特許 6286277 流体動圧軸受、モータ、光偏向器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6286277

(24)【登録日】2018年2月9日

(45)【発行日】2018年2月28日

(54)【発明の名称】流体動圧軸受、モータ、光偏向器

(51)【国際特許分類】

   F16C 17/02 20060101AFI20180215BHJP

   H02K 7/08 20060101ALI20180215BHJP

   H02K 5/16 20060101ALI20180215BHJP

【ＦＩ】

   F16C17/02 A

   H02K7/08 A

   H02K5/16 Z

【請求項の数】5

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2014-98683(P2014-98683)

(22)【出願日】2014年5月12日

(65)【公開番号】特開2015-215054(P2015-215054A)

(43)【公開日】2015年12月3日

【審査請求日】2017年4月4日

(73)【特許権者】

【識別番号】000105659

【氏名又は名称】日本電産コパル電子株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001737

【氏名又は名称】特許業務法人スズエ国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】菊地 隆浩

(72)【発明者】

【氏名】比知屋 猛

(72)【発明者】

【氏名】内田 俊哉

【審査官】 瀬川 裕

(56)【参考文献】

【文献】 実開平０５−０６４８１９（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開２００７−１４４５４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実公昭６１−０１８４９０（ＪＰ，Ｙ２）

【文献】 特開平０２−１４３２２２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００２−０１７０６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−０４５５９２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｆ１６Ｃ １７／０２

Ｈ０２Ｋ ５／１６

Ｈ０２Ｋ ７／０８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

固定軸と、
前記固定軸の回りに回転可能に設けられたスリーブと、
前記固定軸及び前記スリーブのうち少なくとも一方に設けられた動圧発生部と、
前記固定軸の一端側を固定する固定ケースと、
を備える流体動圧軸受において、
前記固定ケースにより固定された前記固定軸の他端側を保持するチャックを有し、前記固定軸の軸中心を移動させる力を発生させない状態で前記固定ケースに固定可能な保持ケース
を備え、
前記保持ケースは、
前記固定軸の他端側を保持するチャックを設けた保持部と、
前記保持部が自由な状態で、前記保持部が取り付けられたケース本体と、
を備えることを特徴とする流体動圧軸受。

【請求項2】

前記保持部と前記ケース本体とを、前記保持部が自由な状態でねじ締結する締結部を備えること、
を特徴とする請求項１に記載の流体動圧軸受。

【請求項3】

前記チャックは、弾性変形により前記固定軸に当接することにより、前記固定軸を保持する変形保持部を備えること、
を特徴とする請求項１又は請求項２に記載の流体動圧軸受。

【請求項4】

請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の流体動圧軸受を備えるモータ。

【請求項5】

請求項４に記載のモータを備える光偏向器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、固定軸を備える流体動圧軸受、モータ、光偏向器に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来、固定軸の両端を、ケース等に固定する空気動圧軸受があった（例えば特許文献１〜４）。
しかし、固定軸の取り付け時に固定軸の一端を固定した状態で、固定軸の他端側の位置は、決まってしまう。このため、この他端側の位置と、ケース等による他端側の取り付け位置とのずれが大きい場合には、固定軸に無理な力が加わり、固定軸の軸偏心が生じることにより、流体動圧軸受の性能が劣化したり、寿命が短くなるという問題があった。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特許第３０８４６００号公報

【特許文献2】特許第２６４５７７３号公報

【特許文献3】実開平１−９００２２号公報

【特許文献4】特開昭５９−１７０１９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本発明の課題は、固定軸の軸偏心を小さくして、固定可能な流体動圧軸受、モータ、光偏向器を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本発明は、以下のような解決手段により、課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。また、符号を付して説明した構成は、適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替してもよい。

【0006】

・第１の発明は、固定軸（１１）と、前記固定軸の回りに回転可能に設けられたスリーブ（２０）と、前記固定軸及び前記スリーブのうち少なくとも一方に設けられた動圧発生部（２２，２３）と、前記固定軸の一端側（１１ａ）を固定する固定ケース（３０，３３０）と、を備える流体動圧軸受において、前記固定ケースにより固定された前記固定軸の他端側（１１ｂ）を保持するチャック（５２）を有し、前記固定軸の軸中心を移動させる力を発生させない状態で前記固定ケースに固定可能な保持ケース（４０，２４０，３４０）を備えることを特徴とする流体動圧軸受であり、前記保持ケース（４０，２４０）は、前記固定軸（１１）の他端側（１１ｂ）を保持するチャック（５２）を設けた保持部（５０，２５０）と、前記保持部が自由な状態で、前記保持部が取り付けられたケース本体（４１，２４１）とを備えること、を特徴とする流体動圧軸受である。
・第２の発明は、前記保持部（５０）と前記ケース本体（４１）とを、前記保持部が自由な状態でねじ締結する締結部（４１ａ，４３，５１）を備えること、を特徴とする第１の発明の流体動圧軸受である。
・第３の発明は、前記チャック（５２）は、弾性変形により前記固定軸（１１）に当接することにより、前記固定軸を保持する変形保持部（５３ａ）を備えること、を特徴とする第１又は第２の発明の流体動圧軸受である。
・第４の発明は、第１乃至第３のいずれかの発明の流体動圧軸受（１０，２１０，３１０）を備えるモータ（５，２０５，３０５）である。
・第５の発明は、第４の発明のモータ（５，２０５，３０５）を備える光偏向器（１，２０１，３０１）である。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、固定軸の軸偏心を小さくしして、固定可能な流体動圧軸受、モータ、光偏向器を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】第１実施形態の光偏向器１の断面図である。

【図2】第１実施形態の光偏向器１の製造方法を説明する図である。

【図3】第１実施形態の光偏向器１の製造方法を説明する図である。

【図4】第１実施形態の光偏向器１の製造方法を説明する図である。

【図5】比較例（従来例）の光偏向器の断面図である。

【図6】比較例（従来例）の光偏向器における固定軸の上下の取付部の構成を説明する断面の模式図である。

【図7】第１実施形態の光偏向器１と、比較例とにおいて、回転数に応じて発生する振動を測定した測定結果を示す表である。

【図8】第２実施形態の光偏向器２０１の断面図である。

【図9】第３実施形態の光偏向器３０１の断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0009】

（第１実施形態）
以下、図面等を参照して、本発明の第１実施形態について説明する。
図１は、第１実施形態の光偏向器１の断面図である。
図１（Ａ）は、光偏向器１の全体の断面図である。
図１（Ｂ）は、スリーブ２０単体のＢ部拡大図である。
図１（Ｃ）は、スリーブ２０、固定軸１１のＢ部拡大図である。
なお、実施形態及び図面では、便宜上、図１に示す状態を基準にして、左右方向Ｘ、奥行方向Ｙ、上下方向Ｚとして説明する。
光偏向器１は、ポリゴンミラー２を高速で回転させることにより、光ビームを任意の位置に偏向させる装置である。実施形態の定格回転数は、例えば６００００（ｒ／ｍｉｎ）以上である。

【0010】

モータ５は、ロータ６、流体動圧軸受としての軸受１０を備える。
モータ５は、ステータ３２ａのコイルによって発せられる磁界と、ロータ６の永久磁石６ａによって、ロータ６が固定軸１１の回りを回転する直流電動機である。また、下ケース３０に設けられた永久磁石３２ｂと、ロータ６の鉄製の筒部６ｂとは、永久磁石３２ｂの引き寄せる力が筒部６ｂに働くことにより、ロータ６のスラスト方向（回転軸の軸方向）の位置を維持するスラスト軸受になっている。ロータ６の最外周には、ポリゴンミラー２が固定されている。

【0011】

軸受１０は、固定軸１１、スリーブ２０、固定ケースとしての下ケース３０、保持ケースとしての上ケース４０を備える。
固定軸１１は、下ケース３０、上ケース４０内に上下方向Ｚに延在するように、下ケース３０、上ケース４０に収容される。

【0012】

スリーブ２０は、円筒状の部材である。スリーブ２０は、固定軸１１の回りに回転可能に設けられている。スリーブ２０の外周には、モータ５のロータ６が固定されている。このため、スリーブ２０、ロータ６は、固定軸１１の軸中心回りに、一体で回転する。スリーブ２０の内周面と、固定軸１１の内周面の設計上の隙間２０ａの長さＬ１（図１（Ｃ）参照）は、例えば、固定軸１１の直径が１０ｍｍ程度で、片側数μｍ程度である。なお、隙間のギャップは、固定軸１１の長さとは直接的な関係にはなく、流体軸受の種類等により適宜決定されるものである。

【0013】

スリーブ２０の内周面は、中央部２１、動圧発生部２２，２３を備える。
中央部２１は、スリーブ２０の内周面の中央の範囲の部分である。
動圧発生部２２，２３は、スリーブ２０の内周面の下側Ｚ１及び上側Ｚ２の部分である。
動圧発生部２２は、らせん状に設けられた溝２２ａ（図１（Ｂ）、図１（Ｃ）参照）を備える。同様に、動圧発生部２３は、溝２２ａとは向きの異なるらせん状の溝を備える。
モータ駆動時にはロータ６及びスリーブ２０が一体で回転することにより、動圧発生部２２，２３は、空気を、中央部２１及び固定軸１１の隙間２０ａに流入させる（図１（Ｃ）に示す矢印Ａ１参照）。これにより、隙間２０ａ内の気圧が高圧になり、スリーブ２０の内周面と、固定軸１１とが安定して離間した状態が維持される。これにより、軸受１０は、ラジアル方向（回転軸に直交する方向）の軸受として機能する。

【0014】

下ケース３０、上ケース４０は、固定軸１１を固定、保持するとともに、ロータ６を回転可能に収容する。下ケース３０は、軸受１０の下側Ｚ１のケース部材であり、上ケース４０は、軸受１０の上側Ｚ２のケース部材である。なお、下ケース３０、上ケース４０は、光偏向器１、モータ５のケース部材としても機能する部材である。
下ケース３０、上ケース４０の内部空間３０ａは、シール部材等（図示せず）によって密閉されている。内部空間３０ａは、駆動時には、内部空間３０ａの空気が上記隙間２０ａに流入し、ロータ６の保持に必要な動圧を発生させるとともに、不要な内部空間３０ａの空気は図示しない排出口よりモータ５の外部へと排出することにより、内部空間３０ａは、ほぼ真空の状態になる。なお、ほぼ真空な状態でも、動圧発生部２２，２３は、ロータ６の保持に必要な動圧を発生し続けることができる。
なお、本実施形態では、内部空間３０ａを真空化するポンプ機構（図示せず）と軸受１０とを一体的に設けているが、ポンプ機構は、軸受１０とは別に設けてもよい。
また、内部空間３０ａは、必ずしも真空化しなくてもよい。

【0015】

下ケース３０は、基台３１と、基台３１にねじ止めされた枠部３２とを備える。
基台３１及び枠部３２間には、モータ５を制御するための電気基板３３が固定されている。なお、基台３１、枠部３２は、一体の構成であってもよい。

【0016】

基台３１は、軸受１０の基礎となる部材である。基台３１の形状は、円盤状である。
基台３１は、圧入孔３１ａを備える。
圧入孔３１ａは、上下方向Ｚに貫通する貫通孔である。圧入孔３１ａは、固定軸１１の一端側である下端１１ａが圧入される。これにより、下ケース３０は、固定軸１１の下端１１ａを固定する。
枠部３２は、基台３１の上面にねじで固定された枠体である。枠部３２には、上記ステータ３２ａ、スラスト軸受の永久磁石３２ｂが固定されている。

【0017】

上ケース４０は、ケース本体としての上ケース本体４１、保持部としてのトップカバー５０、ねじ６０を備える。
上ケース本体４１は、下ケース３０の枠部３２に対してねじ４３で取り付けられた枠体である。
上ケース本体４１は、ねじ穴４１ａ、窓４１ｂを備える。
ねじ穴４１ａは、トップカバー５０を取り付けるために、上ケース本体４１の上面に、４つ設けられている。
窓４１ｂは、偏向させた光を通過させる貫通孔である。窓４１ｂには、透明なガラス４２が設けられている。

【0018】

トップカバー５０は、上ケース本体４１の上部開口を塞ぐように取り付けられるカバー部材である。
トップカバー５０は、孔５１、チャック５２を備える。
孔５１は、ねじ６０のねじ部を挿通する貫通孔である。孔５１は、上ケース本体４１のねじ穴４１ａに対応した位置に、４つ配置されている。後述するように、孔５１の直径は、固定軸１１の取り付け時の偏心を吸収できる程度の大きさである。つまり、孔５１の直径は、ねじ６０のねじ部の直径よりも十分に大きい。
なお、前述した上ケース本体４１のねじ穴４１ａ、トップカバー５０の孔５１と、ねじ６０とは、トップカバー５０と上ケース本体４１とを締結する締結部を構成する。

【0019】

チャック５２は、固定軸１１の他端側である上端１１ｂを、トップカバー５０に保持する部分である。チャック５２は、コレットチャックのような形状である。チャック５２の筒部５３は、基部に近づくに従って径が大きくなるテーパおねじ（図１（Ａ）参照）、及び筒部５３に対して上下方向Ｚに入れた例えば４つの切り込み５３ｂ（図３参照）を備える。ナット５５は、その内径が徐々に狭まるようなテーパめねじになっており、筒部５３がこのナット５５で締め付けられることにより、筒部５３の変形保持部としての４つの片部５３ａ（図３参照）が、弾性変形により固定軸１１の上端１１ｂに当接して締め付ける。これにより、チャック５２は、固定軸１１をリジットに保持する。
上ケース本体４１及びトップカバー５０は、一体の部品ではなく、異なる部品で構成されている。このため、チャック５２のおねじ等の加工等は、トップカバー５０に対してのみ行えばよいので容易である。
なお、内部空間３０ａの密閉の度合を向上するために、トップカバー５０及び固定軸１１の間、トップカバー５０及び上ケース本体４１の間は、それぞれＯリング等によって密閉してもよい。

【0020】

（製造方法）
図２〜図４は、第１実施形態の光偏向器１の製造方法を説明する図である。
図２は、上ケース本体４１を取り付けるまでを説明する断面図である。
図３は、トップカバー５０の取り付けを説明する斜視図である。
図４は、固定軸１１の上端１１ｂを固定する状態を説明する断面図である。
作業者は、以下のように光偏向器１を製造できる。
なお、前提として、モータ５は、下ケース３０が図２の状態まで組み立てられているものとする。

【0021】

（♯１）固定軸１１の下端１１ａの固定工程
図２に示すように、固定軸１１を下ケース３０の基台３１の圧入孔３１ａに圧入する。これにより、固定軸１１の下端１１ａが下ケース３０に、リジットに固定される。
（♯２）ロータ取り付け工程
ロータ６が一体となったスリーブ２０を固定軸１１に挿入する。
（♯３）本体ケース取り付け工程
下ケース３０と、上ケース４０の上ケース本体４１とを、ねじ４３でねじ止めする。

【0022】

（♯４）チャック挿入付け工程
図３（Ａ）、図３（Ｂ）に示すように、トップカバー５０のチャック５２を固定軸１１の上端１１ｂに挿入し、チャック５２の下面と上ケース本体４１の上面とを当接させる。

【0023】

（♯５）チャック締め付け工程
図３（Ｂ）、図３（Ｃ）に示すように、チャック５２の下面と上ケース本体４１の上面とを当接させた状態で、ナット５５で締め付ける。これにより、チャック５２の各片部５３ａが、弾性変形により固定軸１１に当接することにより、固定軸１１を保持する。

【0024】

（♯７）トップカバー固定工程
図３（Ｃ）、図４に示すように、トップカバー５０の孔５１にねじ６０を挿入してから、トップカバー５０及び上ケース本体４１を、ねじ６０でねじ締結する。前述した通り、トップカバー５０の孔５１は、十分に大きい。このため、固定軸１１が下ケース３０の圧入孔３１ａに傾いて固定されている状態でも（傾き方向θ参照）、固定軸１１の上端１１ｂは、この傾いた状態で保持される。
図４に示すように、締結部（ねじ穴４１ａ、孔５１、ねじ６０）は、トップカバー５０及び固定軸１１の上端１１ｂが傾き方向θにおいて自由な状態で、つまり、トップカバー５０及び固定軸１１の上端１１ｂに対して傾き方向θに無理な力をかけない状態で、トップカバー５０と上ケース本体４１とを、ねじ締結する。このため、上ケース４０は、固定軸１１の軸中心を移動させる力を発生させない状態で下ケース３０に、リジットに固定することができる。

【0025】

これにより、固定軸１１は、下ケース３０に対して傾いて固定されていたとしても、この傾いた状態で上端１１ｂが保持される。このため、固定軸１１は、軸偏心（軸振れ）することなく、両端を下ケース３０、上ケース４０に固定される。
このように、光偏向器１は、固定軸１１の上端１１ｂを、トップカバー５０のチャック５２で固定し、その後、トップカバー５０及び上ケース本体４１をねじ締結する。これにより、光偏向器１は、固定軸１１を軸偏心させることなく、固定軸１１をリジット（強固）に固定できる。

【0026】

（比較例の固定軸４１１の取り付け構造）
比較例を参照して、固定軸の軸偏心について説明する。
図５、図６は、比較例として、従来の光偏向器を説明する断面図である。
図６は、従来例の固定軸４１１の上下の取付部のみを表わした断面の模式図である。
図５に示すような従来技術においては、本発明の実施形態とは異なり、固定軸４１１の上端４１１ｂは、上ケース４４０の孔４４１に圧入等により取り付けられる。
ここで、上ケース４４０が下ケース４３０に枠部４３２を介して取り付けられることにより、上ケース４４０の孔４４１と、下ケース４３０の圧入孔４３１ａとの位置関係が決まる。このため、孔４４１（軸心）と圧入孔４３１ａ（軸心）が図６（Ａ）のようにずれたり、図６（Ｂ）のように傾いていると、固定軸４１１に曲げ方向のストレスが与えられる（図６は、説明のためにずれや傾きを大きく表しており、実際は、寸法公差の範囲内の微小量に収まっている）。
低速回転においては、製造可能な寸法公差の範囲内のずれや傾きによって、固定軸４１１に微小な曲がりが生じても、性能を満足することができた。このため、光偏向器４０１の構成で対応することができる。
しかし、高速回転を要求される高精度な流体軸受にあっては、固定軸４１１の曲がりが微小であっても軸受性能に重大な悪影響を与えてしまうことが確認された。

【0027】

上記構成、製造方法により、光偏向器１は、以下の作用・効果を奏する。
（１）固定軸１１及びトップカバー５０を、固着させる構成とは異なり、チャック５２で保持する。また、トップカバー５０及び上ケース本体４１を、ねじ締結する。このため、製造後にこれらを分解できる。これにより、メンテナンス（部品交換、修理等）が容易である。

【0028】

（２）固定軸１１の両端をリジットに固定、保持することにより、共振周波数を高くできる。これにより、高回転で回転しても、共振を抑えることができるので、従来よりも高回転型の軸受１０を提供できる。また、振動に起因する軸受１０へのダメージ、唸りを低減できるので、モータ５の耐久性を向上でき、長寿命である。
（３）固定軸１１に曲げ方向のストレスを与えずに固定軸１１の変形を抑制した状態で、固定軸１１を固定、保持できる。このため、固定軸１１及びスリーブ２０の間を、設計上の隙間２０ａの大きさにして製造できる。これにより、スリーブ２０及び固定軸１１間の擦れ等を抑制できる。
（４）共振周波数を高くできるので、従来よりも固定軸１１の軸を長くすることができる。これにより、設計自由度を向上でき、また、大型の製品にも対応できる。

【0029】

（比較試験）
図７は、第１実施形態の光偏向器１と、比較例とにおいて、回転数に応じて発生する振動を測定した測定結果を示す表である。
比較例は、固定軸の上端側を保持しない片持ちの光偏向器であり、その他の構成は、第１実施形態の光偏向器１と同様である。
実験は、モータが停止している状態から回転数７００００（ｒ／ｍｉｎ）まで回転し、加速度計で光偏向器に発生する加速度を測定した。
図７に示すように、実施形態の光偏向器１は、全範囲において、振動に起因する加速度が２（ｍ／ｓ^２）未満であった。また、実施形態の光偏向器１は、スリーブ２０及び固定軸１１間の擦れ等に起因する異音がなかった。

【0030】

一方、比較例の光偏向器は、約４５０００（ｒ／ｍｉｎ）で共振し、振動に起因する加速度が約９（ｍ／ｓ^２）に上昇した。このため、定格回転数が約４５０００（ｒ／ｍｉｎ）以上のモータの場合には、始動時に回転数が上昇する場合や、停止時に回転数が下降する場合等に、共振点を通過してしまうことになる。このため、比較例は、振動に起因する軸受へのダメージ（スリーブ及び固定軸間の擦れに起因するダメージ等）が大きく、耐久性が低く短寿命になってしまう。

【0031】

この実験によって、実施形態の光偏向器１は、スリーブ２０及び固定軸１１間の隙間２０ａの大きさを、設計の狙い通りに製造できることができ、また、高回転に対応できることが確認できた。

【0032】

以上説明したように、本実施形態の光偏向器１は、固定軸１１の軸偏心を抑制してケースに取り付けることができるので、高回転に対応でき、かつ、耐久性を向上できる。

【0033】

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
なお、以下の説明及び図面において、前述した第１実施形態と同様の機能を果たす部分には、同一の符号又は末尾（下２桁）に同一の符号を適宜付して、重複する説明を適宜省略する。
図８は、第２実施形態の光偏向器２０１の断面図である。
光偏向器２０１、モータ２０５、軸受２１０（流体動圧軸受）は、上ケース２４０の上ケース本体２４１及びトップカバー２５０間を、第１実施形態のようなねじ締結ではなく、接着材２５１で固着する形態である。

【0034】

本実施形態の光偏向器２０１の製造方法は、チャック締め付け工程の後（図３（Ｂ）、図３（Ｃ）参照）の後に、上ケース本体２４１及びトップカバー２５０間を、接着材２５１で固着する（図８に示す♯２０７参照）。
これにより、光偏向器２０１は、第１実施形態と同様に、固定軸１１の軸偏心を抑制して、組み立てられることができる。
また、光偏向器２０１は、部品点数を減らすことができるので、構成を簡単にできる。

【0035】

（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態について説明する。
図９は、第３実施形態の光偏向器３０１の断面図である。
光偏向器３０１、モータ３０５、軸受３１０は、上ケース３４０の上ケース本体及びトップカバーが一体の構成である。上ケース３４０と、下ケース３３０の枠部３３２とは、接着材３４３で固着されている。

【0036】

本実施形態の光偏向器３０１の製造方法は、ロータ取り付け工程（図２に示す工程♯２参照）の後に、本体ケース取り付け工程（図２に示す工程♯３）をすることなく、チャック挿入付け工程（図３に示す工程♯４）以降を行う。
そして、トップカバー固定工程（図３に示す♯７）の後に、上ケース３４０と、下ケース３３０の枠部３３２とを、接着材３４３で固着する（図９に示す♯３０３参照）。

【0037】

これにより、光偏向器３０１は、第１実施形態と同様に、固定軸１１の軸偏心を抑制して、組み立てられることができる。
また、光偏向器３０１は、部品点数を減らすことができるので、構成を簡単にできる。

【0038】

なお、上ケース３４０と、下ケース３３０の枠部３３２とは、接着材３４３による固着ではなく、第１実施形態と同様に、ねじ締結してもよい。この場合には、光偏向器３０１を製造後に容易に分解できるので、メンテナンスが容易である。

【0039】

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は前述した実施形態に限定されるものではなく、例えば、後述する変形形態等のように種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の技術的範囲内である。また、実施形態に記載した効果は、本発明から生じる最も好適な効果を列挙したに過ぎず、本発明による効果は、実施形態に記載したものに限定されない。なお、前述した実施形態及び後述する変形形態は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。

【0040】

（変形形態）
実施形態において、軸受は、流体として空気を用いる例を示したが、これに限定されるものではない。内部空間を真空化しない場合には、流体として、例えばオイル（液体）を用いることもできる。
また、スリーブの内周面に動圧発生部を備えた例を示したが、固定軸の外周に動圧発生部を設けてもよいことはいうまでもない。

【符号の説明】

【0041】

１，２０１，３０１ 光偏向器
２ ポリゴンミラー
５，２０５，３０５ モータ
６ ロータ
１０，２１０，３１０ 軸受
１１ 固定軸
１１ａ 下端
１１ｂ 上端
２０ スリーブ
２２，２３ 動圧発生部
３０，３３０ 下ケース
３１ 基台
３１ａ 圧入孔
３２，３３２ 枠部
４０，２４０，３４０ 上ケース
４１，２４１ 上ケース本体
４１ａ…ねじ穴
４３ ねじ
５０，２５０…トップカバー
５１…孔
５２…チャック
５３…筒部
５３ａ…片部
５５…ナット
２５１，３４３…接着材

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】