特許6287046反射型マスク及び反射型マスクブランク並びにその製造方法

発明の名称　反射型マスク及び反射型マスクブランク並びにその製造方法

出願人　凸版印刷株式会社　（識別番号 3193）

　　　　特許公開件数ランキング 19 位（849件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 29 位（604件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6287046

公報発行日　2018年3月7

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6287046

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