特許6295198リソグラフ処理のためのスピンオン炭素組成物

発明の名称　リソグラフ処理のためのスピンオン炭素組成物

出願人　ブルーワー　サイエンス　アイ　エヌ　シー．　（識別番号 500499508）

　　　　特許公開件数ランキング 5080 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 12559 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6295198

公報発行日　2018年3月14

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6295198

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