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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】6285710
(24)【登録日】2018年2月9日
(45)【発行日】2018年2月28日
(54)【発明の名称】フィルム固定型キャリア
(51)【国際特許分類】
H01L 21/683 20060101AFI20180215BHJP
C09J 7/00 20180101ALI20180215BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 N
C09J7/00
【請求項の数】9
【全頁数】14
(21)【出願番号】特願2013-266763(P2013-266763)
(22)【出願日】2013年12月25日
(65)【公開番号】特開2015-122461(P2015-122461A)
(43)【公開日】2015年7月2日
【審査請求日】2016年12月22日
(73)【特許権者】
【識別番号】000222749
【氏名又は名称】東洋樹脂株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100063842
【弁理士】
【氏名又は名称】高橋 三雄
(74)【代理人】
【識別番号】100118119
【弁理士】
【氏名又は名称】高橋 大典
(72)【発明者】
【氏名】風間 均
(72)【発明者】
【氏名】塚田 俊雄
【審査官】
宮久保 博幸
(56)【参考文献】
【文献】
実開昭５９−１４６９４６（ＪＰ，Ｕ）
【文献】
国際公開第２００９／０７５１５３（ＷＯ，Ａ１）
【文献】
特開平０８−１８１１９４（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開平０５−３４３５０５（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開２０１０−１４７３４３（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開２０１２−１１４２６５（ＪＰ，Ａ）
【文献】
米国特許第０４６４４６３９（ＵＳ，Ａ）
(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）
Ｈ０１Ｌ ２１／６８３
Ｃ０９Ｊ ７／００
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
外枠と内枠間に粘着フィルムを挟んで保持するフィルム固定型キャリアであって、前記外枠に形成された開口部に前記内枠が嵌め込み自在に構成され、前記内枠の外側部にばね部を備えて構成され、前記ばね部は、前記内枠の下面に、前記内枠の周囲に亘って形成した縦溝と、前記内枠の外側面及び下面から前記縦溝に達する複数の横溝により、前記内枠の外側部に複数形成されていることを特徴とするフィルム固定型キャリア。
【請求項2】
外枠と内枠間に粘着フィルムを挟んで保持するフィルム固定型キャリアであって、前記外枠に形成された開口部に前記内枠が嵌め込み自在に構成され、前記内枠の外側部にばね部を備えて構成され、前記ばね部は、前記内枠の上面に、前記内枠の周囲に亘って形成した縦溝と、前記内枠の外側面及び上面から前記縦溝に達する複数の横溝により、前記内枠の外側部に複数形成されていることを特徴とするフィルム固定型キャリア。
【請求項3】
外枠と内枠間に粘着フィルムを挟んで保持するフィルム固定型キャリアであって、前記外枠に形成された開口部に前記内枠が嵌め込み自在に構成され、前記内枠の外側部にばね部を備えて構成され、前記ばね部は、前記内枠の上面から下面方向に、又は、下面から上面方向に、前記内枠の周囲に亘って形成した縦溝により形成されていることを特徴とするフィルム固定型キャリア。
【請求項4】
外枠と内枠間に粘着フィルムを挟んで保持するフィルム固定型キャリアであって、前記外枠に形成された開口部に前記内枠が嵌め込み自在に構成され、前記内枠の外側部又は／及び前記外枠の内側周面部にばね部を備えて構成され、前記外枠の内側周面には凹部が形成され、前記内枠の外側面には、外方向に突出する凸部が形成され、前記外枠と前記内枠の嵌合時に、前記外枠の凹部と前記内枠の凸部は嵌り合わず、保持される粘着フィルムを前記凸部と前記凹部の上端及び下端との縦断面視で２点で保持し、前記凸部は前記ばね部に形成されていることを特徴とするフィルム固定型キャリア。
【請求項5】
前記横溝は、前記内枠の直径方向に形成された構成であることを特徴とする請求項１又は２に記載のフィルム固定型キャリア。
【請求項6】
前記横溝は、前記内枠の直径方向と交差する方向に形成された構成であることを特徴とする請求項１又は２に記載のフィルム固定型キャリア。
【請求項7】
前記横溝は前記内枠の円周方向に均等の間隔で形成されていることを特徴とする請求項１、２、５又は６に記載のフィルム固定型キャリア。
【請求項8】
前記ばね部は、少なくとも前記外枠と前記内枠間に粘着フィルムを挟んで設置する時に圧縮されていることを特徴とする請求項１から７のうちいずれか１項に記載のフィルム固定型キャリア。
【請求項9】
前記ばね部が、粘着フィルムを設置しないで前記外枠に前記内枠を嵌め込んだ平時には、前記ばね部と対向する前記外枠又は／及び前記内枠と接触するように、或いは、前記ばね部と対向する前記外枠又は／及び前記内枠と、粘着フィルムの厚さ未満の間隔をもって位置するように形成されていることを特徴とする請求項１から８のうちいずれか１項にのフィルム固定型キャリア。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、外枠と内枠を備えたキャリアであって、外枠と内枠が嵌り合い、外枠と内枠間に粘着フィルムを挟みこんで、粘着フィルムを固定し、粘着フィルム上に接着したシリコンウエハ、ＩＣチップその他の物を保持するためのキャリアに関する。
【背景技術】
【0002】
従来から、シリコンウエハやＩＣチップの運搬、保管や製造工程において、シリコンウエハやＩＣチップを保持するために、粘着フィルムとグリップリングが用いられている（例えば、特許文献１参照。）。この粘着フィルムは、エラストマーや合成樹脂製の伸縮性を有するフィルムで、片面に粘着層を有し、粘着層上にシリコンウエハやＩＣチップを貼着し、保持することが出来るものである。
【0003】
又、グリップリングはアウターリング及びインナーリングで構成される二重リング構造であり、アウターリング及びインナーリングは夫々縦断面形状が四角形のリング状の部材であり、アウターリングの内径とインナーリングの外径は略等しく形成されている。そして、インナーリングの外側面をアウターリングの内側面に対向させて、インナーリングをアウターリングに嵌合させ、インナーリングとアウターリング間に伸縮性のあるフィルムを挟み込むことにより、フィルムを張った状態で保持することが出来るものである。
【0004】
そして、グリップリングで粘着フィルムを張った状態で保持させ、粘着フィルム上にシリコンウエハやＩＣチップを貼着し、シリコンウエハやＩＣチップを保持させていた。又、グリップリングでシリコンウエハを保持したままＩＣチップの製造工程に使用する為、グリップリングが保持枠に嵌め込まれて用いられていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0005】
【特許文献1】特開２０１０−３４４３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
しかし、従来の合成樹脂製のグリップリングは、他の部材を用いずに、インナーリングとアウターリング間に伸縮性のあるフィルムを挟み込み、フィルムを張った状態に保持するために、インナーリングとアウターリングは嵌り合う形状に形成され、インナーリングとアウターリング間には隙間が形成されていない。又、グリップリングとグリップリングを保持する平板状の保持枠も、他の部材を用いずに、相互に嵌めあって固定する構造であり、グリップリングのアウターリングと保持枠間には隙間が形成されていない。
【0007】
そして、このように嵌り合う箇所に遊びがない形状や構造のため、アウターリング及びインナーリング、グリップリング及びグリップリングの保持枠は、相互の着脱、粘着フィルムの着脱が容易ではなかった。又、相互への着脱時、粘着フィルムの着脱時に破損し易いという問題点があった。
【0008】
又、同様の理由から、挟み込んで保持する粘着フィルムの厚さの変化に対応することが出来ず、粘着フィルムの厚さが薄く変化した場合には粘着フィルムの保持及び張りが確実に行えず、粘着フィルムの厚さが厚く変化した場合には粘着フィルムの設置が困難であり、又、アウターリング及びインナーリングが破損しやすいという問題点があった。
【0009】
更に、シリコンウエハやＩＣチップを保持したグリップリングは、ＩＣチップの製造工程、例えば電極のハンダ付け工程において、高温にさらされ、インナーリングが加熱により膨張してアウターリングに引張力がかかり、アウターリングが破損してしまうことがあった。そして、このようにアウターリングが破損することにより、シリコンウエハやＩＣチップ等の被保持物を保持することが出来なくなっていた。
【0010】
そこで、本発明は、外枠と内枠で挟んで粘着フィルムを張った状態で保持するキャリアにおいて、外枠と内枠の相互の着脱、粘着フィルムの着脱を容易とすることを目的とする。
【0011】
又、外枠と内枠との相互への着脱時、粘着フィルムの着脱時、その他の使用時に破損し難くすることを目的とする。
【0012】
更に、挟み込んで保持する粘着フィルムの厚さの変化に対応が出来、粘着フィルムの厚さが変化した場合であっても粘着フィルムの設置が容易で、且つ粘着フィルムの保持及び張りを確実に行うことを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0013】
上記の課題を解決するための手段としての本発明は、外枠と内枠間に粘着フィルムを挟んで保持するフィルム固定型キャリアであって、前記外枠に形成された開口部に前記内枠が嵌め込み自在に構成され、前記内枠の外側部又は／及び前記外枠の内側周面部にばね部を備えて構成されていることを特徴とするフィルム固定型キャリアである。
【0014】
又、上記フィルム固定型キャリアにおいて、前記ばね部は、少なくとも前記外枠と前記内枠間に粘着フィルムを挟んで設置する時に圧縮されていることを特徴とするフィルム固定型キャリアである。
【0015】
又、上記フィルム固定型キャリアにおいて、前記ばね部が、粘着フィルムを設置しないで前記外枠に前記内枠を嵌め込んだ平時には、前記ばね部と対向する前記外枠又は／及び前記内枠と接触するように、或いは、前記ばね部と対向する前記外枠又は／及び前記内枠と、粘着フィルムの厚さ未満の間隔をもって位置するように形成されていることを特徴とするフィルム固定型キャリアである。
【0016】
又、上記フィルム固定型キャリアにおいて、前記ばね部は、前記内枠の下面に、前記内枠の周囲に亘って形成した縦溝と、前記内枠の外側面及び下面から前記縦溝に達する複数の横溝により、前記内枠の外側部に複数形成されていることを特徴とするフィルム固定型キャリアである。
【0017】
又、上記フィルム固定型キャリアにおいて、前記ばね部は、前記内枠の上面に、前記内枠の周囲に亘って形成した縦溝と、前記内枠の外側面及び上面から前記縦溝に達する複数の横溝により、前記内枠の外側部に複数形成されていることを特徴とするフィルム固定型キャリアである。
【0018】
又、上記フィルム固定型キャリアにおいて、前記ばね部は、前記外側面から前記内枠の直径方向に形成した複数の横溝のみで形成されていることを特徴とするフィルム固定型キャリアである。
【0019】
又、上記フィルム固定型キャリアにおいて、前記ばね部は、前記外側面から前記内枠の直径方向と交差する方向に形成した複数の横溝により形成されていることを特徴とするフィルム固定型キャリアである。
【0020】
又、上記フィルム固定型キャリアにおいて、前記ばね部は、前記内枠の上面から下面方向に、又は、下面から上面方向に、前記内枠の周囲に亘って形成した縦溝により形成されていることを特徴とするフィルム固定型キャリアである。
【0021】
又、上記フィルム固定型キャリアにおいて、前記横溝は前記内枠の円周方向に均等の間隔で形成することを特徴とするフィルム固定型キャリアである。
【0022】
又、上記フィルム固定型キャリアにおいて、前記外枠の内側周面には凹部が形成され、前記内枠の外側面には、外方向に突出する凸部が形成され、前記外枠と前記内枠の嵌合時に、前記外枠の凹部と前記内枠の凸部は嵌り合わず、保持される粘着フィルムを前記凸部と前記凹部の上端及び下端との縦断面視で２点で保持し、前記凸部は前記ばね部に形成されていることを特徴とするフィルム固定型キャリアである。
【発明の効果】
【0023】
以上のような本発明によれば、外枠と内枠で挟んで粘着フィルムを張った状態で保持するキャリアにおいて、外枠と内枠の相互の着脱、粘着フィルムの着脱を容易とすることが可能となった。
【0024】
又、外枠と内枠との相互への着脱時、粘着フィルムの着脱時、その他の使用時に破損し難くすることが可能となった。
【0025】
又、挟み込んで保持する粘着フィルムの厚さの変化に対応が出来、粘着フィルムの厚さが変化した場合であっても粘着フィルムの設置が容易で、且つ粘着フィルムの保持及び張りを確実に行うことが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【0026】
【図1】本発明キャリアの一実施例の斜視図
【図2】本発明キャリアの一実施例の使用状態平面図
【図3】本発明キャリアの一実施例の分解斜視図
【図4】内枠の一実施例の底面図
【図7】本発明キャリアの第二実施例一部拡大断面図
【図8】本発明キャリアの第三実施例の使用状態平面図
【図10】本発明キャリアの第四実施例の使用状態平面図
【図12】内枠の実施例の平面図
【図14】内枠の実施例の平面図
【図16】内枠の実施例の平面図
【図18】内枠の実施例の平面図
【図20】内枠の実施例の平面図
【図21】本発明キャリアの第五実施例の使用状態断面図
【発明を実施するための形態】
【0027】
以下本発明の実施の形態を図を参照して説明する。本発明は、粘着フィルムを張った状態に維持し、粘着フィルム上に被保持物を貼り付けて保持するフィルム固定型のキャリアであり、外枠に形成された開口部に内枠が嵌め込み自在に構成され、内枠の外側部又は／及び外枠の内側周面部にばね部を備えて構成されている。以下、内枠の外側部にばね部が形成された実施の形態を例に説明する。
【0028】
図１〜図３に示すように、キャリア１は、外枠２と内枠８を備え、外枠２と内枠８間に粘着フィルム１０を挟んで、外枠２に形成された開口部２２に内枠８が嵌め込み自在に構成され、内枠８には、少なくとも外枠２と内枠８間に粘着フィルム１０を挟んで設置する時に圧縮されるばね部９１を備えている。
【0029】
尚、このキャリア１の使用範囲は特に限定されず、ＩＣチップの製造工程、電子部品の保管や運搬、電子部品を含む各種部品の検査、生物の調査、塵芥のカウント、細菌の観察、細菌培養の観察、花粉や粉塵の評価、マイクロマシーンの保管等に用いることが出来る。従って、このキャリア１で保持する被保持物は、以下の実施の形態ではシリコンウエハを例に説明するが、特に限定されず、シリコンウエハの他、ＩＣチップ、電子部品、その他の部品、生物、その他の物が含まれる。
【0030】
外枠２と内枠８の材質は特に限定されないが、合成樹脂が好適に用いられ、特にキャリア１がＩＣチップの製造工程に用いられる場合には、ＩＣチップの製造工程、例えば電極のハンダ付け工程において、要求される耐熱温度を備えた合成樹脂が好ましい。具体例としては、耐熱性が要求されない場合には、耐熱性が低いが、曲げ強度が高いＰＰＳ等を使用すればよく、耐熱性が要求される場合には、１５０℃以上、好ましくは２００℃以上の耐熱性を有する合成樹脂が望ましく、例えばＬＣＰ等を使用すればよい。
【0031】
外枠２は、平面視正方形の平板状の基部３の上面３１の外周端から、外周に亘って側壁部４が上方に延びて設けられている。又、基部３の外側面３４の下部外周端から、外周に亘って脚部５が下方及び外方に延びて設けられている。又、基部３には、内枠８が嵌め込まれる平面視円形の開口部２２が基部３を貫通して形成されている。そして、開口部２２により形成される、外枠２の内側周面６の上端には、開口部２２の内方に延びる突起６１が開口部２２の周囲に亘って形成され、内側周面６の中間部には、縦断面四角形の凹部６３が開口部２２の周囲に亘って形成されている。
【0032】
内枠８は、図１〜図５に示すように、平面視で内側及び外側が円形の環状体であり、外枠２に形成された開口部２２に嵌め込むことが可能な大きさ及び形状に形成されている。又、内枠８は、外側部８１にばね部９１を備えて構成されている。ばね部９１は、内枠８の内方及び外方に移動可能に形成され、外枠２と内枠８間に粘着フィルム１０を挟んで設置する時に、圧縮され、外枠２と内枠８間に挟んだ粘着フィルム１０を外枠２へ押し付ける作用を有している。
【0033】
内枠８は、粘着フィルム１０を設置しないで外枠２に内枠８を嵌め込んだ平時には、外枠２の内側周面６と内枠８の外側面８９が対向し、ばね部９１の少なくとも１部がばね部９１と対向する外枠２の内側周面６と接触するように、或いは、ばね部９１の少なくとも１部が外枠２の内側周面６と、挟む粘着フィルム１０の厚さ未満の間隔をもって位置するように形成されている。
【0034】
即ち、内枠８の外側面８９のばね部部分の直径は、外枠２の内側周面６の直径以上の長さ、又は、外枠２の内側周面６の直径より短い長さであって、その差が挟むフィルムの厚さの２倍未満の長さに形成されている。
【0035】
そして、図３〜図６に示す実施の形態では、内枠８は、外側面８９の直径が、外枠２の内側周面６の直径以上の長さに形成されている。そして、内枠８の外側部８１の一部が、横溝８５により円周方向に複数に分割され、内枠８の内方及び外方に移動可能な複数のばね部９１が形成されている。詳しくは、ばね部９１は、内枠８の本体８０の下面８７から上面８３方向に、且つ内枠８の周囲に亘って形成した環状の縦溝８４と、外側面８９及び下面８７から縦溝８４に達する、内枠８の直径方向に形成する複数の横溝８５により、内枠８の外側部８１に複数形成されている。
【0036】
横溝８５は円周方向に均等の間隔で形成することが好ましい。このような構成とすることで、内枠８は円周方向に亘って均一に収縮、拡張して、粘着フィルム１０を均一に張り、保持することが出来るからである。又、ばね部９１の形成数は特に限定されず、内枠８の大きさや材質等に応じて所定の撓みやすさ及び反発力を備えるような数を形成すればよいが、内枠８の円周上に１個の横溝８５のみを形成して１個のばね部のみ形成する構成でもよい。
【0037】
又、縦溝８４の高さＰは特に限定されないが、ばね部が撓みやすくするために、内枠８の高さの１／２以上とすることが好ましい。又、横溝８５の高さＲ１は縦溝８４の高さＰと同一に形成するが、横溝８５の高さは縦溝８４の高さＰと同一に限定されず、図７に示すように、横溝８５の高さＲ２を内枠８の高さと同一に形成する等横溝８５の高さと縦溝８４の高さを異ならせてもよい。
【0038】
又、内枠８の外側部８１の上部には外周に亘って段部８８が形成され、外側部８１の中間部であって、ばね部９１上には、外枠２の凹部６３に対応する位置に外方向に突出する縦断面円弧状の凸部８２が内枠８の周囲に亘って形成されている。そして、凸部８２が内枠８の最外側面となり、凸部８２の直径が内枠８の外側面８９の直径となっている。又、凸部８２の高さＬが外枠２の凹部６３の高さＨ以上の長さに形成されている。
【0039】
このような構成であるので、粘着フィルム１０を挟み込んで外枠２に内枠８を嵌め込む際には、凸部８２が外枠２の内側周面６に当接し、ばね部９１は内枠８の内方に移動し一部が縦溝８４内に入り圧縮され、外枠２と内枠８の嵌合時には、ばね部９１は反発力で内枠８の外方に移動し、内枠８の凸部８２の一先端部のみが外枠２の凹部６３に挿入され、外枠２の凹部６３と内枠８の凸部８２は完全には嵌り合わず、粘着フィルム１０は、凸部８２と凹部６３の上端６３１及び下端６３２との縦断面視で２点で押さえ付けられて、外枠２と内枠８間に挟まれて保持される。
【0040】
このように、ばね部９１で粘着フィルム１０を外枠２に押さえ付けて固定するので、挟み込む粘着フィルム１０の厚さの違いに対応出来、しかも粘着フィルム１０を確実に保持することが可能となっている。又、外枠２と内枠８の相互の着脱、粘着フィルム１０の着脱が容易となり、更に、キャリア１の破損を防止することが出来る。
【0041】
又、粘着フィルム１０をキャリア１に、ばね部９１において縦断面視で２点で押さえて固定することにより、１点、３点以上又は面で固定する方法に比べて、粘着フィルム１０のずれ及び緩みを抑制し、キャリア１に強固に固定することが可能となっている。同時に外枠２の凹部６３に内枠８の凸部８２の一部が挿入されて、外枠２及び内枠８の結合強度を高めることが可能となっている。尚、粘着フィルム１０の破損防止のため、外枠２の凹部６３の上端６３１及び下端６３２の角部には面取りを施すことが好ましい。
【0042】
このように、外枠２に形成された開口部２２の内径と内枠８の外径が略等しく、外枠２の内側に内枠８を粘着フィルム１０を介して嵌め込ませて一体的に固定され、キャリア１が構成される。キャリア１の使用態様の一具体例としては、図２、図３及び図５によく示すように、外枠２に内枠８を嵌め込み、外枠２と内枠８間に上面に粘着層を有すると共に伸縮性を有する粘着フィルム１０を挟み込むことにより、粘着フィルム１０を張った状態で保持し、粘着フィルム１０上に貼着した被保持物の一例としてのシリコンウエハ１１を保持するものである。
【0043】
図５及び図６の断面図に示すように、粘着フィルム１０をキャリア１へ設置する場合には、図３に示すように、外枠２と内枠８間に粘着フィルム１０を位置させ、内枠８を外枠２の開口部２２へ挿入させて行い、外枠２と内枠８の嵌合時には、外枠２の突起６１が内枠８の段部８８に挿入されて位置し、粘着フィルム１０は、外枠２の突起６１と内枠８の段部８８間に挟まれることにより弛まずに張ることが出来る。尚、内枠８を外枠２の上方から開口部２２に挿入可能な構成とするため等の理由から、外枠２の開口部２２の突起及び内枠８の段部を形成しない構成としてもよい。
【0044】
キャリア１は、複数個を上下方向に重ねて保管、運搬等の使用をすることも可能である。上下方向に重ねる場合、下段の外枠２の側壁部４の上端４１が、上段の外枠２の下面３３に当接して上段の外枠２を支持する。同時に、下段の外枠２の側壁部４は上段の外枠２の脚部５の内側に挿入され、下段の側壁部４の外側面４２が上段の脚部５の内側面５１と対向し、下段の側壁部４と上段の脚部５が相互に横方向への移動を規制して、下段の外枠２と上段の外枠２とは相互にずれることがない。
【0045】
外枠２及び内枠８の製造方法としては、特に限定されないが、合成樹脂で成形する場合には、射出成形やトランスファ成形等の溶融させた樹脂を流動させて成形品を成形する方法を用いればよい。
【0046】
又、凸部８２及び凹部６３の形状は、上記形状に限定されず、粘着フィルム１０を２点で挟んで固定できる形状であればよく、更に、外枠２に凸部、内枠８に凹部を形成する構成でもよい。
【0047】
又、上述のように、粘着フィルム１０をキャリア１に縦断面視で２点で固定する構成に限定されず、１点、３点以上又は面で固定する方法としてもよい。このような構成としても、外枠２と内枠８が嵌り込んだ際に圧縮されて反発力で粘着フィルム１０を外枠２に押し付けるばね部により粘着フィルム１０を確実に固定することが可能である。例えば、図９に示すように、内枠１８に凸部を形状せず、外枠１２に凹部を形成しない構成としてもよい。
【0048】
更に、キャリアの形状として、図８及び図９に示すように、キャリア１００はいわゆるグリップリングの形状とし、外枠１２及び内枠１８を平面視で円形の環状体とし、且つ断面が四角形であって、外枠１２及び内枠１８を略同一幅、同一高さに形成した構成や、図１０及び図１１に示すように、外枠１０２及び内枠１０８を所定幅を備えた環状の薄板状に形成し、内枠１０８を平面視で円形の環状体且つ断面が四角形とし、外枠１０２は、内周は円形に形成する一方、外形は円形の外側一部を切欠いて直線状の端部７１を形成すると共に角部７２が略円弧状の略正方形状に形成した構成等としてもよい。
【0049】
又、ばね部９１は、上述のような構成に限定されず、図１２及び図１３に示すように、上述のような構成の縦溝８４に替えて、内枠８の上面８３から下面８７方向に、且つ内枠８の周囲に亘って形成した縦溝８０４と外側面８９及び上面８３から縦溝８０４に達する複数の横溝８５により形成してもよい。
【0050】
更に、図１４及び図１５に示すように、ばね部９０１は、横溝を形成せずに、内枠８の全周に亘って内枠８の下面８７から上面８３方向に形成した縦溝８０４のみにより１個のみを環状に形成してもよく、或いは、図１６及び図１７に示すように、ばね部９０２は、横溝を形成せずに、内枠８の全周に亘って内枠８の上面８３から下面８７方向に形成した縦溝８０５のみにより形成してもよい。
【0051】
又、図１８及び図１９に示すように、ばね部９１１は、外側面８９から内枠８の直径方向に形成した複数の横溝８５のみで形成することとしてもよい。このような構成の場合、ばね部９１１は、内枠８の直径方向につぶれたり、横溝８５内に移動したりすることにより圧縮されてばねとして作用することが出来る。ばね部９１１は、縦溝を形成する上述のような実施の形態に比べて、横溝８５を多数形成し、多数形成することが好ましい。又、この構成の横溝８５は、内枠８の下面８７及び上面８３の一方の面から他方の面に達してもよいが達しなくてもよい。
【0052】
又、横溝のみでばね部を形成する場合及び横溝及び縦溝でばね部を形成する場合において、横溝は内枠８の直径方向に形成する構成に限定されず、図２０に示すように、内枠８の直径方向と交差する方向に形成する構成の斜め横溝８５０とすることが出来る。斜め横溝８５０の側面は湾曲させると共に、対向する側面は縮径させて半三日月型に形成しているが、他の実施の形態のように直線状に形成してもよい。斜めの横溝８５０のみでばね部９１２を形成する場合、ばね部９１２は斜めの横溝８５０内、即ち内枠８の内方に移動し圧縮されたりすることによりばねとして作用することが出来る。
【0054】
又、図示はしないが、外枠及び内枠は、互いに嵌合可能であれば、外枠の開口部及び内枠の外側形状は平面視で円形に限定されず、キャリアは、外枠の開口部及び内枠の外側形状は平面視で正方形に形成する等、その他の多角形、楕円形等に形成してもよい。
【0055】
又、図２１に示すように、キャリア１１１は、内枠８００にはばね部を設けずに、外枠２００の内側面部２３１に、少なくとも外枠２００と内枠８００間に粘着フィルム１０を挟んで設置する時に圧縮されるばね部９００を形成した構成としてもよい。この際のばね部９００及び内側面部２３１の構造は、上述のようなばね部９１及び内枠８の外側部８１と同様な構造として形成することが出来る。
【0056】
更に、キャリアは、図示はしないが、外枠の内側面部及び内枠の外側部の双方にばね部を形成した構成でもよい。そして、外枠の内側面部及び内枠の外側部の夫々に形成したばね部同士が対向してもよいがしなくてもよい。又、ばね部は、内枠８の外側部８１の全周に亘って形成してもよいが、一部にのみ形成してもよい。
【0057】
又、外枠２の凹部６３及び内枠８の凸部８２は、夫々外枠２の内側周面６及び内枠８の外側面８９の全周に亘って形成してもよいが、一部にのみ形成してもよい。外枠２の凹部６３を一部にのみ形成する場合には、内枠８の凸部８２は凹部６３に対応する個所のみに形成する。又、図示はしないが、外枠２の内側周面６に凸部を形成し、内枠８の外側部８１に凹部を設けることとしてもよい。この場合、ばね部に凸部又は凹部を設けることが好ましい。
【0058】
尚、本発明は、上記実施の形態に限定されず、上記の実施の形態を適宜組み合わせて構成したものも含むものである。
【産業上の利用可能性】
【0059】
以上のような本発明は、ＩＣチップの製造工程に好適に用いることが出来、特に高耐熱性を有することにより、シリコンウエハの保管及び運搬からＩＣチップの製造工程まで一貫して同じ保持容器で保持できるので好適に用いることが出来る。又、被保持物が限定されず、電子部品のみならず生物、微生物まで保持することが出来、理化学の分野においても使用することが出来る。
【符号の説明】
【0060】
１ キャリア１０ 粘着フィルム
１１ シリコンウエハ
２ 外枠
２２ 開口部
３ 基部
３１ 上面
３４ 外側面
４ 側壁部
４１ 上端
４２ 外側面
５ 脚部
５１ 内側面
６ 内側周面
６１ 突起
６３ 凹部
６３１ 凹部の上端
６３２ 凹部の下端
８ 内枠
８０ 本体
８１ 外側部
８２ 凸部
８３ 上面
８４ 縦溝
８５ 横溝
８５０ 斜め横溝
８７ 下面
８８ 段部
８９ 外側面
９１ ばね部
９０１ ばね部
９０２ ばね部
９１１ ばね部
９１２ ばね部