特許6282994１３族窒化物単結晶へのドーパント導入方法

発明の名称　１３族窒化物単結晶へのドーパント導入方法

出願人　日本碍子株式会社　（識別番号 4064）

　　　　特許公開件数ランキング 222 位（143件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 74 位（305件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6282994

公報発行日　2018年2月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6282994

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