特許 6286210 マスク

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6286210

(24)【登録日】2018年2月9日

(45)【発行日】2018年2月28日

(54)【発明の名称】マスク

(51)【国際特許分類】

   C23C 14/04 20060101AFI20180215BHJP

   H05B 33/10 20060101ALI20180215BHJP

   H01L 51/50 20060101ALI20180215BHJP

   C23C 14/24 20060101ALI20180215BHJP

【ＦＩ】

   C23C14/04 A

   H05B33/10

   H05B33/14 A

   C23C14/24 G

【請求項の数】16

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2014-3152(P2014-3152)

(22)【出願日】2014年1月10日

(65)【公開番号】特開2014-218732(P2014-218732A)

(43)【公開日】2014年11月20日

【審査請求日】2017年1月6日

(31)【優先権主張番号】10-2013-0053238

(32)【優先日】2013年5月10日

(33)【優先権主張国】KR

(73)【特許権者】

【識別番号】512187343

【氏名又は名称】三星ディスプレイ株式會社

【氏名又は名称原語表記】Ｓａｍｓｕｎｇ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｃｏ．，Ｌｔｄ．

(74)【代理人】

【識別番号】110000051

【氏名又は名称】特許業務法人共生国際特許事務所

(74)【代理人】

【識別番号】100146835

【弁理士】

【氏名又は名称】佐伯 義文

(74)【代理人】

【識別番号】100089037

【弁理士】

【氏名又は名称】渡邊 隆

(72)【発明者】

【氏名】韓 政▲ウォン▼

【審査官】 塩谷 領大

(56)【参考文献】

【文献】 韓国公開特許第２００３−００７７３７０（ＫＲ，Ａ）

【文献】 米国特許第０４６２６７３７（ＵＳ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｃ２３Ｃ １４／００−１４／５８

Ｈ０１Ｌ ５１／５０

Ｈ０５Ｂ ３３／１０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

マスクフレーム上に引張られて溶接されるファインメタルマスクであって、
開口部が形成されて前記マスクフレームに結合される板状の本体部と、
前記本体部から第１方向に突出するように形成されて第２方向に沿って延長形成される少なくとも１つの第１屈曲部を含む変形部とを含み、
前記変形部が、
前記本体部から前記第１方向に突出するように形成され、前記第２方向と直交する第３方向に延長形成された少なくとも１つの第２屈曲部をさらに含み、
前記本体部の厚さが一定に維持され、前記本体部の異なる寸法のうちの少なくとも１つが増加するように、前記変形部が前記本体部に加えられる引張力によって展開されながら変形するように構成されていることを特徴とするマスク。

【請求項2】

前記少なくとも１つの第１屈曲部が、複数の第１屈曲部のうちの１つであり、
前記複数の第１屈曲部が、互いに一定間隔で離隔するように形成され、
前記複数の第１屈曲部それぞれの間に前記開口部が位置することを特徴とする請求項１に記載のマスク。

【請求項3】

前記少なくとも１つの第１屈曲部が、前記本体部の１つ以上の特定領域に形成されたことを特徴とする請求項１に記載のマスク。

【請求項4】

前記１つ以上の特定領域が、前記本体部の中央領域に形成されたことを特徴とする請求項３に記載のマスク。

【請求項5】

前記１つ以上の特定領域が、前記本体部の１つ以上の角に隣接して形成されたことを特徴とする請求項３に記載のマスク。

【請求項6】

前記第１屈曲部の垂直断面の形状が、半円形、半楕円形および多角形の中から選択されたいずれか１つであることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載のマスク。

【請求項7】

前記少なくとも１つの第２屈曲部が、複数の第２屈曲部のうちの１つであり、
前記複数の第２屈曲部が、互いに一定間隔で離隔するように形成され、
前記複数の第２屈曲部それぞれの間に前記開口部が位置することを特徴とする請求項１に記載のマスク。

【請求項8】

前記複数の第２屈曲部が、前記本体部の１つ以上の特定領域に形成されたことを特徴とする請求項１または７に記載のマスク。

【請求項9】

前記１つ以上の特定領域が、前記本体部の中央領域に形成されたことを特徴とする請求項８に記載のマスク。

【請求項10】

前記１つ以上の特定領域が、前記本体部の１つ以上の角に隣接して形成されたことを特徴とする請求項８に記載のマスク。

【請求項11】

前記第２屈曲部の垂直断面の形状が、半円形、半楕円形および多角形の中から選択されたいずれか１つであることを特徴とする請求項１に記載のマスク。

【請求項12】

前記第１方向が、前記本体部を基準として上方または下方に延長されることを特徴とする請求項１に記載のマスク。

【請求項13】

前記変形部が、少なくとも２つの第１屈曲部を含み、
前記少なくとも２つの第１屈曲部のうちの少なくとも１つは、前記第１方向に突出し、
前記少なくとも２つの第１屈曲部のうちの少なくとも他の１つは、前記第１方向と反対方向に突出することを特徴とする請求項１に記載のマスク。

【請求項14】

前記変形部が、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｆｅ、Ｓｎ、Ｔｉ、およびＡｌのうちのいずれか１つ以上の金属を含むことを特徴とする請求項１に記載のマスク。

【請求項15】

前記変形部が、ポリマーからなることを特徴とする請求項１に記載のマスク。

【請求項16】

前記変形部が、前記本体部と同一または異なる素材からなることを特徴とする請求項１に記載のマスク。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、マスクに関するものである。

【背景技術】

【0002】

ファインメタルマスク（ＦＭＭ：ｆｉｎｅ ｍｅｔａｌ ｍａｓｋ）は、大型基板に有機物を蒸着するためのマスクである。蒸着工程を利用して有機発光表示装置を製造するためには、基板上に形成される薄膜などのパターンと同一のパターンを有するファインメタルマスクを整列する。そして、薄膜の元素材を蒸着して所望のパターンの薄膜を形成することが必要である。

【0003】

このようなファインメタルマスクは、金属エッチング（ｅｔｃｈｉｎｇ）工程、レーザ加工、フォトリソグラフィ（Ｐｈｏｔｏｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ）工程、電鋳メッキ工程などの多様な方法で製作される。そして、このようなファインメタルマスクは、平面上にパターンを存在させる方式で製作されている。このように製作されたファインメタルマスクは、マスクフレーム（Ｍａｓｋ Ｆｒａｍｅ）上に引張られて溶接された後に蒸着工程に利用されるのが一般的である。

【0004】

一方、ファインメタルマスクの引張時、ファインメタルマスクに加えられる引張力によって引張られる前のファインメタルマスクの厚さに比べて、引張られた後のファインメタルマスクの全体領域で厚さが減少する。これにより、ファインメタルマスクとマスクフレームとの間の引張溶接工程、蒸着工程、蒸着工程進行後の洗浄工程進行時に、ファインメタルマスクの厚さの減少による耐久性の減少でファインメタルマスクが損傷したり破損したりする問題が発生することがある。特に、このような問題は、ファインメタルマスクが次第に大面積化されるにつれ、引張力の増加要求によってさらに重く憂慮されている。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

本発明は、引張られた状態でフレームに結合される過程で厚さが減少しないようにしたマスクを提供する。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一実施形態にかかるマスクは、板状となり、開口部が形成された板状の本体部と、前記本体部から第１方向に突出するように形成され、第２方向に沿って延長形成される少なくとも１つの第１屈曲部を含む変形部とを含む。

【0007】

本発明の一実施形態では、前記少なくとも１つの第１屈曲部は、複数の第１屈曲部のうちの１つであり、前記複数の第１屈曲部は、互いに一定間隔で離隔するように形成され、前記複数の第１屈曲部それぞれの間に前記開口部が位置する。

【0008】

本発明の一実施形態では、前記少なくとも１つの第１屈曲部は、前記本体部の１つ以上の特定領域に形成される。

【0009】

本発明の一実施形態では、前記１つ以上の特定領域は、前記本体部の中央領域に形成される。

【0010】

本発明の一実施形態では、前記１つ以上の特定領域は、前記本体部の１つ以上の角に隣接して形成される。

【0011】

本発明の一実施形態では、前記第１屈曲部の垂直断面の形状は、半円形、半楕円形および多角形の中から選択されたいずれか１つである。

【0012】

本発明の一実施形態では、前記変形部は、前記本体部から前記第１方向に突出するように形成され、前記第２方向と直交する第３方向に延長形成された少なくとも１つの第２屈曲部をさらに含む。

【0013】

本発明の一実施形態では、前記少なくとも１つの第２屈曲部は、複数の第２屈曲部のうちの１つであり、前記複数の第２屈曲部は、互いに一定間隔で離隔するように形成され、前記複数の第２屈曲部それぞれの間に前記開口部が位置する。

【0014】

本発明の一実施形態では、前記複数の第２屈曲部は、前記本体部の１つ以上の特定領域に形成される。

【0015】

本発明の一実施形態では、前記１つ以上の特定領域は、前記本体部の中央領域に形成される。

【0016】

本発明の一実施形態では、前記１つ以上の特定領域は、前記本体部の１つ以上の角に隣接して形成される。

【0017】

本発明の一実施形態では、前記第２屈曲部の垂直断面の形状は、半円形、半楕円形および多角形の中から選択されたいずれか１つである。

【0018】

本発明の一実施形態では、前記第１方向は、前記本体部を基準として上方または下方に延長される。

【0019】

本発明の一実施形態では、前記変形部は、少なくとも２つの第１屈曲部を含み、前記２つの第１屈曲部のうちの少なくとも１つは、前記第１方向に突出し、前記２つの第１屈曲部のうちの少なくとも他の１つは、前記第１方向と反対方向に突出する。

【0020】

本発明の一実施形態では、前記変形部は、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｆｅ、Ｓｎ、ＴｉおよびＡｌのうちのいずれか１つ以上の金属を含む。

【0021】

本発明の一実施形態では、前記変形部は、ポリマー（ｐｏｌｙｍｅｒ）からなる。

【0022】

本発明の一実施形態では、前記変形部は、前記本体部と同一または異なる素材からなる。

【0023】

本発明の一実施形態では、前記本体部の厚さは一定に維持され、前記本体の異なる寸法のうちの少なくとも１つは増加するように、前記変形部が前記本体部に加えられる引張力によって展開されながら変形する。

【発明の効果】

【0024】

本発明の一実施形態にかかるマスクは、引張られる過程で変形部が展開されながら全体的な形状のみが変形し、厚さは減少せずに維持される。このように、マスク全体の厚さが初期の厚さをほぼそのまま維持することによって、全体的な耐久性が増大し、前記引張溶接工程、蒸着工程および洗浄工程などでマスクの耐久性問題による損傷または破損を防止することができる。

【0025】

そして、本発明にかかるマスクの耐久性の増大によって、生産工程での使用時間が増加する。そして、これによって追加的なマスク製作量を減少させることができ、有機発光表示装置の生産原価の節減に寄与することができる。

【0026】

また、本発明にかかるマスクの引張溶接時、外部から高い引張力が印加される場合にも、外力に対して抵抗性を有するようになる。これによって、大面積の有機発光表示装置を製造するためにマスクの大きさをさらに増加させても、マスクの形状が安定的に維持され、蒸着工程での信頼性が維持できる。

【図面の簡単な説明】

【0027】

【図1】本発明の第１実施形態にかかるマスクを示す斜視図である。

【図2】図１に示された本発明の第１実施形態にかかるマスクにおいて開口部の変形例を示す斜視図である。

【図3】（Ａ）は、図２に示された本発明の第２実施形態にかかるマスクにおけるＡ−Ａ’ライン断面図であり、（Ｂ）ないし（Ｅ）は、変形部の多様な垂直断面の形状を示す断面図である。

【図4】図２に示された本発明の第２実施形態にかかるマスクにおいて変形部の変形例による多様な断面の形状を示す断面図である。

【図5】本発明の第２実施形態にかかるマスクを示す斜視図である。

【図6A】本発明の第３実施形態にかかるマスクを示す斜視図である。

【図6B】図６Ａに示された本発明の第３実施形態にかかるマスクにおけるＢ−Ｂ’ライン断面図である。

【図6C】図６Ａに示された本発明の第３実施形態にかかるマスクにおけるＣ−Ｃ’ライン断面図である。

【図7A】本発明の第４実施形態にかかるマスクを示す平面図である。

【図7B】図７Ａに示された本発明の第４実施形態にかかるマスクにおけるＤ−Ｄ’ライン断面図である。

【図8A】本発明の第５実施形態にかかるマスクを示す平面図である。

【図8B】図８Ａに示された本発明の第５実施形態にかかるマスクにおけるＥ−Ｅ’ライン断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0028】

以下、添付した図面を参考にして、本発明の実施形態について、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者が容易に実施できるように詳細に説明する。本発明は、様々な異なる形態で実現可能であり、ここで説明する実施形態に限定されない。

【0029】

また、様々な実施形態において、同一の構成を有する構成要素については、同一の符号を用いて代表的な第１実施形態でのみ説明し、それ以外の他の実施形態では、第１実施形態と異なる構成についてのみ説明する。

【0030】

本発明を明確に説明するために説明上不必要な部分は省略し、明細書全体にわたって同一または類似の構成要素については、同一の参照符号を付す。

【0031】

明細書全体において、ある部分が他の部分に「連結」されているとする時、これは、「直接的に連結」されている場合のみならず、その中間に別の素子を挟んで「電気的に連結」されている場合も含む。また、ある部分がある構成要素を「含む」とする時、これは、特に反対となる記載がない限り、他の構成要素を除くのではなく、他の構成要素をさらに包含できることを意味する。

【0032】

図１は、本発明の第１実施形態にかかるマスクを示す斜視図である。

【0033】

図１を参照すれば、本発明の第１実施形態にかかるマスク１００は、本体部１１０と、変形部１２０とを含む。

【0034】

本体部１１０は、板状となり、複数の開口部１１１ａが形成される。このような本体部１１０は、剛性に優れた金属からなることが好ましい。これは、本体部１１０が、図示しないマスクフレームに溶接によって結合される場合、溶接による変形を最少化することができる。それだけでなく、本体部１１０の自重によって変形するのを防止することができる。例えば、本体部１１０は、クロム（Ｃｒ）、銅（Ｃｕ）、ニッケル（Ｎｉ）、マグネシウム（Ｍｇ）、鉄（Ｆｅ）、スズ（Ｓｎ）、チタン（Ｔｉ）、アルミニウム（Ａｌ）またはステンレススチール（ＳＵＳ）からなるとよい。あるいは、本体部１１０は、前記物質が１つ以上混合された混合物からなるか、前記物質からなる複数の層（ｌａｙｅｒ）からなるとよい。

【0035】

そして、開口部１１１ａは、ディスプレイ装置の製造に用いられる基板に形成される１つの画素に対応する大きさになるものである。一般的な有機発光表示装置は、グリーン画素、ブルー画素、およびレッド画素の３つの画素が１つのグループをなして色を表現できるが、開口部１１１ａは、各画素１つに対応する大きさである。

【0036】

ここで、有機発光表示装置は、グリーン画素、ブルー画素、およびレッド画素の３つの画素が１つのグループをなして色を表現すると記載したが、これは説明の便宜のために仮定したものに過ぎず、設計によってはグループに白色発光画素を追加することも可能である。

【0037】

そして、図２に示されているように、開口部１１１ｂは、本体部１１０にパターン化されて形成できる。このようなパターン化された開口部１１１ｂは、電鋳（Ｅｌｅｃｔｒｏ ｆｏｒｍｉｎｇ）法によって微細なパターニングと、表面平滑性を得るように形成できる。そして、開口部１１１ｂは、エッチング法や、レーザ加工などによって製造できる。開口部１１１ｂがエッチング法によって製造される場合、フォトレジストを利用して開口部１１１ｂと同一のパターンを有するレジスト層を薄板に形成するか、パターンを有するフィルムを薄板に付着した後、薄板をエッチングする方法によって形成できる。

【0038】

変形部１２０は、複数の第１屈曲部１２１を含む。第１屈曲部１２１は、本体部１１０から第１方向に突出するように形成され、本体部１１０を横切る第２方向に沿って形成される。

【0039】

より詳細に説明すれば、第１屈曲部１２１は、１つまたは複数からなるとよい。変形部１２０が複数の第１屈曲部１２１からなる場合、複数の第１屈曲部１２１は、第１間隔Ｐ１で離隔するように形成できる。この時、第１屈曲部１２１それぞれの断面が同一であると見られるが、１つ以上の第１屈曲部１２１は、互いに異なる断面を有することができる。

【0040】

そして、複数の第１屈曲部１２１それぞれの間に開口部１１１ａ、１１１ｂが位置できる。図１および図２を参照すれば、開口部１１１ａ、１１１ｂは、第２間隔Ｐ２で離隔するように形成できる。図２を参照すれば、パターンをなす開口部１１１ｂそれぞれは、第３間隔Ｐ３で離隔するように形成できる。

【0041】

つまり、第１屈曲部１２１は、本体部１１０で開口部１１１ａが形成されない部分に形成できる。例えば、開口部１１１ａが本体部１１０を横切るライン形状に形成された場合、第１屈曲部１２１は、いずれか１つの開口部１１１ａと、これに隣接した他の開口部１１１ａとの間に形成できる。これとは異なって、開口部１１１ａがパターンをなすように形成された場合、本体部１１０で開口部１１１ａの間ごとに第１屈曲部１２１が形成できる。

【0042】

そして、図１および図２で第１屈曲部１２１が本体部１１０全体にわたって形成されたものとして示したが、これに限定されず、第１屈曲部１２１は、本体部１１０の特定領域に形成されることも可能である。

【0043】

例えば、図示しないが、第１屈曲部１２１が本体部１１０の中央領域にのみ形成できる。これとは異なって、第１屈曲部１２１が本体部１１０のいずれか１つの角に隣接した領域にのみ形成できる。

【0044】

このような構造からなる変形部１２０は、本体部１１０と同一の素材からなるとよい。

【0045】

これとは異なって、変形部１２０は、本体部１１０と異なる素材からなるとよい。変形部１２０の素材の一例として、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｆｅ、Ｓｎ、ＴｉおよびＡｌのうちのいずれか１つ以上の金属を含むことができる。また、変形部１２０は、ポリマー（ｐｏｌｙｍｅｒ）からなるとよい。ポリマーは、１種類または複数種類の構成単位が互いに多数の化学結合で重合されて連結されている分子からなる化合物である。

【0046】

図３（Ａ）は、図２に示された本発明の第２実施形態にかかるマスクにおけるＡ−Ａ’ライン断面図であり、（Ｂ）ないし（Ｅ）は、変形部の多様な垂直断面の形状を示す断面図である。

【0047】

図３を参照すれば、変形部１２０の垂直断面の形状は、半円形、半楕円形および多角形であり得る。例えば、図３に示されているように、（Ａ）半円形、（Ｂ）半楕円形、（Ｄ）三角形および（Ｅ）台形などになるとよい。そして、（Ｃ）に示されているように、変形部１２０で本体部１１０に隣接した部分は曲線からなり、上面は平面からなることも可能である。

【0048】

図３（Ａ）ないし図３（Ｅ）に示されているように、多様な第１屈曲部１２１はそれぞれ、第１方向に突出形成できる。

【0049】

図４に示されているように、変形部１２０は、本体部１１０を基準として上方または下方に突出して形成できる。そして、変形部１２０は、上方に突出したものと、下方に突出したものとが交互になるように形成されることも可能である。

【0050】

より詳細に説明すれば、いずれか１つの第１屈曲部１２１ａは上方に突出し、このような第１屈曲部１２１ａに隣接して位置する他の第１屈曲部１２１ａ’は下方に突出するように形成できる。

【0051】

図１に戻って、このような構造からなる本発明にかかるマスク１００が、図示しないマスクフレームに結合される前、変形部１２０の形状は、前述のように、本体部１１０に対して突出した形状を維持する。そして、本発明にかかるマスク１００が引張られて、図示しないマスクフレームに結合される過程で、変形部１２０は外力によって次第に展開されながら変形する。

【0052】

最終的に、本発明にかかるマスク１００が、図示しないマスクフレームに結合された状態では、変形部１２０が平らに展開された形状になるとよい。つまり、本発明にかかるマスク１００は、引張られる過程で変形部１２０が展開されながら全体的な形状のみが変形し、厚さは減少せずに維持される。このように、マスク１００全体の厚さが初期の厚さをほぼそのまま維持することによって、全体的な耐久性が増大し、引張溶接工程、蒸着工程および洗浄工程などでマスク１００の耐久性問題による損傷または破損を防止することができる。

【0053】

そして、本発明にかかるマスク１００の耐久性の増大によって、生産工程での使用時間が増加する。そして、これによって追加的なマスク１００製作量を減少させることができ、有機発光表示装置の生産原価の節減に寄与することができる。

【0054】

また、本発明にかかるマスク１００の引張溶接時、外部から高い引張力が印加される場合にも、外力に対して抵抗性を有するようになる。これによって、大面積の有機発光表示装置を製造するためにマスク１００の大きさをさらに増加させても、マスク１００の形状が安定的に維持され、蒸着工程での信頼性が維持できる。

【0055】

図５は、本発明の第２実施形態にかかるマスクを示す斜視図である。

【0056】

図５を参照すれば、本発明の第２実施形態にかかるマスク２００において、変形部２２０は、少なくとも１つの第２屈曲部２２２をさらに含むことができる。

【0057】

第２屈曲部２２２は、本体部１１０から第１方向に突出するように形成され、第２方向と直交する第３方向に本体部１１０を横切るように形成される。

【0058】

図５を参照すれば、第２屈曲部２２２は、１つまたは複数からなるとよい。変形部２２０が複数の第２屈曲部２２２からなる場合、複数の第２屈曲部２２２は、第４間隔Ｐ４で離隔するように形成できる。そして、複数の第２屈曲部２２２それぞれの間に開口部１１０ｂが位置できる。

【0059】

このような構造による本発明の第２実施形態にかかるマスク２００は、前述した本発明の第１実施形態にかかるマスク１００（図１参照）とは異なって、本体部１１０で第２方向および第３方向に沿って変形部２２０が形成されている。そのため、マスク２００が第２方向に引張られる場合にもマスク２００全体の厚さが維持できるだけでなく、第３方向に引張られる場合にもマスク２００全体の厚さが維持できる。

【0060】

そして、図５において、第２屈曲部２２２が本体部１１０全体にわたって形成されるものとして示したが、これに限定されず、第２屈曲部２２２は、本体部１１０の特定領域に形成されることも可能である。

【0061】

例えば、図示しないが、第２屈曲部２２２が本体部１１０の中央領域にのみ形成できる。これとは異なって、第２屈曲部２２２が本体部１１０のいずれか１つの角に隣接した領域にのみ形成されることも可能である。

【0062】

そして、図示しないが、いずれか１つの第２屈曲部２２２は上方に突出し、これに隣接した他の第２屈曲部２２２は下方に突出するように形成されることも可能である。

【0063】

図６Ａは、本発明の第３実施形態にかかるマスクを示す斜視図であり、図６Ｂは、図６Ａに示された本発明の第３実施形態にかかるマスクにおけるＢ−Ｂ’ライン断面図であり、図６Ｃは、図６Ａに示された本発明の第３実施形態にかかるマスク１００におけるＣ−Ｃ’ライン断面図である。

【0064】

図６Ａを参照すれば、本発明の第３実施形態にかかるマスク３００は、本体部１１０と、変形部３２０とを含む。本体部１１０は、前述した第２実施形態にかかるマスク２００（図５参照）に含まれている本体部１１０と同一であるので、これに関する詳細な説明は省略する。

【0065】

変形部３２０は、前述した実施形態にかかるマスク２００（図５参照）に含まれている変形部２２０（図５参照）とは異なって、複数の第３屈曲部３２３からなる。第３屈曲部３２３は、本体部１１０から突出するように形成され、パターン（ｐａｔｔｅｒｎ）をなすように形成される。第３屈曲部３２３の形状の一例として、半球、円錐および多角錐の中から選択されたいずれか１つになるとよい。

【0066】

図６Ａを参照すれば、複数の第３屈曲部３２３がパターンをなすように形成された形状を挙げて説明すれば、第３屈曲部３２３が横に５個位置し、縦に５個位置する。つまり、計２５個の第３屈曲部３２３がパターンをなして本体部１１０に形成される。

【0067】

この時、第３屈曲部３２３それぞれは、第２方向に第７間隔Ｐ７、第３方向に第８間隔Ｐ８で離隔するように形成できる。

【0068】

ここで、第３屈曲部３２３が横に５個配置され、縦に５個配置されたものに限定されず、設計によって第３屈曲部３２３の個数は変更可能である。

【0069】

図６Ａに示された本発明の第３実施形態にかかるマスク３００では、第３屈曲部３２３が本体部１１０の開口部１１１ｂの対角線方向の空き空間に位置できる。これによって、図６Ｂおよび図６Ｃに示されているように、本体部１１０の開口部１１１ｂの横および縦方向の空き空間には第３屈曲部３２３が位置しなくてもよい。そして、第３屈曲部３２３は、互いに横および縦方向に互いに一定間隔をなすように位置できる。

【0070】

そして、図示しないが、このような変形部３２０の一例として、第３屈曲部３２３が本体部１１０全体に形成されず、本体部１１０の特定領域に形成されることも可能である。例えば、第３屈曲部３２３は、本体部１１０の中央領域にのみ形成できる。

【0071】

より詳細には、第３屈曲部３２３が本体部１１０の中央部分に横に３個配置され、縦に３個配置される。これとは異なって、本体部１１０の周縁に隣接した領域に沿って第３屈曲部３２３が形成され、本体部１１０の中央部分には第３屈曲部３２３が形成されなくてもよい。

【0072】

図７Ａは、本発明の第４実施形態にかかるマスクを示す平面図であり、図７Ｂは、図７Ａに示された本発明の第４実施形態にかかるマスクにおけるＤ−Ｄ’ライン断面図である。

【0073】

図７Ａおよび図７Ｂを参照すれば、第４屈曲部４２３は、多角錐になるとよい。前述した第３実施形態にかかるマスク３００（図６Ａ参照）では、第３屈曲部３２３（図６Ａ参照）が半球形となっているが、本発明の第４実施形態にかかるマスク１００では、第４屈曲部４２３が多角錐になるとよい。例えば、図７Ａに示されているように、第４屈曲部４２３は、多角錐の中でも四角錐になるとよい。そして、図示しないが、第４屈曲部４２３が四角錐、五角錐などとなり得ることは自明である。

【0074】

図８Ａは、本発明の第５実施形態にかかるマスクを示す平面図であり、図８Ｂは、図８Ａに示された本発明の第５実施形態にかかるマスクにおけるＥ−Ｅ’ライン断面図である。

【0075】

図８Ａおよび図８Ｂを参照すれば、本発明の第５実施形態にかかるマスク５００において、変形部５２０を構成する第５屈曲部５２３は、図面に示された形状にパターンをなすことができる。本発明の一実施形態によれば、第５屈曲部５２３の一部は、第２方向に第７間隔Ｐ７、第３方向に第８間隔Ｐ８で離隔するように形成できる。一方、第５屈曲部５２３の他の一部は、第２方向に第９間隔Ｐ９、第３方向に第１０間隔Ｐ１０で離隔するように形成できる。より詳細に説明すれば、変形部５２０の形状は、１つの開口部１１１ｂを中心として、上下左右それぞれに第５屈曲部５２３が位置するものであり得る。

【0076】

このような構造からなる本発明の第５実施形態にかかるマスク５００の引張時、本体部１１０に加えられる引張力によって変形部５２０が展開されながら変形し、引張される前のマスク５００の厚さに比べて、引張された後のマスク５００の厚さがほぼ同一に維持できる。

【0077】

以上、本発明の様々な実施形態について説明したが、これまで参照した図面と記載された発明の詳細な説明は単に本発明の例示的なものであり、これは、単に本発明を説明するための目的で使用されたものであって、意味の限定や特許請求の範囲に記載された本発明の範囲を制限するために使用されたものではない。したがって、本技術分野における通常の知識を有する者であれば、これより多様な変形および均等な他の実施形態が可能である点を理解することができる。したがって、本発明の真の技術的保護範囲は、添付した特許請求の範囲の技術的思想によって定められなければならない。

【符号の説明】

【0078】

１００、２００、３００、４００、５００：マスク
１１０：本体部
１１１ａ、１１１ｂ：開口部
１２０、２２０、３２０、４２０、５２０：変形部
１２１：第１屈曲部
２２２：第２屈曲部
３２３：第３屈曲部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6A】

【図6B】

【図6C】

【図7A】

【図7B】

【図8A】

【図8B】