特許第6277174号(P6277174)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6277174窒化アルミニウムと銅コーティング層とのインターフェースにおける応力を改善できるコーティング構造
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  • 特許6277174-窒化アルミニウムと銅コーティング層とのインターフェースにおける応力を改善できるコーティング構造 図000002
  • 特許6277174-窒化アルミニウムと銅コーティング層とのインターフェースにおける応力を改善できるコーティング構造 図000003
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