特許 6279227 材料搬送器具

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6279227

(24)【登録日】2018年1月26日

(45)【発行日】2018年2月14日

(54)【発明の名称】材料搬送器具

(51)【国際特許分類】

   G01N 1/00 20060101AFI20180205BHJP

【ＦＩ】

   G01N1/00 101C

【請求項の数】8

【全頁数】23

(21)【出願番号】特願2013-95473(P2013-95473)

(22)【出願日】2013年4月30日

(65)【公開番号】特開2014-215279(P2014-215279A)

(43)【公開日】2014年11月17日

【審査請求日】2016年4月21日

(73)【特許権者】

【識別番号】507228312

【氏名又は名称】株式会社 エイブイシー

(74)【代理人】

【識別番号】100108442

【弁理士】

【氏名又は名称】小林 義孝

(72)【発明者】

【氏名】佐々木 友章

(72)【発明者】

【氏名】千葉 昭雄

(72)【発明者】

【氏名】川村 政美

(72)【発明者】

【氏名】二村 智行

【審査官】 西浦 昌哉

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００１−０３３３５７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−２７６３６９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−２４５６５２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭６０−００５５０９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭５８−１２０４６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１２／１２１２６７（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 国際公開第２００３／０３８４０６（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｎ １／００− １／４４

Ｂ２５Ｊ ２１／００

Ｆ１６Ｂ １／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

所定の材料を着脱可能なステージを有する材料ホルダーと、前記材料ホルダーを着脱可能に取り付ける接続ロッドとから形成され、
前記接続ロッドが、軸方向へ延びる第１回転軸と、前記第１回転軸の先端部に設置されて該第１回転軸とともに回転する第２回転軸と、前記第１回転軸に設置されて前記第２回転軸を前記軸方向前方へ付勢するコイルバネとを有し、前記第２回転軸が、前記第１回転軸の先端部に係入されて前記コイルバネが当接しつつ前記軸方向へ進退移動するパイプ部と、前記パイプ部の先端から前記軸方向前方へ延びるシャフト部と、前記シャフト部の外周面から径方向外方へ凸となる嵌合凸部とを有し、
前記材料ホルダーの一端部には、前記接続ロッドのシャフト部を着脱可能に固定する固定ベースが作られ、前記固定ベースが、それを軸方向へ貫通して前記シャフト部および前記嵌合凸部を挿脱可能かつ回転可能に挿入するカギ孔と、前記カギ孔に対する前記シャフト部の初期挿入位置から該シャフト部の回転方向へ所定寸法離間した位置に作られて軸方向後方へ凹み、前記嵌合凸部を前記コイルバネの付勢力に抗して嵌脱可能に嵌合させる第１凹部と、前記第１凹部から前記回転方向へ所定寸法離間した位置に作られて軸方向後方へ凹み、前記嵌合凸部を前記コイルバネの付勢力に抗して嵌脱可能に嵌合させる第２凹部とを有し、前記第１凹部の前記軸方向後方への凹み寸法が、前記第２凹部の前記軸方向後方へのそれよりも大きいかまたは小さく、
前記嵌合凸部が前記第１凹部に嵌合した状態では、前記コイルバネの軸方向前方への付勢力によって前記パイプ部の前端が前記固定ベースの後端面に密着するとともに、前記嵌合凸部が前記第１凹部に密着し、前記材料ホルダーが前記接続ロッドに固定され、前記嵌合凸部が前記第２凹部に嵌合した状態では、前記コイルバネの軸方向前方への付勢力によって前記パイプ部の前端が前記固定ベースの後端面に密着するとともに、前記嵌合凸部が前記第２凹部に密着し、前記材料ホルダーが前記接続ロッドに固定されることを特徴とする材料搬送器具。

【請求項2】

前記第１回転軸が、その外周面から径方向外方へ延びるガイドピンを有し、前記第２回転軸のパイプ部が、前記軸方向へ延びていて前記ガイドピンが係入しつつ該ガイドピンが前記軸方向へ進退移動する案内スリットを有する請求項１に記載の材料搬送器具。

【請求項3】

前記材料搬送器具では、前記第１凹部の凹み寸法が前記第２凹部の凹み寸法よりも小さい場合であって、前記第１凹部に前記嵌合凸部が嵌合したときの前記コイルバネによる軸方向前方への付勢力が前記第２凹部に該嵌合凸部が嵌合したときの該コイルバネによる軸方向前方へのそれよりも大きくなる請求項１または請求項２に記載の材料搬送器具。

【請求項4】

前記材料搬送器具では、前記第１凹部の凹み寸法が前記第２凹部の凹み寸法よりも小さい場合であって、前記径方向外方へ延びるにつれて前記軸方向後方へ次第に傾斜する傾斜案内面が前記第１凹部と前記第２凹部との間に作られている請求項１または請求項３に記載の材料搬送器具。

【請求項5】

前記材料搬送器具では、前記第１凹部の凹み寸法が前記第２凹部の凹み寸法よりも大きい場合であって、前記第１凹部に前記嵌合凸部が嵌合したときの前記コイルバネによる軸方向前方への付勢力が前記第２凹部に該嵌合凸部が嵌合したときの該コイルバネによる軸方向前方へのそれよりも小さくなる請求項１または請求項２に記載の材料搬送器具。

【請求項6】

前記材料搬送器具では、前記第１凹部の凹み寸法が前記第２凹部の凹み寸法よりも大きい場合であって、前記径方向外方へ延びるにつれて前記軸方向前方へ次第に傾斜する傾斜案内面が前記第１凹部と前記第２凹部との間に作られている請求項５に記載の材料搬送器具。

【請求項7】

前記第１凹部が、前記カギ孔に対する前記シャフト部の初期挿入位置から前記回転方向へ９０度離間した位置に作られ、前記第２凹部が、前記第１凹部から前記回転方向へ９０度離間した位置に作られ、前記材料搬送器具では、前記コイルバネの付勢力に抗して前記第２回転軸を軸方向後方へ後退させた状態で前記シャフト部を前記初期挿入位置から９０度回転させて前記嵌合凸部を前記第１凹部に嵌合させ、前記コイルバネの付勢力に抗して前記第２回転軸を軸方向後方へ後退させた状態で前記シャフト部を前記第１凹部から９０度回転させて前記嵌合凸部を前記第２凹部に嵌合させる請求項１ないし請求項６いずれかに記載の材料搬送器具。

【請求項8】

前記接続ロッドの第１回転軸が、前記材料搬送器具を軸方向へ進退移動させる真空フィードスルーのシャフト先端部に着脱可能に取り付けられ、前記材料搬送器具では、前記接続ロッドが前記真空フィードスルーに取り付けられた状態で前記材料ホルダーと該接続ロッドとが真空容器の内部に収容され、前記真空フィードスルーを利用して前記材料ホルダーが前記材料とともに真空状態で所定の真空装置の設置箇所に搬送されるとともに、前記材料ホルダーが前記材料とともに前記真空装置の内部に据え付けられる請求項１ないし請求項７いずれかに記載の材料搬送器具。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、所定の材料を搬送する材料搬送器具に関する。

【背景技術】

【0002】

真空チャンバーと、真空チャンバー内部に配置されて試料を設置した複数個のサンプルホルダーを貯蔵するサンプルケースと、サンプルケースを上下方向へ移動させるサンプル保管用マニピュレータと、サンプルホルダーを水平方向へ移動させるサンプル交換用マニピュレータと、チャンバーにゲートバルブを介して連結された真空排気可能なドッキング室とを備えた試料搬送装置が開示されている（特許文献１参照）。試料搬送装置では、ゲートバルブを介してターボ分子ポンプがドッキング室に連結され、そのターボ分子ポンプを利用してドッキング室を真空状態にすることができる。試料搬送装置は、ドッキング室の真空状態を保持したままそれを移動し、ドッキング室を介して他の真空室を備えた真空装置に連結して試料をその真空装置に搬送する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００１−３３３５７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

前記特許文献１に開示の試料搬送装置は、試料を載置するサンプルホルダーがサンプル交換用マニピュレータに保持された状態でサンプルケースに収納される。サンプルホルダーにサンプル交換用マニピュレータを設置するには、サンプル交換用マニピュレータの先端部に形成された雄螺子をサンプルホルダーに形成された雌螺子に螺着する。なお、雌螺子に対する雄螺子の螺着が緩いと、試料搬送装置に伝わる振動によってサンプルホルダーとサンプル交換用マニピュレータとの係合が不用意に解除され、マニピュレータによるホルダーの移動中にホルダーがマニピュレータから脱落してしまう場合がある。また、雄螺子と雌螺子とを強固に螺着すると、螺子山が潰れ、雄螺子と雌螺子との螺着を解除することができなくなり、サンプル交換用マニピュレータからサンプルホルダーを取り外すことができなくなる場合がある。

【0005】

本発明の目的は、材料ホルダーと接続ロッドとを確実に嵌合させることができ、搬送中における材料ホルダーの接続ロッドからの脱落を防ぐことができるとともに、材料ホルダーを材料とともに安全に所定の装置の設置箇所に搬送することができる材料搬送器具を提供することにある。本発明の他の目的は、材料ホルダーと接続ロッドとの嵌合を簡単に解除することができ、材料ホルダーを材料とともに所定の装置に容易に据え付けることができる材料搬送器具を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

前記課題を解決するための本発明にかかる材料搬送器具は、所定の材料を着脱可能なステージを有する材料ホルダーと、材料ホルダーを着脱可能に取り付ける接続ロッドとから形成され、接続ロッドが、軸方向へ延びる第１回転軸と、第１回転軸の先端部に設置されて第１回転軸とともに回転する第２回転軸と、第１回転軸に設置されて第２回転軸を軸方向前方へ付勢するコイルバネとを有し、第２回転軸が、第１回転軸の先端部に係入されてコイルバネが当接しつつ軸方向へ進退移動するパイプ部と、パイプ部の先端から軸方向前方へ延びるシャフト部と、シャフト部の外周面から径方向外方へ凸となる嵌合凸部とを有し、材料ホルダーの一端部には、接続ロッドのシャフト部を着脱可能に固定する固定ベースが作られ、固定ベースが、それを軸方向へ貫通してシャフト部および嵌合凸部を挿脱可能かつ回転可能に挿入するカギ孔と、カギ孔に対するシャフト部の初期挿入位置からシャフト部の回転方向へ所定寸法離間した位置に作られて軸方向後方へ凹み、嵌合凸部をコイルバネの付勢力に抗して嵌脱可能に嵌合させる第１凹部と、第１凹部から回転方向へ所定寸法離間した位置に作られて軸方向後方へ凹み、嵌合凸部をコイルバネの付勢力に抗して嵌脱可能に嵌合させる第２凹部とを有し、第１凹部の軸方向後方への凹み寸法が、第２凹部の軸方向後方へのそれよりも大きいかまたは小さく、嵌合凸部が第１凹部に嵌合した状態では、コイルバネの軸方向前方への付勢力によってパイプ部の前端が固定ベースの後端面に密着するとともに、嵌合凸部が第１凹部に密着し、材料ホルダーが接続ロッドに固定され、嵌合凸部が第２凹部に嵌合した状態では、コイルバネの軸方向前方への付勢力によってパイプ部の前端が固定ベースの後端面に密着するとともに、嵌合凸部が第２凹部に密着し、材料ホルダーが接続ロッドに固定される。

【0007】

本発明の材料搬送器具の一例としては、第１回転軸が、その外周面から径方向外方へ延びるガイドピンを有し、第２回転軸のパイプ部が、軸方向へ延びていてガイドピンが係入しつつガイドピンが軸方向へ進退移動する案内スリットを有する。

【0008】

本発明の材料搬送器具の他の一例として、材料搬送器具では、第１凹部の凹み寸法が第２凹部の凹み寸法よりも小さい場合であって、第１凹部に嵌合凸部が嵌合したときのコイルバネによる軸方向前方への付勢力が第２凹部に嵌合凸部が嵌合したときのコイルバネによる軸方向前方へのそれよりも大きくなる。

【0009】

本発明の材料搬送器具の他の一例として、材料搬送器具では、第１凹部の凹み寸法が第２凹部の凹み寸法よりも小さい場合であって、径方向外方へ延びるにつれて軸方向後方へ次第に傾斜する傾斜案内面が第１凹部と前記第２凹部との間に作られている。

【0010】

本発明の材料搬送器具の他の一例として、材料搬送器具では、第１凹部の凹み寸法が第２凹部の凹み寸法よりも大きい場合であって、第１凹部に嵌合凸部が嵌合したときのコイルバネによる軸方向前方への付勢力が第２凹部に嵌合凸部が嵌合したときのコイルバネによる軸方向前方へのそれよりも小さくなる。

【0011】

本発明の材料搬送器具の他の一例として、材料搬送器具では、第１凹部の凹み寸法が第２凹部の凹み寸法よりも大きい場合であって、径方向外方へ延びるにつれて軸方向前方へ次第に傾斜する傾斜案内面が第１凹部と第２凹部との間に作られている。

【0012】

本発明の材料搬送器具の他の一例としては、第１凹部がカギ孔に対するシャフト部の初期挿入位置から回転方向へ９０度離間した位置に作られ、第２凹部が第１凹部から回転方向へ９０度離間した位置に作られ、材料搬送器具では、コイルバネの付勢力に抗して第２回転軸を軸方向後方へ後退させた状態でシャフト部を初期挿入位置から９０度回転させて嵌合凸部を第１凹部に嵌合させ、コイルバネの付勢力に抗して第２回転軸を軸方向後方へ後退させた状態でシャフト部を第１凹部から９０度回転させて嵌合凸部を第２凹部に嵌合させる。

【0013】

本発明の材料搬送器具の他の一例としては、接続ロッドの第１回転軸が材料搬送器具を軸方向へ進退移動させる真空フィードスルーのシャフト先端部に着脱可能に取り付けられ、材料搬送器具では、接続ロッドが真空フィードスルーに取り付けられた状態で材料ホルダーと接続ロッドとが真空容器の内部に収容され、真空フィードスルーを利用して材料ホルダーが材料とともに真空状態で所定の真空装置の設置箇所に搬送されるとともに、材料ホルダーが材料とともに真空装置の内部に据え付けられる。

【発明の効果】

【0014】

本発明にかかる材料搬送器具によれば、固定ベースの第１凹部の軸方向後方への凹み寸法が第２凹部の軸方向後方へのそれよりも小さい場合、第１凹部に嵌合凸部が嵌合したときのコイルバネによる軸方向前方への付勢力が第２凹部に嵌合凸部が嵌合したときのコイルバネによる軸方向前方へのそれよりも大きくなり、第１凹部に嵌合凸部が嵌合したときの固定ベースと接続ロッドとの嵌合力が第２凹部に嵌合凸部が嵌合したときの固定ベースと接続ロッドとのそれよりも強くなるから、固定ベースと接続ロッドとの嵌合力を強いそれと弱いそれとの２段階に調節することができる。第１凹部の軸方向後方への凹み寸法が第２凹部の軸方向後方へのそれよりも小さい場合の材料搬送器具は、材料を材料ホルダーに設置した状態で材料ホルダーを所定の装置の設置箇所に搬送するときに、嵌合凸部を第１凹部に嵌合させて固定ベースと接続ロッドとを強く嵌合させることで、搬送時に材料搬送器具に伝わる振動によって固定ベースと接続ロッドとの固定が不用意に解除されることはなく、搬送中における材料ホルダーの接続ロッドからの脱落を防ぐことができ、材料とともに材料ホルダーを安全に装置の設置箇所に搬送することができる。また、第１凹部の軸方向後方への凹み寸法が第２凹部の軸方向後方へのそれよりも小さい場合の材料搬送器具は、材料ホルダーを所定の装置の設置箇所に搬送した後、材料ホルダーをその装置に据え付けるときに、嵌合凸部を第２凹部に嵌合させて固定ベースと接続ロッドとを弱く嵌合させることで、材料ホルダーと接続ロッドとの嵌合を簡単に解除することができ、材料とともに材料ホルダーをその装置に容易に据え付けることができる。材料搬送器具は、固定ベースの第１凹部の軸方向後方への凹み寸法が第２凹部の軸方向後方へのそれよりも大きい場合、第１凹部に嵌合凸部が嵌合したときのコイルバネによる軸方向前方への付勢力が第２凹部に嵌合凸部が嵌合したときのコイルバネによる軸方向前方へのそれよりも小さく、第１凹部に嵌合凸部が嵌合したときの固定ベースと接続ロッドとの嵌合力が第２凹部に嵌合凸部が嵌合したときの固定ベースと接続ロッドとのそれよりも弱くなるから、固定ベースと接続ロッドとの嵌合力を弱いそれと強いそれとの２段階に調節することができる。第１凹部の軸方向後方への凹み寸法が第２凹部の軸方向後方へのそれよりも大きい場合の材料搬送器具は、材料を材料ホルダーに設置した状態で材料ホルダーを所定の装置の設置箇所に搬送するときに、嵌合凸部を第２凹部に嵌合させて固定ベースと接続ロッドとを強く嵌合させることで、搬送時に材料搬送器具に伝わる振動によって固定ベースと接続ロッドとの固定が不用意に解除されることはなく、搬送中における材料ホルダーの接続ロッドからの脱落を防ぐことができ、材料ホルダーを材料とともに安全に装置の設置箇所に搬送することができる。また、第１凹部の軸方向後方への凹み寸法が第２凹部の軸方向後方へのそれよりも大きい場合の材料搬送器具は、材料ホルダーを所定の装置の設置箇所に搬送した後、材料ホルダーをその装置に据え付けるときに、嵌合凸部を第１凹部に嵌合させて固定ベースと接続ロッドとを弱く嵌合させることで、材料ホルダーと接続ロッドとの嵌合を簡単に解除することができ、材料ホルダーを材料とともにその装置に容易に据え付けることができる。

【0015】

第１回転軸がその外周面から径方向外方へ延びるガイドピンを有し、第２回転軸のパイプ部がガイドピンを軸方向へ進退移動させる案内スリットを有する材料搬送器具は、ガイドピンが案内スリットを軸方向へ進退移動することにより、接続ロッドの第２回転軸のパイプ部を案内スリットに沿って軸方向前方と後方とへ正確に進退移動させることができるから、コイルバネの付勢力に抗して第２回転軸のシャフト部を軸方向後方へ後退させ、第２回転軸の嵌合凸部を第１凹部や第２凹部に確実に嵌合させることができ、第２回転軸のパイプ部に作用する軸方向前方への付勢力によって嵌合凸部と第１凹部や第２凹部との嵌合状態を確実に保持することができる。

【0016】

第１凹部の凹み寸法が第２凹部の凹み寸法よりも小さい場合であって、第１凹部に嵌合凸部が嵌合したときのコイルバネによる軸方向前方への付勢力が第２凹部に嵌合凸部が嵌合したときのコイルバネによる軸方向前方へのそれよりも大きくなる材料搬送器具は、第１凹部に嵌合凸部が嵌合したときの第２回転軸に作用するコイルバネの軸方向前方への付勢力が第２凹部に嵌合凸部が嵌合したときの第２回転軸に作用するコイルバネの軸方向前方へのそれよりも強くなり、第１凹部に嵌合凸部を嵌合させることで、固定ベースと接続ロッドとを強く嵌合させることができるから、材料を材料ホルダーに設置した状態で材料ホルダーを所定の装置の設置箇所に搬送するときに、搬送時に材料搬送器具に伝わる振動によって固定ベースと接続ロッドとの固定が不用意に解除されることはなく、搬送中における材料ホルダーの接続ロッドからの脱落を防ぐことができ、材料とともに材料ホルダーを安全にその装置に搬送することができる。

【0017】

第１凹部の凹み寸法が第２凹部の凹み寸法よりも小さい場合であって、径方向外方へ延びるにつれて軸方向後方へ次第に傾斜する傾斜案内面が第１凹部と第２凹部との間に作られている材料搬送器具は、嵌合凸部を第１凹部に嵌合させた後、第２回転軸を第２凹部に向かって回転させ、嵌合凸部を第１凹部から第２凹部に嵌合させるときに、嵌合凸部が第１凹部を越えた後、コイルバネの付勢力によって嵌合凸部が傾斜案内面を摺動しつつ嵌合凸部が傾斜案内面を通って第２凹部に向かうから、嵌合凸部を第１凹部から第２凹部にスムースに嵌合させることができる。また、嵌合凸部を第２凹部に嵌合させた後、第２回転軸を第１凹部に向かって回転させ、嵌合凸部を第２凹部から第１凹部に嵌合させるときに、嵌合凸部が傾斜案内面を摺動しつつ第２凹部から第１凹部に向かうから、第２回転軸の回転中における嵌合凸部のカギ孔の所定の箇所への引っ掛かりを防ぐことができ、嵌合凸部を第２凹部から第１凹部にスムースに嵌合させることができる。

【0018】

第１凹部の凹み寸法が第２凹部の凹み寸法よりも大きい場合であって、第１凹部に嵌合凸部が嵌合したときのコイルバネによる軸方向前方への付勢力が第２凹部に嵌合凸部が嵌合したときのコイルバネによる軸方向前方へのそれよりも小さくなる材料搬送器具は、第２凹部に嵌合凸部が嵌合したときの第２回転軸に作用するコイルバネの軸方向前方への付勢力が第１凹部に嵌合凸部が嵌合したときの第２回転軸に作用するコイルバネの軸方向前方へのそれよりも強くなり、第２凹部に嵌合凸部を嵌合させることで、固定ベースと接続ロッドとを強く嵌合させることができるから、材料を材料ホルダーに設置した状態で材料ホルダーを所定の装置の設置箇所に搬送するときに、搬送時に材料搬送器具に伝わる振動によって固定ベースと接続ロッドとの嵌合が不用意に解除されることはなく、搬送中における材料ホルダーの接続ロッドからの脱落を防ぐことができ、材料とともに材料ホルダーを安全にその装置に搬送することができる。

【0019】

第１凹部の凹み寸法が第２凹部の凹み寸法よりも大きい場合であって、径方向外方へ延びるにつれて軸方向前方へ次第に傾斜する傾斜案内面が第１凹部と第２凹部との間に作られている材料搬送器具は、嵌合凸部を第１凹部に嵌合させた後、第２回転軸を第２凹部に向かって回転させ、嵌合凸部を第１凹部から第２凹部に嵌合させるときに、嵌合凸部が傾斜案内面を摺動しつつ第１凹部から第２凹部に向かうから、第２回転軸の回転中における嵌合凸部のカギ孔の所定の箇所への引っ掛かりを防ぐことができ、嵌合凸部を第１凹部から第２凹部にスムースに嵌合させることができる。また、嵌合凸部を第２凹部に嵌合させた後、第２回転軸を第１凹部に向かって回転させ、嵌合凸部を第２凹部から第１凹部に嵌合させるときに、嵌合凸部が第２凹部を越えた後、コイルバネの付勢力によって嵌合凸部が傾斜案内面を摺動しつつ嵌合凸部が傾斜案内面を通って第１凹部に向かうから、嵌合凸部を第２凹部から第１凹部にスムースに嵌合させることができる。

【0020】

カギ孔に対するシャフト部の初期挿入位置から回転方向へ９０度離間した位置に第１凹部が作られ、第１凹部から回転方向へ９０度離間した位置に第２凹部が作られた材料搬送器具は、初期挿入位置や第１凹部、第２凹部の互いの離間寸法がたとえば３０度であった場合、第２回転軸をわずかに回転させただけで嵌合凸部が初期挿入位置から直ちに第１凹部に嵌合するとともに、嵌合凸部が第１凹部から直ちに第２凹部に嵌合し、嵌合凸部が第１凹部と第２凹部とのいずれに嵌合したか区別ができなくなる場合があるが、初期挿入位置や第１凹部、第２凹部の互いの離間寸法が９０度であり、第２回転軸を９０度分回転させなければ、嵌合凸部を初期挿入位置から第１凹部に嵌合させることができず、嵌合凸部を第１凹部から第２凹部に嵌合させることができないから、嵌合凸部が第１凹部と第２凹部とのいずれに嵌合したかをはっきりと区別することができ、固定ベースと接続ロッドとの嵌合力の強弱を明確に区別することができる。

【0021】

接続ロッドの第１回転軸が材料搬送器具を軸方向へ進退移動させる真空フィードスルーのシャフト先端部に着脱可能に取り付けられ、接続ロッドが真空フィードスルーに取り付けられた状態で材料ホルダーと接続ロッドとが真空容器の内部に収容され、真空フィードスルーを利用して材料ホルダーが材料とともに真空状態で所定の真空装置の設置箇所に搬送されるとともに、材料ホルダーが材料とともに真空装置の内部に据え付けられる材料搬送器具は、材料を材料ホルダーに設置しつつ真空状態で材料ホルダーを所定の真空装置の設置箇所に搬送するときに、嵌合凸部を第１凹部または第２凹部に嵌合させて固定ベースと接続ロッドとを強く嵌合させることで、搬送時に材料搬送器具に伝わる振動によって固定ベースと接続ロッドとの嵌合が不用意に解除されることを防ぐことができ、搬送中における材料ホルダーの接続ロッドからの脱落を防ぎつつ、真空状態におかれた材料ホルダーを材料とともに安全にその真空装置の設置箇所に搬送することができる。また、材料ホルダーを真空装置に搬送した後、材料ホルダーをその真空装置に据え付けるときに、嵌合凸部を第１凹部または第２凹部に嵌合させて固定ベースと接続ロッドとを弱く嵌合させることで、真空フィードスルーを真空装置に連結した後、材料ホルダーと接続ロッドとの嵌合を簡単に解除することができ、真空状態にある材料ホルダーを材料とともにその真空装置に容易に据え付けることができる。材料搬送器具は、真空フィードスルーに連結された状態で材料ホルダーが材料とともに真空状態に保持され、真空フィードスルーを所定の真空装置に連結した後、真空装置の真空ポンプによる真空引きをすることはなく、直ちにその真空装置において材料を使用することができ、真空ポンプによって真空引きをする手間と時間とを省くことができる。

【図面の簡単な説明】

【0022】

【図1】一例として示す材料搬送器具の斜視図。

【図2】接続ロッドの斜視図。

【図3】固定ベースの側から示す材料ホルダーの斜視図。

【図4】底面の側から示す材料ホルダーの斜視図。

【図5】カギ孔にシャフト部を挿入した状態の材料搬送器具の斜視図。

【図6】嵌合凸部が第１凹部に嵌合した状態の材料搬送器具の斜視図。

【図7】嵌合凸部が第１凹部に嵌合した状態の材料搬送器具の底面図。

【図8】嵌合凸部が第２凹部に嵌合した状態の材料搬送器具の斜視図。

【図9】嵌合凸部が第２凹部に嵌合した状態の材料搬送器具の側面図。

【図10】材料搬送器具を取り付けた状態で示す真空フィードスルーの上面図。

【図11】材料搬送器具を取り付けた状態で示す真空フィードスルーの側面図。

【図12】固定ベースの側から示す材料ホルダーの他の一例の斜視図。

【図13】底面の側から示す材料ホルダーの他の一例の斜視図。

【図14】カギ孔にシャフト部を挿入した状態の材料搬送器具の斜視図。

【図15】嵌合凸部が第１凹部に嵌合した状態の材料搬送器具の斜視図。

【図16】嵌合凸部が第２凹部に嵌合した状態の材料搬送器具の斜視図。

【発明を実施するための形態】

【0023】

一例として示す材料搬送器具１０の斜視図である図１等の添付の図面を参照し、本発明にかかる材料搬送器具の詳細を説明すると、以下のとおりである。なお、図２は、接続ロッド１１の斜視図であり、図３は、固定ベース２６の側から示す材料ホルダー１２Ａの斜視図である。図４は、底面の側から示す材料ホルダー１２Ａの斜視図である。図１では、接続ロッド１１と材料ホルダー１２Ａとを分離した状態で示す。図１では、軸方向を矢印Ａで示し、径方向を矢印Ｂで示すとともに、回転方向（回り方向）を矢印Ｃで示す。図２，４では、軸方向前方を矢印Ａ１で示し、軸方向後方を矢印Ａ２で示す。

【0024】

材料搬送器具１０は、後記する真空フィードスルー５０（図１０，１１参照）のシャフト５２の先端部に着脱可能に取り付けられ、真空状態を保持した状態でフィードスルー５０とともに材料を真空装置（装置）（図示せず）の設置箇所まで搬送する場合に使用される。材料搬送器具１０は、接続ロッド１１と材料ホルダー１２Ａとから形成されている。接続ロッド１１は、軸方向へ延びる第１回転軸１３および第２回転軸１４と、コイルバネ１５とを有する。第１回転軸１３および第２回転軸１４は、ステンレスから作られている。第１回転軸１３は、真空フィードスルーに挿脱可能に取り付けられる円筒状のシャフト支持軸１６と、シャフト支持軸１６の先端に連接されて支持軸１６から軸方向前方へ延びる円柱状のバネ支持軸１７とから形成されている。

【0025】

シャフト支持軸１６には、真空フィードスルーのシャフトの先端部を挿脱可能に挿入させる挿入部（図示せず）と、径方向へ開口するビス孔１８とが作られている。ビス孔１８にビス（図示せず）を螺着することで、挿入部に挿入されたシャフトの先端部がシャフト支持軸１６に固定される。バネ支持軸１７は、その直径がシャフト支持軸１６のそれよりも小さい。バネ支持軸１７（第１回転軸１３）の外周面には、径方向外方へガイドピン１９が延出している。コイルバネ１５は、バネ支持軸１７（第１回転軸１３）に嵌め込まれている。コイルバネ１５は、その後端部がシャフト支持軸１６の前端に当接している。

【0026】

第２回転軸１４は、円筒状のパイプ部２０と、パイプ部２０の先端に連接されてパイプ部２０から軸方向前方へ延びる円柱状のシャフト部２１と、シャフト部２１の先端部分２１ａの外周面から径方向外方へ凸となる（延出する）円柱状の嵌合凸部２２とを有する。パイプ部２０には、軸方向へ延びる案内スリット２３が作られている。パイプ部２０は、バネ支持軸１７（第１回転軸１３の先端部）に係入され、その後端にコイルバネ１５の前端部が当接している。したがって、コイルバネ１５がシャフト支持軸１６とパイプ部２０との間に介在し、コイルバネ１５の付勢力によってパイプ部２０が軸方向前方へ付勢（押圧）されている。パイプ部２０の案内スリット２３には、バネ支持軸１７のガイドピン１９が係入している。

【0027】

接続ロッド１１では、シャフト支持軸１６やバネ支持軸１７（第１回転軸１３）が時計回り方向または反時計回り方向へ回転すると、それにともなってパイプ部２０およびシャフト部２１（第２回転軸１４）が時計回り方向または反時計回り方向へ回転する。パイプ部２０は、軸方向へ進退移動する。パイプ部２０に軸方向後方への押圧力が作用しない状態では、ガイドピン１９が案内スリット２３の後端に当接している。

【0028】

接続ロッド１１では、パイプ部２０の先端を軸方向後方へ押圧すると、コイルバネ１５の付勢力に抗してパイプ部２０が図２に矢印Ａ２で示す軸方向後方へ後退するとともに、案内スリット２３に係入したガイドピン１９がスリット２３を軸方向後方へ後退し、ガイドピン１９がスリット２３の前端に当接する。パイプ部２０の先端に対する押圧力を解除すると、コイルバネ１５の付勢力によってパイプ部２０が図２に矢印Ａ１で示す軸方向前方へ前進するとともに、ガイドピン１９が案内スリット２３を軸方向後方へ後退し、ガイドピン１９がスリット２３の後端に当接する。

【0029】

材料ホルダー１２Ａは、ステンレスから作られ、固定プレート２４、ステージ２５、固定ベース２６を有する。ステージ２５は、押さえ板２７と固定プレート２４との間に配置され、プレート２４の略中央に固定されている。固定プレート２４やステージ２５、押さえ板２７は、それらに穿孔されたビス孔（図示せず）にビスが螺着されることで互いに固定されている。ステージ２５には、サンプルや加工材料、測定試料等の材料（図示せず）が載置される円形の材料載置台２８が作られている。

【0030】

固定ベース２６は、ステージ２５の下方であって固定プレート２４（材料ホルダー１２Ａ）の一端部に連接され、プレート２４と一体成型されている。固定ベース２６には、軸方向へ貫通（開口）するカギ孔２９が作られている。カギ孔２９の周縁部３０には、第１凹部３１と第２凹部３２とが作られている。カギ孔２９は、第２回転軸１４のシャフト部２１が挿脱可能に挿入される第１カギ孔３３と、嵌合凸部２２が挿脱可能に挿入される第２カギ孔３４とから形成されている。

【0031】

第１カギ孔３３は、シャフト部２１の径よりもわずかに大きい円形の開口であり、固定ベース２６を軸方向へ貫通している。第２カギ孔３４は、シャフト部２１の外周面からの嵌合凸部２２の延出長さよりもわずかに大きい開口であり、第１カギ孔３３から径方向へ延びているとともに、固定ベース２６を軸方向へ貫通している。カギ孔２９では、嵌合凸部２２が第２カギ孔３４を通過した状態で、シャフト部２１および嵌合凸部２２を時計回り方向または反時計回り方向へ回転させることができる。

【0032】

第１凹部３１は、図４に示すように、第１カギ孔３３に対するシャフト部２１の初期挿入位置３５および第２カギ孔３４に対する嵌合凸部２２の初期挿入位置３５（カギ孔２９に対するシャフト部２１の初期挿入位置３５）から回転方向（反時計回り方向）へ９０度離間した位置に作られている。第１凹部３１は、初期挿入位置３５よりも軸方向前方に位置し、軸方向後方へ半円状に凹んでいる。初期挿入位置３５と第１凹部３１との間には、軸方向前方へ凸となる第１壁部３６が作られている。

【0033】

第２凹部３２は、第１凹部３１から回転方向（反時計回り方向）へ９０度離間した位置（初期挿入位置３５から１８０度離間した位置）に作られている。第２凹部３２は、初期挿入位置３５よりも軸方向前方（第１凹部３１よりも軸方向後方）に位置し、軸方向後方へ半円状に凹んでいる。第１凹部３１の軸方向後方への凹み寸法が第２凹部３２の軸方向後方へのそれよりも小さく、第２凹部３２が第１凹部３１よりも軸方向後方に位置している。第１凹部３１と第２凹部３２との間には、軸方向前方へ凸となる第２壁部３７が作られている。

【0034】

第２壁部３７（第１凹部３１と第２凹部３２との間）には、第１凹部３１から径方向外方へ延びるにつれて軸方向後方へ次第に傾斜する傾斜案内面３８が作られている。傾斜案内面３８は、第１凹部３１から径方向外方へ延びるにつれて下り勾配に傾斜している。固定ベース２６からの第２壁部３７の軸方向前方への隆起高さは、固定ベース２６からの第１壁部３６の軸方向前方へのそれと略同一である。

【0035】

図５は、カギ孔２９に第２回転軸１４のシャフト部２１を挿入した状態の材料搬送器具１０の斜視図であり、図６は、嵌合凸部２２が第１凹部３１に嵌合した状態の材料搬送器具１０の斜視図である。図７は、嵌合凸部２２が第１凹部３１に嵌合した状態の材料搬送器具１０の底面図である。図５では、時計回り方向（回転方向）を矢印Ｃ１で示し、反時計回り方向（回転方向）を矢印Ｃ２で示す。図５，６では、軸方向前方を矢印Ａ１で示し、軸方向後方を矢印Ａ２で示す

【0036】

シャフト部２１をカギ孔２９に挿入するには、シャフト部２１の先端部分２１ａを第１カギ孔３３の挿入側開口３３ａに対向させるとともに、嵌合凸部２２を第２カギ孔３４の挿入側開口３４ａに対向させた状態で、シャフト部２１を第１カギ孔３３の挿入側開口３３ａからカギ孔３３に挿入するとともに、嵌合凸部２２を第２カギ孔３４の挿入側開口３４ａからカギ孔３４に挿入する。シャフト部２１をカギ孔２９に挿入すると、パイプ部２０の前端が固定ベース２６の後端面３９に当接するが、その状態でシャフト支持軸１６を軸方向前方へ押圧し、コイルバネ１５の付勢力に抗してシャフト部２１をカギ孔２９において軸方向前方へ移動させる。

【0037】

第２回転軸１４のシャフト部２１をカギ孔２９において軸方向前方へ移動させると、パイプ部２０がコイルバネ１５の付勢力に抗して軸方向後方へ次第に後退するとともに、ガイドピン１９が案内スリット２３の後端から前端に向かって軸方向前方へ次第に移動し、シャフト部２１の先端部分２１ａが第１カギ孔３３の挿入側開口３３ａからカギ孔３３の通過側開口３３ｂに向かってカギ孔３３に深く進入し、嵌合凸部２２が第２カギ孔３４の挿入側開口３４ａからカギ孔３４の通過側開口３４ｂに向かってカギ孔３４に深く進入する。

【0038】

シャフト支持軸１６をさらに軸方向前方へ押圧し、コイルバネ１５の付勢力に抗してシャフト部２１の先端部分２１ａを第１カギ孔３３に押し込むとともに、コイルバネ１５の付勢力に抗して嵌合凸部２２を第２カギ孔３４に押し込み、先端部分２１ａが第１カギ孔３３の通過側開口３３ｂを通過し、嵌合凸部２２が第２カギ孔３４の通過側開口３４ｂを通過すると、図５に示すように、先端部分２１ａが第１カギ孔３３の通過側開口３３ｂから軸方向前方へ露出し、嵌合凸部２２が第２カギ孔３４の通過側開口３４ｂから軸方向前方に露出する。

【0039】

シャフト部２１の先端部分２１ａが第１カギ孔３３を通過し、嵌合凸部２２が第２カギ孔３４を通過すると、シャフト部２１の先端部分２１ａと嵌合凸部２２とがカギ孔２９に対する初期挿入位置３５に位置する。図５の状態（先端部分２１ａが第１カギ孔３３の通過側開口３３ｂから軸方向前方へ露出し、嵌合凸部２２が第２カギ孔３４の通過側開口３４ｂから軸方向前方に露出し、シャフト部２１の先端部分２１ａと嵌合凸部２２とがカギ孔２９に対する初期挿入位置３５に位置した状態）では、嵌合凸部２２がカギ孔２９に作られた第１壁部３６に引っ掛かることはなく、嵌合凸部２２が第１壁部３６を乗り越えることができ、シャフト部２１を図５に矢印Ｃ２で示す反時計回り方向へ回転させることができる。なお、図５の状態からシャフト部２１を時計回り方向（矢印Ｃ１）へ回転させようとすると、嵌合凸部２２が固定プレート２４の底面に当接し、シャフト部２１の回転が阻止される。

【0040】

図５の状態からシャフト支持軸１６を反時計回り方向に回転させると、それにともなってシャフト部２１が反時計回り方向へ回転する。シャフト部２１を反時計回り方向へ回転させると、嵌合凸部２２が第１壁部３６を乗り越え、シャフト部２１が初期挿入位置３５から反時計回り方向へ９０度回転した時点で、嵌合凸部２２が第１凹部３１に対向する。嵌合凸部２２が第１凹部３１に対向した状態で、シャフト支持軸１６に加えた軸方向前方への押圧力を解除すると、コイルバネ１５の付勢力によってパイプ部２０が軸方向前方へ瞬時に前進するとともに、ガイドピン１９が案内スリット２３の前端の側から後端に向かって軸方向後方へ瞬時に移動し、図６，７に示すように、嵌合凸部２２が第１凹部３１に嵌合する。

【0041】

嵌合凸部２２が第１凹部３１に嵌合した状態では、コイルバネ１５による軸方向前方への付勢力がパイプ部２０に作用しているが、パイプ部２０の前端が固定ベース２６の後端面３９に当接しているとともに、嵌合凸部２２が第１凹部３１に嵌合しているから、パイプ部２０の軸方向前方や軸方向後方への移動が阻止され、コイルバネ１５の軸方向前方への付勢力によってパイプ部２０の前端が固定ベース２６の後端面３９に密着するとともに、嵌合凸部２２が第１凹部３１に密着し、材料ホルダー１２Ａが接続ロッド１１に固定される。

【0042】

図８は、嵌合凸部２２が第２凹部３２に嵌合した状態の材料搬送器具１０の斜視図であり、図９は、嵌合凸部２２が第２凹部３２に嵌合した状態の材料搬送器具１０の側面図である。図８では、軸方向前方を矢印Ａ１で示し、軸方向後方を矢印Ａ２で示すとともに、時計回り方向（回転方向）を矢印Ｃ１で示し、反時計回り方向（回転方向）を矢印Ｃ２で示す。

【0043】

嵌合凸部２２が第１凹部３１に嵌合した状態（図６，７の状態）から、シャフト支持軸１６を軸方向前方へ押圧し、コイルバネ１５の付勢力に抗してシャフト部２１の先端部分２１ａを軸方向前方へ移動させると、図示はしていないが、パイプ部２０が軸方向後方へ後退するとともに、嵌合凸部２２が軸方向前方へ移動し、嵌合凸部２２が第１凹部３１から脱出してシャフト部２１を図８に矢印Ｃ２で示す反時計回り方向へ回転させることができる。

【0044】

嵌合凸部２２が第１凹部３１から脱出した状態からシャフト支持軸１６を反時計回り方向へ回転させると、それにともなってシャフト部２１が反時計回り方向へ回転する。シャフト部２１を反時計回り方向へ回転させると、嵌合凸部２２がカギ孔２９に作られた第２壁部３７を乗り越える。嵌合凸部２２が第２壁部３７を乗り越えた時点でシャフト支持軸１６に加えた押圧力を解除しつつ、シャフト部２１をさらに反時計回り方向へ回転させると、嵌合凸部２２が第２壁部３７に作られた傾斜案内面３８を摺動しつつ第２凹部３２に向かう。嵌合凸部２２が傾斜案内面３８を下り、シャフト部２１が第１凹部３１から反時計回り方向へ９０度回転して嵌合凸部２２が第２凹部３２に位置すると、コイルバネ１５の付勢力によってパイプ部２０が軸方向前方へ瞬時に前進するとともに、ガイドピン１９が案内スリット２３の後端の側から前端に向かって軸方向前方へ瞬時に移動し、図８，９に示すように、嵌合凸部２２が第２凹部３２に嵌合する。

【0045】

嵌合凸部２２が第２凹部３２に嵌合した状態では、コイルバネ１５による軸方向前方への付勢力がパイプ部２０に作用しているが、パイプ部２０の前端が固定ベース２６の後端面３９に当接しているとともに、嵌合凸部２２が第２凹部３２に嵌合しているから、パイプ部２０の軸方向前方や軸方向後方への移動が阻止され、コイルバネ１５の軸方向前方への付勢力によってパイプ部２０の前端が固定ベース２６の後端面３９に密着するとともに、嵌合凸部２２が第２凹部３２に密着し、材料ホルダー１２Ａが接続ロッド１１に固定される。

【0046】

材料搬送器具１０では、固定ベース２６に作られた第１凹部３１の軸方向後方への凹み寸法が第２凹部３２の軸方向後方への凹み寸法よりも小さいから、第１凹部３１に嵌合凸部２２が嵌合したときのコイルバネ１５による軸方向前方への付勢力が第２凹部３２に嵌合凸部２２が嵌合したときのコイルバネ１５による軸方向前方へのそれよりも大きくなる。したがって、第１凹部３１に嵌合凸部２２が嵌合したときの接続ロッド１１と材料ホルダー１２Ａとの嵌合力が第２凹部３２に嵌合凸部２２が嵌合したときの接続ロッド１１と材料ホルダー１２Ａとの嵌合力よりも大きく、嵌合凸部２２を第１凹部３１に嵌合させることで、嵌合凸部２２を第２凹部３２に嵌合させた場合と比較し、接続ロッド１１に材料ホルダー１２Ａが強く固定される。

【0047】

逆に、第２凹部３２の軸方向後方への凹み寸法が第１凹部３１の軸方向後方への凹み寸法よりも大きいから、第２凹部３２に嵌合凸部２２が嵌合したときのコイルバネ１５による軸方向前方への付勢力が第１凹部３１に嵌合凸部２２が嵌合したときのコイルバネ１５による軸方向前方へのそれよりも小さくなる。したがって、第２凹部３２に嵌合凸部２２が嵌合したときの接続ロッド１１と材料ホルダー１２Ａとの嵌合力が第１凹部３１に嵌合凸部２２が嵌合したときの接続ロッド１１と材料ホルダー１２Ａとの嵌合力よりも小さく、嵌合凸部２２を第２凹部３２に嵌合させることで、嵌合凸部２２を第１凹部３１に嵌合させた場合と比較し、接続ロッド１１に材料ホルダー１２Ａが弱く固定される。

【0048】

嵌合凸部２２が第２凹部３２に嵌合した状態（図８，９の状態）から、シャフト支持軸１６を軸方向前方へ押圧し、コイルバネ１５の付勢力に抗してシャフト部２１の先端部分２１ａを軸方向前方へ移動させると、図示はしていないが、パイプ部２０が軸方向後方へ後退するとともに、嵌合凸部２２が軸方向前方へ移動し、嵌合凸部２２が第２凹部３２から脱出してシャフト部２１を図８に矢印Ｃ１で示す時計回り方向へ回転させることができる。

【0049】

嵌合凸部２２が第２凹部３２から脱出した状態からシャフト支持軸１６を時計回り方向へ回転させると、それにともなってシャフト部２１が時計回り方向へ回転する。シャフト部２１を時計回り方向へ回転させると、嵌合凸部２２が第２壁部３７を乗り越え、シャフト部２１が第２凹部３２から時計回り方向へ９０度回転した時点で、嵌合凸部２２が第１凹部３１に対向する。嵌合凸部２２が第１凹部３１に対向した状態で、シャフト支持軸１６に加えた押圧力を解除すると、コイルバネ１５の付勢力によってパイプ部２０が軸方向前方へ瞬時に前進するとともに、ガイドピン１９が案内スリット２３の後端の側から前端に向かって軸方向前方へ瞬時に移動し、嵌合凸部２２が第１凹部３１に嵌合する。

【0050】

嵌合凸部２２が第１凹部３１に嵌合した状態（図６，７の状態）から、シャフト支持軸１６を軸方向前方へ押圧し、コイルバネ１５の付勢力に抗してシャフト部２１の先端部分２１ａを軸方向前方へ移動させると、図示はしていないが、パイプ部２０が軸方向後方へ後退するとともに、嵌合凸部２２が軸方向前方へ移動し、嵌合凸部２２が第１凹部３１から脱出してシャフト部２１を時計回り方向へ回転させることができる。

【0051】

嵌合凸部２２が第１凹部３１から脱出した状態からシャフト支持軸１６を時計回り方向へ回転させると、それにともなってシャフト部２１が時計回り方向へ回転する。シャフト部２１を時計回り方向へ回転させると、嵌合凸部２２が第１壁部３６を乗り越え、シャフト部２１が第１凹部３１から時計回り方向へ９０度回転した時点で、シャフト部２１および嵌合凸部２２がカギ孔２９の初期挿入位置３５に戻り、嵌合凸部２２が第２カギ孔３４に対向し、接続ロッド１１に対する材料ホルダー１２Ａの固定が解除される。

【0052】

シャフト部２１および嵌合凸部２２がカギ孔２９の初期挿入位置３５に位置し、嵌合凸部２２が第２カギ孔３４に対向した時点で、シャフト支持軸１６に加えた押圧力を解除すると、コイルバネ１５の付勢力によってパイプ部２０が軸方向前方へ瞬時に前進するとともに、ガイドピン１９が案内スリット２３の後端の側から前端に向かって軸方向前方へ瞬時に移動し、嵌合凸部２２が第２カギ孔３４の通過側開口３４ｂからカギ孔３４に進入し、シャフト部２１が第１カギ孔３３の通過側開口３３ｂからカギ孔３４に進入する。接続ロッド１１を軸方向後方へ移動させることにより、シャフト部２１が第１カギ孔３３から脱出し、嵌合凸部２２が第２カギ孔３４から脱出し、図１に示すように、接続ロッド１１と材料ホルダー１２Ａとが分離される。

【0053】

材料搬送器具１０は、固定ベース２６に作られた第１凹部３１の軸方向後方への凹み寸法が第２凹部３２の軸方向後方へのそれよりも小さく、第１凹部３１に嵌合凸部２２が嵌合したときのパイプ部２０（第２回転軸１４）に作用するコイルバネ１５の軸方向前方への付勢力が第２凹部３２に嵌合凸部２２が嵌合したときのパイプ部２０に作用するコイルバネ１５の軸方向前方へのそれよりも大きくなり、第１凹部３１に嵌合凸部２２が嵌合したときの接続ロッド１１と固定ベース２６との嵌合力が第２凹部３２に嵌合凸部２２が嵌合したときの接続ロッド１１と固定ベース２６とのそれよりも強くなるから、接続ロッド１１と固定ベース２６との嵌合力を強いそれと弱いそれとの２段階に調節することができる。

【0054】

材料搬送器具１０は、ガイドピン１９が案内スリット２３を軸方向へ進退移動することにより、接続ロッド１１の第２回転軸１４のパイプ部２０をスリット２３に沿って軸方向前方と後方とへ正確に進退移動させることができるから、コイルバネ１５の付勢力に抗してシャフト部２１を軸方向後方へ後退させ、嵌合凸部２２を第１凹部３１や第２凹部３２に確実に嵌合させることができ、パイプ部２０に作用する軸方向前方への付勢力によって嵌合凸部２２と第１凹部３１や第２凹部３２との嵌合状態を確実に保持することができる。

【0055】

図１０は、材料搬送器具１０を取り付けた状態で示す真空フィードスルー５０の上面図であり、図１１は、材料搬送器具１０を取り付けた状態で示す真空フィードスルー５０の側面図である。図１０では、真空容器５５の一部を破断した状態で示す。図１０では、軸方向を矢印Ａで示し、回転方向（回り方向）を矢印Ｃで示す。

【0056】

真空フィードスルー５０は、真空にすることが可能な内部空間を有して軸方向へ延びる所定長さのパイプ５１と、パイプ５１の内部空間に設置されて軸方向へ延びる所定長さの搬送シャフト５２と、パイプ５１の外周面に摺動可能に設置されたマグネットスライダー５３と、搬送シャフト５２の後端部に取り付けられたマグネットホルダー（図示せず）とから形成されている。マグネットスライダー５３は、パイプ５１の外周面を一方向前方と一方向後方とへスライド可能かつパイプ５１の外周面を回り方向へ回転可能である。

【0057】

真空フィードスルー５０では、マグネットスライダー５３とマグネットホルダーとが磁力によって互いに引き合っている。したがって、マグネットスライダー５３を軸方向前方へスライドさせると、マグネットスライダー５３と引き合うマグネットホルダーを取り付けた搬送シャフト５２がパイプ５１の先端に形成された開口から外部に向かって軸方向前方へ前進し、マグネットスライダー５３を軸方向後方へスライドさせると、搬送シャフト５２がパイプ５１の開口から内部空間に向かって軸方向後方へ後退する。さらに、マグネットスライダー５３を時計回り方向（回転方向）へ回転させると、搬送シャフト５２が時計回り方向へ回転し、マグネットスライダー５３を反時計回り方向（回転方向）へ回転させると、搬送シャフト５２が反時計回り方向へ回転する。

【0058】

真空フィードスルー５０に材料搬送器具１０を取り付けるには、嵌合凸部２２を第１凹部３１に嵌合させ、接続ロッド１１に材料ホルダー１２Ａを強く固定した後、第１回転軸１３のシャフト支持軸１６に形成された挿入部に真空フィードスルー５０の搬送シャフト５２の先端部を挿入する。挿入部にシャフト５２の先端部を挿入した後、ビス孔１８にビスを螺着し、シャフト支持軸１６と搬送シャフト５２の先端部とを固定する。

【0059】

次に、真空フィードスルー５０のパイプ５１の先端部に設置されたフランジ５４と真空容器５５のフランジ５６とを溶接し、真空フィードスルー５０に真空容器５５を連結する。真空フィードスルー５０に真空容器５５を連結すると、接続ロッド１１と材料ホルダー１２Ａとが真空容器５５の内部に収容される。なお、真空容器５５は、ステンレスから作られ、軸方向へ長い円筒状に成型されている。真空容器５５の周壁には、配管５７を介して真空ポンプ５８が取り付けられている。真空容器５５の前端には、ゲートバルブ５９が取り付けられている。

【0060】

真空フィードスルー５０に真空容器５５を連結した後、真空ポンプ５８を起動させて真空引きし、真空フィードスルー５０の内部空間と真空容器５５の内部とを真空状態にする。真空フィードスルー５０の内部空間や真空容器５５の内部が真空になった後、材料搬送器具１０を取り付けた状態の真空フィードスルー５０を所定の真空装置の設置箇所に運ぶ。したがって、真空フィードスルー５０を利用して材料ホルダー１２Ａが材料とともに真空状態で所定の真空装置の設置箇所に搬送される。

【0061】

真空フィードスルー５０を真空装置の設置箇所に運んだ後、真空フィードスルー５０のマグネットスライダー５３を反時計回り方向（回転方向）へ９０度回転させ、搬送シャフト５２とともに接続ロッド１１を反時計回り方向へ９０度回転させて嵌合凸部２２を第１凹部３１から第２凹部３２に嵌合させ、接続ロッド１１に材料ホルダー１２Ａを弱く固定する。

【0062】

次に、真空容器５５および真空装置を繋ぐ連結バルブ（図示せず）のフランジとゲートバルブ５９とにボルトを螺着して連結バルブとゲートバルブ５９とを強固に固着し、連結バルブを介して真空装置と真空容器５５とを連結する。真空装置の内部が真空状態になっている場合、または、真空装置に設置された真空ポンプによって真空引きし、真空装置の内部を真空状態にした後、真空容器５５に取り付けられたゲートバルブ５９のゲートを開放するとともに、連結バルブのゲートを開放し、真空装置と真空容器５５とを連通させる。

【0063】

各ゲートを開放して真空装置と真空容器５５とを連通させた後、真空フィードスルー５０のマグネットスライダー５３を軸方向前方へスライドさせ、搬送シャフト５２を軸方向前方へ前進させる。搬送シャフト５２を前進させると、シャフト５２がパイプ５１の先端開口から軸方向前方へ次第に露出するとともに、シャフト５２に取り付けられた材料搬送器具１０（接続ロッド１１および材料ホルダー１２Ａ）が軸方向前方に次第に移動する。搬送シャフト５２の前進にともなって、材料搬送器具１０がゲートバルブ５９のゲートを通過するとともに真空装置の内部に移動し、材料ホルダー１２Ａが真空装置のステージに達する。

【0064】

材料ホルダー１２Ａが真空装置のステージに達した後、真空フィードスルー５０のマグネットスライダー５３を軸方向前方へ押圧しつつ、スライダー５３を時計回り方向（回転方向）へ１８０度回転させ、搬送シャフト５２とともに接続ロッド１１（シャフト部２１）を時計回り方向へ１８０度回転させて嵌合凸部２２を第２凹部３２から初期挿入位置３５に戻し、接続ロッド１１と材料ホルダー１２Ａとの固定を解除する。材料ホルダー１２Ａは、接続ロッド１１から分離され、それのみが真空装置のステージに据え付けられる。

【0065】

次に、真空フィードスルー５０のマグネットスライダー５３を軸方向後方へスライドさせ、搬送シャフト５２を軸方向後方へ後退させる。搬送シャフト５２を後退させると、シャフト５２がパイプ２０の内部空間に次第に進入するとともに、シャフト５２に取り付けられた材料搬送器具１０の接続ロッド１１が軸方向後方に次第に移動する。接続ロッド１１が真空容器５５の内部に移動した後、ゲートバルブ５９のゲートを閉鎖するとともに、連結バルブのゲートを閉鎖し、真空装置と真空容器５５とを遮断する。真空容器５５および真空装置を繋ぐ連結バルブ（図示せず）のフランジとゲートバルブ５９とに螺着したボルトを取り外し、連結バルブとゲートバルブ５９との連結を解除し、真空装置と真空容器５５とを分離する。真空装置と真空容器５５とを分離すると、真空装置のステージに材料ホルダー１２Ａのみが据え付けられ、搬送シャフト５２に取り付けられた接続ロッド１１は真空容器５５の内部に戻っている。したがって、材料ホルダー１２Ａのステージ２５に設置された材料が真空フィードスルー５０によって所定の真空装置のステージに移送される。

【0066】

材料搬送器具１０は、材料を材料ホルダー１２Ａのステージ２５に設置した状態で材料ホルダー１２Ａを所定の真空装置の設置箇所に搬送するときに、嵌合凸部２２を第１凹部３１に嵌合させて接続ロッド１１と固定ベース２６とを強く嵌合させることで、搬送時に材料搬送器具１０に伝わる振動によって接続ロッド１１と固定ベース２６との固定が不用意に解除されることはなく、搬送中における材料ホルダー１２Ａの接続ロッド１１からの脱落を防ぐことができ、材料とともに材料ホルダー１２Ａを安全に真空装置の設置箇所に搬送することができる。材料搬送器具１０は、材料ホルダー１２Ａを真空装置に搬送した後、ホルダー１２Ａをその真空装置のステージに据え付けるときに、嵌合凸部２２を第２凹部３２に嵌合させて接続ロッド１１と固定ベース２６とを弱く嵌合させることで、接続ロッド１１と材料ホルダー１２Ａとの嵌合を簡単に解除することができ、材料とともに材料ホルダー１２Ａをその真空装置のステージに容易に据え付けることができる。

【0067】

図１２は、固定ベース２６の側から示す材料ホルダー１２Ｂの他の一例の斜視図である。図１３は、底面の側から示す材料ホルダー１２Ｂの他の一例の斜視図である。材料ホルダー１２Ｂは、図１のそれと同様に、ステンレスから作られ、固定プレート２４、円形の材料載置台２８が作られたステージ２５、固定ベース２６を有する。固定プレート２４やステージ２５、押さえ板２７は、それらに穿孔されたビス孔（図示せず）にビスが螺着され、押さえ板２７のバネ力によって互いに固定されている。

【0068】

固定ベース２６は、ステージ２５の下方であって固定プレート２４（材料ホルダー１２Ｂ）の一端部に連接されている。固定ベース２６には、軸方向へ貫通（開口）するカギ孔２９が作られ、カギ孔２９の周縁部３０には、第１凹部３１と第２凹部３２とが作られている。カギ孔２９は、図１の材料ホルダー１２Ａと同様に、固定ベース２６を軸方向へ貫通する円形の第１カギ孔３３と、第１カギ孔３３から径方向へ延びているとともに、固定ベース２６を軸方向へ貫通する第２カギ孔３４とから形成されている。第１凹部３１は、図１２に示すように、カギ孔２９に対するシャフト部２１の初期挿入位置３５から回転方向（反時計回り方向）へ９０度離間した位置に作られている。第１凹部３１は、初期挿入位置３５よりも軸方向前方に位置し、軸方向後方へ半円状に凹んでいる。初期挿入位置３５と第１凹部３１との間には、軸方向前方へ凸となる第１壁部３６が作られている。

【0069】

第２凹部３２は、第１凹部３１から回転方向（反時計回り方向）へ９０度離間した位置に作られている。第２凹部３２は、初期挿入位置３５よりも軸方向前方（第１凹部３１よりも軸方向前方）に位置し、軸方向後方へ半円状に凹んでいる。第１凹部３１の軸方向後方への凹み寸法が第２凹部３２の軸方向後方へのそれよりも大きく、第１凹部３１が第２凹部３２よりも軸方向後方に位置している。第１凹部３１と第２凹部３２との間には、軸方向前方へ凸となる第２壁部３７が作られている。第２壁部３７（第１凹部３１と第２凹部３２との間）には、第１凹部３１から径方向外方へ延びるにつれて軸方向前方へ次第に傾斜する傾斜案内面３８が作られている。傾斜案内面３８は、第１凹部３１から径方向外方へ延びるにつれて上り勾配に傾斜している。固定ベース２６からの第２壁部３７の軸方向前方への隆起高さは、固定ベース２６からの第１壁部３６の軸方向前方へのそれよりも大きい。

【0070】

図１４は、カギ孔２９に第２回転軸１４のシャフト部２１を挿入した状態の材料搬送器具１０の斜視図であり、図１５は、嵌合凸部２２が第１凹部３１に嵌合した状態の材料搬送器具１０の斜視図である。図１４では、時計回り方向（回転方向）を矢印Ｃ１で示し、反時計回り方向（回転方向）を矢印Ｃ２で示す。図１４，１５では、軸方向前方を矢印Ａ１で示し、軸方向後方を矢印Ａ２で示す。

【0071】

シャフト部２１の先端部分２１ａを第１カギ孔３３の挿入側開口３３ａに対向させ、嵌合凸部２２を第２カギ孔３４の挿入側開口３４ａに対向させた状態で、シャフト部２１を第１カギ孔３３の挿入側開口３３ａからカギ孔３３に挿入するとともに、嵌合凸部２２を第２カギ孔３４の挿入側開口３４ａからカギ孔３４に挿入する。シャフト部２１をカギ孔２９に挿入すると、パイプ部２０の前端が固定ベース２６の後端面３９に当接した状態で、シャフト支持軸１６を軸方向前方へ押圧し、コイルバネ１５の付勢力に抗してシャフト部２１をカギ孔２９において軸方向前方へ移動させる。

【0072】

第２回転軸１４のシャフト部２１をカギ孔２９において軸方向前方へ移動させると、パイプ部２０がコイルバネ１５の付勢力に抗して軸方向後方へ次第に後退し、シャフト部２１の先端部分２１ａが第１カギ孔３３の挿入側開口３３ａからカギ孔３３の通過側開口３３ｂに向かってカギ孔３３に深く進入し、嵌合凸部２２が第２カギ孔３４の挿入側開口３４ａからカギ孔３４の通過側開口３４ｂに向かってカギ孔３４に深く進入する。シャフト支持軸１６をさらに軸方向前方へ押圧し、コイルバネ１５の付勢力に抗してシャフト部２１の先端部分２１ａを第１カギ孔３３に押し込むとともに、嵌合凸部２２を第２カギ孔３４に押し込み、先端部分２１ａが第１カギ孔３３の通過側開口３３ｂを通過し、嵌合凸部２２が第２カギ孔３４の通過側開口３４ｂを通過すると、図１４に示すように、先端部分２１ａが通過側開口３３ｂから軸方向前方へ露出し、嵌合凸部２２が通過側開口３４ｂから軸方向前方に露出する。

【0073】

シャフト部２１の先端部分２１ａが第１カギ孔３３を通過し、嵌合凸部２２が第２カギ孔３４を通過すると、シャフト部２１の先端部分２１ａと嵌合凸部２２とがカギ孔２９に対する初期挿入位置３５に位置する。図１４の状態（先端部分２１ａが通過側開口３３ｂから軸方向前方へ露出し、嵌合凸部２２が通過側開口３４ｂから軸方向前方に露出し、先端部分２１ａと嵌合凸部２２とがカギ孔２９に対する初期挿入位置３５に位置した状態）では、嵌合凸部２２がカギ孔２９に作られた第１壁部３６に引っ掛かることはなく、嵌合凸部２２が第１壁部３６を乗り越えることができ、シャフト部２１を図１４に矢印Ｃ２で示す反時計回り方向へ回転させることができる。

【0074】

図１４の状態からシャフト支持軸１６を反時計回り方向に回転させると、シャフト部２１が反時計回り方向へ回転し、嵌合凸部２２が第１壁部３６を乗り越え、シャフト部２１が初期挿入位置３５から反時計回り方向へ９０度回転した時点で、嵌合凸部２２が第１凹部３１に対向する。その状態でシャフト支持軸１６に加えた軸方向前方への押圧力を解除すると、コイルバネ１５の付勢力によってパイプ部２０が軸方向前方へ瞬時に前進し、図１５に示すように、嵌合凸部２２が第１凹部３１に嵌合する。

【0075】

嵌合凸部２２が第１凹部３１に嵌合した状態では、パイプ部２０の前端が固定ベース２６の後端面３９に当接しているとともに、嵌合凸部２２が第１凹部３１に嵌合しているから、パイプ部２０の軸方向前方や軸方向後方への移動が阻止され、コイルバネ１５の軸方向前方への付勢力によってパイプ部２０の前端が固定ベース２６の後端面３９に密着するとともに、嵌合凸部２２が第１凹部３１に密着し、材料ホルダー１２Ａが接続ロッド１１に固定される。

【0076】

図１６は、嵌合凸部２２が第２凹部３２に嵌合した状態の材料搬送器具１０の斜視図である。図１６では、軸方向前方を矢印Ａ１で示し、軸方向後方を矢印Ａ２で示すとともに、時計回り方向（回転方向）を矢印Ｃ１で示し、反時計回り方向（回転方向）を矢印Ｃ２で示す。嵌合凸部２２が第１凹部３１に嵌合した状態（図１５の状態）から、シャフト支持軸１６を軸方向前方へ押圧し、コイルバネ１５の付勢力に抗してシャフト部２１の先端部分２１ａを軸方向前方へ移動させると、嵌合凸部２２が軸方向前方へ移動し、嵌合凸部２２が第１凹部３１から脱出してシャフト部２１を図１６に矢印Ｃ２で示す反時計回り方向へ回転させることができる。

【0077】

嵌合凸部２２が第１凹部３１から脱出した状態からシャフト支持軸１６を反時計回り方向へ回転させると、シャフト部２１が反時計回り方向へ回転し、嵌合凸部２２が第２壁部３７に作られた傾斜案内面３８を摺動しつつ第２凹部３２に向かう。嵌合凸部２２が傾斜案内面３８を上り、嵌合凸部２２が第２壁部３７を乗り越えて第２凹部３２に位置すると、コイルバネ１５の付勢力によってパイプ部２０が軸方向前方へ瞬時に前進し、図１６に示すように、嵌合凸部２２が第２凹部３２に嵌合する。

【0078】

嵌合凸部２２が第２凹部３２に嵌合した状態では、パイプ部２０の前端が固定ベース２６の後端面３９に当接しているとともに、嵌合凸部２２が第２凹部３２に嵌合しているから、パイプ部２０の軸方向前方や軸方向後方への移動が阻止され、コイルバネ１５の軸方向前方への付勢力によってパイプ部２０の前端が固定ベース２６の後端面３９に密着するとともに、嵌合凸部２２が第２凹部３２に密着し、材料ホルダー１２Ａが接続ロッド１１に固定される。

【0079】

材料搬送器具１０では、固定ベース２６に作られた第１凹部３１の軸方向後方への凹み寸法が第２凹部３２の軸方向後方への凹み寸法よりも大きいから、第１凹部３１に嵌合凸部２２が嵌合したときのコイルバネ１５による軸方向前方への付勢力が第２凹部３２に嵌合凸部２２が嵌合したときのコイルバネ１５による軸方向前方へのそれよりも小さくなる。したがって、第１凹部３１に嵌合凸部２２が嵌合したときの接続ロッド１１と材料ホルダー１２Ａとの嵌合力が第２凹部３２に嵌合凸部２２が嵌合したときの接続ロッド１１と材料ホルダー１２Ａとの嵌合力よりも小さく、嵌合凸部２２を第１凹部３１に嵌合させることで、嵌合凸部２２を第２凹部３２に嵌合させた場合と比較し、接続ロッド１１に材料ホルダー１２Ａが弱く固定される。

【0080】

逆に、第２凹部３２の軸方向後方への凹み寸法が第１凹部３１の軸方向後方への凹み寸法よりも小さいから、第２凹部３２に嵌合凸部２２が嵌合したときのコイルバネ１５による軸方向前方への付勢力が第１凹部３１に嵌合凸部２２が嵌合したときのコイルバネ１５による軸方向前方へのそれよりも大きくなる。したがって、第２凹部３２に嵌合凸部２２が嵌合したときの接続ロッド１１と材料ホルダー１２Ａとの嵌合力が第１凹部３１に嵌合凸部２２が嵌合したときの接続ロッド１１と材料ホルダー１２Ａとの嵌合力よりも大きく、嵌合凸部２２を第２凹部３２に嵌合させることで、嵌合凸部２２を第１凹部３１に嵌合させた場合と比較し、接続ロッド１１に材料ホルダー１２Ａが強く固定される。

【0081】

嵌合凸部２２が第２凹部３２に嵌合した状態（図１６の状態）から、シャフト支持軸１６を軸方向前方へ押圧し、コイルバネ１５の付勢力に抗してシャフト部２１の先端部分２１ａを軸方向前方へ移動させると、嵌合凸部２２が軸方向前方へ移動し、嵌合凸部２２が第２凹部３２から脱出してシャフト部２１を図１６に矢印Ｃ１で示す時計回り方向へ回転させることができる。嵌合凸部２２が第２凹部３２から脱出した状態からシャフト支持軸１６を時計回り方向へ回転させると、嵌合凸部２２が第２壁部３７を乗り越えてシャフト部２１が時計回り方向へ回転し、嵌合凸部２２が第２壁部３７に作られた傾斜案内面３８を摺動しつつ第１凹部３１に向かう。嵌合凸部２２が傾斜案内面３８を下り、第１凹部３１に位置すると、コイルバネ１５の付勢力によってパイプ部２０が軸方向前方へ瞬時に前進し、図１５に示すように、嵌合凸部２２が第１凹部３１に嵌合する。

【0082】

嵌合凸部２２が第１凹部３１に嵌合した状態（図１５の状態）から、シャフト支持軸１６を軸方向前方へ押圧し、コイルバネ１５の付勢力に抗してシャフト部２１の先端部分２１ａを軸方向前方へ移動させると、嵌合凸部２２が軸方向前方へ移動し、嵌合凸部２２が第１凹部３１から脱出してシャフト部２１を時計回り方向へ回転させることができる。嵌合凸部２２が第１凹部３１から脱出した状態からシャフト支持軸１６を時計回り方向へ回転させると、シャフト部２１が時計回り方向へ回転し、嵌合凸部２２が第１壁部３６を乗り越え、シャフト部２１が第１凹部３１から時計回り方向へ９０度回転した時点で、シャフト部２１および嵌合凸部２２がカギ孔２９の初期挿入位置３５に戻り、嵌合凸部２２が第２カギ孔３４に対向し、接続ロッド１１に対する材料ホルダー１２Ｂの固定が解除される。

【0083】

シャフト部２１および嵌合凸部２２がカギ孔２９の初期挿入位置３５に位置し、嵌合凸部２２が第２カギ孔３４に対向した時点で、シャフト支持軸１６に加えた押圧力を解除すると、コイルバネ１５の付勢力によってパイプ部２０が軸方向前方へ瞬時に前進し、嵌合凸部２２が第２カギ孔３４の通過側開口３４ｂからカギ孔３４に進入するとともに、シャフト部２１が第１カギ孔３３の通過側開口３３ｂからカギ孔３４に進入する。接続ロッド１１を軸方向後方へ移動させることにより、シャフト部２１が第１カギ孔３３から脱出し、嵌合凸部２２が第２カギ孔３４から脱出し、接続ロッド１１と材料ホルダー１２Ｂとが分離される。

【0084】

材料搬送器具１０は、固定ベース２６に作られた第１凹部３１の軸方向後方への凹み寸法が第２凹部３２の軸方向後方へのそれよりも大きく、第１凹部３１に嵌合凸部２２が嵌合したときのパイプ部２０（第２回転軸１４）に作用するコイルバネ１５の軸方向前方への付勢力が第２凹部３２に嵌合凸部２２が嵌合したときのパイプ部２０に作用するコイルバネ１５の軸方向前方へのそれよりも小さくなり、第１凹部３１に嵌合凸部２２が嵌合したときの接続ロッド１１と固定ベース２６との嵌合力が第２凹部３２に嵌合凸部２２が嵌合したときの接続ロッド１１と固定ベース２６とのそれよりも弱くなるから、接続ロッド１１と固定ベース２６との嵌合力を強いそれと弱いそれとの２段階に調節することができる。

【0085】

接続ロッド１１と材料ホルダー１２Ｂとを連結した材料搬送器具１０は、接続ロッド１１と材料ホルダー１２Ａとを連結した材料搬送器具１０と同様に、真空フィードスルー５０のシャフト５２の先端部に着脱可能に取り付けられ、真空状態を保持した状態でフィードスルー５０とともに材料を真空装置（装置）（図示せず）の設置箇所まで搬送する場合に使用される。真空フィードスルー５０を利用して材料ホルダー１２Ｂが材料とともに真空状態で所定の真空装置の設置箇所に搬送される。

【0086】

嵌合凸部２２を第２凹部３２に嵌合させ、接続ロッド１１に材料ホルダー１２Ｂを強く固定した後、材料搬送器具１０を真空フィードスルー５０に取り付ける。なお、真空フィードスルー５０に対する材料搬送器具１０の取り付け手順や真空フィードスルー５０に対する真空容器５５の連結手順は、接続ロッド１１と材料ホルダー１２Ａとを連結した材料搬送器具１０のそれと同一であるから、図１０および図１１を援用するとともに、それら図の説明を援用することで、その手順の説明は省略する。

【0087】

真空フィードスルー５０を真空装置の設置箇所に運んだ後、真空フィードスルー５０のマグネットスライダー５３を時計回り方向（回転方向）へ９０度回転させ、搬送シャフト５２とともに接続ロッド１１を時計回り方向へ９０度回転させて嵌合凸部２２を第２凹部３２から第１凹部３１に嵌合させ、接続ロッド１１に材料ホルダー１２Ａを弱く固定する。次に、真空容器５５および真空装置を繋ぐ連結バルブとゲートバルブ５９とを強固に固着し、連結バルブを介して真空装置と真空容器５５とを連結した後、ゲートバルブ５９のゲートを開放するとともに、連結バルブのゲートを開放し、真空装置と真空容器５５とを連通させる。

【0088】

各ゲートを開放して真空装置と真空容器５５とを連通させた後、真空フィードスルー５０のマグネットスライダー５３を軸方向前方へスライドさせ、搬送シャフト５２を軸方向前方へ前進させる。搬送シャフト５２の前進にともなって、材料搬送器具１０がゲートバルブ５９のゲートを通過するとともに真空装置の内部に移動し、材料ホルダー１２Ｂが真空装置のステージに達する。材料ホルダー１２Ｂが真空装置のステージに達した後、真空フィードスルー５０のマグネットスライダー５３を軸方向前方へ押圧しつつ、スライダー５３を時計回り方向（回転方向）へ９０度回転させ、搬送シャフト５２とともに接続ロッド１１（シャフト部２１）を時計回り方向へ９０度回転させて嵌合凸部２２を第１凹部３１から初期挿入位置３５に戻し、接続ロッド１１と材料ホルダー１２Ｂとの固定を解除する。材料ホルダー１２Ｂは、接続ロッド１１から分離され、それのみが真空装置のステージに据え付けられる。

【0089】

次に、真空フィードスルー５０のマグネットスライダー５３を軸方向後方へスライドさせ、搬送シャフト５２を軸方向後方へ後退させる。接続ロッド１１が真空容器５５の内部に移動した後、ゲートバルブ５９のゲートを閉鎖するとともに、連結バルブのゲートを閉鎖し、真空装置と真空容器５５とを遮断する。真空容器５５および真空装置を繋ぐ連結バルブとゲートバルブ５９との連結を解除し、真空装置と真空容器５５とを分離する。真空装置と真空容器５５とを分離すると、真空装置のステージに材料ホルダー１２Ｂのみが据え付けられ、搬送シャフト５２に取り付けられた接続ロッド１１は真空容器５５の内部に戻っている。したがって、材料ホルダー１２Ｂのステージ２５に設置された材料が真空フィードスルー５０によって所定の真空装置のステージに移送される。

【0090】

材料搬送器具１０は、材料を材料ホルダー１２Ｂのステージ２５に設置した状態で材料ホルダー１２Ｂを所定の真空装置の設置箇所に搬送するときに、嵌合凸部２２を第２凹部３２に嵌合させて接続ロッド１１と固定ベース２６とを強く嵌合させることで、搬送時に材料搬送器具１０に伝わる振動によって接続ロッド１１と固定ベース２６との固定が不用意に解除されることはなく、搬送中における材料ホルダー１２Ｂの接続ロッド１１からの脱落を防ぐことができ、材料とともに材料ホルダー１２Ｂを安全に真空装置の設置箇所に搬送することができる。材料搬送器具１０は、材料ホルダー１２Ｂを真空装置に搬送した後、ホルダー１２Ｂをその真空装置のステージに据え付けるときに、嵌合凸部２２を第１凹部３１に嵌合させて接続ロッド１１と固定ベース２６とを弱く嵌合させることで、接続ロッド１１と材料ホルダー１２Ｂとの嵌合を簡単に解除することができ、材料とともに材料ホルダー１２Ｂをその真空装置のステージに容易に据え付けることができる。

【符号の説明】

【0091】

１０Ａ 材料搬送器具
１０Ｂ 材料搬送器具
１１ 接続ロッド
１２Ａ 材料ホルダー
１２Ｂ 材料ホルダー
１３ 第１回転軸
１４ 第２回転軸
１５ コイルバネ
１６ シャフト支持軸
１７ バネ支持軸
１９ ガイドピン
２０ パイプ部
２１ シャフト部
２２ 嵌合凸部
２３ 案内スリット
２４ 固定プレート
２５ ステージ
２６ 固定ベース
２９ カギ孔
２９Ａ 第１カギ孔
２９Ｂ 第２カギ孔
３０ 周縁部
３１ 第１凹部
３２ 第２凹部
３３ 第１カギ孔
３３ａ 挿入側開口
３３ｂ 通過側開口
３４ 第２カギ孔
３４ａ 挿入側開口
３４ｂ 通過側開口
３５ 初期挿入位置
３６ 第１壁部
３７ 第２壁部
３８ 傾斜案内面
５０ 真空フィードスルー
５１ パイプ
５２ 搬送シャフト
５３ マグネットスライダー
５５ 真空容器

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】