特許6282618イオンビーム試料準備熱管理装置及び方法

発明の名称　イオンビーム試料準備熱管理装置及び方法

出願人　ガタン　インコーポレイテッド　（識別番号 512256627）

　　　　特許公開件数ランキング 31533 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 25576 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6282618

公報発行日　2018年2月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6282618

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