特許 6297877 シート貼付装置、並びに、シート成形装置およびシート成形方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6297877

(24)【登録日】2018年3月2日

(45)【発行日】2018年3月20日

(54)【発明の名称】シート貼付装置、並びに、シート成形装置およびシート成形方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20180312BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 N

【請求項の数】5

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2014-64288(P2014-64288)

(22)【出願日】2014年3月26日

(65)【公開番号】特開2015-188002(P2015-188002A)

(43)【公開日】2015年10月29日

【審査請求日】2017年1月17日

(73)【特許権者】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000637

【氏名又は名称】特許業務法人樹之下知的財産事務所

(72)【発明者】

【氏名】杉下 芳昭

【審査官】 鈴木 肇

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１１−２３８９６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２００９／０７８１９５（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２００７−１２３４１１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−０６２４３１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１０−２３３４３０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−１２０９０２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７−２１／６８３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

両面接着シートの一方の面を第１被着体の被着面に押圧して貼付する押圧手段と、
前記第１被着体に貼付された両面接着シートの厚みを変更して、当該両面接着シートの他方の面にテーパ面を形成するテーパ面形成手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。

【請求項2】

前記第１被着体に貼付された前記両面接着シートの前記他方の面上にシート材を供給するシート材供給手段を備え、
前記テーパ面形成手段は、前記シート材越しに前記テーパ面を形成することを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。

【請求項3】

前記テーパ面の頂部を第２被着体の被着面に当接させ、前記第１被着体および第２被着体の面形状を維持した状態でそれらを接近させ、前記頂部から前記両面接着シートの外縁に向けて徐々に貼付領域を広げて当該第２被着体を前記第１被着体に積層する積層手段を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート貼付装置。

【請求項4】

一方の面が第１被着体の被着面に貼付された両面接着シートの厚みを変更して、当該両面接着シートの他方の面にテーパ面を形成するテーパ面形成手段を備えていることを特徴とするシート成形装置。

【請求項5】

一方の面が第１被着体の被着面に貼付された両面接着シートの厚みを変更して、当該両面接着シートの他方の面にテーパ面を形成する工程を備えていることを特徴とするシート成形方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シート貼付装置、並びに、シート成形装置およびシート成形方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、半導体製造工程において、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という場合がある）に接着シートを貼付するシート貼付装置が知られている（例えば特許文献１参照）。
この特許文献１に記載のシート貼付装置は、基板保持ピンを突出させ、粘着テープの中央部位を膨らませた後、第１、第２減圧室の圧力を操作することで、第１被着体と粘着テープとの間に気泡が形成されないようにこれらを貼付している。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開平１０−２３３４３０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１に記載されたような従来の装置では、粘着テープの中央部を第１被着体側に近づけるように変形させて貼付するため、例えば、第１被着体と第２被着体とを両面接着シートを介して積層する場合、少なくとも一方の第１被着体を変形させなければならず、第１被着体と第２被着体との両方が例えばウエハのように脆弱な物体の場合、当該ウエハを破損させてしまうという不都合がある。

【0005】

本発明の目的は、両面接着シートを介して第１被着体に第２被着体を積層する場合にでも、当該第２被着体と両面接着シートとの間に気泡が形成されないように、第１被着体に両面接着シートを貼付しておくことができるシート貼付装置、並びに、シート成形装置およびシート成形方法を提供することにある。
また、両面接着シートを介して第１被着体に第２被着体を積層する場合にでも、第１、第２被着体が破損すること抑制できるように、第１被着体に両面接着シートを貼付しておくことができるシート貼付装置、並びに、シート成形装置およびシート成形方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

前記目的を達成するために、本発明のシート貼付装置は、両面接着シートの一方の面を第１被着体の被着面に押圧して貼付する押圧手段と、前記第１被着体に貼付された両面接着シートの厚みを変更して、当該両面接着シートの他方の面にテーパ面を形成するテーパ面形成手段とを備えている、という構成を採用している。

【0007】

この際、本発明のシート貼付装置では、前記第１被着体に貼付された前記両面接着シートの前記他方の面上にシート材を供給するシート材供給手段を備え、前記テーパ面形成手段は、前記シート材越しに前記テーパ面を形成する、ことが好ましい。
また、本発明のシート貼付装置では、前記テーパ面の頂部を第２被着体の被着面に当接させ、前記第１被着体および第２被着体の面形状を維持した状態でそれらを接近させ、前記頂部から前記両面接着シートの外縁に向けて徐々に貼付領域を広げて当該第２被着体を前記第１被着体に積層する積層手段を備えている、ことが好ましい。

【0008】

一方、本発明のシート成形装置は、一方の面が第１被着体の被着面に貼付された両面接着シートの厚みを変更して、当該両面接着シートの他方の面にテーパ面を形成するテーパ面形成手段を備えている、という構成を採用している。

【0009】

また、本発明のシート成形方法は、一方の面が第１被着体の被着面に貼付された両面接着シートの厚みを変更して、当該両面接着シートの他方の面にテーパ面を形成する工程を備えている、という構成を採用している。

【発明の効果】

【0010】

以上のような本発明によれば、両面接着シートの他方の面にテーパ面を形成することができるので、初めにテーパ面の頂部を第２被着体に当接させ、第１被着体および第２被着体の面形状を維持した状態でそれらを接近させるだけで、両面接着シートと第２被着体との間から空気を追い出すようにして貼付することができ、両面接着シートを介して第１被着体に第２被着体を積層する場合にでも、当該第２被着体と両面接着シートとの間に気泡が形成されないように、第１被着体に両面接着シートを貼付しておくことができる。また、両面接着シートを介して第１被着体に第２被着体を積層する場合にでも、第１、第２被着体が破損すること抑制できるように、第１被着体に両面接着シートを貼付しておくことができる。

【0011】

この際、シート材供給手段を備えれば、テーパ面形成手段が両面接着シートに接着することによるテーパ面の形成不良を抑制することができる。
さらに、積層手段を備えれば、第１被着体と第２被着体とを両面接着シートを介して積層する際に、第１、第２被着体と両面接着シートとの間に気泡が形成されることを抑制することができ、また、第１、第２被着体が破損すること抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本発明の第１実施形態に係るシート貼付装置の側面図。

【図2】第１実施形態のシート貼付装置の動作説明図。

【図3】本発明の第２実施形態に係るシート貼付装置の側面図。

【図4】本発明の第３実施形態に係るシート貼付装置の要部の側面図。

【図5】本発明の第４実施形態に係るシート貼付装置の要部の側面図。

【発明を実施するための形態】

【0013】

［第１実施形態］
以下、本発明の第１実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、各実施形態での同様の構成および動作については、詳細な説明を省略する。
また、以下において、基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図１を正規の方向（付した番号が適切な向きとなる方向）から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、前が紙面に直交する手前方向、後が紙面に直交する奥側方向とする。

【0014】

図１において、シート貼付装置１０は、一方の面としての第１接着面ＦＡ１と他方の面としての第２接着面ＦＡ２とを有する両面接着シートＡＳを供給する両面接着シート供給手段２０と、両面接着シートＡＳの第１接着面ＦＡ１を第１被着体ＷＫ１の被着面ＷＡ１に押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ３０と、第１被着体ＷＫ１に貼付された両面接着シートＡＳの厚みを変更して、当該両面接着シートＡＳの第２接着面ＦＡ２にテーパ面ＴＡを形成するテーパ面形成手段４０と、剥離シートＲＬを剥離縁５０Ａで折り返し当該剥離シートＲＬから第１被着体ＷＫ１に貼付された両面接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板５０と、テーパ面ＴＡの頂部ＴＴを第２被着体ＷＫ２の被着面ＷＡ２に当接させ、第１被着体ＷＫ１および第２被着体ＷＫ２の面形状を維持した状態でそれらを接近させ、頂部ＴＴから両面接着シートＡＳの外縁ＥＤに向けて徐々に貼付領域を広げて第２被着体ＷＫ２を第１被着体ＷＫ１に積層する積層手段６０と、第１被着体ＷＫ１を支持する支持手段７０とを備えている。なお、両面接着シートＡＳは、第１、第２接着面ＦＡ１、ＦＡ２が平坦面とされるとともに、第１、第２被着体ＷＫ１、ＷＫ２の平面形状に合わせた平面形状（例えば円形）の接着剤ＡＤ層により構成されている。

【0015】

両面接着シート供給手段２０は、両面接着シートＡＳの第２接着面ＦＡ２が剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ２１と、駆動機器としての回動モータ２２によって駆動する駆動ローラ２３との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ２４と、駆動機器としての回動モータ２５によって駆動し、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ２６とを備えている。

【0016】

テーパ面形成手段４０は、シート成形装置を構成し、駆動機器としてのリニアモータ４１のスライダ４１Ａ、４１Ｂにそれぞれ支持された駆動機器としてのリニアモータ４２、４３と、当該リニアモータ４２、４３のスライダ４２Ａ、４３Ａにそれぞれ支持された第１、第２テーパ形成ローラ４４、４５と、第１、第２テーパ形成ローラ４４、４５にそれぞれ内蔵され、両面接着シートＡＳの変形を促進させる第１、第２変形促進手段４６、４７とを備えている。第１、第２変形促進手段４６、４７としては、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段、ペルチェ素子やヒートパイプの冷却側等の冷却手段、光照射手段、マイクロ波照射手段、紫外線照射手段、赤外線照射手段、マイクロ波照射手段、Ｘ線照射手段、超音波振動装置や偏心モータ等の振動付与装置等、接着剤ＡＤ層の特性によって適宜選択することができ、接着剤ＡＤ層を軟化させたり振動させたりすることで、当該接着剤ＡＤ層が所定形状に変形することを促進させるものである。なお、第１、第２変形促進手段４６、４７は、第１、第２テーパ形成ローラ４４、４５の外部に設けてもよい。

【0017】

積層手段６０は、駆動機器としての直動モータ６３の出力軸６３Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない吸引手段によって第２被着体ＷＫ２を吸着保持可能な押圧面６１を有する押圧プレート６２を備えている。

【0018】

支持手段７０は、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段によって第１第１被着体ＷＫ１を吸着保持可能な支持面７１を有するテーブル７２と、そのスライダ７３Ａでテーブル７２を支持するリニアモータ７３とを備えている。

【0019】

以上のシート貼付装置１０の動作を説明する。
先ず、作業者が原反ＲＳを図１に示すようにセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して運転開始の信号を入力すると、両面接着シート供給手段２０が回動モータ２２、２５を駆動し、両面接着シートＡＳを繰り出す。そして、両面接着シートＡＳの繰出方向先端部が図１中実線で示す押圧ローラ３０の近傍所定位置に到達したことを光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段が検知すると、両面接着シート供給手段２０が回動モータ２２、２５の駆動を停止し、スタンバイ状態となる。

【0020】

そして、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が支持面７１上に第１被着体ＷＫ１を配置し、押圧面６１に第２被着体ＷＫ２を配置すると、支持手段７０および積層手段６０が図示しない吸引手段を駆動し、テーブル７２および押圧プレート６２それぞれで第１被着体ＷＫ１および第２被着体ＷＫ２を吸着保持する。その後、支持手段７０がリニアモータ７３を駆動し、テーブル７２を図１実線で示す初期位置から右方向に搬送する。そして、テーブル７２が所定位置に到達したことを図示しない検知手段が検知すると、両面接着シート供給手段２０が回動モータ２２、２５を駆動し、第１被着体ＷＫ１の搬送速度に合わせて両面接着シートＡＳを繰り出し、図１中符号ＡＡを付した二点鎖線で示すように、押圧ローラ３０が両面接着シートＡＳを第１被着体ＷＫ１に押圧して貼付する。次いで、テーブル７２が、図１中符号ＢＢを付した二点鎖線で示す位置に到達したことを図示しない検知手段が検知すると、両面接着シート供給手段２０および支持手段７０が回動モータ２２、２５およびリニアモータ７３の駆動を停止する。

【0021】

次に、テーパ面形成手段４０がリニアモータ４２、４３を駆動し、図１中実線で示す初期位置にある第１、第２テーパ形成ローラ４４、４５を下降させ、図２（Ａ）中実線で示す位置に到達すると、リニアモータ４２、４３の駆動を停止する。次いで、テーパ面形成手段４０が第１変形促進手段４６およびリニアモータ４１を駆動し、第１テーパ形成ローラ４４を右方に移動させ、図２（Ｂ）中二点鎖線で示す位置に到達すると、リニアモータ４２をも駆動し、第１テーパ形成ローラ４４を右斜め上方に移動させる。そして、図２（Ｂ）中実線で示すように、第１テーパ形成ローラ４４が両面接着シートＡＳの中央に到達すると、テーパ面形成手段４０がリニアモータ４１、４２の駆動を停止する。これにより、両面接着シートＡＳの厚みが左側から中央に向かって厚くなるテーパ面ＴＡの一方の面である第１テーパ部ＴＡ１を形成する。次いで、テーパ面形成手段４０がリニアモータ４１、４２を駆動し、第１テーパ形成ローラ４４を初期位置に復帰させる。

【0022】

その後、テーパ面形成手段４０がリニアモータ４１、４３を駆動し、第１テーパ形成ローラ４４を鏡映しにした動作で第２テーパ形成ローラ４５を移動させ、図２（Ｃ）に示すように、両面接着シートＡＳの厚みが右側から中央に向かって厚くなるテーパ面ＴＡの他方の面である第２テーパ部ＴＡ２を形成する。なお、第１、第２テーパ部ＴＡ１、ＴＡ２を形成するとき、第１、第２変形促進手段４６、４７が駆動することで、第２接着面ＦＡ２の変形が促進される。

【0023】

次いで、両面接着シート供給手段２０および支持手段７０が回動モータ２２、２５およびリニアモータ７３を駆動し、テーブル７２を右方向に搬送することで、剥離板５０によって両面接着シートＡＳから剥離シートＲＬが剥離され、当該両面接着シートＡＳから剥離シートＲＬが全て剥離されると、両面接着シート供給手段２０が回動モータ２２、２５の駆動を停止する。そして、テーブル７２が図１中符号ＣＣを付した二点鎖線で示す位置に到達したことを図示しない検知手段が検知すると、支持手段７０がリニアモータ７３の駆動を停止する。

【0024】

次いで、積層手段６０が直動モータ６３を駆動し、図１に示す初期位置にある押圧プレート６２を下降させ、当該押圧プレート６２で第２被着体ＷＫ２を両面接着シートＡＳに押圧して貼付し、第２被着体ＷＫ２を第１被着体ＷＫ１に積層する。このとき、初めにテーパ面ＴＡの頂部ＴＴを第２被着体ＷＫ２の被着面ＷＡ２に当接させ、第１被着体ＷＫ１および第２被着体ＷＫ２の面形状を維持した状態でそれらを接近させる。これにより、両面接着シートＡＳと第２被着体ＷＫ２との間から空気を追い出すようにして貼付することができる。また、両面接着シートＡＳと第２被着体ＷＫ２との間から空気を追い出すように貼付するために、第２被着体ＷＫ２を変形させる必要もない。

【0025】

次に、積層手段６０が図示しない吸引手段の駆動を停止した後、直動モータ６３を駆動し、押圧プレート６２を初期位置に復帰させる。次いで、支持手段７０が図示しない吸引手段の駆動を停止した後、人手または図示しない搬送手段が両面接着シートＡＳを介して積層された第１、第２被着体ＷＫ１、ＷＫ２を次工程に搬送し、リニアモータ７３を駆動し、テーブル７２を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0026】

以上のような第１実施形態によれば、両面接着シートＡＳを介して第１被着体ＷＫ１に第２被着体ＷＫ２を積層する場合にでも、当該第２被着体ＷＫ２と両面接着シートＡＳとの間に気泡が形成されないように、第１被着体ＷＫ１に両面接着シートＡＳを貼付しておくことができる。また、両面接着シートＡＳを介して第１被着体ＷＫ１に第２被着体ＷＫ２を積層する場合にでも、第１、第２被着体ＷＫ１、ＷＫ２が破損すること抑制できるように、第１被着体ＷＫ１に両面接着シートＡＳを貼付しておくことができる。

【0027】

［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
図３において、シート貼付装置１０Ａは、第１実施形態のシート貼付装置１０に対し、両面接着シート供給手段２０および剥離板５０の代わりに両面接着シート供給手段９０およびシート材供給手段１００を設けた点と、押圧ローラ３０の配置位置とが相違する。

【0028】

両面接着シート供給手段９０は、原反ＲＳを支持する支持ローラ９１と、原反ＲＳを案内する複数のガイドローラ９２と、剥離シートＲＬを折り返し当該剥離シートＲＬから両面接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板９３と、駆動機器としての回動モータ９４によって駆動する駆動ローラ９５との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ９６と、図示しない駆動機器によって駆動し、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ９７とを備えている。
押圧ローラ３０は、両面接着シート供給手段９０で供給された両面接着シートＡＳを第１被着体ＷＫ１に貼付可能な位置に設けられている。
シート材供給手段１００は、シート材としての剥離シートＲＬ１を支持する支持ローラ１０１と、一対のガイドローラ１０２、１０３と、駆動機器としての回動モータ１０４によって駆動する駆動ローラ１０５との間に剥離シートＲＬ１を挟み込むピンチローラ１０６と、駆動機器としての回動モータ１０７によって駆動し、剥離シートＲＬ１を回収する回収ローラ１０８とを備えている。

【0029】

以上のシート貼付装置１０Ａの動作を説明する。
先ず、作業者が原反ＲＳおよび剥離シートＲＬ１を図３に示すようにセットした後、図示しない入力手段を介して運転開始の信号を入力すると、両面接着シート供給手段９０が回動モータ９４を駆動し、両面接着シートＡＳを繰り出し、両面接着シートＡＳの繰出方向先端部が剥離板９３で所定量剥離されたことを図示しない検知手段が検知すると、両面接着シート供給手段９０が回動モータ９４の駆動を停止し、スタンバイ状態となる。

【0030】

そして、第１実施形態と同様にしてテーブル７２および押圧プレート６２それぞれで第１被着体ＷＫ１および第２被着体ＷＫ２を吸着保持した後、支持手段７０がリニアモータ７３を駆動し、テーブル７２を右方向に搬送して当該テーブル７２が所定位置に到達すると、両面接着シート供給手段９０が回動モータ９４を駆動し、第１被着体ＷＫ１の搬送速度に合わせて両面接着シートＡＳを繰り出し、図３中符号ＤＤを付した二点鎖線で示すように、押圧ローラ３０で両面接着シートＡＳを第１被着体ＷＫ１に押圧して貼付する。そして、テーブル７２が図３中符号ＥＥを付した二点鎖線で示す位置に到達すると、支持手段７０がリニアモータ７３の駆動を停止する。

【0031】

その後、第１、第２テーパ形成ローラ４４、４５を第１実施形態と同様に移動させ、剥離シートＲＬ１越しに第１、第２テーパ部ＴＡ１、ＴＡ２からなるテーパ面ＴＡを形成する。その後、シート材供給手段１００および支持手段７０が回動モータ１０４、１０７およびリニアモータ７３を駆動し、テーブル７２を右方向に搬送して当該テーブル７２が図３中付号ＦＦを付した二点鎖線で示す位置に到達すると、シート材供給手段１００および支持手段７０が回動モータ１０４、１０７およびリニアモータ７３の駆動を停止し、以後第１実施形態と同様にして、第２被着体ＷＫ２を第１被着体ＷＫ１に積層する。
以上のような第２実施形態でも、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。

【0032】

［第３実施形態］
第３実施形態のシート貼付装置１０Ｂは、図４に示すテーパ面形成手段１１０を備え、このテーパ面形成手段１１０は、駆動機器としての直動モータ１１２の出力軸１１２Ａに支持されるとともに、第２接着面ＦＡ２に第１、第２テーパ部ＴＡ１、ＴＡ２からなるテーパ面ＴＡを形成するテーパ形成面１１１Ａが下面に設けられたプレート１１１と、プレート１１１内に設けられ両面接着シートＡＳの変形を促進させる第１変形促進手段４６と同等の変形促進手段１１３と、剥離シートＲＬを介してテーパ形成面１１１Ａと両面接着シートＡＳとで形成される領域を減圧する減圧手段１１４とを備えている。
テーパ形成面１１１Ａは、第２接着面ＦＡ２に頂部ＴＴおよびテーパ面ＴＡを形成する頂部形成部１１１Ｂおよびテーパ形成部１１１Ｃを備えている。
減圧手段１１４は、頂部形成部１１１Ｂに設けられた孔１１４Ａだけで構成されてもよいし、当該孔１１４Ａを介して強制的に減圧する減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧装置１１４Ｂを含んで構成されてもよい。なお、減圧手段１１４を孔１１４Ａだけで構成する場合、当該孔１１４Ａは、底有りでも底なしでもよい。

【0033】

以上のシート貼付装置１０Ｂの動作は、第１、第２実施形態のテーパ面形成手段４０の代わりにテーパ面形成手段１１０が作動し、プレート１１１を下降させて、剥離シートＲＬ越しにテーパ形成面１１１Ａを両面接着シートＡＳの第２接着面ＦＡ２に押圧し、当該第２接着面ＦＡ２にテーパ面ＴＡを形成する。このとき、テーパ形成面１１１Ａと剥離シートＲＬとの間に形成される領域を減圧手段１１４で減圧してもよい。

【0034】

［第４実施形態］
第４実施形態のシート貼付装置１０Ｃは、図５に示すテーパ面形成手段１２０を備え、このテーパ面形成手段１２０は、剥離縁５０Ａの反対側の端部が駆動機器としての回動モータ１２１の出力軸１２１Ａで支持された剥離板５０によって構成されている。

【0035】

以上のシート貼付装置１０Ｃの動作は、第１、第２実施形態のテーパ面形成手段４０の代わりにテーパ面形成手段１２０が作動し、剥離縁５０Ａの下方を通過する両面接着シートＡＳに対し、当該テーパ面形成手段１２０が回動モータ１２１を駆動し、剥離板５０を揺動させて第２接着面ＦＡ２に第１、第２テーパ部ＴＡ１、ＴＡ２からなるテーパ面ＴＡを形成する。

【0036】

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。

【0037】

例えば、第１実施形態において、図１中二点鎖線で示すように、両面接着シートＡＳの第１接着面ＦＡ１にカバーシートＣＳが仮着されている場合、剥離用テープＰＴを支持する支持ローラ１３１と、剥離用テープＰＴをカバーシートＣＳに貼付して当該カバーシートＣＳを剥離する剥離ローラ１３２と、駆動機器としての回動モータ１３３によって駆動し、剥離用テープＰＴおよびカバーシートＣＳを回収する回収ローラ１３４とを備えたカバーシート剥離手段１３０を設けてもよい。
また、第４実施形態において、図５中符号ＧＧで示すように、剥離板５０の剥離縁５０Ａに回動軸１２２Ａを中心にして回動するローラ１２２を設け、テーパ面ＴＡを形成するときの剥離板５０と剥離シートＲＬとの摩擦を小さくするようにしてもよい。

【0038】

さらに、第１、第２実施形態において、スライダ４１Ｂ、リニアモータ４３、第２テーパ形成ローラ４５、第２変形促進手段４７を設けずに、第１テーパ形成ローラ４４が両面接着シートＡＳの左端から右端まで移動することで、第１、第２テーパ部ＴＡ１、ＴＡ２を形成してもよい。
また、第１、第２実施形態において、第１変形促進手段４６および第２変形促進手段４７の少なくとも一方を設けなくてもよい。
さらに、第３実施形態において、変形促進手段１１３および減圧手段１１４の少なくとも一方を設けなくてもよい。
また、第４実施形態において、剥離板５０やローラ１２２の内部や外部に両面接着シートＡＳの変形を促進させる変形促進手段を設けてもよい。

【0039】

さらに、第２、第３、第４実施形態において、シート材供給手段１００を設けずに、剥離シートＲＬ１を介さないでテーパ面形成手段４０、１１０、１２０がテーパ面ＴＡを形成してもよい。
また、各実施形態において、積層手段６０を設けなくてもよいし、減圧雰囲気下で積層手段６０によって第２被着体ＷＫ２を第１被着体ＷＫ１に積層してもよい。

【0040】

さらに、頂部ＴＴの位置は、両面接着シートＡＳの中心であってもよいし、当該中心からずれていてもよい。
また、テーパ面ＴＡを構成する第１、第２テーパ部ＴＡ１、ＴＡ２は、図１〜５の左方または右方から視て湾曲したり、折れ曲がったりした形状でもよいし、円錐形状や角錐形状などの頂点によって第２被着体ＷＫ２に点接触可能な頂部を有する形状に形成してもよく、それら錐面は側方から視て湾曲したり、折れ曲がったりした形状でもよい。なお、テーパ面ＴＡを円錐形状や角錐形状とするには、例えば、テーパ形成面１１１Ａを逆円錐形状や逆角錐形状とすればよいし、第１テーパ形成ローラ４４の回転軸線を支持面７１に対して傾けた状態で、当該第１テーパ形成ローラ４４と両面接着シートＡＳが貼付された第１被着体ＷＫ１とを支持面７１と平行な面内で相対回転させて円錐形状のテーパ面ＴＡを形成してもよい。
さらに、テーパ面形成手段１１０は、テーパ形成部１１１Ｃが図４の左方または右方から視て湾曲したり、折れ曲がったりした形状でもよいし、円錐形状や角錐形状などの頂点によって頂部形成部１１１Ｂを形成してもよく、それら錐面は側方から視て湾曲したり、折れ曲がったりした形状でもよい。
また、両面接着シートＡＳは、第１被着体ＷＫ１や第２被着体ＷＫ２の平面形状に合わせた形状でなくてもよく、例えば、第１被着体ＷＫ１や第２被着体ＷＫ２からはみ出したり、はみ出さない形状でもよく、例えば、円形、多角形、楕円形等、どのような形状であってもよい。
さらに、両面接着シートＡＳは、枚葉でなく帯状に形成されていてもよく、第１被着体ＷＫ１に貼付する前または貼付した後に、切断刃やレーザカッタ、圧縮エア切断、圧縮水切断等の適宜な切断手段で切断して使用してもよい。
また、テーパ面ＴＡにおける頂部ＴＴの高さは、当該テーパ面ＴＡの最下部に比べて１μｍ〜５ｍｍ高くなっているものが例示できるが、それ以上の高低差でもよいしそれ以下の高低差でもよい。
さらに、シート材は、紙、樹脂、ゴム等からなる任意のシートであってよい。

【0041】

また、支持手段７０を固定しておき、他のものを移動させたり、支持手段７０および他のもの両方を相対移動させたりして上述と同等の動作を行ってもよい。
さらに、剥離手段は、丸棒やローラ等で構成してもよい。
また、押圧手段は、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用することができ、エア噴き付けにより押圧する構成も採用することができる。
さらに、支持手段７０および積層手段６０は、第１、第２被着体ＷＫ１、ＷＫ２をメカチャックやクーロン力等で保持する構成でもよい。

【0042】

また、本発明における両面接着シートおよび第１、第２被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、両面接着シートは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の両面接着シートが採用された場合は、当該両面接着シートを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような両面接着シートは、例えば、接着剤層だけの単層のものの他、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、第１、第２被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。

【0043】

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、押圧手段は、両面接着シートの一方の面を第１被着体の被着面に押圧して貼付可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

【符号の説明】

【0044】

１０、１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ…シート貼付装置
３０…押圧ローラ（押圧手段）
４０、１１０、１２０…テーパ面形成手段（シート成形装置）
６０…積層手段
１００…シート材供給手段
ＡＳ…両面接着シート
ＦＡ１…第１接着面（一方の面）
ＦＡ２…第２接着面（他方の面）
ＲＬ１…剥離シート（シート材）
ＴＡ…テーパ面
ＴＴ…頂部
ＷＡ１、ＷＡ２…被着面
ＷＫ１、ＷＫ２…第１、第２被着体

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】