特許第6286087号(P6286087)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

知財求人 - 知財ポータルサイト「IP Force」

▶ マイクロン テクノロジー, インク.の特許一覧

<>
  • 特許6286087-メモリセルのセンシング 図000002
  • 特許6286087-メモリセルのセンシング 図000003
  • 特許6286087-メモリセルのセンシング 図000004
  • 特許6286087-メモリセルのセンシング 図000005
< >
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】6286087
(24)【登録日】2018年2月9日
(45)【発行日】2018年2月28日
(54)【発明の名称】メモリセルのセンシング
(51)【国際特許分類】
   G11C 16/26 20060101AFI20180215BHJP
   G11C 11/56 20060101ALI20180215BHJP
【FI】
   G11C16/26
   G11C11/56 220
【請求項の数】10
【全頁数】23
(21)【出願番号】特願2017-81056(P2017-81056)
(22)【出願日】2017年4月17日
(62)【分割の表示】特願2015-515258(P2015-515258)の分割
【原出願日】2013年5月31日
(65)【公開番号】特開2017-142878(P2017-142878A)
(43)【公開日】2017年8月17日
【審査請求日】2017年4月17日
(31)【優先権主張番号】13/486,767
(32)【優先日】2012年6月1日
(33)【優先権主張国】US
(73)【特許権者】
【識別番号】595168543
【氏名又は名称】マイクロン テクノロジー, インク.
(74)【代理人】
【識別番号】100074099
【弁理士】
【氏名又は名称】大菅 義之
(74)【代理人】
【識別番号】100106851
【弁理士】
【氏名又は名称】野村 泰久
(72)【発明者】
【氏名】ゴールドマン,マシュー
(72)【発明者】
【氏名】カラヴァド,プラナフ
(72)【発明者】
【氏名】チャンドラセカール,ウダイ
(72)【発明者】
【氏名】ヘルム,マーク エー.
【審査官】 後藤 彰
(56)【参考文献】
【文献】 特表2009−545093(JP,A)
【文献】 特開2007−323731(JP,A)
【文献】 特開2007−184040(JP,A)
【文献】 特表2008−547149(JP,A)
【文献】 特開2010−198698(JP,A)
(58)【調査した分野】(Int.Cl.,DB名)
G11C 16/26
G11C 11/56
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
第1のメモリセルに接続される第1のデータ線と、
第2のメモリセルに接続される第2のデータ線であって、前記第2のデータ線が前記第1のデータ線に隣接する、第2のデータ線と、
第3のメモリセルに接続される第3のデータ線であって、前記第3のデータ線が前記第2のデータ線に隣接する、第3のデータ線と、
第1及び第2のデータ線制御ユニットと、
前記第1のデータ線と前記第1のデータ線制御ユニットとの間に設けられた第1の絶縁デバイスと、
前記第2のデータ線と前記第1のデータ線制御ユニットとの間に設けられた第2の絶縁デバイスと、
前記第3のデータ線と前記第2のデータ線制御ユニットとの間に設けられた第3の絶縁デバイスと、
前記第2の絶縁デバイスと前記第3の絶縁デバイスとの間に設けられた第4の絶縁デバイスと、
を備え、
前記第1および第3の絶縁デバイスを活性化して、前記第1および第3のデータ線を前記第1および第2のデータ線制御ユニットにそれぞれ接続することにより、第1のデータ線制御ユニットに、前記第1のメモリセルのデータ状態を判定させて当該データ状態を第1のデータ状態として記憶させると共に、前記第2のデータ線制御ユニットに、前記第3のメモリセルのデータ状態を判定させて当該データ状態を第3のデータ状態として記憶させ、
前記第2、第3および第4の絶縁デバイスを活性化して、前記第3のデータ状態を前記第2のデータ線制御ユニットから前記第2、第3および第4の絶縁デバイスを介して前記第1のデータ線制御ユニットに転送し、前記第1のデータ線制御ユニットに、前記第3のデータ状態を記憶させ、
前記第2の絶縁デバイスを活性化して、前記第2のデータ線を前記第1のデータ線制御ユニットに接続することにより、第1のデータ線制御ユニットに、前記第1のデータ状態と前記第3のデータ状態との両方に基づいて、前記第2のメモリセルのデータ状態を判定させて当該データ状態を第2のデータ状態として記憶させる、
ように構成された装置。
【請求項2】
前記第4の絶縁デバイスは、前記2の絶縁デバイスと前記第3の絶縁デバイスとの間に直列に接続された第1および第2のトランジスタを含んで構成され、
前記第4の絶縁デバイスを活性化することは、前記第1および第2のトランジスタを共に活性化することである、
請求項1に記載の装置。
【請求項3】
シールド電源を更に備え、
前記第1および第2のトランジスタの接続点はシールド電源に結合されるように構成されている、
請求項2に記載の装置。
【請求項4】
第1及び第2のデータ線制御ユニットと、
前記第1及び第2のデータ線制御ユニットにそれぞれ接続された第1および第2のインターフェース線と、
第1のメモリセルに接続されると共に、前記第1のインターフェース線に第1の絶縁デバイスを介して接続される第1のデータ線と、
第2のメモリセルに接続されると共に、前記第1のインターフェース線に第2の絶縁デバイスを介して接続される第2のデータ線であって、前記第2のデータ線が前記第1のデータ線に隣接する、第2のデータ線と、
第3のメモリセルに接続されると共に、前記第2のインターフェース線に第3の絶縁デバイスを介して接続される第3のデータ線であって、前記第3のデータ線が前記第2のデータ線に隣接する、第3のデータ線と、
前記第1及び第2のインターフェース線間に設けられ、第1のイネーブル信号により活性化が制御される第1のデータ転送回路と、
を備え、
前記第2のデータ線制御ユニットは、前記第3のメモリセルのデータ状態を判定して当該データ状態を第3のデータ状態として記憶すると共に、当該第3のデータ状態を前記第2のインターフェース線、前記第1のデータ転送回路および前記第1のインターフェース線を介して前記第1のデータ線制御ユニットに転送するように構成され、
前記第1のデータ線制御ユニットは、前記第1のメモリセルのデータ状態を判定して当該データ状態を第1のデータ状態として記憶する共に、当該第1のデータ状態と前記第2のデータ線制御ユニットから前記第2のインターフェース線、前記第1のデータ転送回路および前記第1のインターフェース線を介して転送された前記第3のデータ状態との両方に基づいて、前記第2のメモリセルのデータ状態を判定して当該データ状態を第2のデータ状態として記憶するように構成されている、
装置。
【請求項5】
第3のデータ線制御ユニットと、
前記第3のデータ線制御ユニットに接続された第3のインターフェース線と、
第4のメモリセルに接続されると共に、前記第2のインターフェース線に第4の絶縁デバイスを介して接続される第4のデータ線であって、前記第4のデータ線が前記第3のデータ線に隣接する、第4のデータ線と、
第5のメモリセルに接続されると共に、前記第3のインターフェース線に第5の絶縁デバイスを介して接続される第5のデータ線であって、前記第5のデータ線が前記第4のデータ線に隣接する、第5のデータ線と、
前記第2及び第3のインターフェース線間に設けられ、第2のイネーブル信号により活性化が制御される第2のデータ転送回路と、
を更に備え、
前記第3のデータ線制御ユニットは、前記第5のメモリセルのデータ状態を判定して当該データ状態を第5のデータ状態として記憶すると共に、当該第5のデータ状態を前記第3のインターフェース線、前記第2のデータ転送回路および前記第2のインターフェース線を介して前記第2のデータ線制御ユニットに転送するように構成され、
前記第2のデータ線制御ユニットは、記憶している前記第3のデータ状態と前記第3のデータ線制御ユニットから前記第3のインターフェース線、前記第2のデータ転送回路および前記第2のインターフェース線を介して転送された前記第5のデータ状態との両方に基づいて、前記第4のメモリセルのデータ状態を判定して当該データ状態を第4のデータ状態として記憶するように構成される、
請求項4に記載の装置。
【請求項6】
前記第1および第2のイネーブル信号は互いに独立している、
請求項5に記載の装置。
【請求項7】
前記第1のデータ転送回路は、前記第1のイネーブル信号により導通および非導通が制御される第1のトランジスタを含み、
前記第2のデータ転送回路は、前記第2のイネーブル信号により導通および非導通が制御される第2のトランジスタを含む、
請求項6に記載の装置。
【請求項8】
第1のメモリセルに接続される第1のデータ線と、
第2のメモリセルに接続される第2のデータ線であって、前記第2のデータ線が前記第1のデータ線に隣接する、第2のデータ線と、
第3のメモリセルに接続される第3のデータ線であって、前記第3のデータ線が前記第2のデータ線に隣接する、第3のデータ線と、
第1及び第2のデータ線制御ユニットと、
前記第1及び第2のデータ線制御ユニット間に設けられたデータ転送回路と、
シールド電源と、
前記シールド電源と前記第1のデータ線との間に設けられた第1の絶縁デバイスと、
前記第1のデータ線と前記第1のデータ線制御ユニットとの間に設けられた第2の絶縁デバイスと、
前記シールド電源と前記第2のデータ線との間に設けられた第3の絶縁デバイスと、
前記第2のデータ線と前記第1のデータ線制御ユニットとの間に設けられた第4の絶縁デバイスと、
前記シールド電源と前記第3のデータ線との間に設けられた第5の絶縁デバイスと、
前記第3のデータ線と前記第2のデータ線制御ユニットとの間に設けられた第6の絶縁デバイスと、
を備え、
前記第1および第3のデータ線を前記第1および第2のデータ線制御ユニットに前記第2および第6の絶縁デバイスを介してそれぞれ接続することにより、第1のデータ線制御ユニットに、前記第1のメモリセルのデータ状態を判定させて当該データ状態を第1のデータ状態として記憶させると共に、前記第2のデータ線制御ユニットに、前記第3のメモリセルのデータ状態を判定させて当該データ状態を第3のデータ状態として記憶させ、
前記データ転送回路を活性化して、前記第3のデータ状態を前記第2のデータ線制御ユニットから前記データ転送回路を介して前記第1のデータ線制御ユニットに転送し、
前記第2のデータ線を前記第1のデータ線制御ユニットに前記第4の絶縁デバイスを介して接続することにより、第1のデータ線制御ユニットに、前記第1のデータ状態と前記第2のデータ線制御ユニットから前記データ転送回路を介して転送された前記第3のデータ状態との両方に基づいて、前記第2のメモリセルのデータ状態を判定させて当該データ状態を第2のデータ状態として記憶させる、
ように構成された装置。
【請求項9】
前記第1乃至第6の絶縁デバイスの夫々は、トランジスタを含む、
請求項8に記載の装置。
【請求項10】
前記データ転送回路は、別のトランジスタを含む、
請求項9に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示は、概して、半導体記憶装置および方法に関し、より詳細には、メモリセルのセンシングに関する。
【背景技術】
【0002】
メモリデバイスは、典型的には、コンピュータまたはその他の電子装置における内部半導体集積回路として設けられる。多くの異なるタイプのメモリがあり、中でも、ランダムアクセスメモリ(RAM)、読出し専用メモリ(ROM)、ダイナミックランダムアクセスメモリ(DRAM)、同期型ダイナミックランダムアクセスメモリ(SDRAM)、抵抗変化型ランダムアクセスメモリ(RRAM(登録商標))、相変化ランダムアクセスメモリ(PCRAM)、磁気ランダムアクセスメモリ(MRAM)、およびフラッシュメモリを含む。
【0003】
フラッシュメモリのための用途には、様々なその他の電子装置の中でも、ソリッドステートドライブ(SSD)、パーソナルコンピュータ、パーソナルデジタルアシスタント(PDA)、デジタルカメラ、携帯電話、ポータブルミュージックプレーヤ(例えば、MP3プレーヤ)、およびムービープレーヤのためのメモリが含まれる。フラッシュメモリセルは、アレイ型のアーキテクチャ(例えば、NAND型またはNOR型アーキテクチャ)に構成でき、また特定の(例えば、所望の)データ状態にプログラミングできる。例えば、電荷は、メモリセルの電荷蓄積構造(例えば、フローティングゲートまたはチャージトラップ)に配置されて、または、そこから取り除かれて、2つの二進数字(例えば、1または0)のうちの1つを表すなど、そのセルを2つのデータ状態のうちの1つにプログラミングする。
【0004】
フラッシュメモリセルはまた、4、8、または16のデータ状態(例えば、1111、0111、0011、1011、1001、0001、0101、1101、1100、0100、0000、1000、1010、0010、0110、および1110)のうちの1つを表すなど、3つ以上のデータ状態のうちの1つにプログラミングされ得る。このようなセルは、マルチステートメモリセル、マルチユニットセル、またはマルチレベルセル(MLC)と呼ばれることもある。各セルが2つ以上の数字(例えば、2ビット以上)を表すことができることから、MLCは、メモリセルの物理的な数を増加することなく、より高密度のメモリの製造を可能にし得る。データ状態のうちの1つは、消去状態であり得る。例えば、「最下位(lowermost)」のデータ状態は、その消去状態の上にはプログラミングされないこともある。つまり、セルが、最下位のデータ状態にプログラミングされる場合、追加的な電荷をセルの電荷蓄積構造に与えるのではなく、セルは、消去状態に留まる(例えば、プログラミング動作中)。消去状態以外のデータ状態は、「未消去(non−erased)」状態と呼ばれ得る。
【0005】
フラッシュメモリセルの電荷蓄積構造(例えば、フローティングゲート)上に蓄積されるプログラミングされた電荷は、隣接(例えば、隣接する)セル(例えば、隣接データ線に接続されるセル)の電荷蓄積構造間の結合に応じてシフトし得る。例えば、隣接するデータ線上のフローティングゲートメモリセルの一方または両方に先立って、特定のフローティングゲートメモリセルがプログラミングされる場合では、後続の隣接するデータ線上のセルのプログラミングは、フローティングゲート間(FG−FG)の容量結合に起因して、特定のセルの閾値電圧(Vt)をシフトし得る。このようなVtのシフトは、センシング(例えば、読み出し)動作に応じて、結果として得られる特定のセルのデータ状態に影響し得、一部の例では、データの誤検知(例えば、結果として得られるデータ状態の誤読み出し)をもたらし得る。FG−FG結合の影響を減らすために、シールドビット線(SBL)プログラミングなどの一部のプログラミング技術が用いられ得る。しかしながら、隣接するデータ線(例えば、ビット線)およびアクセス用の線(例えば、ワード線)の間の空間が減らされるにつれて、隣接するセル間のFG−FG結合の影響は増大する。
【図面の簡単な説明】
【0006】
図1】本開示のいくつかの実施形態によるメモリアレイの一部分の概略図である。
図2】本開示のいくつかの実施形態による、隣接するデータ線の対によって共用されるデータ線制御ユニットを含む、メモリアレイの一部分の概略図である。
図3】本開示のいくつかの実施形態による共用データ線制御ユニットを示すブロック図である。
図4】本開示のいくつかの実施形態によって動作されるメモリデバイスを有する電子メモリシステムの形態の装置のブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【0007】
本開示は、メモリセルをセンシングするための装置および方法を含む。例えば、メモリセルのセンシングは、第1のデータ線に接続される第1のメモリセル(例えば、第1のアグレッサメモリセル)のデータ状態を判定するステップと、第3のデータ線に接続される第3のメモリセル(例えば、第2のアグレッサメモリセル)のデータ状態を判定するステップと、第1および第3のメモリセルのうちの少なくとも1つの判定されたデータを、第2のメモリセル(例えば、ターゲットメモリセル)が接続される第2のデータ線に対応するデータ線制御ユニットへ転送するステップであって、第2のデータ線が、第1のデータ線および第3のデータ線に隣接する、転送するステップと、第2のメモリセル(例えば、ターゲットメモリセル)のデータ状態を、(例えば、第1および/または第2のアグレッサメモリセルから)転送された判定されたデータに少なくとも部分的に基づいて判定するステップとを含み得る。
【0008】
本開示のいくつかの実施形態は、従来のセンス手法と比べて、電荷蓄積構造と電荷蓄積構造の(例えば、FG−FG)結合によって生じるセンシングエラー(例えば、読み出しエラー)を低減し得る。例として、読み出されるターゲットセルに隣接するいくつかのメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル)のデータ状態が、ターゲットセルが読み出される前に判定され得る。いくつかの実施形態では、ターゲットセルおよび隣接するメモリセルが接続される選択されたアクセス用の線に、複数のセンス電圧(例えば、異なるセンス電圧)が印加され得、この結果、ターゲットセルに関するいくつかの電位データ状態の出力をもたらし得る。本明細書に詳述されるように、いくつかの電位データ状態の中からの特定のデータ状態が、いくつかの隣接するセルの転送された判定されたデータ状態(例えば、プログラミングされた状態)に少なくとも部分的に基づいて選択され得る。
【0009】
本開示の以下の詳細な説明では、本開示の一部分を形成し、例としてどのように本開示の1つまたは2つ以上の実施形態が実行され得るかを示している、添付の図面を参照する。これらの実施形態は、当業者が、本開示の実施形態を実施できるように十分に詳しく記載される。そして、本開示の範囲から逸脱せずに、その他の実施形態が使用され得ること、またプロセス上の、電気的な、および/または構造的な変更がなされ得ることが理解されるべきである。本明細書で用いられる場合、表記「N」および「M」は、特に、図面の参照番号に関しては、そのように表記されるいくつかの特定の特徴が、本開示の1つまたは2つ以上の実施形態に含まれ得ることを示す。
【0010】
本明細書の図は、最初の数字(digit or digits)が図面の図番号に対応し、残りの数字が図面中の要素または部品を特定する番号付け規則に従う。異なる図の間における類似の要素またはコンポーネントは、類似の数字を使用することによって特定され得る。例えば、105は、図1において、要素「05」を指すことがあり、また図4において、類似の要素を405として指すこともある。理解されるように、本明細書の様々な実施形態において示される要素は、本開示のいくつかのさらなる実施形態を提供するように、追加、交換、および/または省略が行われ得る。さらに、理解されるように、図示の要素の比率および相対的な大きさは、本発明の実施形態を説明することを意図しているため、限定的な意味で解釈されるべきではない。
【0011】
図1は、本開示のいくつかの実施形態によるメモリアレイ100の一部分の概略図を示している。図1の実施形態は、NANDアーキテクチャの不揮発性メモリアレイを示している。しかしながら、本明細書に記載される実施形態は、この実施例に限定されない。図1に示されるように、メモリアレイ100は、アクセス用の線(例えば、ワード線)105−1、…、105−Nと、交差するデータ線(例えば、ビット線)107−1、107−2、107−3、…、107−Mとを含む。デジタル環境においてアドレス指定を容易にするために、ワード線105−1、…、105−Nの数と、ビット線107−1、107−2、107−3、…、107−Mの数とは、なんらかの2のべき乗(例えば、256本のワード線×4,096本のビット線)であり得る。
【0012】
メモリアレイ100は、NANDストリング109−1、109−2、109−3、…、109−Mを含む。各NANDストリングは、不揮発性メモリセル111−1、…、111−Nを含み、それぞれが、それぞれのワード線105−1、…、105−Nに通信可能に接続される。各NANDストリング(およびその構成要素であるメモリセル)はまた、ローカルビット線107−1、107−2、107−3、…、107−Mに関連付けられている。各NANDストリング109−1、109−2、109−3、…、109−Mの不揮発性メモリセル111−1、…、111−Nは、ソースセレクトゲート(SGS)、例えば、電界効果トランジスタ(FET)113と、ドレインセレクトゲート(SGD)、例えば、FET119との間で、ソースからドレインへ直列に接続される。各ソースセレクトゲート113は、ソースセレクト線117上の信号に応答して、それぞれのNANDストリングを共通ソース123に選択的に接続するように構成される一方、各ドレインセレクトゲート119は、ドレインセレクト線115上の信号に応答して、それぞれのNANDストリングをそれぞれのビット線に選択的に接続するように構成される。
【0013】
図1に示される実施形態で示されるように、ソースセレクトゲート113のソースは、共通ソース線123に接続されている。ソースセレクトゲート113のドレインは、対応するNANDストリング109−1のメモリセル111−1のソースに接続されている。ドレインセレクトゲート119のドレインは、対応するNANDストリング109−1のビット線107−1に、ドレイン接点121−1で接続されている。ドレインセレクトゲート119のソースは、対応するNANDストリング109−1の、最後のメモリセル111−N、例えば、フローティングゲートトランジスタのドレインに接続されている。
【0014】
いくつかの実施形態では、不揮発性メモリセル111−1、…、111−Nは、ソースと、ドレインと、フローティングゲートなどの電荷蓄積構造と、制御ゲートとを含む。不揮発性メモリセル111−1、…、111−Nは、それらの制御ゲートをワード線、それぞれ、105−1、…、105−Nに接続させている。不揮発性メモリセルの「列」は、所与のローカルデータ線(例えば、ビット線)107に接続されるいくつかのストリング109を含む。不揮発性メモリセルの「行」は、所与のアクセス用の線(例えば、ワード線)105−1、…、105−Nに共通に接続されるメモリセルである。「列」および「行」語の使用は、不揮発性メモリセルの特定の直線的な(例えば、垂直および/または水平)向きを暗示することを意味しない。NORアレイアーキテクチャは、メモリセルのストリングがセレクトゲート間において並列に接続されることになる点を除いて、同様に配置される。
【0015】
選択されたワード線(例えば、105−1、…、105−N)に接続されるセルのサブセット(例えば、SBLアーキテクチャにおける)は、メモリセルのページとして、まとめてプログラミング/センシング(例えば、読み出し)され得る。プログラミング動作(例えば、書き込み動作)は、その選択されたアクセス用の線に接続された選択されたセルの閾値電圧(Vt)を、所望のデータ状態に対応する所望のプログラム電圧レベルに増加させるために、いくつかのプログラミングパルス(例えば、16V〜20V)を選択されたワード線に印加することを含み得る。
【0016】
SBLアーキテクチャなどの様々な場合において、ビット線107−1、…、107−Mは、偶数ビット線および奇数ビット線に分けることができる。このような場合、選択されたワード線と偶数ビット線とに対応するセルは、まとめてプログラミングされ得、データの偶数ページと呼ばれ得る。同様に、選択されたワード線と奇数ビット線とに対応するセルは、まとめてプログラミングされ得、データの奇数ページと呼ばれ得る。交互にならぶ偶数および奇数ビット線(例えば、偶数ページおよび奇数ページ)に接続されるセルは、異なる時間にプログラミングおよび/またはセンシングされ得る。例えば、選択されたワード線に関係する偶数ページは、選択されたワード線に関係する奇数ページの前にプログラミングおよび/またはセンシングされ得る。上述のように、そして本明細書に詳述されるように、FG−FG結合および/またはビット線とビット線との結合は、異なる時間にプログラミングおよび/または読み出しされる隣接(例えば、隣接する)メモリセル(例えば、データの偶数ページおよび奇数ページ)の判定されたデータ状態に影響し得る。
【0017】
消去動作は、セルの電荷蓄積構造から電荷(例えば、電子)を除去するために、メモリセルの制御ゲートとそれらのチャネル領域との間に比較的高い電位差を印加することを含み得る。NANDアレイでは、メモリセルの複数のページを含むメモリセルのブロックは、消去動作においてまとめて消去され得る。例えば、基板本体には、20Vが印加され得、また消去されるメモリセルのブロックにおけるセルの制御ゲートに0Vが印加され得る。高電圧の消去パルス、または複数のパルスは、メモリセルの電荷蓄積構造から基板の活性化領域内に電子を注入することを意図している。
【0018】
読み出しまたはプログラム確認動作などのセンス動作は、選択されたセルのデータ状態を判定するために、選択されたセルに接続されたビット線の電圧および/または電流の変化をセンシングすることを含み得る。センス動作は、選択されたメモリセルに関係するビット線(例えば、ビット線107−1)に、選択されたメモリセルと関係するソース線(例えば、ソース線123)に印加される信号(例えば、バイアス電圧)を上回る信号を印加する(例えば、駆動する、またはバイアスをかける)ことを含み得る。センス動作は、ビット線107−1を予め充電した後、選択されたメモリセル上に蓄積された電荷量に応じて放電すること、および、次いで、放電量をセンシングすることを含み得る。
【0019】
選択されたセルのデータ状態をセンシングすることは、いくつかのセンス信号(例えば、読み出し電圧)を選択されたワード線に印加する一方で、選択されていないセルの閾値電圧とは独立に、選択されていないセルを導電状態にするのに十分な、いくつかのパス信号(例えば、読み出しパス電圧)をストリングの選択されていないセルに接続されるワード線に印加することを含み得る。読み出しおよび/または確認される選択されたセルに対応するビット線は、センシングされて、選択されたワード線に印加される特定のセンス電圧に応じて、選択されたセルが導通しているか否かを判定し得る。
【0020】
NANDストリングにおける選択されたメモリセルで実行されるセンス動作では、ストリングの選択されていないメモリセルは、導電状態となるようにバイアスをかけられる。そのようなセンス動作では、選択されたセルのデータ状態は、ストリングに対応するビット線上でセンシングされた電流および/または電圧に基づいて判定され得る。例えば、選択されたセル内のデータ状態は、ビット線電流が、特定量だけ変わるか、または、所与の期間中に特定のレベルに達するかどうかに基づいて判定され得る。選択されたセルが導通状態である場合、電流は、ストリングの一方の端部でのソース線接点と、ストリングの他方の端部でのビット線接点との間で流れる。そのため、選択されたセルのセンシングに関係する電流は、ストリング中のその他のセルおよびセレクトトランジスタのそれぞれを通して流れる。
【0021】
本明細書に詳述されるように、ターゲットセルと選択されたワード線に接続される隣接するメモリセルとの間のFG−FG結合などの容量結合は、ターゲットセルのVtに影響し得る。例えば、ターゲットセルは、特定のデータ状態に対応する特定のVtにプログラミングされ得る。ターゲットセルと隣接するセルとの間のFG−FG結合は、ターゲットセルのVtをシフトさせ得る。FG−FG結合に関係するシフト量は、ターゲットセルに隣接するメモリセルのデータ状態(例えば、選択されたワード線に接続される隣接するメモリセルの一方または両方が、消去データ状態にプログラミングされるか、それとも未消去データ状態にプログラミングされるか)などの要因に依存し得る。したがって、既定のセンス電圧を維持して、特定のデータ状態を判定することは、ターゲットセルに隣接するメモリセルのデータ状態に基づいて、複数のセンス電圧の印加の結果として得られ得るデータ状態出力が適切であるかを選択することよりも信頼性が劣り得る。
【0022】
中でも、隣接するデータ線の間、隣接するデータ線上の隣接するメモリセルの間、および/またはデータ線と接地電圧との間における容量結合の量は、例えば、その他の要因の中でも、データ線および/またはメモリセルの間の距離ならびにデータ線および/またはメモリセル上の電圧などの様々な要因に依存し得る。本明細書に詳述されるように、メモリセルとメモリセルとの容量結合は、センス動作によって、少なくとも部分的に克服され得る。センス動作は、評価されるべき「ターゲット」メモリセルに容量的に結合され得る「アグレッサ」メモリセルのデータ状態(例えば、プログラミングされた状態)を判定して、そのターゲットメモリセルのデータ状態を判定するために、適切なセンス電圧(例えば、その特定のセンス電圧の結果により得られる出力データ状態)を判定する。
【0023】
アグレッサメモリセルによって(例えば、そのFGによって)蓄積される電荷は(例えば、接続されたデータ線に印加されると)、第1の電圧(例えば、消去データ状態にある)から第2の電圧(例えば、未消去データ状態にある)に変化され得る。メモリセルの未消去データ状態に関係する第2の電圧は、例えば、約500mVなどの値であり得る。未消去データ状態電圧の特定の値は、例えば、電圧が関連付けられるいくつかの未消去状態(例えば、MLC動作における)の特定の未消去状態に応じて変わり得る。第1の電圧は、例えば、メモリセルの消去データ状態に関係する接地電圧(例えば、0V)であり得る。
【0024】
少なくとも部分的に、アグレッサおよびターゲットメモリセルの間の容量結合に起因し得る、いくつかの隣接するアグレッサメモリセル上での電圧変化に応じて、いくつかのターゲットメモリセルに起こり得る影響(例えば、誘導される電圧変化)が存在し得る。例えば、MLCではなくシングルレベルセル(SLC)を考える。ターゲットメモリセルに隣接するアグレッサメモリセルが、電荷を第1の電圧(例えば、消去データ状態における)から第2の電圧に変化させない(例えば、ターゲットメモリセルとアクセス用の線を共用する両方のアグレッサメモリセルが、消去データ状態に留まる)場合、ターゲットメモリセル(例えば、そのFG)上に蓄積される電荷は、変化されずに留まり得る。
【0025】
しかしながら、蓄積された電荷を有するアグレッサメモリセルのうちの1つが、例えば、消去データ状態から未消去データ状態に変化されるのに応じて、電圧変化は、ターゲットメモリセル上に誘導され得る。ターゲットメモリセル上の電荷は、第1の電圧(例えば、消去データ状態における)から特定の第2の電圧に変化(例えば、シフト)し得る。蓄積された電荷を有する両方の隣接するアグレッサメモリセルが、例えば、消去データ状態から未消去データ状態に変化されるのに応じて、より大きな電圧変化がターゲットメモリセル上に誘導され得る。加えて、未消去データ状態におけるターゲットメモリセルの蓄積された電荷は、同様に増加する。ターゲットセルに蓄積された電荷におけるそのような変化の大きさは、実験的観察によって判定され得る。
【0026】
ターゲットセルのデータ状態を読み出しするのに適切なセンス電圧は、例えば、各ターゲットセルに隣接する2つのアグレッサセルのデータ状態(例えば、プログラミングされた状態)(例えば、ゼロ、一方、または両方のアグレッサセルが、未消去データ状態にあるか、それとも消去データ状態にあるか)に依存し得る。しかしながら、(例えば、アグレッサメモリセルおよびターゲットメモリセルが接続される)アクセス用の線に印加されるセンス電圧は、センス(例えば、読み出し)動作の前に判定される。
【0027】
したがって、ターゲットメモリセルについてのいくつかの電位データ状態を出力するため、ターゲットメモリセルが接続される選択されたアクセス用の線に、複数のセンス電圧が印加され得る。例えば、SLCでは、隣接するアグレッサセルが両方とも第1のデータ状態(例えば、消去データ状態)にあるターゲットセルを読み出しするのに適切であると判定された第1のセンス電圧は、選択されたアクセス用の線に印加されて、隣接するアグレッサセルが第1のデータ状態(例えば、消去データ状態)にあるターゲットセルを読み出し得る。隣接するアグレッサセルが第1の状態(例えば、消去データ状態)にある第1のアグレッサと、第2の状態(例えば、未消去データ状態)にある第2のアグレッサとを含むターゲットセルを読み出しするのに適切であると判定された第2のセンス電圧は、選択されたアクセス用の線に印加されて、隣接するアグレッサセルが第1の状態にある第1のアグレッサと、第2の状態にある第2のアグレッサとを含むターゲットセルを読み出し得る。隣接するアグレッサセルが両方とも第2のデータ状態(例えば、未消去データ状態)にあるターゲットセルを読み出しするのに適切であると判定された第3のセンス電圧は、選択されたアクセス用の線に印加されて、隣接するアグレッサセルが両方とも第2のデータ状態にあるターゲットセルを読み出し得る。
【0028】
メモリセルがMLCである場合、ターゲットセルのデータ状態を読み出しするための適切なセンス電圧はまた、アグレッサセルがプログラミングされ得る特定の未消去状態(例えば、アグレッサセルが、最上位の未消去データ状態にプログラミングされるか、それともいくつかの中間的な未消去データ状態のうちの1つにプログラミングされるか)に依存し得る。したがって、今説明した3つのセンス電圧よりも多く、アグレッサセルの電位データ状態の組み合わせに基づいて、選択されたアクセス用の線に印加され得る。
【0029】
図2は、本開示のいくつかの実施形態による、隣接するデータ線の対によって共用されるデータ線制御ユニットを含む、メモリアレイ240の一部分の概略図である。この例では、それぞれの偶数および奇数の隣接するデータ線の対は、共通データ線制御ユニット(例えば、DLCU)を共用している。例えば、偶数データ線242e−1および奇数データ線242o−1は、共通DLCU262−1を共用し、データ線242e−2および242o−2は、共通DLCU262−2を共用し、データ線242e−3および242o−3は、共通DLCU262−3を共用し、データ線242e−4および242o−4は、共通DLCU262−4を共用している。図2に示されているDCLU(例えば、262−1、262−2、262−3、および262−4)のそれぞれは、偶数および奇数のデータ線の対に、回路(例えば、インターフェース線)260−1、260−2、260−3、および260−4)を介して選択的に接続され得る。図2に示されるデータ線は、例えば、図1に示されるデータ線などのデータ線であり得る。
【0030】
図2に示されるメモリアレイ240は、いくつかの絶縁デバイス254および255(例えば、トランジスタ)を含み得、これは、偶数/奇数の対のデータ線のうちの1つをDLCU262−1、262−2、262−3、および262−4のうちのそれぞれの1つに(例えば、インターフェース線260−1、260−2、260−3、および260−4を介して)選択的に接続するように動作(例えば、制御信号の印加によりオン/オフ切り替え)され得る。例えば、トランジスタ254および255は、それぞれの偶数/奇数のデータ線の対(例えば、242e−1/242o−1、242e−2/242o−2、242e−3/242o−3、および242e−4/242o−4)のどのデータ線が、そのそれぞれのDLCU262−1、262−2、262−3、および262−4に選択的に接続されるべきかを選択するように動作され得る。例えば、トランジスタ254および255を制御するために、異なる制御信号が用いられ得る。本明細書で用いる場合、「接続する(to couple)」とは、説明されるコンポーネントが回路によって直接接続されることを示し、「選択的に接続する(selectively couple)」とは、説明されるコンポーネントが回路によって(例えば、スイッチ、例えば、トランジスタを介して)任意に接続されることを示す。
【0031】
DLCU262−1、262−2、262−3、および262−4は、例えば、それぞれの偶数/奇数のデータ線の対242e−1/242o−1、242e−2/242o−2、242e−3/242o−3、および242e−4/242o4に選択的に接続されるメモリセルにプログラミングされるべきデータを(例えば、ホストおよび/またはコントローラを介して)受信し得る。同様に、DLCU262−1、262−2、262−3、および262−4は、(例えば、ホストおよび/またはコントローラからの読み出し要求に応じて)それぞれの偶数/奇数のデータ線の対242e−1/242o−1、242e−2/242o−2、242e−3/242o−3、および242e−4/242o−4に選択的に接続されるメモリセルから読み出しされるべきデータを送信し得る。図2に示されるように、メモリセルのサブセットは、各データ線に接続される。例えば、メモリセルストリング244e−1、244e−2、244e−3、および244e−4は、偶数データ線242e−1、242e−2、242e−3、および242e−4に接続され、メモリセルストリング244o−1、244o−2、244o−3、および244o−4は、奇数データ線242o−1、242o−2、242o−3、および242o−4に接続される。そのため、選択されたアクセス用の線に接続されるメモリセルのサブセットは、異なる時間にプログラミングおよび/または読み出しされ得る。例えば、選択されたアクセス用の線(例えば、246)と、偶数データ線(例えば、242e−1、242e−2、242e−3、および242e−4)とに接続されるメモリセルは、同時に(例えば、並列して)プログラミングおよび/または読み出しされ得、選択されたアクセス用の線(例えば、246)と、奇数データ線(例えば、242o−1、242o−2、242o−3、および242o−4)とに接続されるメモリセルは、並列してプログラミングおよび/または読み出しされ得る。
【0032】
例として、動作中、偶数データ線(例えば、242e−1、242e−2、242e−3、および242e−4)に接続されるメモリセルは、奇数データ線(例えば、242o−1、242o−2、242o−3、および242o−4)に接続されるセルの前に、それらの所望の(例えば、最終的な)データ状態にプログラミングされ得る。結果として、後続の奇数データ線に接続されるセルのプログラミングが、偶数データ線に接続されるセルのプログラミングされたVtを(例えば、容量結合に起因して)シフトさせ得る。そのため、偶数データ線に接続されるセルは、ターゲットセルであり得、隣接する奇数データ線に接続されるセルは、アグレッサセルであり得る。追加的または代替的に、奇数データ線(例えば、242o−1、242o−2、242o−3、および242o−4)に接続されるメモリセルは、偶数データ線(例えば、242e−1、242e−2、242e−3、および242e−4)に接続されるセルの前に、それらの所望の(例えば、最終的な)データ状態(例えば、消去)にプログラミングされ得、そして、後続の偶数データ線に接続されるセルのプログラミングが、奇数データ線に接続されるセルのプログラミングされたVtを(例えば、容量結合に起因して)シフトさせ得る。そのため、奇数データ線に接続されるセルは、ターゲットセルであり得、隣接する偶数データ線に接続されるセルは、アグレッサセルであり得る。
【0033】
アグレッサセルの特定のデータ状態を判定することは、ターゲットセルのデータ状態をセンシング(例えば、読み出し)する場合に有用であり得る。例えば、アグレッサセルのデータ状態(例えば、アグレッサセルは消去データ状態にあるか、それとも未消去データ状態にあるか)は、アグレッサセルのプログラミング中に(例えば、容量結合に起因して)、ターゲットセルのVtが変化したか否かを示し得る。そのため、複数のセンス電圧は、選択されたアクセス用の線に印加されて、(例えば、読み出し動作における)ターゲットセルのデータ状態をセンシングし得る。複数のセンス電圧を印加することは、ターゲットメモリセルに関するいくつかのデータ状態を出力(例えば、取得)し得る。データ状態のための特定の数は、その他の要因の中でも、結果として得られるターゲットセルによって蓄積された電荷、ならびにどのように複数のセンス電圧のそれぞれがその特定の結果として蓄積される電荷を読み出すかに依存し得る。本明細書に説明されるように、いくつかのデータ状態の中からの特定のデータ状態は、アグレッサセルの特定のデータ状態に少なくとも部分的に基づいて選択され得る。
【0034】
したがって、ターゲットメモリセル上で実行されるセンス(例えば、読み出し)動作に、アグレッサメモリセルのデータ状態を組み込むことが有益であり得る。しかしながら、データ線の対が1つの共通DLCU(例えば、DLCU262−1、262−2、262−3、および262−4)を共用する図2などの場合では、両方のアグレッサセルの判定されたデータ状態をターゲットセルに関係するDLCUに提供することが困難であり得る。
【0035】
例として、図2に示されるように、メモリセル250がターゲットメモリセルであるように、また偶数データ線242e−2に接続されるメモリセル248および偶数データ線242e−3に接続されるメモリセル252が、両方とも選択されたアクセス用の線246に接続される、2つの隣接するアグレッサメモリセルであるように、選択されたアクセス用の線246と奇数データ線242o−2とに接続される、メモリセル250のデータ状態をセンシングする要求の場合を考える。このような場合、読み出し動作は、ターゲットセル(例えば、奇数データ線242o−2に接続されるセル250)のデータ状態をセンシングする要求に応じて、アグレッサセル(例えば、偶数データ線242e−2および242e−3に接続されたセル248および252)上で実行され得る。ターゲットセル250のデータ線242o−2と、1つの隣接するアグレッサセル248のデータ線242e−2とによって共用されるDLCU262−2は、データ線242e−2に接続されるアグレッサセル248のデータ状態を判定するように用いられ得、またその判定されたデータ状態を記憶し得る。
【0036】
ターゲットセルのデータ線に関係するDLCU(例えば、この例では、データ線242o−2およびセル250に関係するDLCU262−2)は、同じDLCU(例えば、この例では、データ線242e−2およびセル248に関係するDLCU262−2)を共用するデータ線に接続されるアグレッサセルのデータ状態を記憶するが、ターゲットメモリセルと関係するDLCU(例えば、この例では、DLCU262−2)には、隣接するDLCU(例えば、この例では、データ線242e−3およびセル252に関係するDLCU262−3)に記憶されているアグレッサセルの状態情報を取得することは困難であり得る。
【0037】
したがって、本開示に説明されるように、DLCUが、両方のアグレッサセルのデータ状態(例えば、プログラミングされた状態)を取得するために、データ転送回路(例えば、様々な構成を含み得る、トランジスタ266−1、266−2、266−3、および266−4などのいくつかのデータ転送デバイス(DTD)の形態のシフト論理回路)が用いられて、アグレッサメモリセルに対応する記憶されたデータ状態をあるDLCUから別のDLCUに(例えば、DLCU262−3からDLCU262−2に)転送する。本明細書で用いる場合、情報を転送すること(例えば、本明細書に説明されるように、記憶したデータ状態を、あるDLCUから、別のDLCUに、および/またはその他の複数のコンポーネントに、もしくはその他のコンポーネント間で転送すること)には、さらに、そのような情報の交換および/または供給が含まれる。
【0038】
例えば、図2に示されるように、DTDは、回路によって選択的に接続されて、DLCUの間で信号(例えば、選択的に接続されたメモリセルのデータ状態に関する情報)の交換を有効または無効にするいくつかの「イネーブル信号」が送信されるようにする、トランジスタ266−1、266−2、266−3、および266−4を含み得る。例えば、イネーブル信号1(En1)264−1によって制御されるDTD266−1および266−3のトランジスタ、ならびにイネーブル信号2(En2)264−2によって制御されるDTD266−2および266−4のトランジスタは、動作(例えば、イネーブル信号の印加によりオン/オフ切り替え)されて、対応するDLCUに選択的に接続されたメモリセルの記憶されたデータ状態(例えば、インターフェース線260−1、260−2、260−3、および260−4を介して取得されたデータ状態)に関する情報を転送するために、DLCUのうちの1つをDLCUのうちの別の1つまたは2つ以上に選択的に接続し得る。図2に示される例では、DLCU262−3に選択的に接続されたアグレッサメモリセル252のデータ状態(例えば、プログラミングされた状態)は、DTD266−2のトランジスタをオンに切り替えるEn2 264−2の送信によってアグレッサメモリセル248のデータ状態を既に有するDLCU262−2に転送され得る。
【0039】
一部の例では、代替的または追加的に、隣接するメモリセル(例えば、ターゲットメモリセル250およびアグレッサメモリセル252)のデータ状態(例えば、プログラミングされた状態)は、関係するDLCUを絶縁デバイス254および255(例えば、トランジスタ)を介して選択的に接続することによって、関係するDLCU(例えば、それぞれ、DLCU262−2およびDCLU262−3)に、関係するDLCU(例えば、それぞれ、DLCU262−2およびDCLU262−3)から、および/または関係するDLCU(例えば、それぞれ、DLCU262−2およびDCLU262−3)の間で転送され得る。例えば、絶縁デバイス254および255(例えば、トランジスタ)は、動作(例えば、制御信号の印加によりオン/オフ切り替え)されて、隣接するメモリセルに関係するDLCU262−1、262−2、262−3、および262−4を(例えば、インターフェース線260−1、260−2、260−3、および260−4を介して)選択的に接続し得る。
【0040】
ターゲットメモリセル250のデータ状態を判定することは、アグレッサセル248および252の判定されたデータ状態に少なくとも部分的に基づいて判定され得る。代替的または追加的に、DLCU262−3に選択的に接続されたアグレッサメモリセル252のデータ状態(例えば、プログラミングされた状態)は、DTD266−2のトランジスタをオンに切り替えるEn2 264−2の送信によって、アグレッサメモリセル248のデータ状態と、ターゲットメモリセル250のための複数の取り得るデータ状態とを既に有するDLCU262−2に転送され得る。結果として得られるターゲットメモリセル250のデータ状態を判定することは、これらのデータ状態を収集し、かつこれらを(例えば、図4に示されるプロセッサ482を用いて)後処理することによって判定され得る。
【0041】
本明細書に説明されるように、アグレッサセルおよびターゲットセルは、必ずしも(例えば、ターゲットセル250が、直接隣接するデータ線242e−2および242e−3上のアグレッサセル248および252と、同じアクセス用の線246を共用する図2に示される場合のように)互いに直接隣接するわけではない。したがって、アグレッサセルおよびターゲットセルの相対的な位置は、(例えば、その他の考慮すべき事項の中でも、メモリアレイの構成、アグレッサセルおよび/またはターゲットセルの電圧に応じて)アレイ240のあらゆる場所に配置され得る。したがって、関連するターゲットセルに対するアグレッサセルのその他の取り得る位置と、それらの間の電荷蓄積構造と電荷蓄積構造の結合(例えば、FG−FG容量結合)を補償するDCLUおよびDTDの機能とを示すために、図2は、限定ではなく例として、その他のコンポーネントの中でも、追加的なデータ線(例えば、242e−1、242o−1、242o−3、242e−4、および242o−4)と、追加的なメモリセルストリング(例えば、244e−1、244o−1、244o−3、244e−4、および244o−4)と、追加的なアクセス用の線と、追加的なDLCU(例えば、262−1および262−4)とを示す。
【0042】
本開示で用いる場合、「隣接する(“adjacent,”“adjacent to,”および“neighboring”)」は、電圧におけるシフトの誘導を(例えば、容量結合により)生じるのに十分に近いメモリセルおよび/またはデータ線を示し得る。例えば、特定のメモリセルは、特定のメモリセルをいくつかのその他のメモリセル(例えば、ターゲットセル)に対するアグレッサセルにさせるのに十分に高い電圧でプログラミングされ得る。したがって、これらのターゲットセルは、その他の取り得る位置の中でも(例えば、その他の考慮すべき事項の中でも、メモリアレイの構成、アグレッサセルおよび/またはターゲットセルの電圧に応じて)、アグレッサセルと同じデータ線、アグレッサセルのデータ線と直接隣接するデータ線、アグレッサセルのデータ線と直接隣接しない(例えば、別の介在するデータ線を有する)データ線、アグレッサセルと同じアクセス用の線、アグレッサセルとは異なる(例えば、アレイ内で対角線上に位置する)アクセス用の線上に配置され得る。
【0043】
本開示と調和するメモリアレイのいくつかの例(例えば、図2に示されるメモリアレイ240)は、FG−FG結合の影響を減らすために、SBLプログラミングをシールド電圧源258とシールド電圧供給線256と共に利用し得る。しかしながら、隣接するデータ線およびアクセス用の線の間の空間が減らされるにつれて、隣接するセル間のFG−FG結合の影響は、少なくとも部分的にシールディングの効果を乗り越え得る。したがって、アグレッサおよびターゲットが同じDCLUを共用しているか否かにかかわらず、隣接するアグレッサメモリセルのデータ状態をターゲットメモリセルのDLCUに転送することによって、FG−FG結合により、少なくとも部分的に生じる影響を克服することは、FG−FG結合の影響をさらに補償し得る。例えば、複数のセンス電圧をターゲットセルのためのアクセス用の線に印加することによって得られる適切なデータ状態出力は、ターゲットセルのDCLUによって蓄積される、隣接するアグレッサメモリセルのデータ状態に関する情報に基づいて選択され得る。
【0044】
したがって、いくつかの実施形態では、装置(例えば、メモリデバイスおよび/またはシステム)は、第1のメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル248)に接続される第1のデータ線(例えば、242e−2)と、ターゲットメモリセル(例えば、250)に接続される第2のデータ線(例えば、242o−2)とを含み、ただし、第1およびターゲットメモリセルが、隣接し、第1のメモリセルのデータ状態を判定するように構成される第1のDLCU(例えば、262−2)を共用する、アレイ(例えば、アレイ240)を備え得る。装置は、第2のメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル252)に接続される第3のデータ線(例えば、242e−3)を含み得、ただし、第2のメモリセルは、ターゲットメモリセルに隣接し、そこに関係し、第2のメモリセルのデータ状態を判定するように構成される第2のDLCU(例えば、262−3)を有する。
【0045】
装置は、いくつかの実施形態では、第1のDLCU(例えば、262−2)および第2のDLCU(例えば、262−3)に選択的に接続されるいくつかのDTD(例えば、266−2)を含み得る。DTDおよびDLCUの組み合わせは、装置が、いくつかのDTDを介して、第2のメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル252)の判定されたデータ状態を、第2のDLCU(例えば、262−3)から第1のDLCU(例えば、262−2)に転送可能にするように構成される。いくつかの実施形態では、第2のメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル252)のデータ状態は、ターゲットメモリセル(例えば、250)のデータ状態をセンシングする要求に応じて、判定され得る。
【0046】
いくつかの実施形態では、第1のDLCU(例えば、262−2)は、第1のデータ線(例えば、242e−2)に接続される第1のメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル248)の判定されたデータ状態と、第3のデータ線(例えば、242e−3)に接続される第2のメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル252)の判定されたデータ状態とに少なくとも部分的に基づいて、第2のデータ線(例えば、242o−2)に接続されるターゲットメモリセル(例えば、250)のデータ状態を判定するように構成される。第1のDLCU(例えば、262−2)は、ターゲットメモリセル(例えば、250)が接続される選択されたアクセス用の線(例えば、246)に複数のセンス電圧を印加することによるいくつかのデータ状態出力に少なくとも部分的に基づいて、ターゲットメモリセル(例えば、250)のデータ状態を判定するように構成される。
【0047】
図3は、本開示のいくつかの実施形態による共用DLCU362を示すブロック図である。DLCU362は、例えば、図2に関連して説明されるDLCU262−1、262−2、262−3、および262−4などのDLCUであり得る。DLCU362は、メモリアレイの偶数/奇数のデータ線の対によって共用され得、そこに、インターフェース線360(例えば、図2に示されるインターフェース線260−1、260−2、260−3、および260−4)に選択的に接続される絶縁デバイス(例えば、図2に示される絶縁デバイス254および255)を介して選択的に接続され得る。すなわち、DLCU362は、各偶数/奇数のデータ線対が1つのDLCUを共用するアーキテクチャに含められ得る。
【0048】
DLCU362は、本明細書に説明される実施形態によるメモリ装置を動作させるように用いられ得る。例えば、DLCU362は、本開示のいくつかの実施形態によるメモリセルのセンシング(例えば、読み出し)と関係して用いられ得る。各DLCU362(例えば、図2に関連して説明されるDLCU262−1、262−2、262−3、および262−4)は、そこに選択的に接続されるデータ線に関係するメモリセルのデータ状態を記憶し、異なるDLCU(例えば、ターゲットメモリセルと関係するDLCU)に選択的に接続されたメモリセルの記憶されたデータ状態を転送するように構成され得る。例として、DTD(図2に関連して説明されるDTD266−1、266−2、266−3、および266−4など)は、記憶されたデータ状態をあるDLCUから別のDLCUに転送することと関連して用いられ得る。DLCU362(例えば、図2に関連して説明されるDLCU262−1、262−2、262−3、および262−4)は、ターゲットメモリセルのデータ状態を判定するために、ターゲットメモリセルに接続される選択されたアクセス用の線(例えば、ターゲットセル250に接続される選択されたアクセス用の線246は図2に示される)に複数のセンス電圧を印加することによって得られる適切なデータ状態出力を選択するように用いられ得る。これらおよびその他のデータ動作は、例えば、各DLCU362のエラボレーションコンポーネント(ELAB)375によって、実行され得る。
【0049】
DLCU362はまた、いくつかのデータキャッシュコンポーネントを含む。データキャッシュコンポーネントは、保存したデータをELAB375に入力するおよび/または出力データをELAB375から保存するいくつかの静的データキャッシュ(例えば、376の静的キャッシュ1および377の静的キャッシュ2)、いくつかの動的キャッシュ(例えば、378の動的キャッシュ)、一次データキャッシュおよび/または二次データキャッシュ(図示せず)、組み合わせ要素(例えば、その他の関数の中でも、AND/OR演算を実行する)、ならびに/またはその他のメモリおよび/または回路を含み得る。一部の実施形態では、DLCU362および/または関係するコンポーネントは、インターフェース線372を介して、外部回路(例えば、コントローラ、プロセッサ、および/またはその他の外部回路)に接続され得る。いくつかの実施形態では、DLCU362は、アグレッサセルのデータ線が選択的に接続される別のDLCUから(例えば、インターフェース線360を介して)アグレッサセルのデータ状態を受信することによって、その関係するデータ線偶数/奇数対以外のデータ線に接続されたアグレッサメモリセルのデータ状態(例えば、プログラミングされた状態)を判定するために用いられ得る。
【0050】
いくつかの実施形態では、376のキャッシュ1、377の静的キャッシュ2、および378の動的キャッシュは、図3に示されていないDLCU362のその他のコンポーネントと共に、判定されたデータ状態を記憶および/または交換するために用いられ得る。例えば、これらのキャッシュは、同じDLCU(例えば、図2のDLCU262−2に選択的に接続されるアグレッサメモリセル248)に選択的に接続されるアグレッサメモリセルに関して、および/または隣接するDLCU(例えば、図2のDLCU262−3に選択的に接続されるアグレッサメモリセル252)に選択的に接続されるアグレッサメモリセルに関して判定されたデータ状態を記憶および/または交換するために用いられ得る。一部の例では、アグレッサセルは、ターゲットメモリセル(例えば、図2のDLCU262−2に選択的に接続されるターゲットメモリセル250)と同じアクセス用の線(例えば、図2のアクセス用の線246)を共用し得る。これらのデータキャッシュは、例えば、ELAB375コンポーネントに、および/またはELAB375コンポーネントと、判定されたデータ状態に関する情報を供給および/または交換し得る。
【0051】
したがって、本明細書に説明されるように、2つまたは3つ以上の隣接するアグレッサメモリセルの判定されたデータ状態は、DLCU362に選択的に接続される偶数/奇数の対のデータ線に接続されるターゲットメモリセル上で実行される読み出し動作に組み込まれ得る。例えば、その他の動作の中でも、ELAB375は、本開示の様々な実施形態で説明されるように、2つまたは3つ以上の隣接するアグレッサメモリセルの判定されたデータ状態に少なくとも部分的に基づいて、ターゲットメモリセルに複数の異なるセンス電圧を印加することにより得られる、いくつかの出力状態の中から適切な出力データ状態を判定し得る。
【0052】
図4は、本開示のいくつかの実施形態によって動作されるメモリデバイス484を有する電子メモリシステム480の形態の装置のブロック図を示している。メモリシステム480は、いくつかのプロセッサ482、いくつかのプロセッサ482を含むコンピューティングデバイス、および/またはメモリデバイス484に接続される(例えば、486)特定用途向け集積回路(ASIC)を含み得、これは、それ自体が「装置」であるとみなされ得る。メモリデバイス484は、メモリアレイ489を含み得る。メモリアレイ489は、それぞれ図1および図2に関連して本明細書に説明されるメモリアレイ100および240に類似し得る。1つのメモリアレイ489が図4に示されているが、本開示の実施形態はそのように限定されるものではない。メモリデバイス484のメモリアレイ489は、例えば、本明細書に説明されるような、NANDアーキテクチャのフローティングゲートフラッシュメモリセルを含み得る。
【0053】
メモリデバイス484は、メモリアレイ489に接続される制御回路487(例えば、コントローラ)を含む。コントローラ487は、本明細書に説明される1つまたは2つ以上の実施形態にしたがって、メモリセル上でのセンス(例えば、読み出し)動作などの様々な動作の実行を制御するように構成される。コントローラ487は、例えば、センス回路(例えば、DLCU)を用いて、メモリアレイ489のメモリセルのデータ状態(例えば、プログラミングされた状態)のセンシングを制御することによって、メモリアレイ489におけるデータのセンシングを制御し得る。コントローラ487は、例えば、隣接するアグレッサセルの電位データ状態の組み合わせに基づいて、特定のアクセス用の線への複数の異なるセンス電圧の印加、ならびに/あるいは複数の異なるセンス電圧の数および/または特定の電圧の判定を制御し得る。いくつかの実施形態では、コントローラ487は、プロセッサ482からの命令を実行して、本開示の実施形態による動作を実行することに携わる。コントローラ487は、状態機械、シーケンサ、または何らかのその他のタイプのコントローラであり得る。当業者には当然のことながら、追加の回路および制御信号が提供されてもよく、また説明し易くするために図4のメモリデバイスの詳細は、省略されている。
【0054】
本明細書に説明されるように、本開示のいくつかの実施形態では、図2から図4に示されるものなどの装置は、第1のメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル248)に接続される第1のデータ線(例えば、242e−2)と、ターゲットメモリセル(例えば、250)に接続される第2のデータ線(例えば、242o−2)とを含み得、ただし、第1のメモリセルは、ターゲットメモリセルに隣接する。第3のデータ線(例えば、242e−3)は、第2のメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル252)に接続され得、ただし、第2のメモリセルは、ターゲットメモリセルに隣接する。
【0055】
いくつかの実施形態は、回路(例えば、DLCU262−2、262−3、および362、DTD266−2、En1 264−1、En2 264−2、制御回路487など)を備え得る。回路は、いくつかの実施形態では、選択されたアクセス用の線(例えば、246)および第2のデータ線(例えば、242o−2)に接続されるターゲットメモリセル(例えば、250)のデータ状態をセンシングするための要求に応じて、選択されたアクセス用の線(例えば、246)および第1のデータ線(例えば、242e−2)に接続される第1のメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル248)のデータ状態を判定するように構成され得る。回路は、選択されたアクセス用の線(例えば、246)および第2のデータ線(例えば、242o−2)に接続されるターゲットメモリセル(例えば、250)のデータ状態をセンシングするための要求に応じて、選択されたアクセス用の線(例えば、246)および第3のデータ線(例えば、242e−3)に接続される第2のメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル252)のデータ状態を判定するようにさらに構成され得る。加えて、回路は、第1のメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル248)の判定されたデータ状態と、第2のメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル252)の判定されたデータ状態とに少なくとも部分的に基づいて、選択されたアクセス用の線(例えば、246)および第2のデータ線(例えば、242o−2)に接続されるターゲットメモリセル(例えば、250)のデータ状態を判定するように構成され得る。
【0056】
回路は、いくつかの実施形態では、複数のセンス電圧を選択されたアクセス用の線(例えば、246)に印加するように構成され得、複数のセンス電圧が、第1および第2のメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル248および252)の電位データ状態の組み合わせに少なくとも部分的に基づき、また複数のセンス電圧が、いくつかのデータ状態を出力する。回路は、本明細書のいくつかの実施形態で説明されるように、判定されたデータ状態に少なくとも部分的に基づいて、いくつかのデータ状態のうちの1つを選択するように構成され得る。
【0057】
いくつかの実施形態では、回路は、いくつかのDTD(例えば、266−2)を含んで、第1のメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル248)とターゲットメモリセル(例えば、250)との間に共用される第1のDLCU(例えば、262−2)に、第2のメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル252)の判定されたデータ状態を転送し得る。いくつかのDTD(例えば、266−2)は、いくつかの実施形態では、第1のDLCU(例えば、262−2)のインターフェース線(例えば、260−2)と、第2のDLCU(例えば、262−3)のインターフェース線(例えば、266−3)との間に選択的に接続され得る。イネーブル信号(例えば、En1 264−1および/またはEn2 264−2)は、いくつかのDTDが第2のメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル252)の判定されたデータ状態を第1のDLCU(例えば、262−2)に転送するのを可能にし得る。各DTDは、いくつかの実施形態では、第1のDLCU(例えば、262−2)のインターフェース線(例えば、260−2)に接続される第1の端子(例えば、ソース/ドレイン)と、第2のDLCU(例えば、262−3)のインターフェース線(例えば、260−3)に接続される第2の端子(例えば、ソース/ドレイン)と、イネーブル信号(例えば、En2 264−2)を受信するように構成されるゲートとを有する、トランジスタ(例えば、266−2)を備え得る。
【0058】
本明細書に説明されるように、本開示のいくつかの実施形態では、図2から図4に示されるものなどの装置は、第1のメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル248)および第1のDLCU(例えば、262−2)に接続される第1のデータ線(例えば、242e−2)と、第2のメモリセル(例えば、ターゲットメモリセル250)および第1のDLCU(例えば、262−2)に接続される第2のデータ線(例えば、242o−2)とを含み得、第2のデータ線は、第1のデータ線に隣接する。装置は、第3のメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル252)および第2のDLCU(例えば、262−3)に接続される第3のデータ線(例えば、242e−3)を含み得、第3のデータ線は、第2のデータ線に隣接する。
【0059】
いくつかの実施形態では、制御回路487(例えば、示された図2に示されるアレイ240または図4に示されるアレイ489などのアレイに接続され得るコントローラ)などの制御回路は、第2のメモリセル(例えば、ターゲットメモリセル250)のデータ状態を判定するように構成され得る。第2のメモリセル(例えば、ターゲットメモリセル250)のデータ状態は、第2のDLCU(例えば、262−3)から第1のDLCU(例えば、262−2)に転送された第3のメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル252)の判定されたデータ状態と、第1のDLCU(例えば、262−2)によって判定された第1のメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル248)の判定されたデータ状態とのうちの少なくとも1つに少なくとも部分的に基づき得る。制御回路487は、いくつかの実施形態では、第2のメモリセル(例えば、ターゲットメモリセル250)が接続される選択されたアクセス用の線(例えば、246)に、複数のセンス電圧を印加して、いくつかのデータ状態を出力するように構成され、および、判定されたデータ状態に少なくとも部分的に基づいて、いくつかのデータ状態のうちの1つを選択するように構成され得る。
【0060】
第1のDTD(例えば、266−2)は、いくつかの実施形態では、第1のDLCU(例えば、262−2)のインターフェース線(例えば、260−2)と、第2のDLCU(例えば、262−3)のインターフェース線(例えば、260−3)との間に選択的に接続され得、第2のDTD(例えば、266−3)は、第2のDLCU(例えば、262−3)のインターフェース線(例えば、260−3)と、第3のDLCU(例えば、262−4)のインターフェース線(例えば、260−4)との間に選択的に接続され得る。一部の実施形態では、第1のDLCUは、共用DLCU(例えば、SBLアーキテクチャにおける262−2)であり得、第1および第2のデータ線(例えば、242e−2および242o−2)は、(例えば、絶縁デバイス254および255を介して)共用DLCU(例えば、262−2)に選択的に接続される。
【0061】
図2から図4に示されるものなどのアレイ(例えば、240)を備え得るメモリのいくつかの動作方法は、第1のデータ線(例えば、242e−2)に接続される第1のメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル248)のデータ状態を判定するステップと、第3のデータ線(例えば、242e−3)に接続される第3のメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル252)のデータ状態を判定するステップと、第1および第3のメモリセルのうちの少なくとも1つの判定されたデータを、第2のメモリセル(例えば、ターゲットメモリセル250)が接続される第2のデータ線(例えば、242o−2)に対応するDLCU(例えば、262−2)に転送するステップとを含み得、第2のデータ線が第1のデータ線および第3のデータ線に隣接する。このような方法は、いくつかの実施形態では、転送された判定されたデータに少なくとも部分的に基づいて、第2のメモリセル(例えば、ターゲットメモリセル250)のデータ状態を判定するステップを含み得る。
【0062】
本方法は、いくつかの実施形態では、DLCU(例えば、262−2)を第1のデータ線(例えば、242e−2)または第2のデータ線(例えば、242o−2)に(例えば、絶縁デバイス254および255を介して)選択的に接続するステップを含み得る。一部の実施形態では、DLCUは、動的データキャッシュを備え得る。
【0063】
いくつかの実施形態では、本方法は、第2のメモリセル(例えば、ターゲットメモリセル250)のデータ状態をセンシングする要求に応じて、第1のメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル248)および第3のメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル252)のデータ状態を判定するステップを含み得る。ターゲットメモリセルのデータ状態を判定するステップは、ターゲットメモリセルが接続される選択されたアクセス用の線(例えば、246)に複数のセンス電圧を印加して、いくつかのデータ状態を出力すること、および、転送されたデータ状態に少なくとも部分的に基づいて、いくつかのデータ状態のうちの1つを選択することによって実行され得る。そのため、ターゲットメモリセルの複数のデータ状態の中から選択されたデータ状態は、アグレッサメモリセルの判定されたデータ状態(例えば、転送された判定されたデータ状態)に少なくとも部分的に基づき得る。
【0064】
本方法は、いくつかの実施形態では、第1、第2、および/または第3のメモリセルのデータ状態を判定する前に、第1のメモリセル、第2のメモリセル、および第3のメモリセルをSBL技術によりプログラミングするステップを含み得る。メモリを動作させることには、いくつかの実施形態では、第1、第2、および/または第3のメモリセルをMLCとして動作させることを含み得る。
【0065】
いくつかの実施形態では、メモリの動作方法は、第1のデータ線に接続される第1のメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル248)と、第3のデータ線に接続される第2のメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル252)とによって記憶されたデータを判定するステップを含み得る。第1のメモリセルおよび第2のメモリセルのうちの少なくとも1つによって記憶される判定されたデータは、ターゲットメモリセルが接続される第2のデータ線に選択的に接続される第1のDLCUに転送され得る。第2のデータ線は、第1のデータ線および第3のデータ線に隣接し得、本方法は、第1のメモリセル、第2のメモリセル、およびターゲットメモリセルが接続される選択されたアクセス用の線に印加される複数のセンス電圧を用いて、ターゲットメモリセル(例えば、250)によって記憶されたデータをセンシングするステップを含み得る。いくつかの実施形態では、センス電圧は、第1および第2のメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル248および252)の電位データ状態の組み合わせに少なくとも部分的に基づく。
【0066】
第1および第2のメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル248および252)の電位データ状態の組み合わせを判定するステップは、いくつかの実施形態では、第1および第2のメモリセル上に蓄積可能な電荷の組み合わせに基づき得る。追加的または代替的に、第1および第2のメモリセルの電位データ状態の組み合わせを判定するステップは、いくつかの実施形態では、第1および第2のメモリセルのそれぞれについての消去状態および未消去状態の組み合わせに基づき得る。
【0067】
いくつかの実施形態では、本方法は、ターゲットメモリセル(例えば、250)に記憶されたデータを判定するための要求に応じて、第1のメモリセルおよび第2のメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル248および252)のデータ状態を判定するステップを含み得る。第1のメモリセルおよびターゲットメモリセルは、第1のDLCUに選択的に接続され得、第2のメモリセルは、第2のDLCUに選択的に接続され得る。いくつかの実施形態では、第1のDLCUおよび第2のDLCUは、DTDに選択的に接続され得る。したがって、本方法は、いくつかの実施形態では、第2のメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル252)によって記憶された判定されたデータを、DTDを介して、第2のDLCUから第1のメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル248)およびターゲットメモリセル(例えば、250)に選択的に接続される第1のDLCUに転送するステップを含み得る。
【0068】
本開示のいくつかの実施形態では、メモリの動作方法は、第1のデータ線に隣接する第2のデータ線に接続されるターゲットメモリセル(例えば、250)のデータ状態をセンシングするための要求に応じて、第1のデータ線に接続される第1のメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル248)のデータ状態を判定するステップを含み得、ただし、第1および第2のデータ線は、第1の共用DLCUに選択的に接続される。本方法は、ターゲットメモリセル(例えば、250)のデータ状態をセンシングするための要求に応じて、第2のデータ線に隣接する第3のデータ線に接続される第2のメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル252)のデータ状態を判定するステップを含み得、ただし、第3のデータ線は、第2の共用DLCUに選択的に接続される。本方法は、いくつかの実施形態では、第2のメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル252)の判定されたデータ状態を第2の共用DCLUから第1の共用DCLUに転送するステップと、第2のメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル252)の転送された判定されたデータ状態に少なくとも部分的に基づいて、ターゲットメモリセル(例えば、250)のデータ状態を判定するステップとを含み得る。
【0069】
いくつかの実施形態では、本方法は、第2のメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル252)の判定されたデータ状態を、第1の共用DLCUのインターフェース線と第2の共用DLCUのインターフェース線との間に選択的に接続されるDTDを介して、第1の共用DLCUに転送するステップを含み得る。第2のメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル252)の判定されたデータ状態を第1の共用DLCUに転送するステップは、DTDに提供されるイネーブル信号に応じて行われ得る。
【0070】
いくつかの実施形態では、本方法は、第2のメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル252)の転送された判定されたデータ状態と、ターゲットメモリセルに選択的に接続される第1のDLCUに転送された、第1のメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル248)の判定されたデータ状態とのうちの少なくとも1つに少なくとも部分的に基づいて、ターゲットメモリセル(例えば、250)のデータ状態を判定するステップを含み得る。ターゲットメモリセルのデータ状態を判定するステップは、いくつかの実施形態では、第1のメモリセル、ターゲットメモリセル、および第2のメモリセルが接続される選択されたアクセス用の線に複数のセンス電圧を印加するステップを含み得、複数のセンス電圧が、第1および第2のメモリセル(例えば、アグレッサメモリセル248および252)の電位データ状態の組み合わせに少なくとも部分的に基づく。複数のセンス電圧は、第1および第2のメモリセルがプログラム可能である、いくつかの取り得るデータ状態に対応し得、本方法は、第1および第2のメモリセルの判定されたデータ状態に少なくとも部分的に基づいて、いくつかの出力データ状態のうちの1つを選択するステップを含み得る。
【0071】
<結論>
本開示は、メモリセルをセンシングするための装置および方法を含む。例えば、メモリセルのセンシングには、第1のデータ線に接続される第1のメモリセルのデータ状態を判定するステップと、第3のデータ線に接続される第3のメモリセルのデータ状態を判定するステップと、第1および第3のメモリセルのうちの少なくとも1つの判定されたデータを、第2のメモリセルが接続される第2のデータ線に対応するデータ線制御ユニットへ転送するステップであって、第2のデータ線が、第1のデータ線および第3のデータ線に隣接する、転送するステップと、第2のメモリセルのデータ状態を、転送された判定されたデータに少なくとも部分的に基づいて判定するステップとが含まれ得る。
【0072】
当然のことながら、ある要素が、別の要素「に隣接する(“adjacent,”“adjacent to”)」、または「に接続される(“coupled to”)」と称される場合、これは、他方の要素に直接的に隣接、または直接的に接続されることができ、あるいは介在要素が存在するのであってもよい。逆に、ある要素が、別の要素「に直接隣接する(“directly adjacent,”“directly adjacent to”)」、または「に直接接続される(“directly coupled to”)」と称される場合、介在要素または層は存在しない。
【0073】
本明細書で用いられる場合、「および/または」の語は、列挙される関連項目のうちの1つまたは2つ以上の任意およびすべての組み合わせを含む。本明細書で用いられる場合、「または(or)」の語は、特に指示のない限り、論理的に包含的な論理和を意味する。つまり、「AまたはB」は、(Aのみ)、(Bのみ)、または(AおよびBの両方)を含み得る。換言すると、「AまたはB」は、「Aおよび/またはB」または「AおよびBのうちの1つまたは2つ以上」を意味し得る。
【0074】
当然のことながら、第1、第2、第3などの語は、本明細書において様々な要素を記述するのに用いられる場合があり、これらの要素は、これらの語により限定されるべきではない。これらの用語は、ある要素を別の要素と区別するためにのみ使用される。したがって、第1の要素は、本開示の教示から逸脱せずに、第2の要素または第3の要素と呼ばれてもよい。
【0075】
本明細書において特定の実施形態を図示および説明してきたが、当業者であれば、示された特定の実施形態に対して、同じ結果を得るように考案された構成を置き換え得ることを理解するであろう。本開示は、本開示の1つまたは2つ以上の実施形態の適用または変形を包含するように意図されている。上記の説明が、例示的な方法でなされたものであり、制限的な方法でなされたものではないことを理解されたい。上記の実施形態の組み合わせ、および、本明細書に具体的に記載されていないその他の実施形態は、上の説明を検討すれば、当業者には自明である。本開示の1つまたは2つ以上の実施形態の範囲は、上記の構造および方法が用いられるその他の用途を含む。したがって、本開示の1つまたは2つ以上の実施形態の範囲は、添付の特許請求の範囲を基準に、そのような特許請求の範囲が権利範囲に含む均等物の全範囲と共に、定められるべきである。
【0076】
上記の詳細な説明では、一部の特徴は、本開示を合理化するために単一の実施形態にまとめてある。この開示方法は、本開示の開示されている実施形態が、各請求項に明示的に列挙されている特徴よりも多くの特徴を使用しなければならないという意図を反映するものとして解釈されるべきではない。そうではなく、以下の特許請求の範囲が反映するように、発明の主題は、単一の開示された実施形態の一部の特徴にある。したがって、以下の特許請求の範囲は、ここに、各請求項が別個の実施形態としてそれ自体で成立している状態で、詳細な説明に組み込まれる。
図1
図2
図3
図4