特許6272469スズ金属ターゲットを利用したスズ酸化物層の形成方法

発明の名称　スズ金属ターゲットを利用したスズ酸化物層の形成方法

出願人　アールエフトロン　カンパニー　リミテッド　（識別番号 514252913）

　　　　特許公開件数ランキング 13975 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 11821 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6272469

公報発行日　2018年1月31

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6272469

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