特許 6283383 構造体の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6283383

(24)【登録日】2018年2月2日

(45)【発行日】2018年2月21日

(54)【発明の名称】構造体の製造方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 31/10 20060101AFI20180208BHJP

   H01L 51/44 20060101ALI20180208BHJP

   H01L 51/48 20060101ALI20180208BHJP

   H01L 51/42 20060101ALI20180208BHJP

   H01L 29/786 20060101ALI20180208BHJP

   H01L 21/336 20060101ALI20180208BHJP

【ＦＩ】

   H01L31/10 A

   H01L31/04 130

   H01L31/04 184

   H01L31/08 T

   H01L29/78 617K

   H01L29/78 618C

   H01L29/78 616K

   H01L29/78 617S

【請求項の数】6

【全頁数】22

(21)【出願番号】特願2016-40361(P2016-40361)

(22)【出願日】2016年3月2日

(62)【分割の表示】特願2014-79293(P2014-79293)の分割

【原出願日】2004年11月22日

(65)【公開番号】特開2016-139815(P2016-139815A)

(43)【公開日】2016年8月4日

【審査請求日】2016年4月1日

(31)【優先権主張番号】特願2003-390149(P2003-390149)

(32)【優先日】2003年11月20日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】502344178

【氏名又は名称】株式会社イデアルスター

(74)【代理人】

【識別番号】100088096

【弁理士】

【氏名又は名称】福森 久夫

(72)【発明者】

【氏名】笠間 泰彦

(72)【発明者】

【氏名】表 研次

【審査官】 佐竹 政彦

(56)【参考文献】

【文献】 特開平１０−２５６５７９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭６０−０４２８７６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０５−０４１３２４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０２−３０４９０３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第０３／０９４２３８（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２００４−１９３４３７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２００５／０１８００３（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開平７−１４２７９０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開昭６２−９７１６９（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 実開昭５９−９２８４８（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 米国特許第３２４０６９３（ＵＳ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ２１／００−５１／５６；

Ｇ０１Ｋ１／００−１９／００；

Ｇ０１Ｊ１／００−１１／００；

Ｇ０１Ｎ１／００−３７／００；

Ｇ０１Ｄ１／００−２１／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

少なくとも、複数の線状体を互いに密着して接合形成して、柱状体の表面に螺旋状に巻き付ける工程と、前記柱状体の表面から一部の前記線状体を取り除く工程と、露出した前記柱状体表面に導電性物質又は半導体物質をコーティングするコーティング工程とからなる構造体の製造方法。

【請求項2】

前記コーティング工程の後に、前記柱状体の表面から少なくとも一部の前記線状体を取り
除く工程を有する請求項１記載の構造体の製造方法。

【請求項3】

少なくとも、複数の絶縁性の線状体を互いに密着して接合形成して、柱状体の表面に螺旋状に巻き付ける工程と、前記柱状体の表面から一部の線状体を取り除く工程と、露出した前記柱状体表面に導電性物質をコーティングして第一の導電線を形成する工程と、
前記柱状体の表面から少なくとも一部の線状体を取り除く工程と、露出した前記柱状体表
面に導電性物質をコーティングして第二の導電線を形成する工程とからなる構造体の製造方法。

【請求項4】

前記第二の導電線を形成する工程の後に、前記柱状体の表面から少なくとも一部の前記線状体を取り除く工程と、露出した前記柱状体表面に半導体物質をコーティングして半導体
線を形成する工程とからなる請求項３記載の構造体の製造方法。

【請求項5】

前記巻き付け工程の前に、前記柱状体の表面に半導体膜又は透明電極と半導体膜の積層膜をコーティングにより形成する工程を有する請求項１乃至４のいずれか１項記載の構造体の製造方法。

【請求項6】

前記半導体膜又は前記半導体線を形成した後に、複数の前記導電線間に電流を流して電気特性を測定しながら前記半導体膜又は前記半導体線へのドーピングを行う請求項４又は５項記載の構造体の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、センサ、太陽電池等を含む柱状の電気素子と、その製造方法に関する。特に、性能を落とすことなく小型化が可能で狭いところでも装着できる電気素子と、該電気素子を容易に製造する方法に関する。

【背景技術】

【0002】

【特許文献1】特開平１１−２９５２５５号公報

【特許文献2】特開２００３−１６１７１３号公報

【0003】

特許文献１には、ガラス基盤上に2個の櫛形状電極を設け、その上に更に2種類の導電性高分子から混合された感応膜を形成することにより、ガス応答特性の異なる種々のガスセンサが得られることが紹介されている。

【0004】

また特許文献２には、電気絶縁性のセラミック基盤上に２個の櫛形電極を形成し、更にこれら２個の櫛形電極をまたがるように層状のアンモニア感応膜が形成されたアンモニアガスセンサが紹介されている。

【0005】

これらの特許文献では、直方体の基盤の一面に２個の金属を櫛形に加工して載せている。このようなセンサは、性能を保ちながら小型化するのには限界があり、ガス配管等認知しやすい部分に取り付けるのは困難であるという問題がある。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

本発明は、性能を落とすことなく小型化が可能で狭いところにでも装着できるセンサ、太陽電池等の柱状電気素子、及び柱状電気素子を容易に製造する方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

請求項１に係る発明は、少なくとも、複数の線状体を互いに密着して接合形成して、柱状体の表面に螺旋状に巻き付ける工程と、前記柱状体の表面から一部の前記線状体を取り除く工程と、露出した前記柱状体表面に導電性物質又は半導体物質をコーティングするコーティング工程とからなる構造体の製造方法。
請求項２に係る発明は、前記コーティング工程の後に、前記柱状体の表面から少なくとも一部の前記線状体を取り
除く工程を有する請求項１記載の構造体の製造方法。
請求項３に係る発明は、少なくとも、複数の絶縁性の線状体を互いに密着して接合形成して、柱状体の表面に螺旋状に巻き付ける工程と、前記柱状体の表面から一部の線状体を取り除く工程と、露出した前記柱状体表面に導電性物質をコーティングして第一の導電線を形成する工程と、
前記柱状体の表面から少なくとも一部の線状体を取り除く工程と、露出した前記柱状体表
面に導電性物質をコーティングして第二の導電線を形成する工程とからなる構造体の製造方法。
請求項４に係る発明は、前記第二の導電線を形成する工程の後に、前記柱状体の表面から少なくとも一部の前記線状体を取り除く工程と、露出した前記柱状体表面に半導体物質をコーティングして半導体線を形成する工程とからなる請求項３記載の構造体の製造方法。
請求項５に係る発明は、前記巻き付け工程の前に、前記柱状体の表面に半導体膜又は透明電極と半導体膜の積層膜をコーティングにより形成する工程を有する請求項１乃至４のいずれか１項記載の構造体の製造方法。
請求項６に係る発明は、前記半導体膜又は前記半導体線を形成した後に、複数の前記導電線間に電流を流して電気特性を測定しながら前記半導体膜又は前記半導体線へのドーピングを行う請求項４又は５項記載の構造体の製造方法。
参考例１は、絶縁性の柱状体の外周面にマスク材を螺旋状に巻き付け、その隙間に導電性物質をコーティングして導電線を形成するようにしたことを特徴とする柱状電気素子の製造方法である。

【0008】

参考例２は、絶縁性の柱状体の外周面に２本以上の線状物質を縞状に接合した板状生成物を巻き付けた後、一部の線状物質をはがしてその跡に導電性物質をコーティングして導電線を形成し、残りの線状物質をはがすようにしたことを特徴とする柱状電気素子の製造方法である。

【0009】

参考例３は、絶縁性の柱状体の外周面に２本以上の絶縁線を縞状に接合した板状生成物を巻き付けた後、一部の絶縁線をはがしてその跡に導電性物質をコーティングして導電線を形成するようにしたことを特徴とする柱状電気素子の製造方法である。

【0010】

参考例４は、絶縁性の柱状体の外周面に２本以上の導電線を縞状に接合した板状生成物を巻き付けた後、一部の導電線をはがすようにしたことを特徴とする柱状電気素子の製造方法である。

【0011】

参考例５は、絶縁性の柱状体の外周面に導電線と絶縁線を縞状に接合した板状生成物を巻き付けるようにしたことを特徴とする柱状電気素子の製造方法である。

【0012】

参考例６は、前記柱状電気素子がセンサ又は太陽電池であることを特徴とする参考例１乃至５のいずれか１項記載の柱状電気素子の製造方法である。

【0013】

参考例７は、絶縁性の柱状体の外周面に１本の導電線が螺旋状に巻き付けられていることを特徴とする柱状電気素子である。これは、例えば参考例１乃至５のいずれか１項記載の方法により製造される。

【0014】

参考例８は、前記柱状体が繊維体であることを特徴とする参考例７記載の柱状電気素子である。

【0015】

参考例９は、絶縁性の柱状体の外周面に半導体をコーティングしてから、その外側に第一マスク材を螺旋状に巻き付け、該第一マスク材の隙間に第一導電性物質をコーティングして第一導電線を形成した後、第一マスク材を除去してから、該第一導電線を覆うように第二マスク材を螺旋状に巻き付け、該第二マスク材の隙間に第二導電性物質をコーティングして第二導電線を形成するようにしたことを特徴とする柱状電気素子の製造方法である。

【0016】

参考例１０は、絶縁性の柱状体の外周面に半導体をコーティングしてから、その外側に４本以上の線状物質を巻き付けた後、１本以上の線状物質をはがしてその跡に第一導電性物質をコーティングして第一導電線を形成し、該第一導電線と隣接しない１本以上の線状物質をはがしてその跡に第二導電性物質をコーティングして第二導電線を形成し、残りの線状物質をはがすようにしたことを特徴とする柱状電気素子の製造方法ある。

【0017】

参考例１１は、絶縁性の柱状体の外周面に半導体をコーティングしてから、その外側に４本以上の絶縁線を縞状に接合した板状生成物を巻き付けた後、１本以上の絶縁線をはがしてその跡に第一導電性物質をコーティングして第一導電線を形成し、該第一導電線と隣接しない１本以上の絶縁線をはがしてその跡に第二導電性物質をコーティングして第二導電線を形成するようにしたことを特徴とする柱状電気素子の製造方法である。

【0018】

参考例１２は、絶縁性の柱状体の外周面に半導体をコーティングしてから、その外側に４本以上の導電線を縞状に接合した板状生成物を巻き付けた後、互いに隣接している導電線を２組はがすようにしたことを特徴とする柱状電気素子の製造方法である。

【0019】

参考例１３は、絶縁性の柱状体の外周面に半導体をコーティングしてから、その外側に２本の導電線と２本の絶縁線を交互に縞状に接合した板状生成物を巻き付けるようにしたことを特徴とする電気素子の製造方法である。

【0020】

参考例１４は、絶縁性の柱状体の外周面に半導体をコーティングしてから、その外側に第一導電性物質から成る１本の導電線と３本の絶縁線を縞状に接合した板状生成物を巻き付けた後、該第一導電線に隣接しない絶縁線をはがしてその跡に第二導電性物質をコーティングして第二導電線を形成するようにしたことを特徴とする柱状電気素子の製造方法である。

【0021】

参考例１５は、前記柱状電気素子はセンサ又は太陽電池であることを特徴とする参考例９乃至１４のいずれか１項記載の柱状電気素子の製造方法である。

【0022】

参考例１６は、絶縁性の柱状体の外周面に半導体が板状にコーティングされ、その外側に２本の導電線が平行な螺旋状に巻き付けられていることを特徴とする柱状電気素子である。これは、例えば参考例９乃至１４のいずれか１項記載の方法により製造される。

【0023】

参考例１７は、前記柱状体は繊維体であることを特徴とする参考例１４記載の柱状電気素子である。

【0024】

参考例１８は、絶縁性の柱状体の外周面に有機半導体がコーティングされ、その外側に金線とアルミニウム線が平行な螺旋状に巻き付けられていることを特徴とする太陽電池である。これは、例えば参考例９乃至１４のいずれか１項記載の方法により製造される。

【0025】

参考例１９は、前記柱状体は繊維体であることを特徴とする参考例１８記載の太陽電池である。

【0026】

参考例２０は、絶縁性の柱状体の外周面に第一マスク材を螺旋状に巻き付け、該第一マスク材の隙間に第一導電性物質をコーティングして第一導電線を形成した後、第一マスク材を除去してから、該第一導電線を覆うように第二マスク材を螺旋状に巻き付け、該第二マスク材の隙間に第二導電性物質をコーティングして第二導電線を形成した後、第二マスク材を除去し、２本の導電線の間に半導体をコーティングするようにしたことを特徴とする柱状電気素子の製造方法である。

【0027】

参考例２１は、絶縁性の柱状体の外周面に４本以上の線状物質を縞状に接合した板状生成物を巻き付けた後、１本以上の線状物質をはがしてその跡に第一導電性物質をコーティングして第一導電線を形成し、該第一導電線と隣接しない１本以上の線状物質をはがしてその跡に第二導電性物質をコーティングして第二導電線を形成し、残りの線状物質をはがしてその跡に半導体をコーティングするようにしたことを特徴とする柱状電気素子の製造方法である。

【0028】

参考例２２は、絶縁性の柱状体の外周面に４本以上の半導体線を縞状に接合した板状物質を巻き付けた後、１本以上の半導体線をはがしてその跡に第一導電性物質をコーティングして第一導電線を形成し、該第一導電線と隣接しない１本以上の半導体線をはがしてその跡に第二導電性物質をコーティングして第二導電線を形成するようにしたことを特徴とする柱状電気素子の製造方法である。

【0029】

参考例２３は、絶縁性の柱状体の外周面に４本以上の導電線を縞状に接合した板状物質を巻き付けた後、互いに隣接している導電線を２組はがしてその跡に半導体をコーティングするようにしたことを特徴とする柱状電気素子の製造方法である。
参考例２４は、絶縁性の柱状体の外周面に２本の導電線と２本の半導体線を交互に縞状に接合した板状生成物を巻き付けるようにしたことを特徴とする柱状電気素子の製造方法である。

【0030】

参考例２５は、絶縁性の柱状体の外周面に第一導電性物質から成る１本の第一導電線と３本の半導体線を縞状に接合した板状生成物を巻き付けた後、該第一導電線に隣接しない半導体線をはがしてその跡に第二導電性物質をコーティングして第二導電線を形成するようにしたことを特徴とする柱状電気素子の製造方法である。

【0031】

参考例２６は、前記柱状電気素子はセンサ又は太陽電池であることを特徴とする参考例２０乃至２５のいずれか１項記載の柱状電気素子の製造方法である。

【0032】

参考例２７は、絶縁性の柱状体の外周面に２本の導電線が平行な螺旋状に巻き付けられ、２本の導電線の間に半導体がコーティングされていることを特徴とする柱状電気素子である。これは、例えば参考例２０乃至２５のいずれか１項記載の方法により製造される。

【0033】

参考例２８は、前記柱状体は繊維体であることを特徴とする参考例２７記載の柱状電気素子である。

【0034】

参考例２９は、絶縁性の柱状体の外周面に金線とアルミニウム線が平行な螺旋状に巻き付けられ、金線とアルミニウム線との間に有機半導体がコーティングされていることを特徴とする太陽電池である。これは、例えば参考例２０乃至２５のいずれか１項記載の方法により製造される。

【0035】

参考例３０は、前記柱状体は繊維体であることを特徴とする参考例２９記載の太陽電池である。

【0036】

参考例３１は、絶縁性の柱状体の外周面に第一半導体をコーティングしてから、その外側に第一マスク材を螺旋状に巻き付け、該第一マスク材の隙間に第一導電性物質をコーティングして第一導電線を形成した後、第一マスク材を除去してから、該第一導電線を覆うように第二マスク材を螺旋状に巻き付け、該第二マスク材の隙間の第二導電性物質をコーティングして第二導電線を形成した後、第二マスク材を除去し、２本の導電線の間に第二半導体をコーティングするようにしたことを特徴とする柱状電気素子の製造方法である。

【0037】

参考例３２は、絶縁性の柱状体の外周面に第一半導体をコーティングしてから、その外側に４本以上の線状物質を縞状に接合した板状生成物を巻き付けた後、１本以上の線状物質をはがしてその跡に第一導電性物質をコーティングして第一導電線を形成し、該第一導電線に隣接しない１本以上の線状物質をはがしてその跡に第二導電性物質をコーティングして第二導電線を形成し、残りの線状物質をはがしてその跡に第二半導体をコーティングするようにしたことを特徴とする柱状電気素子の製造方法である。

【0038】

参考例３３は、絶縁性の柱状体の外周面に第一半導体をコーティングしてから、その外側に４本以上の半導体線を縞状に接合した板状生成物を巻き付けた後、１本以上の半導体線をはがしてその跡に第一導電性物質をコーティングして第一導電線を形成し、該第一導電線に隣接しない１本以上の半導体線をはがしてその跡に第二導電性物質をコーティングして第二導電線を形成するようにしたことを特徴とする柱状電気素子の製造方法である。

【0039】

参考例３４は、絶縁性の柱状体の外周面に第一半導体をコーティングしてから、その外側に４本以上の導電線を縞状に接合した板状生成物を巻き付けた後、互いに隣接している導電線を２組はがしてその跡に第二半導体をコーティングするようにしたことを特徴とする柱状電気素子の製造方法である。

【0040】

参考例３５は、絶縁性の柱状体の外周面に第一半導体をコーティングしてから、その外側に２本の導電線と２本の第二半導体線を交互に縞状に接合した板状生成物を巻き付けるようにしたことを特徴とする柱状電気素子の製造方法である。

【0041】

参考例３６は、絶縁性の柱状体の外周面に第一半導体をコーティングしてから、その外側に第一導電性物質から成る１本の第一導電線と３本の半導体線を縞状に接合した板状生成物を巻き付けた後、該第一導電線に隣接しない半導体線をはがしてその跡に第二導電性物質をコーティングして第二導電線を形成するようにしたことを特徴とする柱状電気素子の製造方法である。

【0042】

参考例３７は、前記柱状電気素子はセンサ又は太陽電池であることを特徴とする参考例３1乃至３６のいずれか１項記載の柱状電気素子の製造方法である。

【0043】

参考例３８は、絶縁性の柱状体の外周面に第一半導体がコーティングされ、その外側に２本の導電線が平行な螺旋状に巻き付けられ、２本の導電線の間に第二半導体がコーティングされていることを特徴とする柱状電気素子である。これは、例えば参考例３１乃至３６のいずれか１項記載の方法により製造する。

【0044】

参考例３９は、前記柱状体は繊維体であることを特徴とする参考例３８記載の柱状電気素子である。

【0045】

参考例４０は、導電性の柱状体の外周面に半導体をコーティングしてから、その外側に導電線を巻き付けるようにしたことを特徴とする柱状電気素子の製造方法である。

【0046】

参考例４１は、導電性の柱状体の外周面に半導体をコーティングしてから、その外側に透明電極をコーティングし、更にその外側に導電線を巻き付けるようにしたことを特徴とする柱状電気素子の製造方法である。

【0047】

参考例４２は、前記柱状電気素子は光センサ又は太陽電池であることを特徴とする参考例４０又は４１記載の柱状電気素子の製造方法である。

【0048】

参考例４３は、導電性の柱状体の外周面に半導体がコーティングされ、その外側に導電線が螺旋状に巻き付けられていることを特徴とする柱状電気素子ある。これは、例えば参考例４０乃至４２のいずれか１項記載の方法により製造する。

【0049】

参考例４４は、導電性の柱状体の外周面に絶縁物をコーティングしてから、その外側に２本の導電線を巻き付けるようにしたことを特徴とする柱状トランジスタの製造方法である。

【0050】

参考例４５は、前記柱状トランジスタをドーパント溶液に浸して、導電性の柱状体又は導電線に電圧を印加しながらドーピングするようにしたことを特徴とする参考例４４記載の柱状トランジスタの製造方法である。

【0051】

参考例４６は、導電性の柱状体の外周面に絶縁物がコーティングされ、その外側に２本の導電線が平行な螺旋状に巻き付けられていることを特徴とする柱状トランジスタである。これは、例えば参考例４４又は４５記載の方法により製造する。

【発明の効果】

【0052】

参考例１によれば、柱状体の外周面に布、糸等のマスク材を螺旋状に巻き付けた後、その隙間に導電性物質をコーティングすることにより、導電線を巻き付けている。コーティングとして、蒸着、塗布等を用いればよく、導電線が柱状体に密着して安定な柱状電気素子が得られる。

【0053】

参考例２乃至４によれば、導電線の直径、及びそれらの間隔を均一にして配線することができ、設計とシミュレーションの作業が容易になる。また糸のように細い線状物質を巻き付けることにより、小型の柱状電気素子を製造することができる。

【0054】

参考例５の製造方法は、例えば導電線と絶縁線との間の粘着性が高く、曲げ等の応力に対しても容易に追従する場合に有効である。導電線と絶縁線との接合、及び柱状体との接合は、例えばエポキシ接着剤を用いればよく、非常に簡単な方法で柱状電気素子を製造することができる。

【0055】

参考例６によれば、参考例１乃至５のいずれか１項記載の製造方法により、柱状型のセンサ又は太陽電池を製造することができる。

【0056】

参考例７は、小型化が可能な柱状電気素子である。その一例として、温度センサ、圧力センサ、イオンセンサ等が挙げられる。列記した各々のセンサは、導電線としてそれぞれ、白金、ポリ３アルキルチオフェン、ポリアニリンを用いている。

【0057】

参考例８によれば、柱状体も小型にできる。繊維体として、例えばポリエチレンテフタレート、ポリメチルメタクリエート、ナイロン、ポリエステル、ポリプロピレン等を用いればよい。同時に、例えば前記参考例２乃至５のいずれか１項に記載された方法に従って、細い導電線を、間隔を密にして柱状体に巻き付けることにより、例えば1mm³以下の超小型の柱状電気素子が得られる。

【0058】

参考例９によれば、半導体をコーティングした柱状体の外側に、まず布、糸等のマスク材を螺旋状に巻き付けている。そしてマスク材の隙間に導電性物質をコーティングすることにより、２本の導電線を巻き付けている。コーティングとして、蒸着、塗布等を用いればよく、２本の導電線が半導体に密着して、安定な柱状電気素子が得られる。

【0059】

参考例１０乃至１２によれば、各導電線の直径、及びそれらの間隔を均一にして配線することができ、設計とシミュレーションの作業が容易になる。また糸のように細い線状物質を巻き付けることにより、小型の柱状電気素子を製造することができる。第一導電線、第二導電線とも同じ材質のものを用いる場合は、参考例１２記載の方法により製造することが好ましい。

【0060】

参考例１３の製造方法は、例えば導電線と絶縁線との間の粘着性が高く、曲げ等の応力に対しても容易に追従する場合に有効である。導電線と絶縁線との接合、及び柱状体との接合は、例えばエポキシ接着剤を用いればよく、非常に簡単な方法で柱状電気素子を製造することができる。

【0061】

参考例１４の製造方法は、例えば第一導電線と絶縁線との間の粘着性が高く、曲げ等の応力に対しても容易に追従する場合に有効である。第一導電線と絶縁線との接合、及び柱状体との接合は、例えばエポキシ接着剤を用いればよく、非常に簡単な方法で柱状電気素子を製造することができる。

【0062】

参考例１５によれば、参考例９乃至１４のいずれか１項記載の製造方法により、柱状型のセンサ又は太陽電池を製造することができる。

【0063】

参考例１６は小型化が可能な柱状電気素子である。その一例として、光センサ、ガスセンサ、湿度センサ、温度センサ、放射線センサ、太陽電池等が挙げられる。光センサは、半導体としてフラーレンをドーピングした導電性高分子、ポリｐフェニレン、ポリチオフェン等の有機半導体を用いている。同様に、ガスセンサは、ポリｐフェニレン、ポリアセチレン、ポリチオフェン等を、湿度センサは、ポリフラン、ポリチオフェン等を、温度センサは、ポリ３アルキルチオフェン）等を、放射線センサは、六フッ化硫黄雰囲気中でのポリアセチレン、ポリチオフェン等を用いている。柱状の光センサを曲げることができる場合は、該光センサの導電線を巻き付けている部分をドーパント溶液に浸しながら、例えば一方の導電線に電圧を印加してドーピングするようにしてもよい。

【0064】

参考例１８は、参考例９乃至１４のいずれか１項記載の方法により製造された柱状型の太陽電池である。簡単な製造方法で小型の太陽電池が得られる。

【0065】

参考例１７又は１９によれば、柱状体も小型にできる。使用可能な繊維体は、参考例８と同じである。同時に、例えば前記参考例１０乃至１４のいずれか１項に記載された方法に従って、細い導電線を、間隔を密にして巻き付けることにより、超小型の柱状電気素子が得られる。

【0066】

参考例２０によれば、柱状体の外周部に、まず布、糸等のマスク材を螺旋状に巻き付けている。そしてマスク材の隙間に導電性物質をコーティングすることにより、２本の導電線を形成している。更に２本の導電線の間に半導体をコーティングしている。コーティングとして、蒸着、塗布等を用いればよく、２本の導電線と半導体が柱状体に密着して、安定な柱状電気素子が得られる。

【0067】

参考例２１乃至２３によれば、各導電線の直径、及びそれらの間隔を均一にして配線することができ、設計とシミュレーションの作業が容易になる。また糸のように細い線状物質を巻き付けることにより、小型の柱状電気素子を製造することができる。第一導電線、第二導電線とも同じ材質のものを用いる場合は、参考例２３記載の方法により製造することが好ましい。

【0068】

参考例２４の製造方法は、例えば導電線と半導体線との間の粘着性が高く、曲げ等の応力に対しても容易に追従する場合に有効である。導電線と絶縁線との接合、及び柱状体との接合は、例えばエポキシ接着剤を用いればよく、非常に簡単な方法で柱状電気素子を製造することができる。

【0069】

参考例２５の製造方法は、例えば第一導電線と半導体線との間の粘着性が高く、曲げ等の応力に対しても容易に追従する場合に有効である。第一導電線と半導体線との接合、及び柱状体との接合は、例えばエポキシ接着剤を用いればよく、非常に簡単な方法で柱状電気素子を製造することができる。

【0070】

参考例２６によれば、参考例２０乃至２５のいずれか１項記載の方法により、柱状型のセンサ又は太陽電池を製造することができる。

【0071】

参考例２７は、小型化が可能な柱状電気素子である。その内容は参考例１６と同じである。

【0072】

参考例２９は、参考例２０乃至２５のいずれか1項記載の方法により製造された柱状型の太陽電池である。簡単な製造方法で小型の太陽電池が得られる。

【0073】

参考例２８又は３０によれば、柱状体も小型にできる。使用可能な繊維体は、参考例８と同じである。同時に、例えば前記参考例２０乃至２５のいずれか１項に記載された方法に従って、細い導電線及び／又は細い半導体線を、間隔を密にして巻き付けることにより、超小型の柱状電気素子が得られる。

【0074】

参考例３１によれば、第一半導体をコーティングした柱状体の外側に、まず布、糸等のマスク材を螺旋状に巻き付けている。そしてマスク材の隙間に導電性物質をコーティングすることにより、２本の導電線を巻き付けている。更に２本の導電線の間に第二半導体をコーティングしている。コーティングとして、蒸着、塗布等を用いればよく、２本の導電線と第二半導体が第一半導体に密着して、安定な柱状電気素子が得られる。

【0075】

参考例３２乃至３４によれば、導電線の直径、及びそれらの間隔を均一にして配線することができ、設計とシミュレーションの作業が容易になる。また糸のように細い線状物質を巻き付けることにより、小型の柱状電気素子を製造することができる。第一導電線、第二導電線とも同じ材質のものを用いる場合は、参考例３４記載の方法により製造することが好ましい。

【0076】

参考例３５の製造方法は、例えば導電線と半導体線との間の粘着性が高く、曲げ等の応力に対しても容易に追従する場合に有効である。導電線と絶縁線との接合、及び柱状体との接合は、例えばエポキシ接着剤を用いればよく、非常に簡単な方法で柱状電気素子を製造することができる。

【0077】

参考例３６の製造方法は、例えば第一導電線と半導体線との間の粘着性が高く、曲げ等の応力に対しても容易に追従する場合に有効である。第一導電線と半導体線との接合、及び柱状体との接合は、例えばエポキシ接着剤を用いればよく、非常に簡単な方法で柱状電気素子を製造することができる。

【0078】

参考例３７によれば、参考例３１乃至３６のいずれか１項記載の方法により、柱状型のセンサ又は太陽電池を製造することができる。

【0079】

参考例３８は、小型化が可能な柱状電気素子である。その内容は参考例１６と同じである。

【0080】

参考例３９によれば、柱状体も小型にできる。使用可能な繊維体は、参考例８と同じである。同時に、例えば前記参考例３１乃至３６のいずれか１項に記載された方法に従って、細い導電線及び／又は半導体線を、間隔を密にしてまき付けることにより、超小型の柱状電気素子が得られる。

【0081】

参考例４０によれば、導電性の柱状体の外周面に半導体をコーティングしてから、その外側に導電線を巻き付けている。コーティングとして、蒸着、塗布等を用いればよい。導電線の巻き付けは、例えば参考例１乃至５のいずれか１項に記載された方法を用いればよく、導電性の柱状体と導電線が半導体を介して密着している。従って、安定に動作する柱状電気素子を製造することが製造することができる。

【0082】

参考例４１によれば、導電性の柱状体の外周面に半導体をコーティングしてから、その外側に透明電極をコーティングし、更にその外側に導電線を巻き付けている。コーティングとして、蒸着、塗布等を用いればよい。導電線の巻き付けは、例えば参考例１乃至５のいずれか１項に記載された方法を用いればよく、導電性の柱状体と導電線が半導体及び透明電極を介して密着している。すなわち、曲げ等の応力によって透明電極の一部にひびが入ったとしても、導電線が透明電極に電気的に接触しながら固定している。従って、安定に動作する柱状電気素子を製造することができる。

【0083】

参考例４２によれば、導電性の柱状体、半導体、透明電極を有して、安定に動作する柱状型の光センサ又は太陽電池を製造することができる。

【0084】

参考例４３は、小型化が可能な柱状電気素子である。

【0085】

参考例４４によれば、導電性の柱状体の外周面に絶縁物をコーティングしてから、その外側に２本の導電線を巻き付けている。コーティングとして、蒸着、塗布等を用いればよい。導電線の巻き付けは、参考例９乃至１４のいずれか１項に記載された方法を用いればよく、導電性の柱状体と２本の導電線か絶縁物を介して密着している。従って安定に動作する柱状トランジスタが得られる。

【0086】

参考例４５によれば、ドーピングされた絶縁物を有するトランジスタを容易に製造することができる。参考例４４記載の方法により製造された柱状トランジスタを曲げることができる場合、柱状トランジスタの導電線が巻き付けている部分が浸るように、曲げてトーパント溶液に入れる。そして例えば導電性の柱状体に電圧を印加することにより、ドーピングを行なう。ドーピングの様子は、２本の導電線間に電流を流して測定するようにしてもよい。すなわち、ドーピングの様子を確認しながら、絶縁物に適量のドーピングを行なうことができる。

【0087】

参考例４６は、小型化が可能な柱状トランジスタである。

【発明を実施するための形態】

【0088】

以下、本発明に係る各用語の意義について明らかにすると共に、本発明の最良形態について説明する。

【0089】

「柱状電気素子」とは、円柱、多角柱等の柱状形をした電気素子である。一例として、柱状形のセンサ、太陽電池等がある。

【0090】

「柱状体」とは、その外周面に導電線や半導体線等を巻いてセンサ、太陽電池等の柱状電気素子を作るための基体である。本発明では、導電性と絶縁性の両方を使用する。特に絶縁性の材料としては、プラスチック、石英、サファイア等がある。小型の柱状電気素子を製造する場合は、ポリエチレンテフタレート、ポリメチルメタクリエートナイロン、ポリエステル、ポリプロピレン等の繊維体を用いればよい。繊維体を用いることにより、柱状体の直径を0.1〜1.0mmにすることができ、超小型のセンサ、太陽電池等を製造することが可能となる。

【0091】

「コーティング」とは、柱状体の外周面に導電線、半導体線等を被覆させることである。一例として、被覆させる物質の蒸着、或いは被覆させる物質の溶融液、溶解液、又はゲル状態のものを塗布することにより行なう。

【0092】

「マスク材」とは、柱状体の外周面に導電線、半導体線等を被覆させるときに、帯域外のところが被覆されないように柱状体の側面の一部を覆っておくものである。一例として、布、糸、アルミ箔、銅箔、紙、或いは柱状体と同じ材料等を用いればよい。
（単線から成る柱状電気素子）
図１に、本発明による「単線から成る柱状電気素子」の一つである温度センサの斜視図を示す。例えばプラスチックから成る絶縁性の柱状体２の外周面に、白金線４が巻き付けられている。白金線４の両端に取出し口３が取り付けられており、これらを測定器１に接続して抵抗値を測ることにより、温度を知ることができる。

【0093】

図2に蒸着法を用いて温度センサを作成する一つの方法を示す。初めに（ａ）に示すように、絶縁性の柱状体２の外周面に、コーティングのためのマスク材５を螺旋状に巻き付けて、固定する。そして（ｂ）に示すように、マスク材５の隙間に白金をコーティング、例えば蒸着して白金線４を形成する。マスク材５として導電性のものを用いた場合は、（ｃ）に示すようにマスク材５を除去する。そして取出し口３を白金線４の両側に付けて完成する。マスク材５として、例えば、布、糸、アルミ箔、銅箔、紙等を用いればよい。

【0094】

図３に蒸着法を用いて白金線を均一に巻き付けるための他の方法を示す。例えば２本の絶縁線６を縞状に接合した板状生成物を準備する。これを（ａ）に示すように、絶縁性の柱状体２の外周面に巻き付け、接着剤等を用いて固定させる。次に（ｂ）に示すように一方の絶縁線６をはがす。例えば、絶縁線６の一端を手、ピンセット等でつまんで、柱状体２の外周に沿ってはがせばよい。最後に（ｃ）に示すように、その跡に白金を蒸着して白金線４を形成する。そして取出し口３を白金線４の両側に付けて完成する。

【0095】

板状生成物を構成する絶縁線６は、２本に限定されない。例えば３本の絶縁線６を縞状に接合した板状生成物を柱状体２の外周面に巻き付けた後、２本の絶縁線６をはがして、その跡に白金を蒸着するようにしてもよい。

【0096】

絶縁線６の代わりに、他の線状物質で板状生成物を準備してもよい。導電性の線状物質を用いる場合は、（ｃ）の白金の蒸着を終了した後に、柱状体２の外周面に残っている線状物質をはがしておく。

【0097】

図3に示した蒸着法を用いることにより、白金線４の直径とその間隔を調整でき、均一に巻き付けることができる。また線状線として線状物質、例えば糸を用いることにより、白金線４を細くすると同時にその間隔を狭くすることができる。従って小型の温度センサを作成することができる。

【0098】

更に絶縁線６の代わりに、導電線、例えば白金線を縞状に接合した板状生成物を、柱状体２の外周面に巻き付けてもよい。複数本の白金線から成る板状生成物を、柱状体２の外周面に密に巻き付けて、例えば二液混合エポキシ接着剤で固定させる。耐熱性を考慮する場合は、セラミック接着剤、例えば株式会社ニラコ製のザウエライゼンセメントを用いて固定させるのが好ましい。その後、一部の白金線の一端を手又はピンセット等でつまんで、柱状体２の外周面に沿ってはがす。そして柱状体２の外周面に固定されている白金線の両側に、取出し口を付けて完成する。この場合は、蒸着等のコーティングの工程を省くことができる。

【0099】

複数本の白金線から成る板状精製物を柱状体２の外周面に固定させるのは、例えば130℃に加熱することにより固定するようにしてもよい。

【0100】

絶縁性の柱状体としてポリエチレンテレフタレート、ポリメチルメタクリエート、ナイロン、ポリエステル、ポリプロピレン等の繊維体を、白金線として直径0.02mmのものを用いることにより、柱状体と白金線の両方を小さくすることができる。例えば、体積が1mm³以下の温度センサを製造することができる。図１１は、この温度センサの製造方法の一例を示す斜視図である。これは繊維体を材料とした柱状体の一部に、直径0.02mmの２本の白金線４を密に巻き付けた後、一方の白金線をはがしたものである。これを例えば台１５の上に置いて、白金線を巻き付けた柱状体の両側をカットすることにより、超小型のセンサを製造することができる。この温度センサを用いると、狭い空間にセットしてそこでの温度を測定することができる。

【0101】

柱状体２の外周面に巻き付ける導電線には金属以外のもの、例えば有機導電線も含まれる。この場合（ｃ）の蒸着の代わりに、有機導電体の溶融液、溶解液又はゲル状態のものを塗布することによりコーティングしてもよい。

【0102】

一例として、有機導電体であるポリ３アルキルチオフェンを用いた圧力センサ、ポリアニリンを用いたイオンセンサ等がある。これらの有機導電体をトルエン又はキシレン溶液等の塗料溶剤に溶かしたものを、柱状体２の外周面に塗布すればよい。ただし柱状体２とマスク材は、塗料溶剤に溶けないものを用いる必要がある。前者の圧力センサは、比較的低圧力でも、圧力の変化によって導電率が大きく変化する。後者のイオンセンサは、水溶液中に浸されたポニアニリンのボルタモグラムを測定することによって、その水溶液のpH値を検知するものである。

【0103】

導電線と絶縁線との結合力が高く且つ結合された板状生成物が曲げの応力に対して容易に追従できる場合には、図４の示す方法でセンサを作成してもよい。即ち、絶縁線６と導電線７とを縞状に接合した板状生成物を、柱状体２の外周面に巻き付けて、接着剤等で固定させる。この場合も蒸着等のコーティングの工程を省くことができ、導電線７の両側に取出し口３を付けて完成となる。
（板状の半導体から成る柱状電気素子）
図５に、本発明による「板状の半導体から成る柱状電気素子」の一つである光センサの斜視図を示す。絶縁性の柱状体２の外周面には、半導体８、例えばフラーレンをドーピングした導電性高分子から成る有機半導体が板状にコーティングされている。更にその外側に、銅線９とアルミニウム線１０が巻き付けられている。このセンサに照射する光が半導体８で電気に変化する。銅線９とアルミニウム線１０との間を流れる電流を測定器１で測定することにより、センサに照射している光の強度を知ることができる。

【0104】

導電性高分子としてポリ３アルキルチオフェン、ポリ２，５ジオキチロキシｐフェニレンビニレン等を用いることができる。ポリ３アルキルチオフェンの一種であるポリ３ヘキシルチオフェンを用いるときは、フラーレンを20〜30重量%ドーピングしておくことが好ましい。

【0105】

この柱状の光センサを曲げることができる場合は、導電線を巻き付けている部分をドーパント溶液に浸しながら、例えば一方の導電線に電圧を印加してドーピングするようにしてもよい。すなわち、簡単な方法で適切なドーピングを行なうことも可能である。

【0106】

また銅線９−アルミニウム線１０の代わりに、仕事関数の差の大きい金線（5.2eV）−アルミニウム線（4.3eV）を用いることにより、光電変換の効率が向上する。そのために、太陽電池としても利用することができる。

【0107】

柱状体２の外周面を半導体８でコーティングすることは、半導体８を蒸着することにより行なう。或いは柱状体２に、半導体８の溶融液、溶解液又はゲル状態のものを塗布することにより行なう。例えば半導体をトルエン又はキシレン溶液等の塗料溶剤に溶かしたものを、柱状体２の外周面に塗布すればよい。ただし柱状体２は、塗料溶剤に溶けないものを用いる必要がある。

【0108】

その外側への銅線９とアルミニウム線１０の巻き付けは、図２で説明したのと同じ方法で行なうことができる。コーティングのためのマスク材、例えば第一の布を螺旋状に巻き付けて固定する。この状態で銅をコーティング、例えば蒸着して、第一の布の隙間に銅線９を形成する。銅線９の形成のために巻いた第一の布を除去してから、銅線９を覆うように再び第二の布を螺旋状に巻き付けて固定する。そしてアルミニウムを蒸着して、第二の布の隙間にアルミニウム線１０を形成する。アルミニウム線１０の形成のために巻いた布５を除去してから、最後に銅線９とアルミニウム線１０に取出し口３を付けて完成する。

【0109】

銅線９とアルミニウム線１０を均一に巻き付けるときは、図６に示す方法を用いればよい。初めに（ａ）に示すように、例えば４本の絶縁線６を縞状に接合した板状生成物を準備する。柱状体２の外周面に半導体８をコーティングしてから、その外側に板状生成物を巻き付けて、固定する。次に（ｂ）、（ｃ）に示すように４本の絶縁線６のうちの一本をはがして、その跡に銅を蒸着して銅線９を形成する。その後、（ｄ）、（ｅ）に示すように蒸着した銅線９に隣接していない一本の絶縁線６をはがして、その跡にアルミニウムを蒸着してアルミニウム線１０を形成する。最後に銅線９及びアルミニウム線１０に取出し口３を付けて完成する。

【0110】

板状生成物を構成する絶縁線６は、４本に限定されない。４本以上の絶縁線６を縞状に接合した板状生成物を柱状体２に巻き付けるようにしてもよい。その後、１本以上の絶縁線６をはがして、その跡に銅を蒸着して銅線９を形成する。次に銅線９に隣接していない１本以上の絶縁線６をはがして、その跡にアルミニウムを蒸着して、アルミニウム線１０を形成する。これは、以下で説明する「半導体線から成る柱状電気素子」、「２種類の半導体を用いた柱状電気素子」でも同じである。

【0111】

絶縁線６の代わりに、他の線状物質で板状生成物を準備してもよい。導電性の線状物質を用いた場合は、（ｅ）のアルミニウムの蒸着を省略した後に、半導体８の側面に残っている線状物質をはがしておく。

【0112】

図６に示した蒸着法を用いることにより、銅線９及びアルミニウム線１０のそれぞれの直径とそれらの間隔を調整でき、均一に巻き付けることができる。また絶縁線６として例えば細い糸を用いることにより、銅線９及びアルミニウム線１０を細くすると同時にそれらの間隔を狭くすることができる。従って小型の光センサを作成することができる。

【0113】

同じ材質の２本の導電線で柱状電気素子を製造する場合は、絶縁線６の代わりに複数本の導電線を縞状に接合した板状生成物を、半導体８の外側に巻き付けてもよい。複数本の導電線から成る板状生成物を、半導体８の外面に巻き付けて、固定させる。その後、互いに隣接している導電線を２組はがす。最後に半導体８の外面に接合している２本の導電線に、取り出し口を付けて完成する。この場合は、導電線の蒸着等のコーティングの工程を省略することができる。

【0114】

半導体８をコーティングした柱状体２の外側に巻き付ける２本の導電線には、金属以外のもの、例えば有機導電線も含まれる。この場合、（ｃ）及び（ｅ）の蒸着の変わりに、対応する有機導電体の溶融液、溶解液又はゲル状態ものを塗布することによりコーティングしてもよい。

【0115】

また２本の導電線と絶縁線との結合力が高く、結合された板状生成物が曲げの応力に対して容易に追従できる場合には、図７に示す方法で柱状電気素子を作成してもよい。すなわち、絶縁線６、第一導電線１１、絶縁線６、第二導電線１２を縞状に接合したものを準備する。これを、半導体８をコーティングした柱状体２の外側に巻き付ける。この場合にも導電線の蒸着等のコーティングの工程を省くことができ、第一導電線１１及び第二導電線１２に取出し口３を付けて完成となる。

【0116】

図８に他の作成方法を示す。これは２本の導電線の内、一本は巻き付けることにより、他方は蒸着により作成するものである。初めに（ａ）に示すように、一本の第一導電線１１と３本の絶縁線６を縞状に接合した板状生成物を準備する。柱状体２の外周面に半導体８をコーティングしてから、その外側に板状生成物を巻き付けて、固定する。次に（ｂ）、（ｃ）に示すように第一導電線１１に隣接しない絶縁線６の一本をはがしてから、その跡に第二導電物質を蒸着して第二導電線１２を形成する。最後に第一導電線１１及び第二導電線１２に取出し口３を付けて完成する。

【0117】

本発明を適用できる「板状の半導体と２本の導電線からなる柱状電気素子」として、前記の光センサ以外にも以下のセンサがある。

【0118】

半導体８としてポリｐフェニレン、ポリアセチレン、ポリチオフェン等を用いたガスセンサがある。これらの半導体は、一酸化窒素（ＮＯ）ガス、アンモニア（ＮＨ_３）ガス等と接触することにより導電率が変化する。導電率の変化により、ガスの濃度を測定する。

【0119】

半導体８としてポリフラン、ポリチオフェン等を用いた湿度センサがある。ポリフランは導電率の変化により、ポリチオフェンはこの半導体に接触している２本の導電線間の電位の変化により湿度を測定するものである。

【0120】

半導体８としてポリ３アルキルチオフェン等を用いた温度センサがある。ポリ３アルキルチオフェンは加熱により溶融するが、その前駆現象として導電率、光学スペクトル等が大きく変化する。これを利用したものである。

【0121】

半導体８としてポリｐフェニレン、ポリチオフェン等を用いた光センサがある。ポリｐ−フェニレンは光誘起異性化反応（光によるキノイド−ベンゼノイド構造の間の変化）を利用するものである。ポリチオフェンは、光解離性のトリフェニルヨード二ウムテトラフルオロボレード等の物質を担持させることにより光誘起ドーピングを生じる。ポリチオフェンはこの光誘起ドーピングを利用したセンサを構成できる。

【0122】

六フッ化硫黄（ＳＦ_６）雰囲気中でポリアセチレン、ポリチオフェンを用いた放射線センサもある。これはＳＦ_６雰囲気中で前記誘起半導体に電子線を照射したときに、導電率が著しく変化することを利用するものである。

【0123】

「板状の半導体から成る柱状電気素子」でも、超小型の柱状電気素子を製造することができる。例えば、柱状体２としてポリエチレンテフタレート等の繊維体を用いる。その外周面に有機化合物から成る半導体８を、50〜500μmコーティングする。その外側に、直径0
05〜1mmの導電線を密に巻き付けることにより、超小型の柱状電気素子がえられる。
（半導体線から成る柱状電気素子）
図９に本発明による「半導体線から成る有機電気素子」の斜視図を示す。これは絶縁性の柱状体２の回りに第一導電線１１及び第二導電線１２を巻いて、２本の導電線の間に半導体８をコーティングしたものである。

【0124】

２本の導電線の巻き方は、「板状の半導体から成る柱状電気素子」で説明したのと同じ方法を用いることができる。線状物質を用いて２本の導電線を巻き付ける場合は、前記の柱状電気素子と同じ方法で２本の導電線を巻き付ける。その後、残っている線状物質をはがしてその跡に半導体８をコーティングすればよい。半導体８のコーティングも、蒸着、或いは半導体の溶融液、溶解液又はゲル状態のものを塗布する、等様々な方法で行なうことができる。

【0125】

また２本の導電線と半導体の線との間の結合力が高く且つ結合された板上のものが曲げの応力に対して容易に追従できる場合は、次の方法で作成してもよい。半導体の線、第一導電線、半導体の線、第二導電線の順序で４本の線を縞上に接合した板状生成物を準備する。これを柱状体の外周面に巻き付けて固定した後、第一導電線及び第二導電線に取出し口を付けて完成となる。

【0126】

更に、第一導電線と３本の半導体線を縞状に接合した板状生成物を準備してもよい。この板状生成物を柱状体の外周面に巻き付けて固定する。その後、第一導電線に隣接していない半導体線をはがして、その跡に第二導電物質をコーティングして第二導電線を形成する。最後に、第一導電線及び第二導電線に取出し口を付けて完成となる。

【0127】

「板状の半導体から成る柱状電気素子」で説明した様々なセンサ、太陽電池は、ここでも適用することができる。
（２種類の半導体を用いた柱状電気素子）
図１０に本発明による「２種類の半導体を用いた柱状電気素子」の斜視図を示す。絶縁性の柱状体２の外周面に第一半導体１３をコーティングしてから、その外側に第一導電線１１及び第二導電線１２を巻き付けている。更に２本の導電線の間に第二半導体１４をコーティングしている。導電線１１、１２の巻き付けや第二半導体１４のコーティングは、「板状の半導体から成る柱状電気素子」及び「半導体線から成る柱状電気素子」で説明したのと同じ方法を用いることができる。またここでは２種類の半導体を用いることができるので、検出できるガスの種類が広がる等、本発明によるセンサの用途を拡げることができる。

【0128】

「板状の半導体から成る柱状電気素子」で説明した様々なセンサは、ここでも適用することができる。
（導電性の柱状体を有する柱状電気素子）
図１２に、本発明による「導電性の柱状体を有する柱状電気素子」の一実施例である光センサの斜視図を示す。導電性の柱状体１６の外周面には、半導体１７がコーティングされている。その外側には導電線１９が巻き付けられている。

【0129】

導電性の柱状体１６は、例えばアルミニウムから作られている。

【0130】

導電性の柱状体１６の外周面に半導体１７をコーティングする。半導体１７は、例えばフラーレンをドーピングした導電性高分子から作られる。導電性高分子としてポリ３アルキルチオフェン、ポリ２，５ジオキチロキシｐフェニレンビニレン等を用いることができる。ポリ３アルキルチオフェンの一種であるポリ３ヘキシルチオフェンを用いるときは、フラーレンを20〜30重量%ドーピングしておくことが好ましい。半導体１７のコーティングは、蒸着、或いは半導体の溶融液、溶解液又はゲル状態のものを塗布することにより行なう。

【0131】

半導体１７の外側に、導体線１９、例えば銅線を巻き付ける。導電線１９の巻き付けは、「単線から成る柱状電気素子」で説明した白金線の巻き付けと同じ方法で行なえばよい。導電線１９を巻き付けた後、導電線１９に取り出し口３を付けて完成する。

【0132】

以上のように製造することにより、光センサが構成される。アルミニウムから成る導電性の柱状体１６と銅線から成る導電線１９の仕事関数が異なるので、半導体１７に光を照射したときに柱状体１６と導電線１９との間で電位差が発生する。その電位差を測定器で測ることにより、導電線１９の隙間等を通じて半導体１７に照射している光の強度をすることができる。

【0133】

図１２に示した光センサは、太陽電池としても利用することができる。導電線１９として、銅線の代わりに金線を用いることにより、光電変換の効率を向上させることができる。

【0134】

半導体１７として、前記で説明した導電性高分子等の有機化合物を用いることにより、導電性の柱状体１６の外周面に50〜500μmコーティングすればよい。更に図１１で説明したように、細い銅線を巻き付けることにより、超小型の光センサ又は太陽電池が得られる。

【0135】

図１３に、本発明による「導電性の柱状体を有する柱状電気素子」の他の実施例である光センサの斜視図を示す。図１２と同じものは、同一符号で示す。これは半導体１７の外側に、透明電極１８がコーティングされている。導電性の柱状体１６、半導体１７、透明電極１８で光センサが構成されている。すなわち、半導体１７の露出部や、透明電極１８を通じて照射する光の強度に応じて、柱状体１６と透明電極１８との間に電位差が発生し、接続することによって電流が流れる。しかし透明電極１８はもろく、曲げるとひびが入って断線するという問題がある。そこで本発明では、透明電極１８の更に外側に導電線１９を巻き付けることにより、透明電極１８と電気的に接触しながら固定するようにしたものである。

【0136】

透明電極１８のコーティングも、蒸着、或いは透明電極の材料の溶融液、溶解液或いはゲル状態のものを塗布することにより行なう。透明電極１８として、例えばインジウム錫オキサイド（ITO）、ポリビニルアルコール（PVA）等を用いる。ポリビニルアルコール（PVA）を用いるときは、三塩化鉄FeCl₃を2重量％だけ含ませておくことが好ましい。このとき、導電率と透過率の良好な透明電極１８が得られる。

【0137】

透明電極１８の更に外側に導電線１９、例えば銅線を巻き付ける。導電線１９の巻き付けは、「単線から成る柱状電気素子」で説明した白金線の巻き付けと同じ方法で行なえばよい。導電線１９を巻き付けた後、導電線１９に取り出し口３を付けて完成する。

【0138】

アルミニウムから成る柱状体１６と透明電極１８の仕事関数が異なるので、半導体１７に光を照射したときに柱状体１６と透明電極１８との間で電位差を発生する。その電位差を測定器１で測ることにより、半導体１７に照射している光の強度を知ることができる。

【0139】

図１３に示した光センサは、太陽電池としても利用することができる。

【0140】

この場合も、半導体１７、透明電極１８として有機化合物を用い、細い導電線１９を用いることにより、超小型の光センサ又は太陽電池が得られる。
（柱状トランジスタ）
本発明によれば、柱状のトランジスタも製造することができる。例えば導電性の柱状体に絶縁物をコーティングする。コーティングは、蒸着、或いは絶縁物の溶融液、溶解液又はゲル状のものを塗布することにより行なう。その外側に２本の導電線を巻き付けることにより、完成する。２本の導電線の巻き付けは、参考例９乃至１４のいずれか１項に記載された方法を用いればよい。

【0141】

この方法により製造された柱状トランジスタを曲げることができる場合は、ドーピングを行なってその性能を向上させることもできる。図１４にその概略図を示す。導電性の柱状体（ゲート電極）２０に絶縁物２１をコーティングして２本の導電線（ソース電極、ドレイン電極）２２を巻き付けた柱状トランジスタを、導電線を巻き付けている部分が浸るようにまげて、ドーパント溶液２３に入れる。そしてゲート電極に電圧を印加することにより、コーティングされている絶縁物２１のドーピングを行なう。またドーピングの様子は、２本の導電線間に電流を流して測定するようにしてもよい。すなわち、ドーピングの様子を確認しながら、絶縁物２１に適量のドーピングを行なうことができる。

【0142】

なお各図面で柱状体２、導電性の柱状体１６の縦断面形状は円形で表現したが、これに制限されるものではない。例えば四角形、多角形その他の形状でもよい。

【産業上の利用可能性】

【0143】

本発明による柱状電気素子は超小型化が可能である。従って、機械の隙間等の狭い空間に設置して局部の温度、ガス濃度等を測定するセンサ等として利用することができる。また柱状体の外周面全体に半導体等による感部をコーティングできるので、小型で感度の高いセンサや、変換効率の高い太陽電池が得られる。

【図面の簡単な説明】

【0144】

【図1】本発明による「単線から成る柱状電気素子」の一つである温度センサの斜視図である。

【図2】「単線から成る柱状電気素子」の一般的な製造方法を示す概略図である。

【図3】導電線が均一に巻かれた「単線から成る柱状電気素子」の製造方法の一例を示す概略図である。

【図4】導電線が均一に巻かれた「単線から成る柱状電気素子」の製造方法の一例を示す概略図である。

【図5】本発明による「板状の半導体から成る柱状電気素子」の一つである光センサの斜視図である。

【図6】導電線が均一に巻かれた「板状の半導体から成る柱状電気素子」の製造方法の一例を示す概略図である。

【図7】導電線が均一に巻かれた「板状の半導体から成る柱状電気素子」の製造方法の一例を示す概略図である。

【図8】導電線が均一に巻かれた「板状の半導体から成る柱状電気素子」の製造方法の一例を示す概略図である。

【図9】本発明による「半導体線から成る柱状電気素子」の斜視図である。

【図10】本発明による「２種類の半導体を用いた柱状電気素子」の斜視図である。

【図11】小型温度センサの製造方法の一例を示す斜視図である。

【図12】半発明による「導電性の柱状体を有する柱状電気素子」の一実施例である光センサの斜視図である。

【図13】本発明による「導電性の柱状体を有する柱状電気素子」の他の実施例である光センサの斜視図である。

【図14】柱状トランジスタのドーピング方法を示す概略図である。

【符号の説明】

【0145】

１ 測定器
２ 絶縁性の柱状体
３ 取出し口
４ 白金線
５ マスク材
６ 絶縁線
７ 導電線
８ 半導体
９ 銅線
１０ アルミニウム線
１１ 第一導電線
１２ 第二導電線
１３ 第一半導体
１４ 第二半導体
１５ 台
１６ 導電性の柱状体
１７ 半導体
１８ 透明電極
１９ 導電線
２０ 導電性の柱状体（ゲート電極）
２１ 絶縁物
２２ 導電線（ソース電極、ドレイン電極）
２３ ドーパント溶液

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】