特許 6298294 シリンダ装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6298294

(24)【登録日】2018年3月2日

(45)【発行日】2018年3月20日

(54)【発明の名称】シリンダ装置

(51)【国際特許分類】

   F15B 15/14 20060101AFI20180312BHJP

   B23Q 3/06 20060101ALI20180312BHJP

【ＦＩ】

   F15B15/14 335Z

   B23Q3/06 304K

【請求項の数】7

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2013-273770(P2013-273770)

(22)【出願日】2013年12月12日

(65)【公開番号】特開2015-113976(P2015-113976A)

(43)【公開日】2015年6月22日

【審査請求日】2016年10月26日

(73)【特許権者】

【識別番号】391003989

【氏名又は名称】株式会社コスメック

(74)【代理人】

【識別番号】110000338

【氏名又は名称】特許業務法人ＨＡＲＡＫＥＮＺＯ ＷＯＲＬＤ ＰＡＴＥＮＴ ＆ ＴＲＡＤＥＭＡＲＫ

(72)【発明者】

【氏名】横田 英明

(72)【発明者】

【氏名】米澤 慶多朗

【審査官】 北村 一

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１３−０８２０２５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−１１１０２５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開昭５４−０９７９７４（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 実開平０２−０７１１０３（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 実開平０７−００２６０８（ＪＰ，Ｕ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｆ１５Ｂ １５／００−１５／２８

Ｂ２３Ｑ ３／００− ３／１５； ３／１６− ３／１８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ハウジング（２）内に昇降可能に挿入された検出対象用のピストン（１２）と、そのピストン（１２）の上側に配置されるとともに作動用の圧力流体が供給及び排出される駆動室（３２）と、前記ピストン（１２）に連結される出力ロッド（１３）と、前記ハウジング（２）の上壁（２ａ）に配置された検出弁（５２）と、を備え、
前記検出弁（５２）は、
前記上壁（２ａ）に上下方向に延びるように形成された装着孔（５４）に取り付けられるケーシング（７０）と、
前記ケーシング（７０）に保密状に挿入される検出部材（７３）であって、下限位置（Ｌ）に下降された前記ピストン（１２）の上部に接当または当該ピストン（１２）の近傍位置へ下降する進出位置（Ａ）と、所定の上昇領域に上昇された前記ピストン（１２）の上部によって上昇される後退位置（Ｒ）とに切り換わって、検出用の加圧流体の流路（４５ｂ）を開閉する検出部材（７３）と、
前記検出部材（７３）を前記進出位置（Ａ）へ押す進出手段（７４）と、を備え、
前記検出部材（７３）は、前記駆動室（３２）の周壁（３２ａ）に上下方向に形成される溝（７７）によって案内される、
ことを特徴とするシリンダ装置。

【請求項2】

ハウジング（２）内に昇降可能に挿入された昇降ピストン（１１）及び検出対象用の倍力ピストン（１２）と、前記昇降ピストン（１１）に連結される出力ロッド（１３）と、前記倍力ピストン（１２）に作用させた作動用の圧力流体の力を倍力変換して前記出力ロッド（１３）に伝達する倍力機構（４０）と、圧力流体が供給及び排出される駆動室（３２）と、前記ハウジング（２）の上壁（２ａ）に配置された検出弁（５２）と、を備え、
前記検出弁（５２）は、
前記上壁（２ａ）に上下方向に延びるように形成された装着孔（５４）に取り付けられるケーシング（７０）と、
前記ケーシング（７０）に保密状に挿入される検出部材（７３）であって、下限位置（Ｌ）に下降された前記倍力ピストン（１２）の上部に接当または当該倍力ピストン（１２）の近傍位置へ下降する進出位置（Ａ）と、所定の上昇領域に上昇された前記倍力ピストン（１２）の上部によって上昇される後退位置（Ｒ）とに切り換わって、検出用の加圧流体の流路（４５ｂ）を開閉する検出部材（７３）と、
前記検出部材（７３）を前記進出位置（Ａ）へ押す進出手段（７４）と、を備え、
前記検出部材（７３）は、前記駆動室（３２）の周壁（３２ａ）に上下方向に形成される溝（７７）によって案内される、
ことを特徴とするシリンダ装置。

【請求項3】

請求項１または２に記載のシリンダ装置において、
前記進出手段（７４）は、前記ケーシング（７０）内に装着されたバネ（７５）を備え、そのバネ（７５）は、前記駆動室（３２）から前記検出部材（７３）に作用する前記圧力流体の圧力に抗するように前記検出部材（７３）を前記進出位置（Ａ）へ付勢する、
ことを特徴とするシリンダ装置。

【請求項4】

請求項３に記載のシリンダ装置において、
前記検出部材（７３）は、中空状に形成され、その検出部材（７３）の下部で前記バネ（７５）の下端を受け止めるとともに、前記ケーシング（７０）の上部で前記バネ（７５）の上端を受け止める、
ことを特徴とするシリンダ装置。

【請求項5】

請求項１から４のいずれかに記載のシリンダ装置において、
前記流路（４５ｂ）は、前記進出位置（Ａ）に下降した前記検出部材（７３）の上部近傍で前記ケーシング（７０）に設けられた入口孔（８０）を有し、
前記検出部材（７３）が前記入口孔（８０）を開閉する、
ことを特徴とするシリンダ装置。

【請求項6】

請求項１から５のいずれかに記載のシリンダ装置において、
前記検出部材（７３）を前記進出位置（Ａ）で受け止めるストッパ（７８）を前記駆動室（３２）の周壁（３２ａ）に設ける、
ことを特徴とするシリンダ装置。

【請求項7】

請求項２に記載のシリンダ装置において、
前記倍力機構（４０）が前記出力ロッド（１３）を倍力駆動するときに前記検出部材（７３）が前記流路（４５ｂ）を開閉する、
ことを特徴とするシリンダ装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明は、検出弁を付設したシリンダ装置に関し、より詳しくいえば、そのシリンダ装置のピストンの作動状態を検知するのに好適な技術に関する。

【背景技術】

【0002】

この種の検出機能付きシリンダ装置には、従来では、特許文献１（日本国・特開２０１３−８２０２５号公報）に記載されたものがある。その従来公報の図１には、ハウジングに上下方向に移動可能にピストンを挿入し、そのピストンの上下位置を確認する検出弁を上記ハウジングの上下端部にそれぞれ配置し、各検出弁の検出部材（弁体）を上記ピストンによって操作する構造が記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】 特開２０１３−８２０２５ 号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上記の従来技術は、ピストンが所定の位置に達したことを検出できるが、そのピストンの作動状態を広範囲に検出できなかった。
本発明の目的は、ピストンの作動状態を広範囲に検出できるシリンダ装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0005】

上記の目的を達成するため、第１の発明は、例えば、図１Ａから図５Ｂに示すように、
シリンダ装置を次のように構成した。
ハウジング２内に検出対象用のピストン１２を昇降可能に挿入する。作動用の圧力流体
が供給及び排出される駆動室３２を前記ピストン１２の上側に設ける。前記ピストン１２
に出力ロッド１３を連結する。前記ハウジング２の上壁２ａに検出弁５２を設ける。前記
検出弁５２のケーシング７０は、前記上壁２ａに上下方向に延びるように形成された装着
孔５４に取り付けられる。前記ケーシング７０に検出部材７３を保密状に挿入する。その
検出部材７３は、下限位置Ｌに下降された前記ピストン１２の上部に接当または当該ピス
トン１２の近傍位置へ下降する進出位置Ａと、所定の上昇領域に上昇された前記ピストン
１２の上部によって上昇される後退位置Ｒとに切り換えられ、検出用の加圧流体の流路４
５ｂを開閉する。前記検出部材７３を進出手段７４によって前記進出位置Ａへ押し、前記検出部材７３は、前記駆動室３２の周壁３２ａに上下方向に形成される溝７７によって案内される

【0006】

従って、本発明は次の効果を奏する。
前記検出弁の検出部材は、進出手段によって、下限位置に下降された前記ピストンの上
部に接当した位置または近接した位置に下降されると共に、そのピストンの上昇によって
後退位置へ上昇される。このように、ピストンの昇降に追従させて検出部材を広範囲に昇
降できる。従って、前記検出弁は、ピストンの作動状態を広い範囲で検出できる。
そして、前記検出部材は、前記駆動室の前記周壁によって案内される。
この場合、検出部材を前記周壁によって精度よく案内できる。

【0007】

また、第２の発明は、シリンダ装置に関する発明であって、例えば図１Ａから図５Ｂに
示すように、次のように構成したものである。
ハウジング２内に昇降ピストン１１及び検出対象用の倍力ピストン１２を昇降可能に挿
入する。前記昇降ピストン１１に出力ロッド１３を連結する。前記倍力ピストン１２に作
用させた作動用の圧力流体の力を倍力機構４０によって倍力変換して前記出力ロッド１３
に伝達する。その圧力流体が駆動室３２に供給及び排出される。前記ハウジング２の上壁
２ａに検出弁５２を配置する。前記検出弁５２のケーシング７０は、前記上壁２ａに上下
方向に延びるように形成された装着孔５４に取り付けられる。前記ケーシング７０に検出
部材７３を保密状に挿入する。その検出部材７３は、下限位置Ｌに下降された前記倍力ピ
ストン１２の上部に接当または当該倍力ピストン１２の近傍位置へ下降する進出位置Ａと
、所定の上昇領域に上昇された前記倍力ピストン１２の上部によって上昇される後退位置
Ｒとに切り換わって、検出用の加圧流体の流路４５ｂを開閉する。前記検出部材７３を進
出手段７４によって前記進出位置Ａへ押し、前記検出部材（７３）は、前記駆動室（３２）の周壁（３２ａ）に上下方向に形成される溝（７７）によって案内される。

【0008】

従って、上記の本発明は次の効果を奏する。
前記検出弁の検出部材は、進出手段によって、下限位置に下降された前記倍力ピストン
の上部に接当した位置または近接した位置に下降されると共に、その倍力ピストンの上昇
によって後退位置へ上昇される。このように、倍力ピストンの昇降に追従させて検出部材
を広範囲に昇降できる。従って、前記検出弁は、倍力ピストンの作動状態を広い範囲で検
出できる。
しかも、上記のハウジング内に設けられて外部から観察することができない倍力ピスト
ンの作動状態を検出弁によって確実に検出できる。
そして、前記検出部材は、前記駆動室の前記周壁によって案内される。
この場合、検出部材を前記周壁によって精度よく案内できる。

【0009】

第１及び第２の発明に係るシリンダ装置には、下記（１）〜（５）の構成を加えることが好ましい。

【0010】

（１） 前記進出手段７４は、前記ケーシング７０内に装着されたバネ７５を備える。そのバネ７５は、前記駆動室３２から前記検出部材７３に作用する前記圧力流体の圧力に抗するように前記検出部材７３を前記進出位置Ａへ付勢する。
この場合、バネ力によって前記検出部材７３を進出位置Ａへ確実に進出できる。

【0011】

（２） 前記検出部材７３は、中空状に形成され、その検出部材７３の下部で前記バネ７５の下端を受け止めるとともに、前記ケーシング７０の上部で前記バネ７５の上端を受け止める。
この場合、前記バネ７５を検出部材７３の中空部７３ａに挿入することで全長が長いバネ７５を採用することと、検出弁５２の全高を小さくすることとを両立できる。このため、簡素な構造で検出部材７３の進退長さを大きくできる。

【0012】

（３） 前記流路４５ｂは、前記進出位置Ａに下降した前記検出部材７３の上部近傍で前記ケーシング７０に設けられた入口孔８０を有し、前記検出部材７３が前記入口孔８０を開閉する。
この場合、上記の検出部材７３の後退によって検出部材７３の上部近傍で入口孔８０を閉じて、ピストン１２の作動状態を即座に検知できる。

【0014】

（５） 前記検出部材７３を前記進出位置Ａで受け止めるストッパ７８を前記駆動室３２の周壁３２ａに設ける。
この場合、ストッパ７８を検出弁５２の外部に設けることで、その検出弁５２の構造を簡素にできる。

【0015】

第２の発明にかかるシリンダ装置には、次の構成を加えることが好ましい。
前記倍力機構４０が前記出力ロッド１３を倍力駆動するときに前記検出部材７３が前記流路４５ｂを開閉する。
この場合、外部から観察できない倍力機構４０の作動状態を前記検出弁５２によって確実に検出できる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】 図１Ａは、本発明のシリンダ装置を利用したワーク用クランプを示し、そのクランプのアンクランプ状態の立面図であって、図２Ａ中の１Ａ−１Ａ線の断面図に相当する図である。図１Ｂは、前記図２Ａ中の１Ｂ−１Ｂ線の断面図に相当する図であって、前記図１Ａに類似する図である。

【図2】 図２Ａは、前記図１Ａの平面図である。図２Ｂは、図２Ａの右側面図に相当する図である。

【図3】 図３Ａは、前記クランプのクランプ状態を示し、前記図１Ａに類似する図である。図３Ｂは、前記クランプのクランプ状態を示し、前記図１Ｂに類似する図である。

【図4】 図４Ａは、図１Ａの部分拡大図であって、前記アンクランプ状態における第１検出弁を示している。図４Ｂは、前記図３Ａの部分拡大図であって、前記クランプ状態における第１検出弁を示している。

【図5】 図５Ａは、図１Ｂの部分拡大図であって、前記アンクランプ状態における第２検出弁を示している。図５Ｂは、前記図３Ｂの部分拡大図であって、前記クランプ状態における第２検出弁を示している。

【発明を実施するための形態】

【0017】

以下、本発明の一実施形態を図１Ａから図５Ｂによって説明する。
この実施形態では、シリンダ装置をワーク固定用の旋回式クランプに適用した場合を例示してある。
まず、図１Ａと図１Ｂに基づいて上記の旋回式クランプの全体構造を説明する。その旋回式クランプは、図１Ａのアンクランプ状態から図３Ａのクランプ状態へ切換えられるときに、まず、後述の出力ロッド１３が旋回しながら速やかに下降し、その後、出力ロッド１３が真っ直ぐ且つ強力に下降する。

【0018】

固定台としてのテーブルＴにハウジング２が取付けられ、そのハウジング２内にシリンダ孔３が形成される。そのシリンダ孔３の下半部分に下封止部材７を介して昇降ピストン１１が保密状に挿入される。その昇降ピストン１１が出力ロッド１３に連結される。その出力ロッド１３は、上封止部材８を介して、前記ハウジング２の上壁２ａに保密状に挿入される。

【0019】

また、上記シリンダ孔３の上半部分に環状の倍力ピストン１２が外封止部材１７を介して保密状に挿入されるとともに、その倍力ピストン１２が内封止部材１８を介して出力ロッド１３に上下方向へ保密移動可能に外嵌される。

【0020】

上記昇降ピストン１１と上記倍力ピストン１２との間に、圧縮空気（作動用の圧力流体）が供給および排出されるロック室２３が配置される。そのロック室２３は、ロック給排路２４を介してロックポート２５へ連通される。また、前記昇降ピストン１１の下側に圧縮空気が供給および排出される第１リリース室３１が配置されると共に、上記倍力ピストン１２の上側に、圧縮空気が供給および排出される第２リリース室（駆動室）３２が配置される。その第２リリース室３２は、リリース給排路３４を介してリリースポート３５へ連通される。また、前記第１リリース室３１は、前記昇降ピストン１１内と出力ロッド１３内とに形成された連通路３７を介して第２リリース室３２へ連通される。

【0021】

上記第２リリース室３２内に倍力機構４０を配置する。その倍力機構４０は、上記ロック室２３に供給された圧縮空気が上記倍力ピストン１２を上方へ押す力を下向きの力に反転させると共に倍力変換して出力ロッド１３へ伝達するように構成される。

【0022】

前記ハウジング２の前記上壁２ａに検出用の加圧エア（加圧流体）の流路４５ａ，４５ｂが形成される。その流路４５ａ，４５ｂの一端に加圧エアの供給ポート４６ａ，４６ｂが連通されると共に、上記流路４５ａ，４５ｂの他端が外気へ連通される。上記の流路４５ａ，４５ｂの途中部に、それぞれ、第１検出弁５１及び第２検出弁（検出弁）５２が設けられる。

【0023】

上記の第１検出弁５１は、図４Ａと図４Ｂに示すように、次のように構成されている。
図４Ａは、前記図１Ａの部分拡大図である。図４Ｂは、前記図３Ａの部分拡大図である。

【0024】

前記クランプを図３Ａのクランプ状態から図１Ａのアンクランプ状態へ切換えるときには、前記出力ロッド１３が図４Ｂ（及び図３Ａ）の下降位置から図４Ａ（及び図１Ａ）の上限位置へ移動する。その移動途中で、出力ロッド１３の途中高さに設けた操作部１６によって、前記第１検出弁５１が閉弁される（図４Ａは、第１検出弁５１が既に閉弁された状態を示している。）。
また、その第１検出弁５１は、前記出力ロッド１３が図４Ａ（及び図１Ａ）の上限位置から所定のストロークだけ下降したときに開弁される。より具体的にいえば、その第１検出弁５１は次のように構成されている。

【0025】

前記ハウジング２の前記上壁２ａに、第１装着孔５３が、下方に向かうにつれて出力ロッド１３の軸心に近づくように形成される。その第１装着孔５３に、第１検出弁５１の第１検出部材５６が、保密状に挿入される。また、前記第１装着孔５３に第１バネ５８が挿入されるとともにキャップ部材５９が装着され、その第１バネ５８によって前記第１検出部材５６が下方へ付勢される。

【0026】

上記の操作部１６が上昇するときには、前記第１検出部材５６は、図４Ｂの進出位置から図４Ａの後退位置へ上昇される。このため、その第１検出部材５６の上部が、前記キャップ部材５９の下側に装着された第１封止部材５７に係合して前記流路４５ａの入口６１を閉じる。すると、前記流路４５ａの圧力が高くなり、その状態を圧力スイッチ等のセンサ（図示せず）で検出することにより、前記出力ロッド１３の作動状態を確認できる。

【0027】

上記の操作部１６が所定のストロークだけ下降するときには、前記第１検出部材５６は、前記第１バネ５８の付勢力により図４Ａの後退位置から図４Ｂの進出位置へ下降される。このため、その第１検出部材５６が前記流路４５ａの前記入口６１を開く。すると、前記入口６１に供給された加圧エアが前記第１検出弁５１内部を通って、出口６２へ流れ、その出口６２の加圧エアが逆止弁６３のボール６３ａを押し開いて外気へ排出される。

【0028】

上記の第２検出弁５２は、図５Ａと図５Ｂに示すように、次のように構成されている。
図５Ａは、前記図１Ｂの部分拡大図である。図５Ｂは、前記図３Ｂの部分拡大図である。

【0029】

前記倍力ピストン１２が図５Ａ（及び図１Ｂ）の下限位置Ｌから図５Ｂ（及び図３Ｂ）の上昇途中位置Ｍへ上昇したときに、第２検出弁５２が閉弁される（図５Ｂは、第２検出弁５２が既に閉弁された状態を示している。）。また、前記倍力ピストン１２が図５Ａの上昇途中位置Ｍから下限位置Ｌに下降するときに、第２検出弁５２が開弁される。より具体的にいえば、第２検出弁５２は次のように構成されている。

【0030】

前記上壁２ａに段付きの第２装着孔（装着孔）５４が、上下方向へ貫通される。その第２装着孔５４に、前記第２検出弁５２のケーシング７０が上側封止部材７１を介して保密状に螺合される。

【0031】

上記ケーシング７０に第２検出部材（検出部材）７３が下側封止部材７２を介して保密状に挿入される。その第２検出部材７３は、中空部７３ａと底部７３ｂとを有している。前記第２検出部材７３を進出位置Ａに付勢する進出手段７４がケーシング７０内に装着される。そして、前記進出手段７４は、第２リリース室３２内に供給された圧縮空気の圧力に抗して検出部材７３を進出位置Ａに付勢する。より詳しくいえば、その進出手段７４は第２バネ（バネ）７５を有する。その第２バネ７５の下端が、第２検出部材７３の底部７３ｂによって受け止められるとともに、その上端が、バネガイド７６を介してケーシング７０の頂壁７０ａによって受け止められる。
この場合、上記第２検出部材７３の前記中空部７３ａによって前記第２バネ７５の収容スペースを広くできるので、全長が長くて単位長さあたりの巻き数の多い前記第２バネ７５を採用できる。このため、ストロークの長い前記第２検出部材７３を荷重による負担が小さい前記第２バネ７５で進出方向に付勢できる。

【0032】

上記の上壁２ａ内で前記第２リリース室３２の周壁３２ａには、前記第２検出部材７３よりも大径の円弧状の溝７７が形成される。前記第２検出部材７３は、前記中空部７３ａの外周部を前記周壁３２ａよりも内方へ突出させた状態で溝７７によって案内される。
この場合、長いストロークの第２検出部材７３であっても円弧状の前記溝７７によって精度よく案内できる。
また、その溝７７の下端壁は、前記第２バネ７５によって付勢された前記第２検出部材７３を進出位置Ａで受け止めるストッパ７８として構成される。

【0033】

上記ケーシング７０の周壁の下部に入口孔８０と出口孔８１を設ける。その入口孔８０は、流路４５ｂの上流部に設けた加圧エアの供給ポート４６ｂに連通する。その出口孔８１は、前記流路４５ｂの下流部に設けた逆止弁８３を介して外気側に連通される。なお、その逆前記止弁８３は、前記逆止弁６３と同様に構成されている。

【0034】

上記のクランプは、次のように作動する。図１Ａ及び図１Ｂのアンクランプ状態では、前記ロック室２３から圧縮空気が排出されると共に、前記第１リリース室３１及び前記第２リリース室３２に圧縮空気が供給されている。これにより、前記出力ロッド１１が上限位置へ上昇され、前記倍力ピストン１２が下限位置Ｌに下降されている。
上記アンクランプ状態のクランプをロック駆動するときには、前記の第１リリース室３１及び前記第２リリース室３２の圧縮空気を排出すると共に前記ロック室２３に圧縮空気を供給する。すると、前記倍力ピストン１２の上昇が前記倍力機構４０の係合ボール４２によって阻止されるのに対して、前記昇降ピストン１１が速やかに下降していく。そして、前記出力ロッド１３のカム溝８５が上記係合ボール４２の位置に下降したときに、前記倍力ピストン１２の押部４１が前記係合ボール４２を半径方向の内方へ移動させる。これにより、図３Ｂ（（及び図５Ｂ）に示すように、前記倍力ピストン１２が上昇していき、その倍力ピストン１２の倍力部４３が前記係合ボール４２を半径方向の内方へ強力に押し出す。
これにより、その倍力ピストン１２に作用する上向き推力は、前記倍力部４３と前記係合ボール４２と前記出力ロッド１３の前記カム溝８５とを介して下向きに倍力変換され、出力ロッド１３が下向きに強力に駆動される。このため、その倍力機構４０による押下げ力と前記昇降ピストン１１による押下げ力との合力により、上記出力ロッド１３が下方へ強力に駆動される。

【0035】

上記図５Ａのアンクランプ状態では、倍力ピストン１２が前記下限位置Ｌへ下降し、バネ７５の付勢力によって前記検出部材７３が下方の進出位置Ａに下降し、その検出部材７３の上部が前記入口孔８０を開いている。
図５Ｂに示すように、前記倍力ピストン１２が上昇途中位置Ｍへ移動したときには、その倍力ピストン１２の上部が前記検出部材７３を上昇させ、その検出部材７３の上部が前記入口孔８０を閉じる。その閉弁状態では前記流路４５ｂの圧力が高くなるので、その状態を圧力スイッチ等のセンサ（図示せず）で検出することにより、倍力機構４０の作動状態を確認できる。
なお、上記の倍力ピストン１２は、倍力駆動の終期には上限位置Ｈ（図５Ｂ中の二点鎖線図を参照）まで移動可能になっている。すなわち、この実施例では前記倍力ピストン１２の所定の上昇領域は、前記倍力ピストン１２の前記上昇途中位置Ｍから前記上限位置Ｈまでの領域となっている。
なお、図５Ｂで示すように、第２検出部材７３は、実線図の後退位置Ｒから２点鎖線図の上限位置まで移動する間に、入口孔８０を閉じている。
従って、前記倍力駆動時には、その第２検出部材７３の前記進出位置Ａから前記上限位置までの広い範囲で倍力機構４０の作動状態が確認できる。

【0036】

図３Ｂ（及び図５Ｂ）のクランプ状態のクランプをリリース駆動するときには、前記ロック室２３の圧縮空気を排出すると共に前記第１リリース室３１及び前記第２リリース室３２に圧縮空気を供給する。すると、前記係合ボール４２と前記倍力ピストン１２とによって上昇が阻止された前記出力ロッド１３に対して前記倍力ピストン１２が下降していく。

【0037】

その倍力ピストン１２が下降するのに伴って、前記第２検出部材７３が後退位置Ｒから進出位置Ａに移動して、前記入口孔８０を開ける。すると、その入口孔８０の加圧エアは、前記第２検出弁５２内部を通って前記流路４５ｂの出口８１へ流れ、その出口孔８１の加圧エアが逆止弁８３のボール（図示せず）を押し開いて外気へ排出される。これにより流路４５ｂの圧力が低下し、その圧力低下状態を前記センサで検出することにより、倍力機構４０の作動状態を確認できる。

【0038】

上記の実施形態は次のように変更可能である。
本発明のシリンダ装置に使用される作動用の圧力流体は、例示した圧縮空気に代えて、他の圧縮気体や圧油等であってもよい。

【0039】

前記進出手段７４は、例示の第２バネ（バネ）７５に代えて、第２リリース室３２の圧力を利用してもよい。この場合、第２検出部材７３を差圧ピストンによって構成し、その第２検出部材７３内に形成した貫通孔の下端を第２リリース室３２に連通させると共に、その貫通孔の上端をケーシング７０の上部空間に連通させることが考えられる。
さらに、その進出手段７４は、第２リリース室３２の圧力を利用するのに代えて、別の供給源から圧縮空気または圧油等の加圧流体を供給してもよい。

【0040】

上記の第２検出弁５２の配置姿勢を、例示の縦向きに代えて、斜め向きとしてもよい。
上記の倍力ピストン１２と昇降ピストン１１とは、例示したように直列に配置することに代えて、並列に配置してもよい。この場合、昇降ピストンに倍力ピストンを昇降可能に外嵌めして、上記２つのピストンの下側と上側とに、それぞれロック室とリリース室とを形成することが考えられる。この場合、検出弁の検出部材は、下限位置に下降された前記倍力ピストンの上部に接当または当該倍力ピストンの近傍位置に配置される。
上記周壁３２ａに設けられる溝７７の断面形状は、円弧状に代えて、Ｕ字状やＶ字状等の形状としてもよい。
前述の各逆止弁６３，８３は省略してもよい。

【0041】

また、本発明のシリンダ装置は、クランプの技術分野とは異なる技術分野に利用することも可能である。
その他に、当業者が想定できる範囲で種々の変更を行えることは勿論である。

【符号の説明】

【0042】

２：ハウジング、２ａ：上壁、１１：昇降ピストン、１２：倍力ピストン（ピストン），１３：出力ロッド、３２：第２リリース室（駆動室）、３２ａ：周壁、４０：倍力機構、４５ｂ：流路、５２：第２検出弁（検出弁）５４：第２装着孔（装着孔）、７０：ケーシング、７３：第２検出部材（検出部材）、７４：進出手段、７５：第２バネ（バネ）、７７：溝、７８：ストッパ、８０：入口孔。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】