特許第6288285号(P6288285)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6288285ＭＳｉｘ（Ｍは第３〜９族元素から選択される少なくとも一元素。ただし、１／３≦ｘ≦３）含有シリコン材料およびその製造方法
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