特許 6278621 アクティブコンプライアンス装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6278621

(24)【登録日】2018年1月26日

(45)【発行日】2018年2月14日

(54)【発明の名称】アクティブコンプライアンス装置

(51)【国際特許分類】

   B25J 17/02 20060101AFI20180205BHJP

   B25J 13/08 20060101ALI20180205BHJP

【ＦＩ】

   B25J17/02 G

   B25J13/08 Z

【請求項の数】2

【全頁数】16

(21)【出願番号】特願2013-129777(P2013-129777)

(22)【出願日】2013年6月20日

(65)【公開番号】特開2015-3362(P2015-3362A)

(43)【公開日】2015年1月8日

【審査請求日】2016年3月24日

【前置審査】

(73)【特許権者】

【識別番号】000006666

【氏名又は名称】アズビル株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100123434

【弁理士】

【氏名又は名称】田澤 英昭

(74)【代理人】

【識別番号】100101133

【弁理士】

【氏名又は名称】濱田 初音

(74)【代理人】

【識別番号】100199749

【弁理士】

【氏名又は名称】中島 成

(74)【代理人】

【識別番号】100188880

【弁理士】

【氏名又は名称】坂元 辰哉

(74)【代理人】

【識別番号】100197767

【弁理士】

【氏名又は名称】辻岡 将昭

(74)【代理人】

【識別番号】100201743

【弁理士】

【氏名又は名称】井上 和真

(72)【発明者】

【氏名】岩下 純久

【審査官】 貞光 大樹

(56)【参考文献】

【文献】 特開平９−３０９０８９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平９−３８８８６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１０−１１８９７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平７−８０７８９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ２５Ｊ １／００ − ２１／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

対向配置された第１，２のプレートと、
前記第１，２のプレート間に、前記第１，２のプレート面に対して三角形状となるように配置され、当該第１，２のプレートを対向面内で相対的に変位させる３つのリンク機構と、
前記各リンク機構の動作を制御する制御部とを備え、
前記リンク機構は、
第１，２のフレームと、
前記リンク機構の一端側に設けられ、前記第１のフレームを前記第１のプレートに対して回動自在に接続する第１の回転機構と、
前記リンク機構の他端側に設けられ、前記第２のフレームを前記第２のプレートに対して回動自在に接続する第２の回転機構と、
前記第１，２のフレーム間に推力を発生させるリニアアクチュエータと、
前記リニアアクチュエータによる前記第１，２のフレーム間の変位を検知する位置センサとを備え、
前記制御部は、ＸＹθ座標系におけるコンプライアンス値であって、ＸＹθ座標系における慣性、粘性、および弾性のうちの少なくとも一つを含むコンプライアンス値を設定するとともに、３つの前記位置センサにより検知された前記変位と、前記コンプライアンス値とに基づいて算出した推力により３つの前記リニアアクチュエータを制御し、かつ前記コンプライアンス値の変更が必要であると判断した場合に前記コンプライアンス値を変更することを特徴とするアクティブコンプライアンス装置。

【請求項2】

前記制御部は、
前記第２のプレートで発生する前記コンプライアンス値を設定するコンプライアンス値設定部と、
前記位置センサによる検知結果を示すセンサ値を取得する変位取得部と、
前記変位取得部により取得されたセンサ値に基づいて、前記第１，２のフレーム間の変位量を計算する変位量計算部と、
前記変位量計算部により計算された前記第１，２のフレーム間の変位量と、前記コンプライアンス値とに基づいて、前記リニアアクチュエータに要する推力を計算する推力計算部と、
前記推力計算部により計算された推力を前記リニアアクチュエータに出力する推力出力部とを備えた
ことを特徴とする請求項１記載のアクティブコンプライアンス装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明は、自動組立設備におけるロボットと組立対象部品との位置誤差を吸収するアクティブコンプライアンス装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来、生産設備において、ロボットなどの自動機械（以下、ロボットと記す）を用いて部品の供給、組立、部品実装工程などを行う際、位置誤差（対象部品の寸法誤差、ロボットの位置決め誤差などによる）を吸収する目的で、ロボットとハンドとの間や冶具にコンプライアンス装置を取り付ける場合がある。このコンプライアンス装置において、作業の種類によってコンプライアンスの大きさを自由に変えることのできる装置（アクティブコンプライアンス装置）が知られている（例えば特許文献１参照）。
また、複数方向にコンプライアンス性を持たせた多自由度のコンプライアンス装置が求められる作業がある。この要求に対して、６自由度のアクティブコンプライアンス装置が知られている（例えば特許文献２参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００９−２７１７８３号公報

【特許文献2】特開２０１２−６１５６４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ここで、工程の内容によってコンプライアンスの必要な方向が異なり、例えばスカラ（水平型）ロボットを用いるような工程では、平面内（ＸＹθ）方向のコンプライアンスが有効となる場合がある。これに対し、特許文献１に開示された装置では自由度が不足しているという課題があるため、例えば方向を変えて積層することで多自由度を実現する手段があるが、積み重ねる構造のためにコンプライアンス装置としての高さが高くなり小型化が困難であるという課題がある。また、特許文献２に開示された装置では過剰な自由度を有しており小型化が困難であるという課題がある。

【0005】

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、平面内方向にコンプライアンスを有し、小型化が可能であるアクティブコンプライアンス装置を提供することを目的としている。

【課題を解決するための手段】

【0006】

この発明に係るアクティブコンプライアンス装置は、対向配置された第１，２のプレートと、第１，２のプレート間に、第１，２のプレート面に対して三角形状となるように配置され、当該第１，２のプレートを対向面内で相対的に変位させる３つのリンク機構と、各リンク機構の動作を制御する制御部とを備え、リンク機構は、第１，２のフレームと、リンク機構の一端側に設けられ、第１のフレームを第１のプレートに対して回動自在に接続する第１の回転機構と、リンク機構の他端側に設けられ、第２のフレームを第２のプレートに対して回動自在に接続する第２の回転機構と、第１，２のフレーム間に推力を発生させるリニアアクチュエータと、リニアアクチュエータによる第１，２のフレーム間の変位を検知する位置センサとを備え、制御部は、ＸＹθ座標系におけるコンプライアンス値であって、ＸＹθ座標系における慣性、粘性、および弾性のうちの少なくとも一つを含むコンプライアンス値を設定するとともに、３つの位置センサにより検知された変位と、コンプライアンス値とに基づいて算出した推力により３つのリニアアクチュエータを制御し、かつコンプライアンス値の変更が必要であると判断した場合にコンプライアンス値を変更する。

【発明の効果】

【0007】

この発明によれば、上記のように構成したので、平面内方向にコンプライアンスを有し、小型化が可能であるアクティブコンプライアンス装置を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】この発明の実施の形態１に係るコンプライアンス装置の構成を示す斜視図である。

【図2】この発明の実施の形態１における制御部の構成を示す図である。

【図3】この発明の実施の形態１に係るコンプライアンス装置の第１，２の回転機構および第１〜３のリンク機構の配置を示す図である。

【図4】この発明の実施の形態１に係るコンプライアンス装置の第２のプレートの変位とリンク機構で発生する推力との関係の例を示す図である。

【図5】この発明の実施の形態１における制御部による制御動作を示すフローチャートである。

【図6】この発明の実施の形態１に係るコンプライアンス装置をロボットとハンドとの間に取り付けた場合を示す斜視図である。

【図7】この発明の実施の形態１に係るコンプライアンス装置を治具に取り付けた場合を示す斜視図である。

【図8】この発明の実施の形態１に係るコンプライアンス装置の運用例を示すための作業例を説明する斜視図である。

【図9】図８の治具にコンプライアンス装置を取り付けた状態を示す斜視図である。

【図10】図８の運用例での動作を示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、この発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１に係るコンプライアンス装置１の構成を示す斜視図である。
コンプライアンス装置１は、平面内において位置（ＸＹ）方向および姿勢（θ）方向に対してコンプライアンスを有する装置である。すなわち、ＸＹθの３自由度のコンプライアンスを有する装置である。このコンプライアンス装置１は、図１に示すように、対向配置された第１，２のプレート１１，１２と、第１，２のプレート間に配置された第１〜３のリンク機構１３ａ〜１３ｃと、第１〜３のリンク機構１３ａ〜１３ｃの動作を制御する制御部１４とから構成されている。

【0010】

第１〜３のリンク機構１３ａ〜１３ｃは、第１，２のプレート１１，１２を対向面内（平面内）で相対的にＸＹθ方向に変位させるものである。以下において、特に区別する必要がない場合には、第１〜３のリンク機構１３ａ〜１３ｃをリンク機構１３と称す。

【0011】

このリンク機構１３には、第１，２のフレーム１３１，１３２が設けられている。この第１のフレーム１３１の一端には、第１のフレーム１３１を第１のプレート１１に対して回動自在に接続するための第１の回転機構１３３が設けられている。同様に、第２のフレーム１３２には、第２のフレーム１３２を第２のプレート１２に回動自在に接続するための第２の回転機構１３４が設けられている。また、第１，２のフレーム１３１，１３２間には、第１，２のフレーム１３１，１３２間に推力を発生させるリニアアクチュエータ１３５が設けられている。
また、リニアアクチュエータ１３５には、第１，２のフレーム１３１，１３２間の変位を検知する位置センサ１３６が接続されている。また、位置センサ１３６は、リニアアクチュエータ１３５に内蔵されていなくても外付けされていてもよい。

【0012】

また、制御部１４は、位置センサ１３６により検知された第１，２のフレーム１３１，１３２間の変位に基づいて、リニアアクチュエータ１３５で発生する推力の制御を行うものである。この制御部１４は、図２に示すように、コンプライアンス値設定部１４１、センサ値取得部１４２、変位量計算部１４３、推力計算部１４４、推力出力部１４５およびコンプライアンス値変更判断部１４６から構成されている。

【0013】

コンプライアンス値設定部１４１は、第２のプレートで発生するＸＹθ方向のコンプライアンス値を設定するものである。また、コンプライアンス値変更判断部１４６により、コンプライアンス値の変更が必要と判断された場合には、コンプライアンス値の変更を行う。例えば、作業工程の変更などの際に、上位コントローラからの指令があった場合などにコンプライアンスの変更が行われる。

【0014】

センサ値取得部１４２は、位置センサ１３６による検知結果を示すセンサ値を取得するものである。

【0015】

変位量計算部１４３は、センサ値取得部１４２により取得された位置センサ１３６のセンサ値に基づいて、第１，２のフレーム１３１，１３２間の変位量を計算するものである。

【0016】

推力計算部１４４は、変位量計算部１４３により計算された第１，２のフレーム１３１，１３２間の変位量に基づいて、リニアアクチュエータ１３５に要する推力を計算するものである。

【0017】

推力出力部１４５は、推力計算部１４４により計算された推力をリニアアクチュエータ１３５に出力するものである。

【0018】

コンプライアンス値変更判断部１４６は、コンプライアンス装置１が適用された自動組立設備における作業の種類に応じて、例えば上位コントローラがコンプライアンス設定を変更すると判断した場合に、コンプライアンス値設定部１４１により設定されたコンプライアンス値の変更の要否を判断するものである。

【0019】

そして、外力によって、第１，２のプレート１１，１２でＸＹθ方向に生じた相対的な変位がリンク長の変位としてあらわれるので、リンク機構１３の変位を検出する位置センサ１３６によって検知し、制御部１４でその検知結果および予め設定したコンプライアンス値を用いて推力を演算し、リニアアクチュエータ１３５でその推力を発生する。これによって、コンプライアンス装置１を、平面内（ＸＹθ）方向に対して、それぞれに自在のコンプライアンス性を持たせたアクティブコンプライアンス装置として用いることができる。

【0020】

次に、上記のように構成されたコンプライアンス装置１のアクチュエータが発生する推力の計算について示す。
まず、本発明のコンプライアンス装置１は、図３に示すように、第１のプレート１１上の３箇所の回転機構接続部（Ｂ₁〜Ｂ₃）と、第２のプレート１２上の３箇所の回転機構接続部（Ｅ₁〜Ｅ₃）とを、第１〜３のリンク機構１３ａ〜１３ｃ（長さＬ₁〜Ｌ₃）で第１，２の回転機構１３３，１３４を介して結合した構成とする。

【0021】

また、座標系として、第１のプレート１１上の座標系ΣＸ_Ｂ−Ｙ_Ｂと、第２のプレート１２上の座標系Σｘ_ｅ−ｙ_ｅを設定する。座標系Σｘ_ｅ−ｙ_ｅは、座標系ΣＸ_Ｂ−Ｙ_Ｂに対して相対位置・角度が変化する座標系である。

【0022】

【0023】

【0024】

【0025】

【0026】

【0027】

このとき、座標系ΣＸ_Ｂ−Ｙ_Ｂで表した第２の回転機構１３４の位置は下式（６）のように表される。

【0028】

このときのリンク機構１３の長さは下式（７）のように表すことができる。

【0029】

具体的には、式（６）より

がリンク機構１３の長さとなる。

【0030】

【0031】

【0032】

次に、行列Ｊの各要素を求める。式（９）において

とする。つまり、

【0033】

このとき、行列Ｊの各要素は下式（１３）のように計算できる。

【0034】

【0035】

【0036】

ここで、仮想仕事の原理より、［リンク機構１３の仮想仕事＝第２のプレート１２の仮想仕事］が成立するので、

が得られる。そして、式（１７）を変形すると、

が得られる。つまり、下式（１９）が成立する。

【0037】

となる。この式（２０）を（１９）に代入すると、

が得られる。

【0038】

【0039】

次に、本発明のコンプライアンス装置１を任意のコンプライアンス特性を発生するデバイスとして使用する場合（アクティブコンプライアンスとして使用する場合）について示す。

【0040】

この式（２２）を式（２１）に代入すると

【0041】

【0042】

次に、本発明のコンプライアンス装置１を適用した第２のプレート１２の変位とリンク機構１３で発生する推力との関係についての計算の例を図４に示す。
各回転機構の位置を、Ｂｘ_１＝２１．２ｍｍ，Ｂｙ_１＝２１．２ｍｍ，Ｂｘ_２＝−２９．０ｍｍ，Ｂｙ_２＝７．８ｍｍ，Ｂｘ_３＝７．８ｍｍ，Ｂｙ_３＝−２９．０ｍｍ，ｅｘ_１＝−２１．２ｍｍ，ｅｙ_１＝２１．２ｍｍ，ｅｘ_２＝−７．８ｍｍ，ｅｙ_２＝−２９．０ｍｍ，ｅｘ_３＝２９．０ｍｍ，ｅｙ_３＝７．８ｍｍとした。
また、下記の計算例ではコンプライアンス装置１は、Ｘ方向にのみ柔らかいバネのように動き、Ｙ，θ方向には硬いバネのように動くアクティブコンプライアンスデバイスとして（ＫＸ＝０．１Ｎ／ｍｍ，ＫＹ＝１０００Ｎ／ｍｍ，Ｋθ＝１０００Ｎ／ｒａｄ）とし、慣性および粘性は省略した。

【0043】

例えば、原点位置（Ｘ，Ｙ，θ）＝（０，０，０）の位置から開始して、Ｘ＝３ｍｍまで外力によって移動させられる際に、Ｙ方向に０．１ｍｍ、θ方向に０．１ｄｅｇずれた場合、図４のように各リンク機構１３の推力を発生させればよいことになる。

【0044】

次に、上記のように構成されたコンプライアンス装置１の制御部１４による制御動作について、図５を参照しながら説明する。
制御部１４による制御動作では、図５に示すように、まず、コンプライアンス値設定部１４１は、各リンク機構１３のコンプライアンス値を設定する（ステップＳＴ６１）。

【0045】

次いで、センサ値取得部１４２は、位置センサ１３６による検知結果を示すセンサ値を取得する（ステップＳＴ６２）。

【0046】

次いで、変位量計算部１４３は、位置センサ１３６のセンサ値から、変位量を計算する（ステップＳＴ６３）。

【0047】

【0048】

次いで、推力出力部１４５は、推力計算部１４４により計算された推力をリニアアクチュエータ１３５に出力する（ステップＳＴ６５）。

【0049】

次いで、コンプライアンス値変更判断部１４６は、例えば上位コントローラからの指令によってコンプライアンス値設定部１４１により設定されたコンプライアンス値を変更する必要があるかを判断する（ステップＳＴ６６）。このステップＳＴ６６において、コンプライアンス値変更判断部１４６が、コンプライアンス値の変更が必要と判断した場合には、シーケンスはステップＳＴ６１に戻り、新たなコンプライアンス値の設定が行われる。一方、ステップＳＴ６６において、コンプライアンス値変更判断部１４６が、コンプライアンス値の変更は不要と判断した場合には、シーケンスはステップＳＴ６２に戻る。

【0050】

次に、上記のように構成されたコンプライアンス装置１の適用例について、図６，７を参照しながら説明する。
図６はこの発明の実施の形態１に係るコンプライアンス装置１をロボット５１とハンド５２との間に取り付けた場合を示す斜視図である。
図６に示すように、図１に示すコンプライアンス装置１を自動組立設備におけるロボット５１とハンド５２との間に取り付けて使用することで、ロボット５１とパレット５３に収納された組立対象の部品５４との位置誤差を吸収し、過大な力がハンド５２および部品５４に加わることを回避することができる。その際、コンプライアンス値を自在に設定・変更できることで（アクティブコンプライアンスデバイス）、多種の部品や作業（きついはめあい部品の場合にはバネ定数設定値を大きくする、破損しやすい部品の場合にはバネ定数設定値を小さくするなど）に対応できる。また、ＸＹθ方向のコンプライアンス値を独立して変更可能にすることで、複数方向からの作業がある場合（複数部品を組み立てる場合で、つきあて方向のことなる場合など）に対応できる。例えば、パレット５３に収納された部品５４をハンド５２を用いてピックアップする際に、ハンド５２と部品５４とが位置誤差（部品５４の寸法誤差、ロボット５１の位置決め誤差）などにより精密に位置あわせできていない場合であっても、本発明のコンプライアンス装置１によりＸＹθ方向を柔らかくして、部品に負荷をかけずにピックアップし、その後の組み立て工程では、方向に応じて硬さを変えるなどして、複数の工程に対して適切な方向に適切な大きさの柔らかさを実現することができる。また、本発明の構成では、リニアアクチュエータ１３５がリンクの伸縮機構と一体化しており、第１，２のプレート１１，１２間に駆動機構やセンサが納まるので、小型化が可能となっている。

【0051】

図７はこの発明の実施の形態１に係るコンプライアンス装置１を治具５５に取り付けた場合を示す斜視図である。
図７に示すように、図１に示すコンプライアンス装置１を部品５４組立を行う治具５５に設置することで、ロボット５１と組立対象の部品５４との位置誤差を吸収し、過大な力がハンド５２および部品５４に加わることを回避することができる。その際、平面内のＸＹθ方向のコンプライアンス値を独立して変更可能とすることで、多種の部品５４や作業に対応できる。例えば、治具５５に固定された部品５４ａにロボット５１のハンド５２で把持した部品５４ｂを挿入する際に、Ｘやθ方向はハンド５２によって部品がセンタリングされるため高い位置精度が出ているが、Ｙ方向には位置がずれている場合がある。その場合、Ｙ方向のみを柔らかく設定することで、ハンド５２と部品５４ａ，５４ｂとが位置誤差（部品５４ａ，５４ｂの寸法誤差、ロボット５１の位置決め誤差）などにより精密に位置あわせできていない場合であっても、本発明のコンプライアンス装置１によりその位置誤差を吸収することができる。

【0052】

次に、この発明の実施の形態１に係るコンプライアンス装置１の運用例について、図８〜１０を参照しながら説明する。
本発明のコンプライアンス装置１のように、コンプライアンス設定を各方向に個別に設定／変更できる構成は、下記のようなケースの作業で有効である。

【0053】

図８に示す作業では、治具５５ａにしっかりとクランプされたワーク５６に搭載されている破損しやすい部品５４ｃ（例えば、予め半田実装されている電子部品など）に対して、面５４１と面５４２にロボットの手先に取り付けられた半田コテを用いてリード５７ａ，５７ｂの半田付けを行う。なお、図８の符号５８ａ，５８ｂはパッドである。また、リード５７ａはＹ方向に（精密な）位置決めを行う必要があり、リード５７ｂはＸ方向に（精密な）位置決めを行う必要があるとする。
このような作業の場合、ワーク５６が治具５５に固定されているため、部品５４ｃの寸法ばらつきや、部品５４ｃの搭載位置のばらつき、治具５５ａによるワーク５６のクランプ位置のばらつき、ロボット５１の位置決め誤差などにより、半田付けの際に、部品５４ｃに過大な負荷を与えてしまう場合や、逆に半田コテがリード５７ａ，５７ｂに当たらずに離れてしまう場合がある。

【0054】

この治具５５ａの下部に本発明のコンプライアンス装置１を搭載すると、図９のようになる。
そして、図１０（ａ）に示すように、このコンプライアンス装置１により、リード５７ａ側に半田付けするときにはＸ方向のバネ定数設定を小さく、θ方向とＹ方向のバネ定数設定を非常に大きくする。これにより、θ方向とＹ方向については位置決め状態で、Ｘ方向については半田コテを押し込み気味にすることで、リード５７ａに半田コテを確実にあてつつ、過大な負荷をかけずに半田付けを行うことができる。

【0055】

次に、図１０（ｂ）に示すように、このコンプライアンス装置１により、リード５７ｂ側に半田付けするときにはＹ方向のバネ定数設定を小さく、θ方向とＸ方向のバネ定数設定を非常に大きくする。これにより、θ方向とＸ方向については位置決め状態で、Ｙ方向については半田コテを押し込み気味にすることで、リード５７ｂにコテを確実にあてつつ、過大な負荷をかけずに半田付けを行うことができる。
このように、異なる工程を同一の治具５５ａを用いて実装することができるようになる。

【0056】

以上のように、この実施の形態１によれば、対向配置された第１，２のプレート１１，１２と、第１，２のプレート１１，１２間に配置され、当該第１，２のプレート１１，１２を対向面内で相対的に変位させる３つのリンク機構１３と、各リンク機構１３の動作を制御する制御部１４とを備え、リンク機構１３は、第１，２のフレーム１３１，１３２と、第１のフレーム１３１を第１のプレート１１に対して回動自在に接続する第１の回転機構１３３と、第２のフレーム１３２を第２のプレート１２に対して回動自在に接続する第２の回転機構１３４と、第１，２のフレーム１３１，１３２間に推力を発生させるリニアアクチュエータ１３５と、リニアアクチュエータ１３５による第１，２のフレーム１３３，１３４間の変位を検知する位置センサ１３６とを備え、制御部１４は、位置センサ１３６による検知結果に基づいてリニアアクチュエータ１３５を制御するよう構成したので、平面内方向にコンプライアンスを有し、小型化が可能であるアクティブコンプライアンス装置を得ることができる。

【0057】

なお、本願発明はその発明の範囲内において、実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは実施の形態の任意の構成要素の省略が可能である。

【符号の説明】

【0058】

１ コンプライアンス装置
１１，１２ 第１，２のプレート
１３，１３ａ〜１３ｃ 第１〜３のリンク機構
１４ 制御部
５１ ロボット
５２ ハンド
５３ パレット
５４，５４ａ〜５４ｅ 部品
５５，５５ａ 治具
５６ ワーク
５７ａ，５７ｂ リード
５８ａ，５８ｂ パッド
１３１，１３２ 第１，２のフレーム
１３３，１３４ 第１，２の回転機構
１３５ リニアアクチュエータ
１３６ 位置センサ
１４１ コンプライアンス値設定部
１４２ センサ値取得部
１４３ 変位量計算部
１４４ 推力計算部
１４５ 推力出力部
１４６ コンプライアンス値変更判断部
５４１，５４２ 面

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】