特許第6296993号(P6296993)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6296993半導体マイクロワイヤあるいはナノワイヤの製造法と、当該マイクロワイヤあるいはナノワイヤを備える半導体構造、および半導体構造の製造法