特許 6274809 薄膜蒸着用マスク組立体およびその製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6274809

(24)【登録日】2018年1月19日

(45)【発行日】2018年2月7日

(54)【発明の名称】薄膜蒸着用マスク組立体およびその製造方法

(51)【国際特許分類】

   C23C 14/04 20060101AFI20180129BHJP

   H05B 33/10 20060101ALI20180129BHJP

   H01L 51/50 20060101ALI20180129BHJP

【ＦＩ】

   C23C14/04 A

   H05B33/10

   H05B33/14 A

【請求項の数】14

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2013-216761(P2013-216761)

(22)【出願日】2013年10月17日

(65)【公開番号】特開2014-114504(P2014-114504A)

(43)【公開日】2014年6月26日

【審査請求日】2016年10月5日

(31)【優先権主張番号】10-2012-0142767

(32)【優先日】2012年12月10日

(33)【優先権主張国】KR

(73)【特許権者】

【識別番号】512187343

【氏名又は名称】三星ディスプレイ株式會社

【氏名又は名称原語表記】Ｓａｍｓｕｎｇ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｃｏ．，Ｌｔｄ．

(74)【代理人】

【識別番号】110000408

【氏名又は名称】特許業務法人高橋・林アンドパートナーズ

(72)【発明者】

【氏名】韓 政 ▲えん▼

【審査官】 山田 頼通

(56)【参考文献】

【文献】 特開平０７−０４９５７５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−００６２５７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１３／１５０６９９（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２００３−０６８４５４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−３５３５１０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−３１０１８３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｃ２３Ｃ １４／００−１４／５８

Ｈ０１Ｌ ５１／５０

Ｈ０５Ｂ ３３／１０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

開口部を有するフレーム本体と、フレーム本体上に少なくとも一方向に沿って移動可能に設けられる複数の移動部材とを備えたフレームと、
複数のパターン開口部を有し、引張力が加えられた状態で前記複数の移動部材に固定されるマスクと、を含み、
前記複数の移動部材それぞれは、マスク固定面を含むマスク固定部と、前記フレーム本体に固定され前記マスク固定部に接続されて前記マスク固定部の移動を制御する移動制御部と、を含み、
前記移動制御部は、移動ガイドを含む制御部本体と、前記フレーム本体に相対する前記マスク固定部の後面に固定された雌ねじ部と、前記制御部本体に設けられ、前記雌ねじ部に締結される調整ねじと、を含み、
前記マスク固定部は、前記制御部本体を収容する収容部と、前記移動ガイドに対応するガイド溝とを有することを特徴とするマスク組立体。

【請求項2】

前記マスクは、第１方向および第１方向と交差する第２方向に沿って引っ張られ、前記複数の移動部材に固定されることを特徴とする請求項１に記載のマスク組立体。

【請求項3】

前記フレーム本体は、前記第１方向に並ぶ一対の第１直線部と、前記第２方向に並ぶ一対の第２直線部とを含み、
前記複数の移動部材は、前記一対の第１直線部と前記一対の第２直線部それぞれにおいて複数個備えられ、移動方向と変位が独立に制御されることを特徴とする請求項２に記載のマスク組立体。

【請求項4】

前記複数の移動部材は、
前記一対の第１直線部に設けられ、前記第２方向に沿ってスライディングする複数の第１移動部材と、
前記一対の第２直線部に設けられ、前記第１方向に沿ってスライディングする複数の第２移動部材と、を含むことを特徴とする請求項３に記載のマスク組立体。

【請求項5】

前記複数の移動部材は、前記フレーム本体のコーナー側に設けられ、第３方向に沿ってスライディングする複数の第３移動部材を含むことを特徴とする請求項４に記載のマスク組立体。

【請求項6】

前記第１移動部材の前記調整ねじは前記第２方向に並び、
前記第２移動部材の前記調整ねじは前記第１方向に並び、
前記第１方向と前記第２方向は前記マスクの幅方向であることを特徴とする請求項４又は５に記載のマスク組立体。

【請求項7】

前記第３移動部材の前記調整ねじは前記第３方向に並び、
前記第３方向は前記マスクの幅方向であることを特徴とする請求項５に記載のマスク組立体。

【請求項8】

開口部を有するフレーム本体と、フレーム本体上に少なくとも一方向に沿って移動可能に設けられる複数の移動部材とを備えたフレームと、
複数のパターン開口部を有し、引張力が加えられた状態で前記複数の移動部材に固定されるマスクと、を含み、
前記マスクは、第１方向および第１方向と交差する第２方向に沿って引っ張られ、前記複数の移動部材に固定され、
前記フレーム本体は、前記第１方向に並ぶ一対の第１直線部と、前記第２方向に並ぶ一対の第２直線部とを含み、
前記複数の移動部材は、前記一対の第１直線部と前記一対の第２直線部それぞれにおいて複数個備えられ、移動方向と変位が独立に制御され、
前記複数の移動部材それぞれは、
マスク固定面を含むマスク固定部と、
前記フレーム本体と前記マスク固定部との間に設けられ、前記マスク固定部を前記第１方向および前記第２方向に沿って移動させる第１移動制御部および第２移動制御部とを含み、
前記第１移動制御部は、前記フレーム本体に固定され、
前記第２移動制御部は、前記第１移動制御部と前記マスク固定部との間に位置し、
前記第１移動制御部と前記第２移動制御部との間に支持台が位置し、
前記第１移動制御部は、第１移動ガイドを含む第１制御部本体と、前記支持台の後面に固定された第１雌ねじ部と、第１制御部本体に設けられ、第１雌ねじ部に締結される第１調整ねじとを含み、
前記第２移動制御部は、第２移動ガイドを含む第２制御部本体と、前記マスク固定部の後面に固定された第２雌ねじ部と、第２制御部本体に設けられ、第２雌ねじ部に締結される第２調整ねじとを含むことを特徴とするマスク組立体。

【請求項9】

前記第１調整ねじは前記第２方向に並び、
前記第２調整ねじは前記第１方向に並び、
前記第１方向と前記第２方向は前記マスクの幅方向であることを特徴とする請求項８に記載のマスク組立体。

【請求項10】

前記支持台は、前記第１制御部本体を収容する第１収容部と、前記第１移動ガイドに対応する第１ガイド溝とを有し、
前記マスク固定部は、前記第２制御部本体を収容する第２収容部と、前記第２移動ガイドに対応する第２ガイド溝とを有することを特徴とする請求項８に記載のマスク組立体。

【請求項11】

フレーム本体と、フレーム本体上に少なくとも一方向に沿って移動可能に設けられた複数の移動部材とを含むフレームを用意するステップと、
マスクに引張力を加えた状態でマスクを前記複数の移動部材に固定させるステップと、
前記複数の移動部材の少なくとも１つの移動部材をスライディングし、前記マスクの引張力を調整するステップと、を含み、
前記複数の移動部材それぞれは、マスク固定面を含むマスク固定部と、前記フレーム本体に固定され前記マスク固定部に接続されて前記マスク固定部の移動を制御する移動制御部と、を有し、前記移動制御部は、移動ガイドを含む制御部本体と、前記フレーム本体に相対する前記マスク固定部の後面に固定された雌ねじ部と、前記制御部本体に設けられ、前記雌ねじ部に締結される調整ねじと、を有し、
前記マスク固定部は、前記制御部本体を収容する収容部と、前記移動ガイドに対応するガイド溝と、を有し、前記ガイド溝に沿って前記少なくとも１つの移動部材をスライディングし前記マスクの引張力を調整することを特徴とするマスク組立体の製造方法。

【請求項12】

前記フレーム本体は、４つの直線部を含み、
前記複数の移動部材は、前記４つの直線部それぞれにおいて複数個備えられ、移動方向と変位が独立に制御されることを特徴とする請求項１１記載のマスク組立体の製造方法。

【請求項13】

前記複数の移動部材には、前記マスクの引張力による圧縮力が作用し、
前記複数の移動部材それぞれは、圧縮力が作用する一方向に沿ってスライディングし、前記マスクの引張力を調整することを特徴とする請求項１２記載のマスク組立体の製造方法。

【請求項14】

前記複数の移動部材それぞれは、圧縮力が作用する方向と交差する方向に沿ってスライディングし、前記マスクに形成されたパターン開口部の位置を変更させることを特徴とする請求項１３記載のマスク組立体の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、マスク組立体に関するものであって、より詳細には、有機発光層または金属層などの薄膜蒸着工程に用いられるマスク組立体およびその製造方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

平板表示装置として、液晶表示装置（ＬＣＤ）と有機発光表示装置（ＯＬＥＤ）が知られている。平板表示装置は、特定パターンの金属層を含み、有機発光表示装置の場合、画素ごとに特定パターンの有機発光層を形成している。金属層と有機発光層を形成する方法として、マスク組立体を用いた蒸着法が適用できる。

【0003】

マスク組立体は、蒸着しようとする金属層または有機発光層と同じ形状のパターン開口部が形成されたマスクと、マスクを支持するフレームとから構成される。マスクが大面積化するにつれ、パターン開口部形成のためのエッチング誤差が大きくなり、自重によってマスクの中央部が垂れ下がる現象が生じ得るため、マスクは引張力が加えられた状態でフレームに溶接で固定される。

【0004】

しかし、フレームに固定されたマスクは、以降、引張力の調整が不可能であるため、マスクを引っ張らせ、これをフレームに溶接する工程に多くの時間と労力が消耗し、引張および溶接の過程で問題が発生したマスクは廃棄される。また、蒸着工程に用いられたマスクは、パターン開口部の均一度と画素位置精度（ｐｉｘｅｌ ｐｏｓｉｔｉｏｎ ａｃｃｕｒａｃｙ）が減少する現象が発生することがあり、このような問題が発生したマスクはフレームから分離された後廃棄される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】韓国公開特許第１０−２００９−０１１０９７９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであって、本発明の目的は、マスクがフレームに固定された後、追加的にマスクの引張力を調整できるように構成され、廃棄されるマスクの数を減少させることができるマスク組立体およびその製造方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本記載の一実施形態にかかるマスク組立体は、ｉ）開口部を有するフレーム本体と、フレーム本体上に少なくとも一方向に沿って移動可能に設けられる複数の移動部材とを備えたフレームと、ｉｉ）複数のパターン開口部を有し、引張力が加えられた状態で複数の移動部材に固定されるマスクとを含む。

【0008】

マスクは、第１方向および第１方向と交差する第２方向に沿って引っ張られ、複数の移動部材に固定できる。フレーム本体は、第１方向に並ぶ一対の第１直線部と、第２方向に並ぶ一対の第２直線部とを含むことができる。複数の移動部材は、一対の第１直線部と一対の第２直線部それぞれにおいて複数個備えられ、移動方向と変位が独立に制御できる。

【0009】

複数の移動部材は、一対の第１直線部に設けられ、第２方向に沿ってスライディングする複数の第１移動部材と、一対の第２直線部に設けられ、第１方向に沿ってスライディングする複数の第２移動部材とを含むことができる。複数の移動部材は、フレーム本体のコーナー側に設けられ、第３方向に沿ってスライディングする複数の第３移動部材を含むことができる。

【0010】

複数の移動部材それぞれは、マスク固定面を含むマスク固定部と、フレーム本体に固定され、マスク固定部に結合されてマスク固定部の移動を制御する移動制御部とを含むことができる。

【0011】

移動制御部は、移動ガイドを含む制御部本体と、フレーム本体に相対するマスク固定部の後面に固定された雌ねじ部と、制御部本体に設けられ、雌ねじ部に締結される調整ねじとを含むことができる。マスク固定部は、制御部本体を収容する収容部と、移動ガイドに対応するガイド溝とを有することができる。

【0012】

第１移動部材の調整ねじは第２方向に並び、第２移動部材の調整ねじは第１方向に並ぶことができる。第１方向と第２方向はマスクの幅方向であり得る。第３移動部材の調整ねじは第３方向に並ぶことができる。第３方向はマスクの幅方向であり得る。

【0013】

他方で、複数の移動部材それぞれは、マスク固定面を含むマスク固定部と、フレーム本体とマスク固定部との間に設けられ、マスク固定部を第１方向および第２方向に沿って移動させる第１移動制御部および第２移動制御部とを含むことができる。

【0014】

第１移動制御部は、フレーム本体に固定され、第２移動制御部は、第１移動制御部とマスク固定部との間に位置し、第１移動制御部と第２移動制御部との間に支持台が位置することができる。

【0015】

第１移動制御部は、第１移動ガイドを含む第１制御部本体と、支持台の後面に固定された第１雌ねじ部と、第１制御部本体に設けられ、第１雌ねじ部に締結される第１調整ねじとを含むことができる。第２移動制御部は、第２移動ガイドを含む第２制御部本体と、マスク固定部の後面に固定された第２雌ねじ部と、第２制御部本体に設けられ、第２雌ねじ部に締結される第２調整ねじとを含むことができる。

【0016】

第１調整ねじは第２方向に並び、第２調整ねじは第１方向に並ぶことができる。第１方向と第２方向はマスクの幅方向であり得る。支持台は、第１制御部本体を収容する第１収容部と、第１移動ガイドに対応する第１ガイド溝とを有することができる。マスク固定部は、第２制御部本体を収容する第２収容部と、第２移動ガイドに対応する第２ガイド溝とを有することができる。

【0017】

本記載の一実施形態にかかるマスク組立体の製造方法は、ｉ）フレーム本体と、フレーム本体上に少なくとも一方向に沿って移動可能に設けられた複数の移動部材とを含むフレームを用意するステップと、ｉｉ）マスクに引張力を加えた状態でマスクを複数の移動部材に固定させるステップと、ｉｉｉ）複数の移動部材の少なくとも１つの移動部材をスライディングし、マスクの引張力を調整するステップとを含む。

【0018】

フレーム本体は、４つの直線部を含み、複数の移動部材は、４つの直線部それぞれにおいて複数個備えられ、移動方向と変位が独立に制御できる。

【0019】

複数の移動部材には、マスクの引張力による圧縮力が作用し、複数の移動部材それぞれは、圧縮力が作用する一方向に沿ってスライディングし、マスクの引張力を調整することができる。複数の移動部材それぞれは、圧縮力が作用する方向と交差する方向に沿ってスライディングし、マスクに形成されたパターン開口部の位置を変更させることができる。

【発明の効果】

【0020】

本発明のマスク組立体は、溶接過程で問題が発生したマスクと、蒸着工程に用いられた後、パターン開口部の均一度と画素位置精度が減少したマスクとに対して引張力を調整し、良品として修理することができる。したがって、廃棄されるマスクの数を減らして製造費用を低減し、マスクの入れ替えにかかる時間を短縮して蒸着器の連続稼働時間を増加させることにより、製品の生産性を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】本発明の第１実施形態にかかるマスク組立体の分解斜視図である。

【図2】本発明の第１実施形態にかかるマスク組立体の平面図である。

【図3】図１のＡ部分を示す拡大図である。

【図4】図３に示したマスク固定部と移動部材の断面図である。

【図5】本発明の第２実施形態にかかるマスク組立体の平面図である。

【図6】図５に示した移動部材の斜視図である。

【図7】図６に示した第１移動部材と支持台の断面図である。

【図8】図６に示した第２移動部材とマスク固定部の断面図である。

【図9】本発明の一実施形態にかかるマスク組立体の製造方法を示す工程フローチャートである。

【図10】図９に示した第２ステップのマスク組立体を示す断面図である。

【図11】図９に示した第３ステップのマスク組立体を示す断面図である。

【図12】図９に示した第３ステップのマスク組立体を示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0022】

以下、添付した図面を参考にして、本発明の実施形態について、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者が容易に実施できるように詳細に説明する。本発明は、種々の異なる形態で実現可能であり、ここで説明する実施形態に限定されない。

【0023】

明細書全体において、ある部分がある構成要素を「含む」とする時、これは、特に反対となる記載がない限り、他の構成要素をさらに包含できることを意味する。また、明細書全体において、層、膜、領域、板などの部分が他の部分「上に」または「の上に」あるとする時、これは、他の部分の「真上に」ある場合のみならず、その中間にさらに他の部分がある場合も含む。さらに、「〜上に」または「〜の上に」とは、対象部分の上または下に位置することを意味し、必ずしも重力方向を基準として上側に位置することを意味しない。

【0024】

図１と図２はそれぞれ、本発明の第１実施形態にかかるマスク組立体の分解斜視図と結合状態平面図である。

【0025】

図１と図２を参照すれば、第１実施形態のマスク組立体１００は、複数のパターン開口部１５を形成するマスク１０と、複数のパターン開口部１５を露出させる開口部２１を形成し、マスク１０を支持するフレーム２０とを含む。フレーム２０は、フレーム本体２２と、フレーム本体２２に設けられた複数の移動部材３０とを含み、マスク１０は、複数の移動部材３０に溶接で固定される。

【0026】

マスク１０は、四角形の薄い金属板材で形成され、複数のパターン開口部１５が形成されている。複数のパターン開口部１５は、複数の微細開口部からなり、それぞれの微細開口部は、蒸着しようとする薄膜と同じ形状に形成される。したがって、蒸着工程において、蒸着物質は、パターン開口部１５を通過して基板（図示せず）上に蒸着され、所望する形状の薄膜（金属層または有機発光層など）を形成する。

【0027】

１つのパターン開口部１５は、１つの平板表示装置（例えば、有機発光表示装置）に対応することができる。この場合、１つのマスク組立体１００を用いた単一工程で複数の平板表示装置に相当するパターンを同時に蒸着することができる。つまり、マスク組立体１００は、１つのマザー基板に対応し、マザー基板上に複数の平板表示装置に相当するパターンを同時に形成することができる。

【0028】

マスク１０は、２つの幅方向に沿って引っ張られる。図１と図２では、マスクの横幅方向を第１方向として表し、縦幅方向を第２方向として表わしている。本実施形態では、第１方向と第２方向とは直交する。マスク１０を引っ張らせるために、マスク１０の４つの周縁それぞれにクランプ装置（図示せず）が設置され得る。

【0029】

フレーム２０は、中央に開口部２１が形成された四角枠形状のフレーム本体２２と、マスク１０に相対するフレーム本体２２の一面に設けられた複数の移動部材３０とを有して構成される。マスク１０は、フレーム本体２２の代わりに、複数の移動部材３０に溶接で固定される。

【0030】

フレーム本体２２は、第１方向に並ぶ一対の第１直線部２３と、第２方向に並ぶ一対の第２直線部２４とを含む。マスク１０の形状に応じて、第１直線部２３が第２直線部２４より長い長さに形成できる。マスク１０に形成された複数のパターン開口部１５は、フレーム本体２２の開口部２１に対応して位置する。

【0031】

引張力が加えられたマスク１０が複数の移動部材３０に固定されることにより、フレーム本体２２には、マスク１０の引張方向（第１方向および第２方向）に沿って圧縮力が作用する。したがって、フレーム本体２２は、圧縮力による変形が生じないように剛性の大きい金属材料、例えば、ステンレス鋼などの金属で製作できる。

【0032】

複数の移動部材３０は、一対の第１直線部２３と一対の第２直線部２４それぞれにおいて複数個備えられ、フレーム本体２２上で一方向に沿って移動可能に設けられる。

【0033】

具体的には、複数の移動部材３０は、一対の第１直線部２３それぞれに設けられる複数の第１移動部材３１と、一対の第２直線部２４それぞれに設けられる複数の第２移動部材３２とを含む。複数の第１移動部材３１には、マスク１０の引張力によって第２方向に沿って圧縮力が作用し、複数の第２移動部材３２には、マスク１０の引張力によって第１方向に沿って圧縮力が作用する。

【0034】

複数の第１移動部材３１は、圧縮力が作用する第２方向に沿ってフレーム本体２２上に移動可能に設けられ、第２方向に沿ったマスク１０の引張力を調整する機能を果たす。複数の第２移動部材３２は、圧縮力が作用する第１方向に沿ってフレーム本体２２上に移動可能に設けられ、第１方向に沿ったマスク１０の引張力を調整する機能を果たす。

【0035】

この時、複数の第１移動部材３１と複数の第２移動部材３２それぞれは、後述する移動制御部によって移動方向と変位が独立に制御される。したがって、マスク組立体１００は、マスク１０を複数の移動部材３０に固定させた後、マスク１０の複数部位にそれぞれ異なる変形を加えることができる。つまり、引張力の調整が必要なマスク１０の特定部位に対して所望の方向と所望の変位でマスクを動かし、位置に応じてマスク１０の引張力を細かく調整することができる。

【0036】

図３は、図１のＡ部分を示す拡大図であり、図４は、図３に示したマスク固定部と移動部材の断面図である。

【0037】

図３と図４を参照すれば、第１移動部材３１は、マスク固定面３４１を含むマスク固定部３４と、フレーム本体２２とマスク固定部３４との間に設けられ、マスク固定部３４の移動方向と変位を制御する移動制御部３５とを含む。移動制御部３５は、フレーム本体２２に固定され、マスク固定部３４が移動制御部３５上で第２方向に沿ってスライディング（摺動）する。マスク固定部３４には、移動制御部３５を収容する収容部３４２が形成される。

【0038】

移動制御部３５は、一対の移動ガイド３６１を含む制御部本体３６と、フレーム本体２２に向かったマスク固定部３４の後面に固定された雌ねじ部３７と、制御部本体３６に設けられ、雌ねじ部３７に締結される調整ねじ３８とを含む。

【0039】

一対の移動ガイド３６１と調整ねじ３８はいずれも第２方向に並び、マスク固定部３４の収容部３４２には、一対の移動ガイド３６１に対応するガイド溝３４３が形成される。調整ねじ３８は、作業者の手作業によって操作されるか、あるいは図示しない外部動力源に結合され、回転方向と回転量が自動的に調整可能である。

【0040】

調整ねじ３８が一方向に回転すると、調整ねじ３８に締結された雌ねじ部３７と、雌ねじ部３７に固定されたマスク固定部３４とが第２方向に沿ってスライディングする。この時、移動ガイド３６１とガイド溝３４３がマスク固定部３４の移動をガイドする。マスク固定部３４の移動量は、調整ねじ３８の回転量に比例する。調整ねじ３８の回転方向と回転量に応じて、マスク固定部３４の移動方向と変位を精密に制御することができる。

【0041】

移動制御部３５の構成は前述した例に限定されず、フレーム本体２２上でマスク固定部３４を移動させると共に、移動方向と変位を調整できる構成であればすべて適用可能である。

【0042】

再び図１と図２を参照すれば、第２移動部材３２は、調整ねじと一対の移動ガイドが第１方向に沿って配置され、スライディング方向が第１方向であることを除き、前述した第１移動部材３１と同一の構造を有する。

【0043】

複数の移動部材３０は、フレーム本体２２のコーナー側（角部）に位置し、第３方向に沿ってスライディングする少なくとも１つの第３移動部材３３を含むことができる。第３方向は、マスク１０の対角方向であって、第１方向および第２方向の両方に対して所定の角度を有する。第３移動部材３３は、調整ねじと一対の移動ガイドが第３方向に沿って配置され、スライディング方向が第３方向であることを除き、前述した第１移動部材３１と同一の構造を有する。

【0044】

したがって、本実施形態のマスク組立体１００は、溶接過程で問題が発生したマスク１０と、蒸着工程に用いられた後、パターン開口部１５の均一度と画素位置精度が減少したマスク１０とに対して引張力を調整して修理することができる。その結果、廃棄されるマスクの数を減らして製造費用を低減し、マスクの入れ替えにかかる時間を短縮して蒸着器の連続稼働時間を増加させることにより、製品の生産性を向上させることができる。

【0045】

図５は、本発明の第２実施形態にかかるマスク組立体の平面図である。

【0046】

図５を参照すれば、第２実施形態のマスク組立体２００は、複数の移動部材４０が第１方向および第２方向に沿ってスライディングすることを除き、前述した第１実施形態のマスク組立体と類似の構成からなる。第１実施形態と同一の部材については同一の図面符号を用い、以下では、第１実施形態と異なる構成について主に説明する。

【0047】

第１実施形態において、複数の移動部材は、スライディング方向に沿って第１移動部材と第２移動部材および第３移動部材に区分されたが、第２実施形態において、複数の移動部材４０は、同じ構成の移動制御部を備え、一方向ではなく、両方向（第１方向と第２方向）に沿ってスライディングする。

【0048】

図６は、図５に示した移動部材の斜視図であり、図７は、図６に示した第１移動部材と支持台の断面図であり、図８は、図６に示した第２移動部材とマスク固定部の断面図である。図６ないし図８では、フレーム２０１の第２直線部２４に設けられた移動部材４０を例として示した。

【0049】

図６ないし図８を参照すれば、移動部材４０は、マスク固定面４１１を含むマスク固定部４１と、フレーム本体２２とマスク固定部４１との間に設けられる第１移動制御部４２および第２移動制御部４３とを含む。第１移動制御部４２は、第２移動制御部４３の下に位置し、第１移動制御部４２と第２移動制御部４３との間に第２移動制御部４３を支持する支持台４４が位置する。

【0050】

第１移動制御部４２は、フレーム本体２２に固定され、支持台４４とその上に設けられた第２移動制御部４３およびマスク固定部４１が第１移動制御部４２によって第１方向に沿ってスライディングする。支持台４４には、第１移動制御部４２を収容する第１収容部４４１が形成される。

【0051】

第１移動制御部４２は、一対の第１移動ガイド４５５を含む第１制御部本体４５１と、第１制御部本体４５１に相対する支持台４４の後面に固定された第１雌ねじ部４６１と、第１制御部本体４５１に設けられ、第１雌ねじ部４６１に締結される第１調整ねじ４７１とを含む。第１移動ガイド４５５と第１調整ねじ４７１は第１方向に並び、第１収容部４４１には、第１移動ガイド４５５に対応する第１ガイド溝４４２が形成される。

【0052】

第２移動制御部４３は、支持台４４に固定され、マスク固定部４１が第２移動制御部４３によって第２方向に沿ってスライディングする。マスク固定部４１の後面には、第２移動制御部４３を収容する第２収容部４１２が形成される。

【0053】

第２移動制御部４３は、一対の第２移動ガイド４５６を含む第２制御部本体４５２と、第２制御部本体４５２に相対するマスク固定部４１の後面に固定された第２雌ねじ部４６２と、第２制御部本体４５２に設けられ、第２雌ねじ部４６２に締結される第２調整ねじ４７２とを含む。第２移動ガイド４５６と第２調整ねじ４７２は第２方向に並び、マスク固定部４１の第２収容部４１２には、第２移動ガイド４５６に対応する第２ガイド溝４１３が形成される。

【0054】

第１調整ねじ４７１が一方向に回転すると、第１調整ねじ４７１に締結された第１雌ねじ部４６１および第１雌ねじ部４６１に固定された支持台４４と第２移動制御部４３およびマスク固定部４１が第１方向に沿ってスライディングする。第１調整ねじ４７１の回転方向と回転量に応じて、第１方向に沿ったマスク固定部４１の移動方向と変位を精密に制御することができる。

【0055】

第２調整ねじ４７２が一方向に回転すると、第２調整ねじ４７２に締結された第２雌ねじ部４６２および第２雌ねじ部４６２に固定されたマスク固定部４１が第２方向に沿ってスライディングする。第２調整ねじ４７２の回転方向と回転量に応じて、第２方向に沿ったマスク固定部４１の移動方向と変位を精密に制御することができる。

【0056】

再び図５と図６を参照すれば、フレーム２０１の第１直線部２３に設けられた移動部材４０の場合、第１移動制御部４２によって支持台４４と第２移動制御部４３およびマスク固定部４１が第２方向に沿ってスライディングし、第２移動制御部４３によってマスク固定部４１が第１方向に沿ってスライディングする。

【0057】

第２実施形態のマスク組立体２００は、マスク１０をフレーム２０１に固定させた後、マスク１０の引張方向およびこれと交差する方向のすべてに対してマスク１０の周縁を動かすことができる。したがって、引張力の調整が必要なマスク１０の特定部位に対して所望の方向と変位でマスク１０を動かし、マスク１０の引張力を調整することができ、引張方向と交差する方向にマスク１０を動かし、パターン開口部１５（図１参照）の位置を調整することができる。

【0058】

次に、マスク組立体の製造方法について説明する。

【0059】

図９は、本発明の一実施形態にかかるマスク組立体の製造方法を示す工程フローチャートである。

【0060】

図９を参照すれば、マスク組立体の製造方法は、フレーム本体と、複数の移動部材とから構成されたフレームを用意する第１ステップＳ１０と、マスクに引張力を加えた状態でマスクを複数の移動部材に固定させる第２ステップＳ２０と、複数の移動部材の少なくとも１つの移動部材をスライディングし、マスクの引張力を調整する第３ステップＳ３０とを含む。

【0061】

第１実施形態のマスク組立体において、複数の移動部材は、マスクの引張方向に沿ってスライディングし、マスクの引張力を調整することができる。第２実施形態のマスク組立体において、複数の移動部材は、マスクの引張方向およびこれと交差する方向に沿ってスライディングし、マスクの引張力を調整すると共に、パターン開口部の位置も調整することができる。

【0062】

図１０は、図９に示した第２ステップのマスク組立体を示す断面図である。図１０では、第１実施形態のマスク組立体を例として示した。

【0063】

図２と図１０を参照すれば、マスク１０は、第１方向と第２方向に沿って引張力が加えられた状態で複数の移動部材３０に溶接で固定される。この時、マスク１０は、フレーム本体２２ではなく、複数の移動部材３０に固定されているため、フレーム２０に固定された後、引張力の調整が可能である。つまり、マスク１０は、フレーム２０に固定された直後に引張力が調整され得、蒸着工程に複数回用いられた後に引張力が調整され得る。

【0064】

図１１と図１２は、図９に示した第３ステップのマスク組立体を示す断面図である。図１１と図１２では、第１実施形態のマスク組立体を例として示した。

【0065】

図１１を参照すれば、マスク１０の引張力を向上させる必要がある場合、調整ねじを操作し、第１移動部材３１を開口部２１の中央から遠くなるようにスライディングする。すると、マスク１０の端部が第１移動部材３１に沿って動き、第２方向に沿った引張力が向上する。

【0066】

図１２を参照すれば、マスク１０の引張力を低下させる必要がある場合、調整ねじを操作し、第１移動部材３１を開口部２１の中央に向かってスライディングする。すると、マスク１０の端部が第１移動部材３１に沿って動き、第２方向に沿った引張力が低下する。図１１と図１２に示した両場合とも、第１移動部材３１の変位に応じて、引張力の強さを適切に調整することができる。

【0067】

一方、図１１と図１２では、マスク１０の両側端部に位置する２つの第１移動部材３１が同じ変位で同時に動く場合を例として示したが、１つの第１移動部材３１のみを動かしてもよく、２つの第１移動部材３１が共に動く場合、２つの第１移動部材３１の変位は互いに異なり得る。

【0068】

再び図２を参照すれば、第１移動部材３１と同様に、第２移動部材３２のスライディングを調整し、第１方向に沿ったマスク１０の引張力を向上または低下させることができる。そして、第３移動部材３３のスライディングを調整し、第３方向に沿ったマスク１０の引張力を向上または低下させることができる。

【0069】

この時、複数の移動部材３０それぞれは、移動方向と変位が独立に制御されるため、引張力の調整が必要なマスク１０の特定部位に対して所望の方向と変位でマスク１０を動かし、マスク１０の引張力を位置に応じて細かく調整することができる。

【0070】

図５を参照すれば、第２実施形態のマスク組立体２００では、複数の移動部材４０それぞれが第１方向と第２方向に沿ってスライディングする。したがって、マスク１０の引張方向に沿って移動部材４０をスライディングし、マスク１０の引張力を調整することができ、引張方向と交差する方向に沿って移動部材４０をスライディングし、パターン開口部１５（図１参照）の位置を調整することができる。

【0071】

以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、特許請求の範囲と発明の詳細な説明および添付した図面の範囲内で多様に変形して実施可能であり、これも本発明の範囲に属することは当然である。

【符号の説明】

【0072】

１００、２００ マスク組立体、
１０ マスク、
１５ パターン開口部、
２０，２０１ フレーム、
２１ 開口部、
２２ フレーム本体、
３０，４０ 移動部材、
３１，３２，３３ 第１、第２、第３移動部材。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】