特許 6281685 除染処理装置および除染処理方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6281685

(24)【登録日】2018年2月2日

(45)【発行日】2018年2月21日

(54)【発明の名称】除染処理装置および除染処理方法

(51)【国際特許分類】

   A61L 2/20 20060101AFI20180208BHJP

【ＦＩ】

   A61L2/20 106

【請求項の数】2

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2013-268273(P2013-268273)

(22)【出願日】2013年12月26日

(65)【公開番号】特開2015-123162(P2015-123162A)

(43)【公開日】2015年7月6日

【審査請求日】2016年11月30日

(73)【特許権者】

【識別番号】000253019

【氏名又は名称】澁谷工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100082108

【弁理士】

【氏名又は名称】神崎 真一郎

(74)【代理人】

【識別番号】100156199

【弁理士】

【氏名又は名称】神崎 真

(72)【発明者】

【氏名】谷本 和仁

(72)【発明者】

【氏名】松岡 智生

【審査官】 中野 孝一

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００５−０５８４９５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−１４３７２６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１０−１６５４９２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ａ６１Ｌ２／００−２／２８、

Ａ６１Ｌ１１／００−１２／１４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

被除染物が収容されるチャンバと、除染剤を蒸発させる加熱手段と、蒸発した除染蒸気をチャンバ内に送気する送気手段と、チャンバ内を給気と排気とにより換気する給排気手段と、これらの作動を制御する制御手段とを備え、
上記制御手段に、上記加熱手段および送気手段を作動させて所定量の除染蒸気をチャンバ内に供給する供給工程と、当該供給工程の後で上記給排気手段を作動させて、換気によりチャンバ内の除染成分を除去する除去工程とが設定された除染処理装置において、
上記給排気手段は、給気手段と排気手段とを備えて給排気量を調節可能に構成され、
上記制御手段は、上記供給工程を複数回繰り返すよう設定されるとともに、これら供給工程と供給工程との間に、上記給排気手段を作動させてチャンバ内に生じた除染蒸気の凝縮液を換気により蒸発させる乾燥工程が設定され、
当該乾燥工程は、上記除去工程よりも短時間であって、当該乾燥工程中は上記給排気手段の給排気量を調節して、チャンバ内の圧力を上記供給工程から低下させながらも陽圧に維持し、
さらに制御手段に、当該乾燥工程から上記供給工程に移行する際に、給気によりチャンバ内の圧力を昇圧させる昇圧工程が設定されていることを特徴とする除染処理装置。

【請求項2】

被除染物が収容されるチャンバの内部に所定量の除染蒸気を供給する供給工程と、当該供給工程の後でチャンバ内を換気して除染成分を除去する除去工程とが設定された除染処理方法において、
上記供給工程を複数回繰り返すとともに、これら供給工程と供給工程との間に、給気と排気とによりチャンバ内を換気してチャンバ内に生じた除染蒸気の凝縮液を蒸発させる乾燥工程を設定し、
当該乾燥工程は、上記除去工程よりも短時間であって、当該乾燥工程中は換気のための給排気量を調節することにより、チャンバ内の圧力を上記供給工程から低下させながらも陽圧に維持し、
さらに、当該乾燥工程から上記供給工程に移行する際に、給気によりチャンバ内の圧力を昇圧させる昇圧工程を設定したことを特徴とする除染処理方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は除染処理装置および除染処理方法に関し、詳しくは、所定量の除染蒸気をチャンバ内に供給する供給工程と、チャンバ内の除染成分を除去する除去工程とが設定された除染処理装置および除染処理方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、所要の被除染物を除染するための除染処理装置として、当該被除染物が収容されるチャンバと、除染剤を蒸発させる加熱手段と、蒸発した除染蒸気をチャンバ内に送気する送気手段と、チャンバ内を換気する給排気手段と、これらの作動を制御する制御手段とを備えたものが知られている。
このような除染処理装置による除染処理方法では、上記加熱手段および送気手段を作動させて所定量の除染蒸気をチャンバ内に供給する供給工程と、当該供給工程の後で上記給排気手段を作動させてチャンバ内の除染成分を除去する除去工程とが行われている（特許文献１）。
一方では、複雑な形状を有する被除染物を除染するために、被除染物を収容したチャンバを減圧する減圧工程と、チャンバ内に除染蒸気を供給する供給工程と、当該チャンバを復圧する復圧工程とからなるサイクルを繰り返す除染処理方法も知られている（特許文献２）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特許第４３８０４１１号公報

【特許文献2】特許第５１６３８８２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１のような除染処理方法では、チャンバ内に供給した除染蒸気が被除染物の表面で凝縮してしまい、それ以降、除染蒸気の供給を繰り返しても被除染物の内部構造にまで十分に到達させることができず、特許文献２で除染の対象とするような複雑な形状を有する被除染物を十分に除染することができないという問題がある。
一方、特許文献２の除染処理方法では、減圧に対応可能なチャンバを用意しなければならず、また減圧することによってチャンバ外の空気がチャンバ内に流入して、外気中の細菌やウイルス等の微生物によって被除染物が汚染されてしまう恐れがあった。
このような問題に鑑み、本発明は複雑な形状を有する被除染物の除染を行うことが可能であるとともに、除染中にチャンバ内への細菌等の侵入を防止することが可能な除染処理装置および除染処理方法を提供するものである。

【課題を解決するための手段】

【0005】

すなわち請求項１の発明にかかる除染処理装置は、被除染物が収容されるチャンバと、除染剤を蒸発させる加熱手段と、蒸発した除染蒸気をチャンバ内に送気する送気手段と、チャンバ内を給気と排気とにより換気する給排気手段と、これらの作動を制御する制御手段とを備え、
上記制御手段に、上記加熱手段および送気手段を作動させて所定量の除染蒸気をチャンバ内に供給する供給工程と、当該供給工程の後で上記給排気手段を作動させて、換気によりチャンバ内の除染成分を除去する除去工程とが設定された除染処理装置において、
上記給排気手段は、給気手段と排気手段とを備えて給排気量を調節可能に構成され、
上記制御手段は、上記供給工程を複数回繰り返すよう設定されるとともに、これら供給工程と供給工程との間に、上記給排気手段を作動させてチャンバ内に生じた除染蒸気の凝縮液を換気により蒸発させる乾燥工程が設定され、
当該乾燥工程は、上記除去工程よりも短時間であって、当該乾燥工程中は上記給排気手段の給排気量を調節して、チャンバ内の圧力を上記供給工程から低下させながらも陽圧に維持し、
さらに制御手段に、当該乾燥工程から上記供給工程に移行する際に、給気によりチャンバ内の圧力を昇圧させる昇圧工程が設定されていることを特徴としている。

【0006】

また請求項２の発明にかかる除染処理方法は、被除染物が収容されるチャンバの内部に所定量の除染蒸気を供給する供給工程と、当該供給工程の後でチャンバ内を換気して除染成分を除去する除去工程とが設定された除染処理方法において、
上記供給工程を複数回繰り返すとともに、これら供給工程と供給工程との間に、給気と排気とによりチャンバ内を換気してチャンバ内に生じた除染蒸気の凝縮液を蒸発させる乾燥工程を設定し、
当該乾燥工程は、上記除去工程よりも短時間であって、当該乾燥工程中は換気のための給排気量を調節することにより、チャンバ内の圧力を上記供給工程から低下させながらも陽圧に維持し、
さらに、当該乾燥工程から上記供給工程に移行する際に、給気によりチャンバ内の圧力を昇圧させる昇圧工程を設定したことを特徴としている。

【発明の効果】

【0007】

上記発明によれば、チャンバ内に除染蒸気を供給する供給工程と供給工程との間に乾燥工程を設けたことにより、当該乾燥工程においてチャンバ内に生じた除染蒸気の凝縮液を蒸発させるため、複雑な形状を有する被除染物の内部構造まで除染蒸気を到達させて除染することが可能となる。
そして、減圧工程を備えておらず、外部からの細菌等の侵入の恐れがない。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本実施例における除染処理装置の構成図。

【図2】除染処理方法を説明する図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下図示実施例について説明すると、図１は被除染物としての包装容器１を、除染蒸気としての過酸化水素蒸気によって細菌やウイルス等の微生物を除染処理する除染処理装置２を示している。
上記包装容器１は、注射器３を収容する透明な容器本体１ａと、該容器本体１ａの開口部を覆う蓋体１ｂとから構成されている。
上記容器本体１ａはポリエチレンテレフタレートなどの細菌等が透過できない素材からなり、また透明であることから収納した注射器３を外部より目視することが可能となっている。
上記蓋体１ｂは細菌等の通過を防止しつつ、過酸化水素蒸気を含む気体は通過させる素材からなり、このような性質を有する素材として高密度のポリエチレン製のシートを用いることができる。具体的にはデュポン社製の「タイベック」（登録商標）が知られている。
このような包装容器１を上記除染処理装置２で除染処理すると、上記蓋体１ｂを介して包装容器１の内部に過酸化水素蒸気が浸透し、注射器３の表面が除染されるようになっている。
そして、その後包装容器１を除染処理されていない環境下に移動させても、上記蓋体１ｂにより細菌等の侵入が防止されるため、包装容器１の内部の無菌状態を維持することができる。
なおこのような包装容器１は従来公知であるのでこれ以上の詳細な説明は省略し、また本実施例では被除染物として、上記包装容器１のほか、シリンジを多数収納した包装容器や、複雑な内部構造を有する医療用のハンドピースなども除染処理することが可能である。

【0010】

除染処理装置２は、上記包装容器１を複数収容するチャンバ１１と、当該チャンバ１１の内部に所定量の過酸化水素蒸気を供給する除染蒸気供給手段１２と、チャンバ１１内を換気する給排気手段１３とを備え、これらの作動は制御手段１４によって制御されるようになっている。
上記チャンバ１１はクリーンルーム内に設置され、包装容器１を搬出入するための図示しない扉と、チャンバ１１内の圧力を測定する圧力センサ１５と、天井に設けられた第１、第２フィルタ１６、１７とを備えている。
上記チャンバ１１の内部は、給排気手段１３によって陽圧に維持され、また上記扉を閉鎖することでチャンバ１１の内部の気密が保たれるようになっている。
上記第１、第２フィルタ１６、１７はいわゆるＨＥＰＡフィルタとなっており、これらには上記除染蒸気供給手段１２および給排気手段１３が接続され、第１フィルタ１６はチャンバ１１内への給気側に、第２フィルタ１７はチャンバ１１からの排気側にそれぞれ配置されている。

【0011】

除染蒸気供給手段１２は、流出側が上記第１フィルタ１６に、流入側が第２フィルタ１７に接続された循環通路２１と、当該循環通路２１に設けられたファン等の送気手段２２と、当該送気手段２２の下流側に設けられて除染剤としての過酸化水素水溶液を蒸発させる加熱手段としての蒸発器２３とを備えている。
上記送気手段２２は、上記循環通路２１において気体を図示反時計回りに流通させ、送気された気体は上記第１フィルタ１６よりチャンバ１１内に供給され、またチャンバ１１内の気体は第２フィルタ１７より吸引されて送気手段２２へと循環するようになっている。
また上記循環通路２１における第２フィルタ１７と上記送気手段２２との間には分岐通路が形成されるとともに制御手段１４によって制御される第１開閉弁２４が設けられ、また上記蒸発器２３と第１フィルタ１６との間にも分岐通路が形成されるとともに制御手段１４によって制御される第２開閉弁２５および触媒２６が設けられている。
上記第１開閉弁２４を開放することで外気が取り込むことができ、また第２開閉弁２５を開放することで循環する気体の一部を外部に放出することができることから、制御手段１４はこれらの開閉を制御することにより給排気量を調節することができる。

【0012】

上記蒸発器２３には、所定濃度の過酸化水素水溶液を貯溜するタンク２７と、上記タンク２７から所定量の過酸化水素水溶液を送液する送液ポンプ２８とが配管２９を介して接続されている。
蒸発器２３の内部には上記送気手段２２によって供給された気体が通過するようになっており、この蒸発器２３で蒸発した所定量の過酸化水素蒸気はこの送気手段２２によってチャンバ１１へと供給されるようになっている。
上記タンク２７には３５重量％濃度の過酸化水素水溶液が貯溜され、上記送液ポンプ２８はタンク２７の過酸化水素水溶液を図示しない計量器によって計測しながら一回分を上記蒸発器２３に滴下するようになっている。
そして上記蒸発器２３に上記送液ポンプ２８から過酸化水素水溶液が滴下されると、過酸化水素水溶液は瞬時に蒸発して過酸化水素蒸気となり、上記送気手段２２によってチャンバ１１の内部に供給されるようになっている。

【0013】

上記給排気手段１３は、上記第１フィルタ１６に接続された給気通路３１と、第２フィルタ１７に接続された排気通路３２とを備え、給気通路３１を介して外気をチャンバ１１に供給し、チャンバ１１内の気体を上記排気通路３２を介して排出することにより、チャンバ１１内を換気するようになっている。
上記給気通路３１には、外気をチャンバ１１へと供給する給気ブロア３３と、制御手段１４によってその開度が制御される第１調整弁３４とが設けられており、また排気通路３２には排気ブロア３５と第２調整弁３６とが設けられ、これら排気ブロア３５と第２調整弁３６との間には触媒３７が設けられている。
上記給気通路３１を介してチャンバ１１内に供給される外気は、第１フィルタ１６によって清浄にされ、またチャンバ１１内の気体は第２フィルタ１７を介して排気通路３２より排出され、その際上記触媒３７によって過酸化水素成分が分解されるようになっている。
そして上記構成を有する給排気手段１３によれば、上記給気ブロア３３および第１調整弁３４による給気通路３１からの給気量と、上記排気ブロア３５および第２調整弁３６による排気通路３２からの排気量とを調整することで、給排気量を調節可能に構成され、チャンバ１１内の圧力を可変制御することが可能となっている。
具体的には、制御手段１４の制御により、上記給気通路３１からの給気量を、上記排気通路３２からの排気量よりも多めに設定することで、チャンバ１１の内部を陽圧にすることができ、またこれらの差を増減することでチャンバ１１内の圧力を増減することもできる。
そして、上記給気ブロア３３および排気ブロア３５は、ともに上記除染蒸気供給手段１２の送気手段２２よりも送風量が大きく、大風量で換気することが可能となっている。

【0014】

以下、図２を用いて上記除染処理装置２を用いた包装容器１の除染処理方法を説明する。図２において縦軸はチャンバ１１内の圧力（Ｐａ）を、横軸は時間経過を示している。
除染処理を行う際、チャンバ１１の内部には予め複数の包装容器１が収容されており、また扉によってチャンバ１１が密閉されている。このとき、包装容器１の蓋体１ｂがチャンバ１１の内部に露出するように載置する。
本実施例では、従来の除染処理方法と同様、上記除染蒸気供給手段１２により所定量の過酸化水素蒸気をチャンバ１１内に供給する供給工程と、上記給排気手段１３を作動させて過酸化水素成分を除去する除去工程とが制御手段１４に設定されており、さらに本実施例では、供給工程を複数回繰り返すように供給工程Ｓ１、Ｓ３が設定されており、これら供給工程Ｓ１と供給工程Ｓ３との間に、チャンバ１１内に生じた除染蒸気の凝縮液を蒸発させる乾燥工程Ｓ２が設定されるとともに、供給工程Ｓ３の後に除去工程Ｓ４を設定したものとなっている。
ここで、上記過酸化水素成分とは、包装容器１等に付着した過酸化水素蒸気が凝縮したものや、当該凝縮した過酸化水素蒸気の凝縮液が蒸発したものや、過酸化水素蒸気や凝縮液が被除染物に浸透したものをいう。

【0015】

上記供給工程Ｓ１について説明すると、この供給工程Ｓ１は、一回分に相当する所定量の過酸化水素蒸気をチャンバ１１に供給してチャンバ１１内の包装容器１および包装容器１内部の注射器３を除染する工程となっている。
そして本実施例の供給工程Ｓ１は、さらに細かく昇温工程Ｓ１ａ、蒸発工程Ｓ１ｂ、保持工程Ｓ１ｃの各工程によって構成され、このうち上記昇温工程Ｓ１ａは、上記蒸発器２３および、循環通路２１における蒸発器２３からチャンバ１１に至る部分を昇温させる工程となっている。
すなわち、供給工程Ｓ１を行う際、上記除染蒸気供給手段１２が作動していないことから、上記蒸発器２３および上記循環通路２１における蒸発器２３からチャンバ１１に至る配管部分が十分に加熱されていない。
そこで、当該昇温工程Ｓ１ａに続く蒸発工程Ｓ１ｂにおいて過酸化水素蒸気が上記配管内において凝縮してしまうことを防止するよう、この昇温工程Ｓ１ａによって上記配管部分を予め加熱するものとなっている。
具体的に説明すると、制御手段１４が上記送気手段２２を作動させて空気を循環通路２１に流通させ、当該送気手段２２による風量が所定風量に達したら、上記送液ポンプ２８を停止したまま上記蒸発器２３を作動させる。
これにより、蒸発器２３では過酸化水素蒸気を発生させずに、上記送気手段２２によって送気された空気だけが加熱され、当該加熱された空気が循環通路２１を流通しながら、上記循環通路２１における蒸発器２３からチャンバ１１に至る配管部分を加熱するようになっている。

【0016】

また上記昇温工程Ｓ１ａでは、制御手段１４が上記循環通路２１に設けた送気手段２２の上流側に位置する第１開閉弁２４を開放し、これによりチャンバ１１内へと外気を追加供給するようになっている。
その結果、チャンバ１１内は供給された外気によって徐々に加圧され、その後上記圧力センサ１５が所定の陽圧に達したことを検出すると、制御手段１４は蒸発器２３の下流側の第２開閉弁２５を開放して循環通路２１を流通する空気の一部を排出し、外気の流入量と排出量とを調節することで、チャンバ１１内を所定の陽圧に維持する。
なお昇温工程Ｓ１ａでは、上記給排気手段１３の給気ブロア３３および排気ブロア３５は停止され、上記除染蒸気供給手段１２の送気手段２２だけが作動するようになっており、当該送気手段２２の作動によってチャンバ１１内を陽圧に維持するようになっている。
そして上記昇温工程Ｓ１ａは、蒸発器２３からチャンバ１１に至る循環通路２１の温度が所定温度に達し、かつチャンバ１１内が所定の陽圧に制御されるまで継続され、例えば２０分間継続される。

【0017】

上記供給工程Ｓ１における昇温工程Ｓ１ａに続く蒸発工程Ｓ１ｂは、上記除染蒸気供給手段１２において過酸化水素蒸気を蒸発させて、所定量の過酸化水素蒸気をチャンバ１１に供給する工程となっている。
具体的には、上記制御手段１４が上記除染蒸気供給手段１２の送液ポンプ２８が過酸化水素水溶液を計量しながら所定量を蒸発器２３に滴下し、これにより所定量の過酸化水素蒸気を発生させる。過酸化水素蒸気が循環通路２１を流通してチャンバ１１内に供給されると、急激に圧力が上昇することとなる。
しかしながら、過酸化水素蒸気がチャンバ１１に飽和状態となるまで供給されると、チャンバ１１の内壁や包装容器１の表面で過酸化水素蒸気が凝縮し、チャンバ１１の圧力が徐々に低下することとなる。
一方、制御手段１４は上記圧力センサ１５を監視しながら、圧力の変動に応じて上記送気手段２２および循環通路２１の第１、第２開閉弁２４、２５を制御することで、チャンバ１１内を所定圧力範囲の陽圧に維持するようになっている。なお上記第２開閉弁２５を介して排出される過酸化水素蒸気は上記触媒２６によって分解されるようになっている。
この蒸発工程Ｓ１ｂは例えば１６分間継続される。

【0018】

上記供給工程Ｓ１における蒸発工程Ｓ１ｂに続く保持工程Ｓ１ｃは、過酸化水素蒸気がチャンバ１１内に充満した状態を維持する工程となっている。
具体的には、上記蒸発工程Ｓ１ｂの状態から、上記制御手段１４は上記送液ポンプ２８を停止させるとともに蒸発器２３の加熱を停止して過酸化水素蒸気の供給を停止させ、一方、上記送気手段２２の作動は継続させて循環通路２１の第１、第２開閉弁２４、２５を制御して、チャンバ１１内を陽圧に維持する。
この間に、上記蒸発工程Ｓ１ｂで供給された過酸化水素蒸気の除染作用が十分に発揮される。
この保持工程Ｓ１ｃは例えば３０分間継続される。
なお、一回目の供給工程Ｓ１が終了し、当該一回分の除染蒸気の供給で十分な除染効果が得られる場合には、続いて除染成分を除去する除去工程に移行することができる。
しかしながら、本実施例のような包装容器１のように、除染効果が十分に作用しない被除染物を除染する場合には、供給工程を複数回繰り返す必要があり、その際本実施例では一回目の供給工程Ｓ１と二回目の供給工程Ｓ３との間に乾燥工程Ｓ２を実行するようになっている。

【0019】

この乾燥工程Ｓ２では、給排気手段１３を作動させてチャンバ１１内を換気し、チャンバ１１の内部や包装容器１の表面に付着した凝縮液を蒸発させるようになっている。
そして本実施例の乾燥工程Ｓ２は、低速エアレーション工程Ｓ２ａと、高速エアレーション工程Ｓ２ｂと、昇圧工程Ｓ２ｃとから構成されている。
まず上記低速エアレーション工程Ｓ２ａでは、上記供給工程Ｓ１の保持工程Ｓ１ｃから継続して、上記除染除染蒸気供給手段１２における上記送気手段２２および第１、第２開閉弁２４、２５による陽圧制御が維持されており、この状態から上記給排気手段１３を構成する給気通路３１の給気ブロア３３を低速運転で作動させ、その後さらに第１調整弁３４を開放して、給気通路３１よりチャンバ１１内に外気を供給する。
そして上記給気ブロア３３が低速エアレーションとしての所定風量に到達したら、上記給排気手段１３を構成する排気通路３２の第２調整弁３６を開放するとともに排気ブロア３５も低速エアレーションとしての低速運転による所定風量で作動させ、チャンバ１１内の気体を外部に排出する。
制御手段１４は、上記給気ブロア３３および第１調整弁３４による給気通路３１からの給気量と、上記排気ブロア３５および第２調整弁３６による排気通路３２からの排気量とを調節して、チャンバ１１内を陽圧に維持するが、換気効率を上げるために積極的に排気を行うことから、チャンバ１１内の圧力は低下することとなる。
このように、上記低速エアレーション工程Ｓ２ａでは、上記除染蒸気供給手段１２の送気手段２２と、上記給排気手段１３の給気ブロア３３および排気ブロア３５との作動を重複させており、これによりチャンバ１１内の陽圧を確実に維持するようになっている。
そしてこの低速エアレーション工程Ｓ２ａは例えば１０分継続される。

【0020】

上記低速エアレーション工程Ｓ２ａによってチャンバ１１内の陽圧が確実に維持されたら、上記高速エアレーション工程Ｓ２ｂへと移行する。
制御手段１４は、高速エアレーション工程Ｓ２ｂでは、給気ブロア３３および排気ブロア３５を高速運転させて、低速エアレーション工程Ｓ２ａよりも大風量で大量に換気を行うとともに、給気量と排気量とを調節することで陽圧に維持するようになっている。なお、風圧によりチャンバ１内の圧力は若干上昇する。
そしてこの高速エアレーション工程Ｓ２ｂは例えば２０分間継続される。
以上のように、上記乾燥工程Ｓ２では上記除染蒸気供給手段１２の送気手段２２よりも風量の大きい給気ブロア３３および排気ブロア３５を使用してチャンバ１１の換気を行うことで、速やかに凝縮液を蒸発させることができる。
なお、この乾燥工程Ｓ２での換気は、チャンバ１１の内部表面および包装容器１に収容された注射器３等の表面に付着した凝縮液を除去できればよいため、後で行う除去工程Ｓ４よりも短時間に設定されている。

【0021】

上記乾燥工程Ｓ２の高速エアレーション工程Ｓ２ｂに続く昇圧工程Ｓ２ｃは、さらに後に続く供給工程Ｓ３の昇温工程Ｓ３ａのために、チャンバ１１内を昇圧する工程となっている。
具体的には、高速エアレーション工程Ｓ２ｂが終了したら、制御手段１４が上記給気通路３１の給気ブロア３３および第１調整弁３４を制御して、給気通路３１より最低風量で給気を行い、かつ排気通路３２では排気ブロア３５を停止させるとともに第２調整弁３６を閉鎖して排気を停止させる。
これにより、排気が停止されて給気のみが行われ、チャンバ１１内が加圧されることとなり、この昇圧工程Ｓ２ｃはチャンバ１１内が所定の陽圧に達するまで行われる。
このように、上記乾燥工程Ｓ２に昇圧工程Ｓ２ｃを設定して、予め上記給気ブロア３３の風量を送気手段２２の風量に近似させるとともに、チャンバ１１内を所定圧力まで加圧してから、上記供給工程Ｓ３へと移行するようにすることで、切り換わりによる急激な圧力変動の発生を回避するようになっている。

【0022】

上記乾燥工程Ｓ２が終了したら、制御手段１４は二回目の供給工程Ｓ３を行い、一回目の供給工程Ｓ１と同様、所定量の過酸化水素蒸気をチャンバ１１に供給してチャンバ１１内の包装容器１および包装容器１内部の注射器３を除染する工程となっている。
供給工程Ｓ３も、一回目の供給工程Ｓ１と同様、昇温工程Ｓ３ａ、蒸発工程Ｓ３ｂ、保持工程Ｓ３ｃによって構成され、これらはそれぞれ昇温工程Ｓ１ａ、蒸発工程Ｓ１ｂ、保持工程Ｓ１ｃと同様の動作が行われるため、詳細な説明については省略する。
ただし、二回目の昇温工程Ｓ３ａでは、すでに除染媒体供給手段１２の循環通路２１はそれまでの工程で温度が上昇していることから、一回目の昇温工程Ｓ１ａよりも短時間で行うことが可能であり、この昇温工程Ｓ３ａは例えば５分間に設定されている。
そして昇温工程Ｓ３ａに続く上記蒸発工程Ｓ３ｂおよび保持工程Ｓ３ｃは、一回目の供給工程Ｓ１における蒸発工程Ｓ１ｂおよび保持工程Ｓ１ｃと同様、１６分間および３０分間にそれぞれ設定されている。
また図２に示すように、この二回目の供給工程Ｓ３の蒸発工程Ｓ３ｂでは、チャンバ１１内の温度も一回目より高いため、過酸化水素蒸気が急に凝縮せず圧力は一回目よりも上昇するものの、凝縮が発生することにより下降する。
そして保持工程Ｓ３ｃでは、圧力センサ１５が圧力の設定下限値を検出すると、制御手段１４が上記第１開閉弁２４は開放し第２開閉弁２５は閉鎖した状態として、チャンバ１１内を加圧し、その後圧力が上昇して設定上限値が検出されると、第２開閉弁２５を開放してチャンバ１１内を減圧するように圧力を制御する。

【0023】

本実施例のように、供給工程Ｓ１、Ｓ３を複数回繰り返して実行するとともに、供給工程Ｓ１と供給工程Ｓ３との間に乾燥工程Ｓ２を実行することで、包装容器１の内部に収容された注射器３のような、複雑な内部構造を有する被除染物を除染することが可能となっている。
すなわち、過酸化水素水溶液を蒸気化した過酸化水素蒸気は、蒸気状態で除染対象に触れることで、水よりも先に過酸化水素成分が凝縮して高濃度で作用するため、高い除染効果が得ることができる。
しかしながら、被除染物の表面が凝縮液で濡れた状態となると、蒸気状態で維持させることができずに急激に凝縮が進行するため、除染効果が頭打ちとなる。
特に、本実施例のように包装容器１の内部の注射器３を除染する場合のように、複雑な形状を有する被除染物の内部構造まで除染しようとしても、過酸化水素蒸気が内部構造まで到達しないという問題がある。
そこで、本実施例における上記乾燥工程Ｓ２を設定することにより、チャンバ１１の内部や被除染物の表面の凝縮液を蒸発させ、二回目の供給工程Ｓ３を行うことによって除染蒸気の供給を繰り返し、被除染物の内部構造まで過酸化水素蒸気を到達させて除染するようになっている。

【0024】

上記供給工程Ｓ３に続く除去工程Ｓ４は、上記給排気手段１３による換気によって、チャンバ１１内の過酸化水素成分を除去する工程となっており、低速エアレーション工程Ｓ４ａおよび高速エアレーション工程Ｓ４ｂとから構成されている。
上記低速エアレーション工程Ｓ４ａは、上記乾燥工程Ｓ２における低速エアレーション工程Ｓ２ａと同様の動作が行われ、供給工程３Ｓに継続して作動する除染蒸気供給手段１２の送気手段２２と上記給排気手段１３とが重複して作動して、チャンバ１１内を陽圧に維持したまま、供給工程Ｓ３から除去工程Ｓ４へと移行させるようになっている。
この低速エアレーション工程Ｓ４ａも乾燥工程Ｓ２の低速エアレーション工程Ｓ２ａと同様、１０分間に設定されている。
その後の高速エアレーション工程Ｓ４ｂは、乾燥工程Ｓ２における高速エアレーション工程Ｓ２ｂと同様、上記給排気手段１３だけが動作するようになっている。
そして、この高速エアレーション工程Ｓ２ｂは、チャンバ１１内の過酸化水素成分を除去するため、上記乾燥工程Ｓ２よりも十分に長い４１０分間に設定されている。
この除去工程Ｓ４を行うことにより、チャンバ１１内の過酸化水素成分を除去することができ、特に包装容器１に収容された注射器３の内部構造に付着し、また素材に浸透している過酸化水素成分も蒸発されて排出されるようになっている。

【0025】

なお、上記実施例では上記乾燥工程Ｓ２および二回目の供給工程Ｓ３をそれぞれ一回ずつ行っているが、対象とする被除染物に応じてこれを１セットとして二回以上繰り返し、最後に上記除去工程Ｓ４を行うようにしてもよい。

【符号の説明】

【0026】

１ 包装容器（被除染物） ２ 除染処理装置
１１ チャンバ １２ 除染蒸気供給手段
１３ 給排気手段 １４ 制御手段
２２ 送気手段 ２３ 蒸発器（加熱手段）
Ｓ１、Ｓ３ 供給工程 Ｓ２ 乾燥工程
Ｓ４ 除去工程

【図1】

【図2】