから時点Ｃは、ステージ１２ａの移動が定常速度となっている時間を示す。この定常速度は、塗布部１０による単位時間当たりの接着剤Ｒの吐出量が一定量の場合に、ワークＳ１に均一な厚さで接着剤Ｒが塗布される一定の速度である。また、この定常速度は、塗布部１０とステージ１２ａの相対移動速度であって、接着剤Ｒの粘度、吐出量、所望の塗布厚等によって相違する。

【0082】

時点Ａからステージ１２ａの速度が加速して行き、時点Ｂで定常速度に達する。ステージ１２ａは、そのまま定常速度を維持し、塗布終了の時点Ｄの手前の時点Ｃから減速を開始し、時点Ｄで一旦停止する。これは、後述するように、塗布済の接着剤Ｒを、塗布部１０の上昇によりノズル側の接着剤Ｒから切り離すためである。接着剤Ｒの切り離しを安定して行い、第１のタイミングまでの変動を抑えるには、停止することが好ましい。但し、接着剤Ｒの粘度等によっては、切り離しが容易な場合があり、そのような場合には、停止をせずに、定常速度のまま又は減速して移動したままで切り離しをしてもよい。その後、ステージ１２ａは、塗布部１０をステージ１２ａ上から退避させて、照射部１１が接着剤Ｒの塗布終端に来るように、時点Ｅから再び移動を開始して、短時間加速した後、減速して時点Ｆで停止する。

【0083】

（ｂ）塗布部からの接着剤の吐出量
時点Ａで、塗布部１０のノズルから接着剤Ｒの吐出が開始する。塗布部１０は、時点Ａから、ステージ１２ａの加速に応じて、ワークＳ１の単位面積当たりの塗布量が一定となるように、吐出量を増加させて行く。時点Ｂから時点Ｃまでは、ステージ１２ａは定常速度を維持しているため、塗布部１０の吐出量も一定とする。これにより、ワークＳ１の単位面積当たりの塗布量が一定となる。時点Ｃから、ステージ１２ａの減速に応じて、ワークＳ１の単位面積当たりの塗布量が一定となるように、塗布部１０は吐出量を減少させて行く。そして、時点Ｄで吐出を停止する。吐出停止時には、供給時とは逆にポンプを動作させることにより、接着剤Ｒの液垂れを防止できる。

【0084】

上記の吐出量は、時点Ａから時点Ｄまでの全てにおいて、所望の一定の塗布厚さになるように決定される。つまり、ステージ１２ａの加減速があっても、定常速度の区間と同じ塗布厚さとなるように、吐出量を変化させる。

【0085】

なお、図１０における（ｂ）は、塗布部１０からの接着剤Ｒの吐出量の変化を示すものであり、接着剤Ｒの供給、供給停止のためのポンプ及びバルブ等の制御タイミングとは必ずしも一致しない。つまり、ポンプ及びバルブ等の制御タイミングと、結果的に生じる吐出量の変化とそのタイミングにはタイムラグが生じるため、このタイムラグを考慮して、吐出量が（ｂ）になるように、ポンプ及びバルブ等が制御される。また、ステージ１２ａの移動開始と接着剤Ｒの吐出を時点Ａとしているが、吐出された接着剤Ｒが塗布部１０のノズル先端とワークＳ１との間に行き渡るまでに僅かな時間がかかる。このため、吐出開始からステージ１２ａの移動開始のタイミングには僅かなずれがある。

【0086】

（ｃ）塗布部の高さ
塗布部１０は、初期状態では、ワークＳ１から離れた待機位置の高さ（待機高さ）にある。接着剤Ｒの塗布を開始するには、塗布部１０は、ワークＳ１に接近して、ノズルからワークＳ１の所望の位置への塗布が可能な高さ（塗布高さ）まで下降する必要がある。

【0087】

つまり、時点Ａより前に、塗布部１０は待機高さから塗布高さまでの下降を開始する。そして、塗布部１０が塗布高さに達した時点Ａで、接着剤Ｒの吐出を開始する。なお、図１０では、塗布高さへの到達のタイミングは、時点Ａと同じになっているが、時点Ａよりも前であれば問題はない。

【0088】

時点Ｄでステージ１２ａが停止した時、塗布部１０は塗布終端となるワークＳ１の終端に位置する。上記の接着剤Ｒの吐出量の制御で述べたように、停止と同時に吐出も終了する。そして、塗布部１０は、待機高さへ上昇する。これにより、ワークＳ１側の接着剤Ｒとノズル側の接着剤Ｒが切れる。待機高さは、このように接着剤Ｒが切れるために十分な高さとする。なお、上記の説明の各動作のタイミングは、一例である。塗布部１０の上下動作と吐出動作は、必ずしもステージ１２ａの移動とタイミングを合わせる必要はない。

【0089】

（ｄ）照射部の照射
時点Ｂでステージ１２ａの移動速度が定常速度となった後、ワークＳ１に塗布されている接着剤Ｒの始端に対して照射部１１によるエネルギー照射を開始する。この照射開始タイミングは、あらかじめ設定された始端照射タイミングに従う。この始端照射タイミングは、第１のタイミングＴ１と第２のタイミングＴ２の間であればよく、必ずしも時点Ｂの後でなくてもよいが、単位面積当たりの照射エネルギー量の均一の観点からは、時点Ｂ以後が好ましい。

【0090】

この始端照射タイミングでは、図５（ｂ）に示すように、接着剤Ｒにおける貼合面が平坦面ｒ２となっていて、この状態で仮硬化する。照射部１１は、ステージ１２ａの移動によって塗布部同様にワークＳ１と相対移動する。したがって、ワークＳ１の移動に連れて塗布される接着剤Ｒに対して相対移動しながらエネルギーを照射する。そして、照射部１１は、ステージ１２ａの移動及び塗布部１０の塗布が終了した時点Ｄで一旦照射を停止する。

【0091】

ステージ１２ａが、照射部１１が接着剤Ｒの塗布終端に来るように、再び移動を開始した時点Ｅで、照射部１１が照射を開始する。ステージ１２ａが短時間加速した後、減速して時点Ｆで停止すると、照射部１１が照射を停止する。

【0092】

このように、照射部１１が照射を一旦停止するのは、以下のような理由による。塗布部１０が塗布の終端で接着剤Ｒを切る動作を行っている時、照射部１１は、その手前の接着剤Ｒの上方で停止することになる。この状態で照射を継続していると、照射部１１の直下の接着剤Ｒは、単位面積当たりの照射エネルギー量が過剰となり、貼り合わせに適さない仮硬化率（８０％以上）となってしまう可能性がある。そこで、ステージ１２ａの停止とともに、照射部１１は一旦照射を停止して、過剰照射を防止している。このように、仮硬化の進行状態を確実にコントロールするためには、照射を一旦停止することが好ましい。但し、照射強度や停止時間によっては、照射エネルギー量が過剰とならない場合もあり、その場合には、照射を停止しなくてもよいし、照射強度を弱めることで対応してもよい。さらに、変位機構１１ｘにより、照射部１１を塗布方向に移動させ続けて、一箇所に照射が集中するのを避けることもできる。

【0093】

このように、照射を一旦停止してから、再度照射を開始するタイミングは、すなわち接着剤Ｒの塗布の終端に対して仮硬化するエネルギーを照射するタイミングであり、あらかじめ設定された終端照射タイミングに従う。この終端照射タイミングは、第１のタイミングＴ１´と第２のタイミングＴ２´の間であればよい。この終端照射タイミングでは、図６（ｃ）に示すように、他のワークとの貼合面が平坦面ｒ５となっていて、この状態で仮硬化する。

【0094】

なお、上記のように、照射部１１による照射を一旦停止させない場合に、停止したステージ１２ａ及び塗布部１０に対して、変位機構１１ｘにより照射部１１を相対移動させることもできる。つまり、照射部１１が照射を停止させずに、移動を開始して塗布部１０に近づいていく。その間は、照射を継続することで、終端近くまで定常速度に近い速度での照射を継続することができる。その後、照射部１１の終端への到達が、第１のタイミングＴ１´の後であれば、終端まで停止せずに照射を継続してもよい。また、照射部１１は、終端の手前で第１のタイミングＴ１´が到来するまで停止するとともに照射を一旦停止して、第１のタイミングＴ１´が到来してから再度移動するとともに照射を開始してもよい。このように、照射部１１が移動する過程では、定常速度を維持することが望ましいが、移動開始時の加速、停止前の減速は必要となる。また、第１のタイミングＴ１´後に終端に到達するように、減速してもよい。

【0095】

（塗布工程）
次に、上記のようなタイムチャートに従った本実施形態の塗布工程を、図１１、図１２を参照して説明する。なお、以下の説明の(1)〜(8)は、図１１及び図１２の(1)〜(8)にそれぞれ対応する。

【0096】

(1)ステージ１２ａが塗布開始位置に移動することにより、待機高さにある塗布部１０の吐出口が、ワークＳ１の塗布始端の直上に位置付けられる。そして、塗布部１０が、塗布高さへの下降を開始する。

【0097】

(2)塗布部１０が塗布高さまで達して停止した後、塗布部１０からの接着剤Ｒの吐出を開始すると、接着剤ＲがワークＳ１に供給される。ワークＳ１から塗布高さの間に接着剤Ｒが行き渡った後に、ステージ１２ａが塗布方向への移動を開始するので、ワークＳ１の表面への接着剤Ｒの塗布が開始する（図１０：時点Ａ）。この時点Ａから、ステージ１２ａは加速し、塗布部１０は接着剤Ｒの吐出量を徐々に増やしていく。

【0098】

(3)時点Ｂにおいて、ステージ１２ａは加速を止めて一定の定常速度となり、塗布部１０の接着剤Ｒの吐出量も増加を止めて一定となる。つまり、この状態で、ステージ１２ａ、ワークＳ１、接着剤Ｒに対する塗布部１０及び照射部１１の相対移動速度は、定常速度になる。照射指示部７２は、塗布の開始すなわちステージ１２ａの移動開始から、時間のカウントを開始して、始端照射タイミングになると、照射部１１に照射を開始させる（図１０：時点Ｃ）。

【0099】

なお、ステージ１２ａの駆動機構１２ｂの設定等から、ステージ１２ａの移動開始から定常速度に達するまでの時間が分かる。このため、この時間に基づいて、ステージ１２ａが定常速度となった後で照射部１１が塗布の始端に来るように、塗布部１０と照射部１１との間隔を設定しておけばよい。これにより、照射部１１の接着剤Ｒへの照射を、塗布の始端から定常速度で行うことができる。

【0100】

但し、塗布の始端への照射は、上述のように始端照射タイミングによって決まる。このため、始端照射タイミングのための第１のタイミングＴ１と第２のタイミングＴ２との間で、照射部１１が始端に照射できるように、塗布部１０と照射部１１との間隔を設定するとよい。従って、定常速度で照射を開始できる間隔は、始端照射タイミングで照射できる間隔であればよい。例えば、設計時において又は変位機構１１ｘを利用して、塗布部１０と照射部１１との間隔を設定することができる。

【0101】

接着剤Ｒの種類を変更した場合等、始端照射タイミングを変更する場合には、照射部１１と塗布部１０との間隔を、適宜変更すればよい。さらに、照射部１１の位置ではなく、照射開始の時間を調整することによっても、接着剤Ｒに対する始端照射タイミングを調整することができる。このため、塗布部１０と照射部１１との間隔、照射部１１の照射のＯＮ、ＯＦＦのタイミング、あるいは両者を組み合わせることにより、始端照射タイミングでの照射を実現することができる。始端照射タイミングで、照射部１１が始端に来るように設定してあれば、始端に到達する前に照射を開始していてもよい。例えば、図１１（２）に示した時点で、照射を開始していてもよい。この場合は、塗布部１０と照射部１１との間隔のみで、始端照射タイミングを調整すればよい。

【0102】

定常速度で照射することにより、単位面積当たりの接着剤Ｒに対する照射エネルギー量を均一化することができる。但し、速度に応じて照射強度を変えることにより、照射エネルギー量を均一化することもできる。また、速度の程度や、接着剤Ｒの粘度、要求される仮硬化の程度によっては、照射強度を一定にして速度が変わっても、ある程度の照射エネルギー量の均一性は維持できるか、又は許容できるバラつきの範囲内に収まる。従って、必ずしも、定常速度で照射を開始しなくてもよい。

【0103】

(4)ステージ１２ａは、塗布部１０がワークＳ１の塗布終端に到達する手前から（図１０：時点Ｃ）、減速を開始する。この減速にしたがって、塗布部１０は、接着剤Ｒの吐出量を徐々に減少させていく。

【0104】

(5)塗布部１０が、ワークＳ１の塗布終端の直上に到達すると、ステージ１２ａは一旦停止するとともに、照射部１１も一旦、照射及び移動を停止する（図１０：時点Ｄ）。この時、塗布部１０は、接着剤Ｒの吐出を停止する。

【0105】

(6)このように塗布部１０に対して、ステージ１２ａが停止した状態で、塗布部１０は上昇して待機高さで停止する。既に、塗布部１０は接着剤Ｒの吐出を停止していているので、塗布部１０が待機高さに達するまでの間のいずれかの時点で、ワークＳ１側とノズル側の接着剤Ｒが切れる。

【0106】

(7)接着剤Ｒが確実に切れたタイミングの後で、ステージ１２ａは再び移動を開始する（図１０：時点Ｅ）。この移動距離は、少なくとも照射部１１が塗布の終端へ到達できる距離である。この間のステージ１２ａの移動速度は、短時間の加速後に減速に転じる。照射指示部７２は、塗布部１０の上昇開始から、時間のカウントを開始して、終端照射タイミングになると、照射部１１に照射を開始させる。この終端照射タイミングは、第１のタイミングＴ１´と第２のタイミングＴ２´の間であればよく、必ずしも時点Ｅでなくてもよいが、照射エネルギー量の均一の観点からは、時点Ｅが好ましい。また、接着剤Ｒが確実に切れるタイミングは、予め試験で確認しておくことで、設定しておくことができる。

【0107】

(8)ステージ１２ａが停止して、照射部１１が塗布の終端に達した時点で、照射部１１は照射を停止する（図１０：時点Ｆ）。なお、必ずしも照射部１１が、塗布の終端上に位置している状態で、ワークＳ１への一連の塗布動作を完了とする必要はない。ステージ１２ａが、塗布の終端上を照射部１１が通過して、ワークＳ１上から退避するまで移動してから停止してもよい。従って、必ずしも照射部１１が終端に達した時点で照射を停止しなくてもよく、照射しながら終端を通過してもよい。

【0108】

なお、図１０の(d)の一点鎖線に示すように、ステージ１２ａの移動速度が低下するに従って、照射強度指示部７３が、照射部１１の照射強度を徐々に低下させ、ステージ１２ａの移動速度が短時間に昇降（変化）するに従って、照射部１１の照射強度を昇降（変化）させることにより、照射エネルギー量の均一化を図ることもできる。

【0109】

また、時点Ｄから、照射部１１を塗布部１０とは独立に移動させてもよい。例えば、時点Ｄから照射部１１が、塗布方向への移動を開始し、その速度を加速していく。ステージ１２ａの減速度と照射部１１の加速度とは、絶対値を同じとすれば、ワークＳ１に対する照射部１１の相対移動は、定常速度が維持される。したがって、塗布の終了のためにワークＳ１と塗布部１０の相対移動速度が変化しても、ワークＳ１上に塗布された接着剤Ｒと照射部１１との相対移動速度は定常速度が維持されて、接着剤Ｒに対する単位面積当たりの照射エネルギー量は維持される。これによって、接着剤Ｒの仮硬化の状態もそれまでと同じに維持される。この場合、照射部１１の塗布の終端への到達のタイミングが、第１のタイミングＴ１´と第２のタイミングＴ１´との間に設定されていればよい。また、照射部１１が塗布の終端に達した時点で停止して、照射も停止してもよいし、終端を通過してから停止して、照射を停止してもよいことは、上記の通りである。

【0110】

（貼合工程）
上記のように、接着剤Ｒが塗布されたワークＳ１は、不図示のピックアップ手段によって塗布部１から搬出され、搬送部４で搬送され、貼合装置２に搬入される。ここで、ワークＳ２も、貼合装置２に搬入される。図７（Ａ）に示すように、下側プレート２２は、プレート上に載置されたワークＳ１を支持する。上側プレート２３は、ワークＳ２を保持機構により保持する。ワークＳ１とワークＳ２の搬送タイミングは、貼合装置２で合流することができるように調整すれば良く、一つに限定されるものではない。

【0111】

例えば、ワークＳ２をワークＳ１と同時に表示装置用部材の製造装置１００に搬入するが、塗布装置１は通過して先に貼合装置２に搬入する。そして、ワークＳ１が塗布装置１で接着剤Ｒを塗布されている間は、貼合装置２において待機していても良い。あるいは、ワークＳ２は、ワークＳ１よりも後のタイミングで表示装置用部材の製造装置１００に搬入し、塗布装置１での塗布が完了したワークＳ１と同じタイミングで貼合装置２に搬入するようにしてもよい。ワークＳ１への塗布にかかる時間とワークＳ２の貼合装置２への搬入にかかる時間との兼ね合いで、ロス時間が生じないようにすればよい。

【0112】

ワークＳ１、Ｓ２が搬入されると、チャンバ２１が下降して内部が密閉された上で減圧され、減圧雰囲気下で、図７（Ｂ）に示すように、上側プレート２３に保持されたワークＳ２を下側プレート２２に支持されたワークＳ１に押し付けて貼り合せが行われる。ワークＳ１とワークＳ２を貼り合せて形成された積層体Ｓ１０は、不図示のピックアップ手段によって貼合装置２から搬出され、搬送装置４で搬送され、硬化装置３に搬入される。

【0113】

（硬化工程）
図８（Ａ）に示すように、搬送装置４で搬送された積層体Ｓ１０は硬化装置３のステージ３１に載置される。そして、図８（Ｂ）に示すように、照射ユニット３３が、接着剤Ｒが完全に硬化するのに必要な量のエネルギーを照射し、接着剤Ｒの硬化が完了する。

【0114】

なお、表示装置用部材の製造装置１００は、塗布装置１、貼合装置２及び硬化装置３の前後又はその間に別の工程を行ってもよい。そのために、表示装置用部材の製造装置１００は、例えば、塗布装置１の前段又は貼合装置２の前段でワークＳ１、Ｓ２の外観を撮像して位置合わせを行う位置合わせ部や、完成した積層体Ｓ１０を梱包するテーピングユニット等を備えてもよい。また、貼り合せ時に生じるワークＳ１とワークＳ２のずれを修正する位置合わせ部や、貼合面に発生したボイドを大気圧で加圧して消滅させる待機時間を確保する待機部等を貼合装置２の後段に備えてもよい。

【0115】

また、搬送装置４、塗布装置１又は貼合装置２に、ワークＳ１を反転する機構を設け、接着剤Ｒが塗布されたワークＳ１を反転して、貼合装置２の上側プレート２３に保持させてもよい。この場合、ワークＳ２を、下側プレート２４に載置して、貼り合わせを行うことができる。もちろん、ワークＳ２を反転して、貼合装置２の上側プレート２３に保持させてもよい。

【0116】

［効果］
（１）以上のような本実施形態によれば、接着剤Ｒの塗布後、平坦面が生じてからそれに崩れが生じるまでに、仮硬化を行うため、隆起や窪みが無い若しくは許容範囲内の状態で接着剤Ｒの形状を固定できる。すなわち、塗布した接着剤Ｒを適切な形状に限定できる。このため、平坦面を維持した状態で、他のワークとの貼り合わせを行うことができる。また、仮硬化を行うことにより、貼り合わせ時における圧力で、接着剤Ｒが外周へ押し出されることを抑制できる。

【0117】

また、照射部１１が照射位置に到達するタイミングが、第１のタイミングと第２のタイミングとの間となるように、照射部１１と塗布部１０との間隔を設定するという簡単な構造で実現することができる。また、あらかじめ試験等により求めた適切な始端照射タイミングと、終端照射タイミングを設定しておけばよいので、制御構成も簡易となる。

【0118】

本実施形態のようなタイミング制御をせずに、塗布の開始前、例えば、図１０の時点Ａよりも前から、照射部１１のエネルギー照射は開始しておき、照射部１１がエネルギーを照射しながら塗布の始端を通過する場合を考える。この場合、照射部１１が塗布の始端を通過する時に、図１０で示した第１のタイミングＴ１を経過しているとは限らない。このため、始端がまだ平坦化する前に仮硬化によって形状が固定されてしまう可能性がある。本実施形態では、第１のタイミングＴ１以降に仮硬化するので、平坦化前に形状が固定されてしまうことがない。また、本実施形態のような始端照射タイミングが設定されていない場合、塗布部１０と照射部１１との配置間隔から、ステージ１２ａが加速中に、エネルギー照射が開始されてしまう場合もある。この場合には、接着剤Ｒの単位面積当たりの照射エネルギー量が均一とならない可能性がある。本実施形態では、ステージ１２ａとの相対移動が定常速度になってから、照射部１１がエネルギー照射を開始するように設定することで、照射エネルギー量を均一化することができる。但し、前述又は後述のように、加速中のエネルギー照射について、照射部１１を塗布部１０から独立して移動させることや、照射強度を調整することで、照射エネルギー量の均一化を実現することもできる。

【0119】

接着剤Ｒの粘度が高いほど、第１のタイミング及び第２のタイミングを遅く、接着剤Ｒの粘度が低いほど、第１のタイミング及び第２のタイミングを早くすることにより、粘度に応じた適切なタイミングを設定できる。つまり、低粘度の接着剤Ｒの場合、接着剤Ｒが流動しやすいが、仮硬化により素早く形状を固定できる。

【0120】

一方、高粘度の場合、塗布の始端は比較的早期に仮硬化を行うべきであるが、塗布の終端では接着剤Ｒに生じる突出部分が残存する時間が長い。このため、単純に始端と終端とを同様のタイミングで照射した場合には、塗布の終端において接着剤Ｒに生じる突出部分が残存したまま固定されてしまう。本実施形態においては、突出部分が消失する第１のタイミングまで仮硬化を待つため、始端、終端ともに均一な貼合が可能となる。

【0121】

さらに、例えば、ワークに対して、塗布を全て完了させた後、全体に対する一照射でまとめて仮硬化する場合、塗布から仮硬化までに時間がかかるため、塗布の始端、終端、その途中で、それぞれの経過時間に伴う形状変化が生じてしまう。本実施形態では、始端、終端、あるいはその途中で刻一刻と変化する塗布形状に対して、どの場所、どのタイミングでも適切な形状で仮硬化させることができるので、それぞれの箇所での経過時間に伴う形状変化が生じない。また、別途、仮硬化用のポジションを設ける必要がないので、装置が大型化することがない。

【0122】

（２）本実施形態のようにステージ１２ａ側の移動によって塗布を行うようにした場合、昇降する塗布部１０と塗布方向に加減速動作を行う照射部１１とを独立に駆動する構成に、さらに塗布方向に移動する構成を組み込む場合に比べて、構成を簡略化できる。

【0123】

（３）塗布部１０として、本実施形態のように直線状の吐出口から吐き出すスリットを有するノズルを用いれば、塗布方向に直交する方向の厚みを容易に均一にすることができ、さらには、移動による面状の塗布も厚みを均一にすることができる。

【0124】

（４）ワークＳに塗布された接着剤Ｒに対する塗布部１０、照射部１１の相対速度が、常に定常速度に維持される。このため、接着剤Ｒに対する単位面積当たりの照射エネルギー量が一定となるので、仮硬化状態の不均一は発生しない。これにより、接着剤Ｒの流動が防止されるとともに、クッション性および接着性は維持されるので、貼り合わせ時の歪み等もなく、均一な接着層を形成でき、また接着性も損なわれない。さらに、塗布部１０は、ワークＳとの相対速度に応じて、接着剤Ｒの塗布量を変化させるので、均一な厚みの塗布が可能となる。

【0125】

［他の実施形態］
上記のように、接着剤の塗布の始端と終端における塗布直後から形状が変化し始め、平坦部が生じて、その後、崩れが生じる現象は、塗布方向に平行な縁部、つまり、側端においても生じる。但し、この側端では、塗布後に形状が変化する現象は、始端よりも速く進行する場合がある。例えば、図５の（ａ）から図５の（ｂ）、図５の（ｃ）の状態になる速度が速い場合や、図６の（ａ）から図６の（ｂ）、図６の（ｃ）の状態になる速度が速い場合がある。

【0126】

特に、図１３に示すように、塗布の終端においては、接着剤Ｒが引き伸ばされる過程で、側端が先に分離して、中央部分が最後に分離する。以上のことから、例えば、塗布の終端の側端における第２のタイミングは、その終端の中央部分における第２のタイミングよりも早く設定してもよい。

【0127】

塗布の始端、側端、終端における接着剤Ｒの変化を起こす力には、以下のような特徴がある。
（始端）
スリットから接着剤Ｒを吐出しながら塗布部１０が相対移動することにより、ワークＳ１の表面へ接触した（塗布された）接着剤Ｒは塗布方向へ引っ張られる。また、始端での外縁に向かう始端方向への表面張力が働く。つまり、塗布部１０が相対移動する方向に働く引張力と、平坦面、崩れを生じさせる表面張力の方向は逆となる。
（側端）
上記の塗布方向と側端の面が向かう方向が、略直交する方向となっているので、塗布方向の引張力と外縁に向かう表面張力が略９０度ずれている。このため、引張力と表面張力の相殺の度合いが弱まり、側端での外縁に向かう側端方向に働く表面張力は、始端よりも強く働く。
（終端）
塗布部１０は塗布方向に対して停止しているので、上記のような塗布部１０の相対移動に伴う引張力は働かない。塗布部１０が接着剤Ｒを切り離すための動作方向にかかる引張力と、接着剤Ｒの表面に生じる表面張力とが複雑に影響し合うことになる。そして、接着剤Ｒが切れた後は、表面張力のみがかかるが、変化の状態は、中央部の突出部が生じることの影響を受ける。（図６、図１３参照）。
以上のことから、第１、第２のタイミングは、側端が最も早く、次に始端、終端の側部、最後が終端中央部となる。

【0128】

このようなさまざまなタイミングを実現するために、以下のような構成とすることも可能である。
(1) 照射部を分割構成して照射タイミングを変える
図１４に示すように、照射部１１を、中央部分の照射部１１Ａと、両側端の照射源１１Ｂに分割構成し、複数の照射源１１ａの一部が、塗布箇所への到達時間に差が生じるように、照射部１１Ａと照射部１１Ｂとを独立に移動可能に設ける。これにより、接着剤Ｒの塗布方向に平行な側端における照射タイミングを、中央部分における照射タイミングよりも早くする。

【0129】

(2) 複数の照射源の照射タイミングを変える
図１５に示すように、照射部１１に、塗布方向に複数の照射源１１ａを設け、複数の照射源１１ａの照射タイミングを変えることにより、接着剤Ｒの塗布方向に平行な側端における照射タイミングを、中央部分における照射タイミングよりも早くする。かかる構成とすれば、接着剤Ｒの変化の態様に応じて、照射タイミングを種々の態様に変更することができる。なお、図１５の照射源１１ａは、白丸が照射状態、黒丸が非照射状態である。さらに、図１６に示すように、側端における照射源１１ａの配置位置を、中央部分から塗布方向にずらすことにより、側端における照射タイミングを、中央部分における照射タイミングよりも早くすることもできる。

【0130】

始端照射タイミング及び終端照射タイミングは、それぞれ第１のタイミング、第２のタイミングの間であればよい。始端における第１のタイミング及び第２のタイミングの間隔と、終端における第１のタイミング及び第２のタイミングの間隔、さらに始端照射タイミングと終端照射タイミングがそれぞれ第１のタイミングと第２のタイミングの間のどの時点とするかは、必ずしも一致しない。塗布部１０と照射部１１との間隔は、始端照射タイミングが始端における第１のタイミング及び第２のタイミングの間になるとともに、終端照射タイミングが終端における第１のタイミング及び第２のタイミングの間になるように設定すればよい。但し、塗布中に、照射部１１と塗布部１０との間隔を変えて、終端への到達タイミングを調整してもよい。例えば、図１６に示すように、定常速度で移動中に、塗布方向に徐々に移動することにより、終端照射タイミングを第２のタイミングＴ２´に近づけたり、これと逆方向に徐々に移動することにより、終端照射タイミングを第１のタイミングＴ１´に近づけたりすることもできる。このように、始端及び終端の照射タイミングの制御に、側端への照射タイミングの制御を含めることで、よりきめ細かな形状の限定が可能となる。

【0131】

接着剤Ｒは、貼り合わせのために必要な面状に塗布されればよい。例えば、ワークＳ１の片面の全体に行き渡るように塗布してもよいし、一部に塗布されていない領域があってもよい。また、接着剤ＲがワークＳ１の縁に達していてもよいし、達していなくてもよい。接着剤ＲがワークＳ１の縁の一部に達していて、一部に達していない部分があってもよい。

【0132】

つまり、接着剤Ｒは、少なくとも表示装置の視野領域に対して一つの面状の塗布がされていれば良い。例えば表示パネルの表示領域の側部に駆動回路部などが存在する場合、駆動回路部分には接着剤Ｒを塗布しないが、表示領域には切れ目のない面状の接着剤塗布がなされる。

【0133】

また、接着剤Ｒを吐出するノズルとして、スリットノズルを例に挙げて説明したが、塗布部１０は、スリットノズルに限られない。例えば、塗布部１０を、スリットノズルの代わりに、多数の針状ノズルが並んだマルチノズルとして、このマルチノズルによって接着剤Ｒを複数のスジ状に塗布してもよい。複数のスジ状に塗布された接着剤Ｒ同士が展延して一体化して面状になっても、スリットノズルによる塗布と同様に、面状の塗布が可能である。例えば、図１８に示すように、塗布部１０からの接着剤Ｒが複数のスジ状に塗布され、各スジの接着剤Ｒが流動して一体化した後に、照射部１１からエネルギーを照射することにより、仮硬化させる。

【0134】

この場合、例えば、矩形の面状に塗布された四辺の縁部以外に、中央部においては、スジ状の接着剤Ｒが一体化するまで、仮硬化のための照射を待つ必要がある。すなわち、この場合、中央部における第１のタイミングは、縁部とは相違することになる。したがって、本願実施形態において、始端、終端、側端に加えて、中央部についても、仮硬化の照射を開始する照射タイミングを設定することもできる。これにより、マルチノズルでの塗布も適切な形状に限定することができる。

【0135】

貼り合せ対象となるワークＳ１、Ｓ２は、表示装置を構成する積層体となる部材であって、片面に接着剤Ｒを面状に塗布して貼り合わせるものであれば、その大きさ、形状、材質等は問わない。つまり、偏光板等を含む表示パネル、操作用のタッチパネル、表面を保護する保護パネル、平板状のバックライトやバックライトの導光板等、これらの少なくとも２種を貼合して表示装置用部材を構成するものであればよい。表示装置としても、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等、貼り合わされる平板状のワークを有し、現在又は将来において利用可能な表示装置を広く含む。

【0136】

また、互いに貼り合わされる一対のワークＳ１、Ｓ２は、１枚であっても、複数枚の積層体であってもよい。表示パネル、駆動回路、プリント基板を貼合した積層体に、さらに、タッチパネル、保護パネル又は複合パネルを貼合する等であってもよい。すなわち、表示装置用部材として積層されるワークの積層数は、特定の数には限定されない。

【0137】

接着剤Ｒが塗布されるワークＳ１は、表示装置の表示パネルまたは表示パネルを含む積層体であってもよいし、保護パネル、タッチパネル又はタッチパネルを含む保護パネル（複合パネル）であってもよい。但し、偏光板やカラーフィルタ等を含む表示パネルは、歪みも大きく、その歪みの固体差も大きい。保護パネルのみ、タッチパネルのみ又はそれらの複合パネルのように、シンプルな構成のものの方が、歪みが少なく、接着剤Ｒを均一に塗布しやすい。なお、接着剤Ｒの流動を抑制してボイドの発生を防止することは、平板上のバックライトやバックライトの導光板等を貼り合わせる場合にも要求される。つまり、バックライトや導光板もワークＳ１、Ｓ２として捉えることができる。接着剤Ｒは、積層体、バックライト、導光板のいずれに塗布してもよいが、この場合にも、シンプルな構成のバックライト、導光板側に塗布することが好ましい。

【0138】

また、貼り合わされるワークＳ１、Ｓ２の双方に接着剤Ｒを塗布してもよい。双方のワークＳ１、Ｓ２に接着剤Ｒを塗布する場合、一方に塗布した接着剤Ｒのみ仮硬化させても、双方に塗布した接着剤Ｒを仮硬化させてもよい。双方に接着剤Ｒを塗布する場合、塗布装置をそれぞれ設けても良いし、１つの塗布装置に双方のワークＳ１、Ｓ２を順に投入してもよい。

【0139】

ステージ１２ａによりワークＳ１側を移動させるのではなく、塗布部１０及び照射部１１側を移動させることにより、塗布を行なってもよい。この場合も、塗布部１０の加速時及び減速時には、照射部１１は塗布部１０とは独立して減速及び加速することにより、上記と同様の定常速度の維持が可能となる。

【0140】

照射部１１は、上記で例示したように、照射強度を変化させることにより、接着剤Ｒの単位面積当たりの照射エネルギー量を一定とすることもできる。つまり、塗布部１０とワークＳ１との相対移動の速度が加速して行くときには、照射エネルギー量を徐々に増加させ、相対移動の速度が一定の時は照射エネルギー量を一定として、相対移動の速度が減速していくときには、照射エネルギー量を徐々に減少させていく。これにより、照射エネルギーを均一にするために、ワークＳ１に対する照射部の相対移動速度を維持する必要がなくなり、照射部１１を塗布部１０に対して独立に移動可能に構成する必要がなくなるので、装置構成をさらに簡略化できる。

【0141】

このような照射エネルギー量の変化は、照射強度指示部７３が、照射部１１の各照射源１１ａの発光（出力）強度を変化させるばかりでなく、複数ある照射源１１ａのうち、照射させる照射源１１ａの数を変化させることにより実現できる。例えば、照射部１１における長手方向に配置された複数の照射源１１ａの発光（出力）の有無若しくは発光（出力）強度を制御する。また、照射部１１を、昇降機構によって昇降可能に設け、照射強度指示部７３が、この昇降を制御することによって、照射部の照射強度、照射幅等を調整することによっても、実現可能である。

【0142】

照射部１１の構成も、複数の照射源１１ａを配列したものには限定されない。ステージ１２ａとは関係なく別に構成された照射源１１ａからの光を、光ファイバーによって導くことにより、その先端を照射部１１として構成してもよい。また、照射部１１として、塗布部１０のスリットと平行な線状に照射させる光学部材を備えていてもよい。光学部材としては、例えば、集光レンズ、スリット等が適用可能である。照射強度は、照射源１１ａの強度調整による他、かかる光学部材によっても調整可能である。照射幅等も、かかる光学部材によって調整可能である。また、照射範囲を選択的に変更できるシャッター、マスク等の遮蔽部を備えてもよい。

【0143】

照射部１１を、エネルギーをスポット的に照射する装置として、この照射部１１を、走査機構により、塗布部１０のスリットと平行（塗布方向に直交する方向）若しくはこれに近似した方向に走査する構成とすることもできる。この場合も、照射タイミングを、上記の第１のタイミングと第２のタイミングとの間に設定することにより、平坦面を維持できる。

【0144】

また、上記で例示したように、照射強度を変化させることにより、照射エネルギーを一定とすることもできる。つまり、塗布部１０とワークＳ１との相対移動が加速する時には照射部１１の照射強度を増加させて、相対移動の速度が一定の時には照射強度を一定として、相対移動が減速する時には照射強度を低下させる。これにより、照射箇所について、単位面積当たりの照射エネルギーが一定となるようにすることもできる。さらに、複数の照射源１１ａを、塗布方向に順次発光させることによって、照射部１１の移動に代えることもできる。これにより、機構の簡素化を図ることができる。

【0145】

照射部１１と、塗布部１０との間隔を、接着剤Ｒの貼合面に平坦面が生じて、崩れが生じる前に、照射が開始できる間隔とすれば、照射を一旦停止させることなく、継続的に照射し続けることもできる。照射エネルギーの均一化が厳密には要求されない場合には、始端照射タイミングと終端照射タイミングを上記のように設定できれば、塗布部１０、ステージ１２ａの制御は、上記の速度制御、吐出量制御の態様には限定されない。

【0146】

接着剤塗布装置１におけるステージ１２ａ上へのワークＳの支持は、バキュームチャック、静電チャック、メカチャック、粘着チャック等、現在又は将来において利用可能なあらゆる保持機構により、安定化させることができる。複数の種類の保持機構を併用することも可能である。

【0147】

使用する接着剤Ｒの種類は、紫外線硬化型の樹脂には限定されない。電磁波や熱の照射により硬化する樹脂が一般的であるが、現在又は将来において利用可能なあらゆる接着剤であって、エネルギーの照射により硬化するものに適用可能である。この場合、接着剤の種類に応じて、照射部を、種々の赤外線、放射線等の照射装置、加熱装置、乾燥装置等に変えることになる。

【符号の説明】

【0148】

１…接着剤塗布装置
１０…塗布部
１０ａ…遮蔽部
１１…照射部
１１ａ…照射源
１１ｘ…変位機構
１２…支持部
１２ａ…ステージ
１２ｂ…駆動機構
２…貼合装置
２０…貼合部
２１…チャンバ
２２…下側プレート
２３…上側プレート
２５…昇降機構
３…硬化装置
３０…硬化部
３１…ステージ
３３…照射ユニット
４…搬送装置
５…ローダ
６…アンローダ
７…制御装置
７０…機構制御部
７１…記憶部
７２…照射指示部
７３…照射強度指示部
７４…入出力制御部
７５…出力装置
１００…表示装置用部材の製造装置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】