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特許6293294金属シリサイドの表面改質方法、表面改質された金属シリサイドを用いた三塩化シランの製造方法及び製造装置
発明の名称 金属シリサイドの表面改質方法、表面改質された金属シリサイドを用いた三塩化シランの製造方法及び製造装置
出願人 コリア リサーチ インスティテュート オブ ケミカル テクノロジー （識別番号 305026873）
特許公開件数ランキング 966 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 956 位（0件）（共同出願を含む）
出願人 ハンファ ケミカル コーポレーション （識別番号 515358285）
特許公開件数ランキング 966 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 956 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6293294
公報発行日 2018年3月14
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6293294
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