特許 6281825 チャック装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6281825

(24)【登録日】2018年2月2日

(45)【発行日】2018年2月21日

(54)【発明の名称】チャック装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20180208BHJP

   B23Q 3/15 20060101ALI20180208BHJP

   B23Q 3/08 20060101ALI20180208BHJP

   H02N 13/00 20060101ALI20180208BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 N

   B23Q3/15 D

   B23Q3/08 Z

   H02N13/00 D

【請求項の数】6

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2015-508443(P2015-508443)

(86)(22)【出願日】2014年3月21日

(86)【国際出願番号】JP2014057922

(87)【国際公開番号】WO2014157014

(87)【国際公開日】20141002

【審査請求日】2017年2月22日

(31)【優先権主張番号】特願2013-71679(P2013-71679)

(32)【優先日】2013年3月29日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】591012266

【氏名又は名称】株式会社クリエイティブテクノロジー

(74)【代理人】

【識別番号】100101926

【弁理士】

【氏名又は名称】塚原 孝和

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 隆太

(72)【発明者】

【氏名】辰巳 良昭

【審査官】 齊田 寛史

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００１−２９１７６３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２００３−５２０４１６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２００９／０１３８０３（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２００７−１２１４７４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０４−１６２４２２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭６３−０８５３３０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

Ｂ２３Ｑ ３／０８

Ｂ２３Ｑ ３／１５

Ｈ０２Ｎ １３／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ベースと、このベースの表面に貼り付けられ且つその表面に当接されたワークを保持するためのチャック層とを備えるチャック装置であって、
上記ベースを、同心円状に配列された複数の可動部材で構成し、
複数のアクチュエータによって、上記複数の可動部材を円心軸に沿ってそれぞれ独立に上下動可能にし、
上記チャック層を、隣の可動部材表面に渡らないようにして、各可動部材の表面に全面的に又は部分的に貼り付け、
上記チャック層を、上記複数の可動部材のうち１つの可動部材にのみ貼り付けずに、当該可動部材をデチャック用の可動部材とした、
ことを特徴とするチャック装置。

【請求項2】

ベースと、このベースの表面に貼り付けられ且つその表面に当接されたワークを保持するためのチャック層とを備えるチャック装置であって、
上記ベースを、同心円状に配列された複数の可動部材で構成し、
複数のアクチュエータによって、上記複数の可動部材を円心軸に沿ってそれぞれ独立に上下動可能にし、
１枚の上記チャック層を、上記ベースの表面全面に渡って貼り付けた、
ことを特徴とするチャック装置。

【請求項3】

請求項１又は請求項２に記載のチャック装置において、
上記チャック層は、所定の電圧が印加可能な吸着電極とこの吸着電極を被覆した誘電体とを有し、当該誘電体表面に載置されたワークを吸着電極への通電時に生じる静電気力で吸着可能な静電吸着層である、
ことを特徴とするチャック装置。

【請求項4】

請求項１又は請求項２に記載のチャック装置において、
上記チャック層は、表面に載置されたワークをその自己粘着力によって保持可能な粘着パッドである、
ことを特徴とするチャック装置。

【請求項5】

ベースと、このベースの表面に貼り付けられ且つその表面に当接されたワークを保持するためのチャック層とを備えるチャック装置であって、
上記ベースを、同心円状に配列された複数の可動部材で構成し、
複数のアクチュエータによって、上記複数の可動部材を円心軸に沿ってそれぞれ独立に上下動可能にし、
上記チャック層を、隣の可動部材表面に渡らないようにして、各可動部材の表面に全面的に又は部分的に貼り付け、
上記複数の可動部材のうち一部の可動部材の表面に貼り付けられているチャック層を、所定の電圧が印加可能な吸着電極とこの吸着電極を被覆した誘電体とを有し、当該誘電体表面に載置されたワークを吸着電極への通電時に生じる静電気力で吸着可能な静電吸着層で形成し、
他の可動部材の表面に貼り付けられているチャック層を、表面に載置されたワークをその自己粘着力によって保持可能な粘着パッドで形成した、
ことを特徴とするチャック装置。

【請求項6】

請求項５に記載のチャック装置において、
上記チャック層を、上記複数の可動部材のうち１つの可動部材にのみ貼り付けずに、当該可動部材をデチャック用の可動部材とした、
ことを特徴とするチャック装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明は、ウェハ等のワークを保持して搬送するためのチャック装置に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来、この種のチャック装置としては、静電チャック装置や粘着チャック装置がある（例えば、特許文献１及び特許文献２）。
静電チャック装置は、図１６に示すように、誘電体１１１と吸着電極１１２とで成る静電吸着層１１０を、アルミニュウム等の金属で形成されたベース１００の上に貼り付けた構造になっている。これにより、ワークＷ全体を静電吸着層１１０で吸着して、ワークＷを所望の場所に搬送する。
一方、粘着チャック装置は、図１７に示すように、１枚の粘着パッド２１０を、ベース２００の上に貼り付けた構造になっている。これにより、ワークＷ全体を粘着パッド２１０で粘着して、ワークＷを所望の場所に搬送する。
また、他の粘着チャック装置としては、図１８に示すように、小さな粘着パッド２１０’を、ベース２００上にエンボス状に複数貼り付けた構造のものもある。これにより、ワークＷを 複数の粘着パッド２１０’によって部分的に粘着して搬送する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１０−１２９８４５号公報

【特許文献2】特開２０１０−１３７３４９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかし、上記した従来のチャック装置では、次のような問題がある。
第１の問題は、ワークの重さが異なると、最適なチャックが困難になるということである。
例えば、軽いワークと重いワークとを貼り合わせる工程においては、軽いワークをチャックするために保持力を弱く設定したチャック装置と、重いワークをチャックするために保持力を強く設定したチャック装置を準備する。これにより、それぞれのワークに適したチャック装置を用いて、それぞれのワークを最適な保持力でチャックすることができる。
しかし、１つのチャック装置で軽いワークと重いワークの両方をチャックすることができれば、作業効率や設備コストの面で好ましい。
しかしながら、１つのチャック装置で軽いワークと重いワークの両方をチャックしようとすると、チャック装置の保持力を重いワークに合わせる必要があるため、軽いワークに対しては、過剰の力でチャックすることになる。
すなわち、図１６に示した静電チャック装置においては、重いワークＷに合わせて、高電圧を吸着電極１１２に供給することになり、その高電圧がアーキングの原因になる。また、軽いワークＷを高電圧で吸着すると、異常帯電を起こし、ワークＷのデチャックが困難になる。
一方、図１７及び図１８に示した粘着チャック装置においても、同様であり、粘着パッド２１０，２１０’の粘着力を重いワークＷに合わせることで、軽いワークＷのデチャックが困難になるという問題がある。

【0005】

第２の問題は、ワークの形状が異なると、最適なチャックが困難になるということである。
すなわち、ある形状のワークに対しては、十分な接触面積を確保することができるチャック装置であっても、ワークの形状が異なると、十分な接触面積を確保することができなくなり、そのワークを最適な保持力でチャックすることが困難になる。

【0006】

第３の問題は、デチャック構造が、ワークにダメージを与えるおそれのある構造になっているということである。
すなわち、従来の静電チャック装置や粘着チャック装置においては、作業終了後、残留吸着力や粘着力が、ワークに働くため、ワークをリフトピンやエアパージを用いてデチャックする構造になっている。しかし、静電チャック装置や粘着チャック装置においては、ワークの全面が静電吸着層や粘着パッドに吸着、粘着しているので、このワークをデチャックするには、相当の力を、リフトピンやエアパージを通じてワークに加える必要がある。このように、ワークに過剰の力を加えてデチャックしようとすると、ワークを傷つけるだけでなく、チャック装置自体をも傷つけてしまうおそれがある。

【0007】

この発明は、上述した課題を解決するためになされたもので、ワークの重さや形状に拘わらず、ワークを最適な保持力でチャックすることができると共に、ワークにダメージを与えることなくデチャックすることができるチャック装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記課題を解決するために、請求項１の発明は、ベースと、このベースの表面に貼り付けられ且つその表面に当接されたワークを保持するためのチャック層とを備えるチャック装置であって、ベースを、同心円状に配列された複数の可動部材で構成し、複数のアクチュエータによって、複数の可動部材を円心軸に沿ってそれぞれ独立に上下動可能にし、チャック層を、隣の可動部材表面に渡らないようにして、各可動部材の表面に全面的に又は部分的に貼り付け、チャック層を、複数の可動部材のうち１つの可動部材にのみ貼り付けずに、当該可動部材をデチャック用の可動部材とした構成とする。
かかる構成により、重いワークをチャックする場合には、複数のアクチュエータによって、複数の可動部材の全てを上昇させ、全ての可動部材の表面高さを同一にする。これにより、可動部材表面のチャック層の全面が、同一高さになる。
かかる状態で、チャック装置を逆さにし、ワークを下向きのチャック層の表面に当接させると、ワーク全面がチャック層に接触することになる。
したがって、ワークが重い場合にあっても、ワーク全面がチャック層に接触するので、ワークがチャック層によって最適な保持力でチャックされ、落下することはない。
一方、軽いワークをチャックする場合には、複数の可動部材のうち一部の可動部材を上昇させ、これらの可動部材の表面高さを同一にする。
かかる状態で、チャック装置を逆さにし、ワークを下向きのチャック層の表面に当接させると、ワークの面の一部が、上昇した可動部材の表面に位置するチャック層に接触することになる。
したがって、ワークとチャック層との接触面積が小さくなるので、ワークが軽い場合にあっても、ワークに対して過剰の保持力は働かず、ワークがチャック層によって最適な保持力でチャックされることとなる。

【0009】

また、平坦な形状のワークをチャックする場合には、複数の可動部材を全て上昇させておく。これにより、ワーク全面をチャック層に接触させることができ、平坦な形状のワークを最適な保持力でチャックすることができる。
そして、形状の異なるワークをチャックする場合には、各ワークの形状に合わせて、複数の可動部材の高さを異ならしめる。これにより、ワークとチャック層との十分な接触面積を確保することができ、形状の異なるワークに対しても最適な保持力でチャックすることができる。

【0010】

さらに、ワークをデチャックする場合には、複数の可動部材のうち、中心又は外周に近い可動部材を上下動させることにより、ワークとチャック層との間に隙間を形成する。これにより、作業終了後、リフトピンやエアパージによって、ワークを軽く押すだけで、ワークを、傷つけることなく、デチャックすることができる。

【0011】

また、複数の可動部材の全てを上昇させて、全ての可動部材の表面高さを同一にすることにより、ワークとチャック層との接触面積を最大にすることができる。
また、複数の可動部材のうち一部の可動部材を上昇させることにより、ワークとチャック層との接触面積を調整することができる。
また、チャック層を一部の可動部材の表面に部分的に貼り付けておくことにより、ワークとチャック層との接触面積をより細かく調整することができる。
さらに、作業終了後、チャック層が貼り付けられていない可動部材のみを上昇させることで、ワークをデチャックすることができる。このとき、可動部材の表面が平坦であり、リフトピン等と比べて、ワークとの接触面積が広い。このため、この可動部材を上昇させることで、ワークを傷つけることなく、デチャックすることができる。

【0012】

請求項２の発明は、ベースと、このベースの表面に貼り付けられ且つその表面に当接されたワークを保持するためのチャック層とを備えるチャック装置であって、ベースを、同心円状に配列された複数の可動部材で構成し、複数のアクチュエータによって、複数の可動部材を円心軸に沿ってそれぞれ独立に上下動可能にし、１枚のチャック層を、ベースの表面全面に渡って貼り付けた構成とする。
かかる構成により、複数の可動部材を上下動させることで、チャック層全体を可動部材の高さに対応した形状に撓ませることができる。

【0013】

請求項３の発明は、請求項１又は請求項２に記載のチャック装置において、チャック層は、所定の電圧が印加可能な吸着電極とこの吸着電極を被覆した誘電体とを有し、当該誘電体表面に載置されたワークを吸着電極への通電時に生じる静電気力で吸着可能な静電吸着層である構成とした。
かかる構成により、静電吸着層の吸着電極に通電することで、ワークのうち、この静電吸着層に接触している部分のみを静電気力によって吸着することができる。

【0014】

請求項４の発明は、請求項１又は請求項２に記載のチャック装置において、チャック層は、表面に載置されたワークをその自己粘着力によって保持可能な粘着パッドである構成とした。
かかる構成により、ワークのうち粘着パッドに接触している部分のみを粘着パッドに粘着させることができる。

【0015】

請求項５の発明は、ベースと、このベースの表面に貼り付けられ且つその表面に当接されたワークを保持するためのチャック層とを備えるチャック装置であって、ベースを、同心円状に配列された複数の可動部材で構成し、複数のアクチュエータによって、複数の可動部材を円心軸に沿ってそれぞれ独立に上下動可能にし、チャック層を、隣の可動部材表面に渡らないようにして、各可動部材の表面に全面的に又は部分的に貼り付け、複数の可動部材のうち一部の可動部材の表面に貼り付けられているチャック層を、所定の電圧が印加可能な吸着電極とこの吸着電極を被覆した誘電体とを有し、当該誘電体表面に載置されたワークを吸着電極への通電時に生じる静電気力で吸着可能な静電吸着層で形成し、他の可動部材の表面に貼り付けられているチャック層を、表面に載置されたワークをその自己粘着力によって保持可能な粘着パッドで形成した構成とする。
かかる構成により、ワークのうち静電吸着層に接触している部分のみを静電気力によって吸着することができ、粘着パッドに接触している部分のみを粘着パッドに粘着させることができる。

【0016】

請求項６の発明は、請求項５に記載のチャック装置において、チャック層を、複数の可動部材のうち１つの可動部材にのみ貼り付けずに、当該可動部材をデチャック用の可動部材とした構成とする。

【発明の効果】

【0017】

以上詳しく説明したように、この発明のチャック装置によれば、複数の可動部材の一部を上下動させることにより、ワークとチャック層との接触面積を、ワークの重さや形状に合わせて変化、調整することができるので、ワークの重さや形状に拘わらず、ワークを最適な保持力でチャックすることができるという優れた効果がある。
また、作業終了後、所定の可動部材を上下動させて、ワークとチャック層との間に部分的な隙間を形成することができるので、ワークを傷つけることなく、容易にデチャックすることができるという優れた効果もある。
さらに、リフトピンやエアパージ等を用いることなく、ワークを安全にデチャックすることができるので、部品点数の削減を図ることができ、この結果、製品のコストダウンを図ることができるという効果がある。

【0018】

また、請求項２の発明に係るチャック装置によれば、チャック層全体を可動部材の高さに対応した形状に撓ませることができるので、チャック層が、ワークの形状に沿って密着し、ワークをより最適な保持力でチャックすることができるという効果がある。

【0019】

さらに、請求項１〜請求項６の発明に係るチャック装置によれば、ワークを、静電吸着層の静電気力や粘着パッドの粘着力によって、全面的に又は部分的に保持することができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】この発明の第１実施例に係るチャック装置を示す概略平面図である。

【図2】第１実施例のチャック装置の概略断面図である。

【図3】ワークを全面保持した状態を示す概略断面図である。

【図4】ワークを部分的に保持した状態を示す概略断面図である。

【図5】ワークを静電吸着層でのみ保持した状態を示す概略断面図である。

【図6】ワークを粘着パッドでのみ保持した状態を示す概略断面図である。

【図7】形状の異なるワークを保持する方法を示す概略断面図である。

【図8】デチャック状態を示す概略断面図である。

【図9】この発明の第２実施例に係るチャック装置を示す概略断面図である。

【図10】この発明の第３実施例に係るチャック装置を示す概略断面図である。

【図11】チャック装置のチャック層に関する変形例を示す概略平面図である。

【図12】この発明の第４実施例に係るチャック装置を示す概略断面図である。

【図13】保持力の調整状態を示す概略断面図である。

【図14】デチャック状態を示す概略断面図である。

【図15】チャック層の他の変形例を示す概略平面図である。

【図16】第１従来例に係るチャック装置を示す概略断面図である。

【図17】第２従来例に係るチャック装置を示す概略断面図である。

【図18】第３従来例に係るチャック装置を示す概略断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

以下、この発明の最良の形態について図面を参照して説明する。

【0022】

（実施例１）
図１は、この発明の第１実施例に係るチャック装置を示す概略平面図であり、図２は、第１実施例のチャック装置の概略断面図である。
図１に示すように、この実施例のチャック装置は、ベース１とチャック層２とを備えている。

【0023】

ベース１は、アルミニュウム等で形成された基材であり、同心軸Ｏを中心に、同心円状に配列された４つの可動部材１１〜１４で構成されている。
具体的には、最内の可動部材１１が平面視において円形状に形成され、可動部材１１の外側の３つの可動部材１２〜１４がリング状に形成されている。これらの可動部材１１〜１４は、図２に示すように、独立に同心軸Ｏに沿って上下動可能に組み付けられており、４つのアクチュエータ３１〜３４によって上下（図２の上下方向）に駆動されるようになっている。
詳しくは、アクチュエータ３１がアーム３１ａによって可動部材１１を支持し、アクチュエータ３２がアーム３２ａによって可動部材１２を支持し、アクチュエータ３３がアーム３３ａによって可動部材１３を支持し、アクチュエータ３４がアーム３４ａによって可動部材１４を支持しており、アクチュエータ３１〜３４が、アーム３１ａ〜３４ａを上下動することによって、可動部材１１〜１４を上下に駆動する。
なお、アクチュエータ３１〜３４は、実施例の理解を容易にするため、模式的に表されているが、これらはシリンダ等の周知のアクチュエータであるので、その詳細な記載は省略する。

【0024】

チャック層２は、その表面に当接されたワークを保持するための層体であり、ベース１の表面に貼り付けられている。
この実施例では、チャック層２を、静電吸着層２１と粘着パッド２２，２４とで構成した。具体的には、円形の静電吸着層２１を、可動部材１１の表面全面に貼り付け、リング状の粘着パッド２２，２４を、可動部材１２，１４の表面全面にそれぞれ貼り付けた。そして、可動部材１３の表面全面には、非粘着パッド２３を貼り付けた。

【0025】

静電吸着層２１は、吸着電極２５と、吸着電極２５を被覆した誘電体２６とで成り、スイッチ２８をオンすることで、電源２７の電圧を吸着電極２５に印加することができる。
また、粘着パッド２２，２４は、その自己粘着力によってワークを保持可能なパッドであり、例えばシリコンゴムやエチレン−プロピレン−ジエンゴム等を素材としたパッドである。
なお、チャック装置の初期状態では、可動部材１１〜１４の高さが同一に設定され、静電吸着層２１，パッド２２〜２４の表面が面一になるように設定されている。

【0026】

次に、この実施例のチャック装置が示す作用及び効果について説明する。
図３は、ワークを全面保持した状態を示す概略断面図であり、図４は、ワークを部分的に保持した状態を示す概略断面図である。
重いワークＷをチャックする場合には、図３に示すように、ワークＷを、面一状態になっている静電吸着層２１及びパッド２２〜２４上に載置する。すると、ワークＷの裏面全面が、静電吸着層２１及びパッド２２〜２４に当接した状態になる。この状態で、スイッチ２８をオンにして、電源２７の電圧を静電吸着層２１の吸着電極２５に印加すると、ワークＷの中央部が静電気力によって静電吸着層２１に吸着される。これと並行して、ワークＷの外側部分が粘着パッド２２，２４によって粘着され、ワークＷのほぼ全面がチャック層２によって保持された状態になる。このため、ワークＷは、このチャック装置が持つ最大保持力によってチャックされることになる。
したがって、チャック装置を逆さにして、重いワークＷを下向きの静電吸着層２１及びパッド２２〜２４に当接させると、ワークＷは、落下することなく、チャック層２による最適な保持力でチャックされることとなる。

【0027】

軽いワークＷをチャックする場合には、図４に示すように、可動部材１４のみをアクチュエータ３４によって上昇させる。これにより、ワークＷを、チャック装置に載置させると、ワークＷが可動部材１４の粘着パッド２４にのみ接触することとなり、ワークＷとチャック層２との接触面積が小さくなる。
したがって、チャック装置を逆さして、軽いワークＷを下向きの粘着パッド２４に当接させると、ワークＷは、過剰な力を受けることなく、ワークＷによって最適な保持力でチャックされることとなる。

【0028】

図５は、ワークＷを静電吸着層２１でのみ保持した状態を示す概略断面図であり、図６は、ワークＷを粘着パッド２２，２４でのみ保持した状態を示す概略断面図である。
ワークＷのサイズが小さい場合には、図５に示すように、可動部材１１のみをアクチュエータ３１によって上昇させ、静電吸着層２１の吸着電極２５を通電状態にすることで、小サイズのワークＷを最適な保持力でチャックすることができる。
また、ワークＷを、粘着パッド２２，２４でのみ保持する場合には、図６に示すように、可動部材１２，１４をアクチュエータ３２，３４によって上昇させることにより、ワークＷを粘着パッド２２，２４による最適な粘着力でチャックすることができる。

【0029】

図７は、形状の異なるワークＷを保持する方法を示す概略断面図である。
図７の（ａ）に示すように、上面に凸部Ｗａを有するワークＷを下面Ｗｂ側で保持する場合には、ワークＷとチャック層２との間に、十分な接触面積を確保することができる。
しかし、図７の（ｂ）に示すように、凸部Ｗａがある上面側でワークＷを保持しようとすると、ワークＷとチャック層２との間に十分な接触面積を確保することができない。
したがって、このような場合には、図７の（ｃ）に示すように、可動部材１２〜１４をアクチュエータ３２〜３４によって上昇させる。これにより、凹部を可動部材１１の上に形成することができるので、凸部Ｗａをこの凹部内に嵌めるようにして、ワークＷをチャック層２に当接させることにより、ワークＷと静電吸着層２１及びパッド２２〜２４との間に十分な接触面積を確保することができる。
つまり、可動部材１１〜１４の高さを異ならしめることにより、チャック層２の形状をワークＷの形状に対応した形状に変化させることができるので、形状の異なるワークＷであっても、１つのチャック装置によって、最適な保持力でチャックすることができる。

【0030】

図８は、デチャック状態を示す概略断面図である。
ワークＷを全面保持した状態のチャック装置（図３参照）において、ワークＷをデチャックする場合には、図８に示すように、スイッチ２８をオフにして、吸着電極２５への通電を停止すると共に、可動部材１３をアクチュエータ３３によって上昇させる。
これにより、ワークＷは、非粘着パッド２３を有した可動部材１３によって、静電吸着層２１及びパッド２２，２４から引き剥がされた状態になる。
このとき、可動部材１３の表面は、平坦なリング状をなしているので、先の尖ったリフトピン等と比べて、ワークＷとの接触面積が広い、このため、この可動部材１３が、その上昇時に、ワークＷを傷つけることはない。

【0031】

（実施例２）
次に、この発明の第２実施例について説明する。
図９、この発明の第２実施例に係るチャック装置を示す概略断面図である。
図９に示すように、この実施例のチャック装置は、粘着パッド２１’を可動部材１１の表面に貼り付けることにより、チャック層２を全て粘着パッド２１’，２２，２４で構成した。
かかる構成により、チャック装置の構造を単純化することができ、この結果、製品のコストダウンを図ることができる。
その他の構成，作用及び効果は、上記第１実施例と同様であるので、その記載は省略する。
なお、この実施例では、チャック層２を全て粘着パッドで構成したが、チャック層２を全て静電吸着層２１で構成することもできることは勿論である。

【0032】

（実施例３）
次に、この発明の第３実施例について説明する。
図１０は、この発明の第３実施例に係るチャック装置を示す概略断面図である。
図１０に示すように、この実施例のチャック装置では、粘着パッド２１’を可動部材１１の表面に貼り付けることにより、チャック層２の全てを粘着パッド２１’，２２，２４で構成するだけでなく、粘着パッド２２，２４を可動部材１２，１４の表面に部分的に貼り付けた。
具体的には、複数の円形の粘着パッド２２を可動部材１２の表面に一定間隔で貼り付けると共に、複数の円形の粘着パッド２４を可動部材１４の表面に一定間隔で貼り付けた。
すなわち、この実施例のチャック装置では、小面積の粘着パッド２２，２４が、可動部材１２，１４に複数貼り付けられており、これにより、ワークＷとチャック層２との接触面積をより細かく調整することができる。
また、この実施例では、複数の粘着パッド２２，２４をエンボス状にベース１の表面に貼り付けることにより、ワークＷとの接触面積を小さくして、チャック時に受けるワークＷのダメージを小さくしている。
その他の構成，作用及び効果は、上記第１及び第２実施例と同様であるので、その記載は省略する。
なお、この実施例では、粘着パッド２１’を可動部材１１の表面に貼り付けたが、粘着パッド２１’の代わりに、静電吸着層２１を可動部材１１に貼り付けた構成のチャック装置も、この実施例のチャック装置とほぼ同様の作用及び効果を奏する。

【0033】

（変形例）
図１１は、チャック装置のチャック層２に関する変形例を示す概略平面図である。
上記第１〜第３実施例では、可動部材１１〜１４のうち、１つの可動部材１３をデチャック用の部材としたチャック装置を例示したが、この発明では、図１１に示すように、デチャック用の部材を有しないチャック装置も提示することができる。

【0034】

例えば、図１１の（ａ）に示すように、各粘着パッド２１’，２２，２３’，２４を各可動部材１１〜１４の表面全面に貼り付けて、チャック装置を構成することができる。
なお、この変形例において、静電吸着層を各可動部材１１〜１４の表面全面に貼り付けて、チャック装置を構成することもできる。

【0035】

また、図１１の（ｂ）に示すように、複数の円形の粘着パッド２１’，２２，２３’，２４を、各可動部材１１〜１４の表面に部分的に貼り付けて、チャック装置を構成することもできる。

【0036】

さらに、図１１の（ｃ）に示すように、静電吸着層２１を可動部材１１の表面全面に貼り付けると共に、粘着パッド２２，２３’，２４を可動部材１２〜１４の表面全面に貼り付けて、チャック装置を構成することもできる。

【0037】

また、図１１の（ｄ）に示すように、静電吸着層２１を可動部材１１の表面全面に貼り付けると共に、複数の円形の粘着パッド２２，２３’，２４を各可動部材１２〜１４表面に、一定間隔で貼り付けることにより、チャック装置を構成することができる。

【0038】

（実施例４）
次に、この発明の第４実施例について説明する。
図１２は、この発明の第４実施例に係るチャック装置を示す概略断面図であり、図１３は、保持力の調整状態を示す概略断面図である。

【0039】

図１２に示すように、この実施例のチャック装置は、チャック層としての１枚の粘着パッド２’を、ベース１の表面全面に渡って貼り付けた構成をとっている。
具体的には、１枚の粘着パッド２’を、可動部材１１〜１４の表面全面に渡って貼り付けた。
これにより、図１３に示すように、可動部材１１〜１４を上下動させることで、ワークＷに対する保持力を調整することができる。
また、可動部材１１〜１４を上下動させることで、粘着パッド２’全体をワークＷの形状に対応させて撓ませることができるので、ワークＷの表面に凹凸がある場合においても、ワークＷの形状に対応した最適な保持力でワークＷをチャックすることができる。

【0040】

図１４は、デチャック状態を示す概略断面図である。
この実施例のチャック装置によれば、図１４の（ａ）に示すように、可動部材１２〜１４を上昇させ、可動部材１４を最も高く位置させることで、ワークＷの中央部と粘着パッド２’との間に隙間Ｇ１を形成することができる。また、図１４の（ｂ）に示すように、可動部材１２〜１４を下降させ、可動部材１１を最も高く位置させることで、ワークＷの外周部と粘着パッド２’との間に隙間Ｇ２を形成することができる。これにより、リフトピンやエアパージを用いて、ワークＷを軽く押し上げることにより、ワークＷを、傷つけることなく、安全且つ容易にデチャックすることができる。
その他の構成，作用及び効果は、上記第１〜第３実施例と同様であるので、その記載は省略する。
また、この実施例では、チャック層として、１枚の粘着パッド２’を適用したが、チャック層として、１枚の静電吸着層２１を可動部材１１〜１４全面に貼り付けた構成のチャック装置も、この実施例のチャック装置とほぼ同様の作用及び効果を奏する。

【0041】

なお、この発明は、上記実施例に限定されるものではなく、発明の要旨の範囲内において種々の変形や変更が可能である。
例えば、上記第１〜第３実施例では、チャック層２を構成する静電吸着層２１及びパッド２１’，２２，２３’，２４が、隣の可動部材の表面に渡らないように、各可動部材１１〜１４の表面に、全面的に又は部分的に貼り付けたチャック装置を例示した。
しかし、図１５に示すように、チャック層２を構成する粘着パッド２２，２４が、隣の可動部材の表面に渡るように貼り付けたチャック装置も、この発明の範囲に含まれることは勿論である。

【符号の説明】

【0042】

１，１００，２００…ベース、 ２…チャック層、 ２’，２１’，２２，２３’，２４，２１０，２１０’…粘着パッド、 １１〜１４…可動部材、 ２１，１１０…静電吸着層、 ２３…非粘着パッド、 ２５，１１２…吸着電極、 ２６，１１１…誘電体、 ２７…電源、 ２８…スイッチ、 ３１〜３４…アクチュエータ、 ３１ａ〜３４ａ…アーム、Ｇ１，Ｇ２…隙間、 Ｏ…同心軸、 Ｗ…ワーク。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】