特許6303610誘電体バリア放電イオン化検出器及びその調整方法

発明の名称　誘電体バリア放電イオン化検出器及びその調整方法

出願人　株式会社島津製作所　（識別番号 1993）

　　　　特許公開件数ランキング 222 位（149件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 97 位（258件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6303610

公報発行日　2018年4月4

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6303610

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