特許 6305380 スティック検査装置及びスティック検査方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6305380

(24)【登録日】2018年3月16日

(45)【発行日】2018年4月4日

(54)【発明の名称】スティック検査装置及びスティック検査方法

(51)【国際特許分類】

   G01B 11/02 20060101AFI20180326BHJP

   G01N 21/956 20060101ALI20180326BHJP

【ＦＩ】

   G01B11/02 Z

   G01N21/956 B

【請求項の数】10

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2015-175953(P2015-175953)

(22)【出願日】2015年9月7日

(65)【公開番号】特開2016-61779(P2016-61779A)

(43)【公開日】2016年4月25日

【審査請求日】2016年6月14日

(31)【優先権主張番号】10-2014-0125298

(32)【優先日】2014年9月19日

(33)【優先権主張国】KR

(73)【特許権者】

【識別番号】512187343

【氏名又は名称】三星ディスプレイ株式會社

【氏名又は名称原語表記】Ｓａｍｓｕｎｇ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｃｏ．，Ｌｔｄ．

(74)【代理人】

【識別番号】100121382

【弁理士】

【氏名又は名称】山下 託嗣

(74)【代理人】

【識別番号】110000981

【氏名又は名称】アイ・ピー・ディー国際特許業務法人

(72)【発明者】

【氏名】延 基榮

(72)【発明者】

【氏名】安 ナリ

【審査官】 岡田 卓弥

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００５−８５８３３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平５−１８７８２８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許第５１６２９４１（ＵＳ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｂ１１／００ −１１／３０

Ｇ０１Ｎ２１／８４ −２１／９５６

Ｈ０１Ｌ２１／０２７

Ｇ０３Ｆ １／００ − １／９２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

開口部が形成されたスティックを引っ張って固定させる引っ張りユニットと、
前記スティックから離隔されるように配置され、前記スティックを検査する第１検査ユニットと、
前記スティックを基準として、前記第１検査ユニットと反対方向に配置され、前記第１検査ユニットから照射された光を反射させる光線分散ユニットと、
前記光線分散ユニットを基準として、前記スティックと反対方向に配置され、前記光線分散ユニットから、前記スティックの底面から前記光線分散ユニットまでの第３距離を測定する距離測定ユニットと、
前記第１検査ユニットで検査した前記スティックのハンプの開始点から前記光線分散ユニットまでの第２距離を算出し、前記第２距離と前記第３距離との距離差を算出し、前記ハンプのハンプ高を算出し、前記ハンプ高を基に、前記スティックが不良か否かを判別する制御ユニットと、
を含むスティック検査装置。

【請求項2】

前記第１検査ユニット、前記光線分散ユニット及び前記距離測定ユニットは、前記スティックの長手方向に直線移動が可能であるように構成されていることを特徴とする請求項１に記載のスティック検査装置。

【請求項3】

前記光線分散ユニットと前記距離測定ユニットは、上下動が可能であるように構成されている請求項１又は２に記載のスティック検査装置。

【請求項4】

前記第１検査ユニットは、共焦点顕微鏡、または干渉方式の顕微鏡であることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のスティック検査装置。

【請求項5】

前記距離測定ユニットは、レーザ段差系顕微鏡、共焦点顕微鏡、または干渉方式の顕微鏡であることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載のスティック検査装置。

【請求項6】

前記スティックの屈曲検査、異物検査、エッチング程度検査、臨界寸法検査、全体ピッチ検査及び直進度検査のうちの少なくとも一つを行うことができる第２検査ユニットをさらに含むことを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載のスティック検査装置。

【請求項7】

前記第１検査ユニット及び前記距離測定ユニットから測定されたデータを基に、前記制御ユニットで生成された前記スティックの情報をＱＲコードで記録する記録ユニットをさらに含むことを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載のスティック検査装置。

【請求項8】

開口部を具備したスティックを引っ張って固定させる段階と、
上方からの光学的測定、または上方及び下方からの光学的測定を行い、これに基づき、前記スティックの最上面から光線分散ユニットまでの第１距離、前記スティックのハンプの開始点から前記光線分散ユニットまでの第２距離、前記スティックの底面から前記光線分散ユニットまでの第３距離を算出する段階と、
前記第２距離と前記第３距離との距離差を算出し、前記ハンプのハンプ高を算出する段階と、
前記ハンプ高を基に、前記スティックが不良か否かを判別する段階と、
を含むスティック検査方法。

【請求項9】

前記スティックの屈曲検査、異物検査、エッチング程度検査、臨界寸法検査、全体ピッチ検査及び直進度検査のうちの少なくとも一つを行う段階をさらに含むことを特徴とする請求項８に記載のスティック検査方法。

【請求項10】

検査した前記スティックの情報をＱＲコードに記録する段階をさらに含むことを特徴とする請求項８又は９に記載のスティック検査方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、スティック検査装置及びスティック検査方法に関する。

【背景技術】

【0002】

携帯することが可能な電子機器が幅広く使用されている。携帯用電子機器としては、モバイルフォンのような小型電子機器以外にも、最近になって、タブレットＰＣ（personal computer）が広く使用されている。

【0003】

このような携帯用電子機器は、多様な機能を支援するために、イメージまたは映像のような視覚情報をユーザに提供するために、表示部を含む。最近、表示部を駆動するための部品が小型化されるにつれ、表示部が電子機器で占める割合がだんだんと増大しており、そのような状況の中で、表示部が、所定の角度を有するように曲げることができる構造も開発されている。

【0004】

このような表示部は、有機発光層を具備する有機発光素子を含む。また、有機発光素子を形成するために多様な製造方法が使用されている。特に、有機発光素子を形成するために使用される製造方法のうち、有機物を気化させて蒸着する方法が使用される。上記方法においては、パターン状の有機発光素子を形成するために、多様な形態のスティックを使用することができる。

【0005】

有機物を気化させて蒸着する方法において、精度よく、パターン状の有機発光素子を形成するためには、精度よく形成されたスティックを用いることが求められる。したがって、上記方法を行う前に、スティックに対して検査を行い、精度よく形成されたスティックを選択する。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

従来のスティックＳの検査においては、製造した複数のスティックから一部を抜き取り、抜き取ったスティックを切断し、切断した部位を撮影したりして、スティックの検査を行っていた。しかしながら、このように破壊が伴う検査では、切断したスティックを再利用することができないため、製造したスティックに対して全数検査を行うことはできなかった。さらに、スティックの切断を行うことから、検査時間が長くかかり、生産性も低下する。

【0007】

そこで、本発明は、上記を鑑みてなされたものであり、本発明の目的とするところは、全数検査を行うことが可能なスティック検査装置及びスティック検査方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0008】

上記課題を解決するために、本発明のある観点によれば、開口部が形成されたスティックを引っ張って固定させる引っ張りユニットと、前記スティックから離隔されるように配置され、前記スティックを検査する第１検査ユニットと、前記スティックを基準として、前記第１検査ユニットと反対方向に配置され、前記第１検査ユニットから照射された光を反射させる光線分散ユニットと、前記光線分散ユニットを基準として、前記スティックと反対方向に配置され、前記光線分散ユニットから、前記スティックの底面から前記光線分散ユニットまでの第３距離を測定する距離測定ユニットと、前記第１検査ユニットで検査した前記スティックのハンプの開始点から前記光線分散ユニットまでの第２距離を算出し、前記第２距離と前記第３距離との距離差を算出し、前記ハンプのハンプ高を算出し、前記ハンプ高を基に、前記スティックが不良か否かを判別する制御ユニットと、を含むスティック検査装置が提供される。

【0009】

前記第１検査ユニット、前記光線分散ユニット及び前記距離測定ユニットは、前記スティックの長手方向に直線移動が可能なように構成されてもよい。

【0010】

前記光線分散ユニットと前記距離測定ユニットは、上下動が可能なように構成されてもよい。

【0011】

前記第１検査ユニットは、共焦点顕微鏡（confocal microscopy system）、または干渉（interferometer）方式の顕微鏡であってもよい。

【0012】

前記距離測定ユニットは、レーザ段差系顕微鏡、共焦点顕微鏡、または干渉方式の顕微鏡であってもよい。

【0013】

前記スティック検査装置は、前記スティックの屈曲検査、異物検査、エッチング程度検査、臨界寸法（critical dimension）検査、全体ピッチ（total pitch）検査及び直進度検査のうちの少なくとも一つを検査することができる第２検査ユニットをさらに含んでもよい。

【0014】

前記スティック検査装置は、前記第１検査ユニット及び前記距離測定ユニットから測定されたデータを基に、前記制御ユニットで生成された前記スティックの情報をＱＲコード（登録商標）で記録する記録ユニットをさらに含んでもよい。

【0015】

また、上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、開口部を具備したスティックを引っ張って固定させる段階と、前記スティックの最上面から光線分散ユニットまでの第１距離、前記スティックのハンプの開始点から前記光線分散ユニットまでの第２距離、前記スティックの底面から前記光線分散ユニットまでの第３距離を測定する段階と、前記第２距離と前記第３距離との距離差を算出し、前記ハンプのハンプ高を算出する段階と、前記ハンプ高を基に、前記スティックが不良か否かを判別する段階と、を含むスティック検査方法が提供される。

【0016】

前記スティック検査方法は、前記スティックの屈曲検査、異物検査、エッチング程度検査、臨界寸法検査、全体ピッチ検査及び直進度検査のうちの少なくとも一つを遂行する段階をさらに含んでもよい。

【0017】

前記スティック検査方法は、検査した前記スティックの情報をＱＲコードに記録する段階をさらに含んでもよい。

【発明の効果】

【0018】

以上説明したように本発明によれば、全数検査を行うことが可能なスティック検査装置及びスティック検査方法が提供される。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】本発明の一実施形態によるスティック検査装置を示す概念図である。

【図2】図１に図示されたスティック検査装置の一部分を示す概念図である。

【図3】図１に図示されたプリアラインユニットを示す概念図である。

【図4】図１に図示されたスティック検査装置の制御フローを示すブロック図である。

【図5】図１に図示されたスティック検査装置において、スティックを検査する手順を示すフローチャートである。

【図6】図１に図示されたスティックのハンプ高を示す概念図である。

【発明を実施するための形態】

【0020】

以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。本発明の効果、特徴、及びそれらを達成する方法は、図面と共に詳細に説明する実施形態を参照すれば、明確になるであろう。しかし、本発明は、以下で開示される実施形態に限定されるものではなく、多様な形態に具現され得る。図面では、説明の便宜のために、構成要素がその大きさが誇張または縮小されていることもある。例えば、図面で示されている各構成の大きさ及び厚さは、説明の便宜のために任意に示されており、本発明は、必ずしも図示されているところに限定されるものではない。

【0021】

以下、添付された図面を参照し、本発明の実施形態について詳細に説明するが、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。

【0022】

以下の実施形態の説明において、第１、第２のような用語は、限定的な意味ではなく、１つの構成要素を他の構成要素と区別する目的に使用される。

【0023】

また、以下の実施形態の説明において、単数の表現は、文脈上明白に異なって意味しない限り、複数の表現を含む。

【0024】

さらに、以下の実施形態の説明において、「含む」または「有する」というような用語は、明細書上に記載された特徴または構成要素が存在するということを意味するものであり、一つ以上の他の特徴または構成要素が付加される可能性をあらかじめ排除するものではない。

【0025】

並びに、以下の実施形態の説明において、膜、領域、構成要素などの部分が、他の部分の上または上部にあるとするとき、他の部分のすぐ上にある場合だけではなく、その中間に、他の膜、領域、構成要素などが介在されている場合も含む。

【0026】

そして、以下の実施形態の説明において、ｘ軸、ｙ軸及びｚ軸は、直交座標系上の三軸に限定されるものではなく、それを含む広い意味に解釈される。例えば、ｘ軸、ｙ軸及びｚ軸は、互いに直交しもするが、互いに直交せずに互いに異なる方向を指すこともある。

【0027】

また、ある実施形態が異なって具現可能である場合、特定の工程順序は、説明される順序と異なるように遂行されてもよい。例えば、連続して説明される２つの工程が、実質的に同時に遂行されてもよく、説明される順序と反対の順序で進められてもよい。

【0028】

図１は、本発明の一実施形態によるスティック検査装置を示す概念図である。図２は、図１に図示されたスティック検査装置の一部分を示す概念図である。図３は、図１に図示されたプリアラインユニットを示す概念図である。

【0029】

図１から図３を参考すれば、スティック検査装置１００は、引っ張りユニット１１０、第１検査ユニット１２０、光線分散ユニット１３０、距離測定ユニット１４０、制御ユニット１５０、第２検査ユニット１６０、プリアラインユニット１７０、記録ユニット１８０を含んでもよい。

【0030】

引っ張りユニット１１０は、スティックＳを、引っ張られた状態で固定させることができる。このとき、引っ張りユニット１１０は、スティックＳの両側面を固定させるように、クランプ１１１によって形成され、スティックＳを引っ張るように、クランプ１１１の位置を可変することができる。また、引っ張りユニット１１０は、他の実施形態として、図２に示すように、クランプ１１１を直線移動させてスティックＳを引っ張るシリンダ、またはギア及びモータを具備することもできる。さらに、それだけでなく、引っ張りユニット１１０は、クランプ１１１がスティックＳをどれほどの力で引っ張るかということを感知するロードセルを具備することができる。

【0031】

引っ張りユニット１１０は、スティックＳを、少なくとも一つ以上引っ張られた状態で固定させることができる。このとき、スティックＳは、マスクフレーム（図示せず）に付着された状態でもあり、個別的に引っ張りユニット１１０に固定されることも可能である。スティックＳは、複数個のリブが互いに交差するように形成され、交差するリブには、開口部が形成されてもよい。

【0032】

前述のような引っ張りユニット１１０は、アラインユニット１９０に分離可能に設けられる。このとき、アラインユニット１９０は、互いに異なる３方向に移動可能であるか、あるいは互いに異なる２方向に移動しながら、一方向に回転可能に構成され得る。

【0033】

第１検査ユニット１２０は、スティックＳの上面側に配置されてもよい。このとき、第１検査ユニット１２０は、共焦点顕微鏡（confocal microscopy system）、または干渉（interferometer）方式の顕微鏡であってよい。ただし、以下では、説明の便宜のために、第１検査ユニット１２０が共焦点顕微鏡である場合を中心に詳細に説明する。また、共焦点顕微鏡は、一般的な共焦点顕微鏡と同一であるか、あるいは類似しているので、詳細な説明は省略する。

【0034】

第１検査ユニット１２０は、スティックＳの上面側に固定されるか、あるいは直線移動可能に設けられる。特に、第１検査ユニット１２０は、スティックＳの長手方向に沿って直線移動することが可能である。このとき、第１検査ユニット１２０は、長さ可変のシリンダと連結され、他の実施形態として、図２に図示されているように、第１検査ユニット１２０に、ギア及びモータが連結され、モータの駆動によって直線移動も可能である。

【0035】

光線分散ユニット１３０は、スティックＳを基準として、第１検査ユニット１２０と互いに対向するように（反対方向に）配置されてもよい。このとき、光線分散ユニット１３０は、第１検査ユニット１２０から照射される光を反射させることができる。また、光線分散ユニット１３０は、距離測定ユニット１４０から照射される光を通過させることができる。

【0036】

距離測定ユニット１４０は、スティックＳの底面から光線分散ユニット１３０までの距離を測定することができる。このとき、距離測定ユニット１４０は、レーザ段差系顕微鏡、共焦点顕微鏡、または干渉方式の顕微鏡のうち一つであることができる。このとき、レーザ段差系顕微鏡、共焦点顕微鏡、または干渉方式の顕微鏡は、一般的なレーザ段差系顕微鏡、共焦点顕微鏡または干渉方式の顕微鏡と同一であるか、あるいは類似しているので、詳細な説明は省略する。ただし、以下では、説明の便宜のために、距離測定ユニット１４０がレーザ段差系顕微鏡である場合を中心に詳細に説明する。

【0037】

前記のような光線分散ユニット１３０及び距離測定ユニット１４０のうちの少なくとも一つは、直線移動が可能である。このとき、光線分散ユニット１３０及び距離測定ユニット１４０のうちの少なくとも一つは、スティックＳの長手方向に直線移動が可能である。ただし、以下では、説明の便宜のために、光線分散ユニット１３０及び距離測定ユニット１４０が一体に形成され、同時に移動する場合を中心に詳細に説明する。

【0038】

前記のような光線分散ユニット１３０及び距離測定ユニット１４０は、スティックＳの長手方向以外にも、上下方向に移動が可能である。具体的には、光線分散ユニット１３０及び距離測定ユニット１４０は、距離測定ユニット１４０から測定されたスティックＳの底面までの距離に基づき、上下に移動が可能である。

【0039】

このとき、光線分散ユニット１３０及び距離測定ユニット１４０のうちの少なくとも一つには、スティックＳの長手方向に直線移動させるためのシリンダと、上下に直線移動させるためのシリンダとが連結される。他の実施形態として、図２に図示されているように、光線分散ユニット１３０及び距離測定ユニット１４０のうちの少なくとも一つに、ギア及びモータが連結され、各方向に直線移動することも可能である。

【0040】

一方、制御ユニット１５０は、スティック検査装置１００の各構成要素を制御することができる。このとき、制御ユニット１５０は、第１検査ユニット１２０及び第２検査ユニット１６０で測定した結果を基に、スティックＳが不良か否かを判別することができる。

【0041】

制御ユニット１５０は、多様な形態で形成されてもよい。例えば、制御ユニット１５０は、スティック検査装置１００の外部に設けられる端末機、パソコン、ノート型パソコン、ＰＤＡ（personal digital assistant）などを具備することができる。また、制御ユニット１５０は、スティック検査装置１００の内部に設けられる回路基板などを具備することができる。

【0042】

第２検査ユニット１６０は、スティックＳに欠陥があるか否かを多様な方法で検査することができる。このとき、第２検査ユニット１６０は、スティックＳの屈曲検査、異物検査、エッチング程度検査、臨界寸法（critical dimension）検査、全体ピッチ（total pitch）検査及び直進度検査のうちの少なくとも一つを行うことができる。例えば、第２検査ユニット１６０は、スティックＳの反り程度及び損傷情報を検査する屈曲検査器１６１を具備することができる。このとき、屈曲検査器１６１は、第１検査ユニット１２０と互いに経路が重ならないように、一直線に配置される。なお、屈曲検査器１６１は、一般的な屈曲検査器と同一または類似するため、ここでは、詳細な説明は省略する。

【0043】

第２検査ユニット１６０は、スティックＳに異物が付着しているか否かを検査したり、スティックＳにエッチング不良があるか否かを検査したりするラインスキャナ（line scanner）１６２を具備することができる。このとき、ラインスキャナ１６２は、レーザなどをスティックＳに照射することにより、スティックＳに欠陥があるか否かを判別することができる。

【0044】

また、第２検査ユニット１６０は、スティックＳの臨界寸法検査、全体ピッチ検査及び直進度検査のうちの少なくとも一つを行う領域カメラ（area camera）１６３を具備することができる。このとき、領域カメラ１６３は、スティックＳを撮影することにより、イメージを生成し、制御ユニット１５０により、イメージを基に、スティックＳが不良か否かを判別することができる。

【0045】

前述のようなラインスキャナ１６２と領域カメラ１６３は、第１検査ユニット１２０と対向するように配置されてもよい。すなわち、第１検査ユニット１２０は、スティックＳの上面側に配置され、ラインスキャナ１６２と領域カメラ１６３は、スティックＳの下面側に配置されてもよい。このとき、ラインスキャナ１６２と領域カメラ１６３は、距離測定ユニット１４０と互いに経路が重ならないように配置される。

【0046】

前述のような屈曲検査器１６１、ラインスキャナ１６２及び領域カメラ１６３には、長さが可変するシリンダが連結され、直線移動が可能である。他の実施形態として、図２に図示されているように、屈曲検査器１６１、ラインスキャナ１６２及び領域カメラ１６３に、モータとギアとが連結され、直線移動することも可能である。

【0047】

図３に示すように、プリアラインユニット１７０は、スティックＳをプリアライン（pre-align）（事前に整列）させる。具体的には、プリアラインユニット１７０は、スティックＳが貼設されるステージ（１７１）と、ステージ１７１と垂直するように設けられるブロック１７２と、を具備することができる。また、プリアラインユニット１７０には、ステージ１７１に設けられ、スティックＳを浮揚させるように空気を噴射するフローティング部１７３を具備することができる。このとき、前述のようなプリアラインユニット１７０は、回動可能に設けられることにより、スティックＳをあらかじめ整列させることができる。

【0048】

また、プリアラインユニット１７０は、フローティング部１７３の代わりに、ステージ１７１から突出する、スティックＳの両端を吸着する吸着パッド（図示せず）を具備することもできる。このとき、前記吸着パッドは、スティックＳの一部を吸着して固定させることができる。

【0049】

記録ユニット１８０は、スティックＳの検査情報、スティックＳの基本情報のようなスティックＳと係わる情報（データ）をＱＲコードで記録することができる。このとき、記録ユニット１８０は、ＱＲコードを生成して、スティックＳに付着するか、あるいはスティックＳに直接ＱＲコードを生成する全ての装置を含んでもよい。

【0050】

前述のような第１検査ユニット１２０と引っ張りユニット１１０は、互いに相対運動が可能である。また、第２検査ユニット１６０及び引っ張りユニット１１０、プリアラインユニット１７０及び引っ張りユニット１１０、並びに光線分散ユニット１３０及び引っ張りユニット１１０は、互いに相対運動が可能である。

【0051】

例えば、引っ張りユニット１１０は、固定されるように設けられ、第１検査ユニット１２０、第２検査ユニット１６０、プリアラインユニット１７０、光線分散ユニット１３０は、直線移動が可能なように設けられる。このとき、引っ張りユニット１１０にスティックＳが固定される場合、第１検査ユニット１２０、第２検査ユニット１６０、プリアラインユニット１７０、光線分散ユニット１３０が引っ張りユニット１１０に対して、上面側または下面側に移動し、下記の各段階を進めることができる。また、第１検査ユニット１２０、第２検査ユニット１６０、プリアラインユニット１７０、光線分散ユニット１３０は、それぞれ移動した位置において、前述のように直線移動が可能である。

【0052】

他の実施形態として、引っ張りユニット１１０は、直線移動が可能なように設けられ、第１検査ユニット１２０、第２検査ユニット１６０、プリアラインユニット１７０、光線分散ユニット１３０は、固定されるように設けられてもよい。このとき、第１検査ユニット１２０、第２検査ユニット１６０、プリアラインユニット１７０、光線分散ユニット１３０は、固定された位置において、前述のように直線移動が可能なように設けられる。

【0053】

以下では、説明の便宜のために、引っ張りユニット１１０が直線移動可能に設けられる場合を中心に詳細に説明する。

【0054】

また、以下では、スティック検査装置１００を用いて、スティックＳを検査する方法について詳細に説明する。

【0055】

図４は、図１に図示されたスティック検査装置のブロック図である。図５は、図１に図示されたスティック検査装置において、スティックを検査する順序を示すフローチャートである。図６は、図１に図示されたスティックのハンプ高を示す概念図である。

【0056】

図４から図６を参考すれば、スティック検査装置１００が作動する場合、スティックＳは、スティック保管ユニット（図示せず）からスティックＳを引き出し、プリアラインユニット１７０に貼設する（Ｓ１１０段階）。このとき、プリアラインユニット１７０にスティックＳが貼設されれば、フローティング部１７３は、空気をスティックＳに噴射し、スティックＳをステージ１７１から離隔させる。その後、ステージ１７１は、一定角度回転し、スティックＳがステージ１７１と共に回転し、ブロック１７２に接触することにより、一次的にアライン（整列）される（Ｓ１２０段階）。

【0057】

また、プリアラインユニット１７０が前記吸着パッドを具備する場合には、外部から挿入されたスティックＳは、前記吸着パッドに貼設されて付着する。特に、前述のような場合、スティックＳを前記吸着パッドに貼設させる前に、スティックＳと、プリアラインユニット１７０のステージ１７１との位置関係を、イメージ撮影などを用いて検知した後、その検知結果に基づいて、スティックＳを整列させることにより、スティックＳを一次的にアラインすることができる。ただし、以下では、スティックＳを、前述のように、ステージ１７１に貼設した後、スティックＳがステージ１７１と回転することにより、ブロック１７２にスティックＳが接触し、プリアラインが行われる場合を中心に詳細に説明する。

【0058】

その後、引っ張りユニット１１０がプリアラインユニット１７０に移動し、スティックＳの両端を固定させることができる。引っ張りユニット１１０は、プリアラインユニット１７０から、引っ張りユニット１１０の初期位置に移動し、スティックＳを引っ張った状態で固定させることができる。このとき、引っ張りユニット１１０には、ロードセル（load cell）が具備され、既に設定された所定の力でスティックＳを引っ張る（Ｓ１３０段階）。

【0059】

前述のように、スティックＳが引っ張った状態で固定されれば、制御ユニット１５０は、引っ張りユニット１１０が設定された位置にアラインされるように、アラインユニット１９０を制御することができる。このとき、アラインユニット１９０がアラインする方法は、一般的なディスプレイ分野で、基板やマスクをアラインする方法と同一であるか、あるいは類似しているので、ここでは詳細な説明は省略する。

【0060】

前述のように、スティックＳの固定が完了すれば、第２検査ユニット１６０は、スティックＳを検査することができる。具体的には、屈曲検査器１６１を用いて、スティックＳの屈曲程度を検査することができる。このとき、屈曲検査器１６１には、３Ｄ（three-dimensional）レーザ照射システム（３Ｄ laser inspection system）が使用されてもよい（Ｓ１３０段階）。

【0061】

制御ユニット１５０は、屈曲検査器１６１で測定されたスティックＳの屈曲程度を予め決められた値と比較し、スティックＳが不良か否かを判別することができる。このとき、制御ユニット１５０は、スティックＳの屈曲程度が所定の範囲内に入っている場合、次の検査を進めるように、ラインスキャナ１６２を制御することができる。

【0062】

ラインスキャナ１６２は、スティックＳの下面側に配置され、スティックＳに異物が吸着されているか否か、エッチングの不良があるか否かを測定することができる。このとき、制御ユニット１５０は、ラインスキャナ１６２で測定された値を、予め決められた値と比較することにより、異物を吸着しているか否か、エッチングの不良があるか否かを判別することができる（Ｓ１４０段階）。

【0063】

制御ユニット１５０は、ラインスキャナ１６２で測定された値を基に、判断を行い、その結果、スティックＳに異物が吸着おらず、且つ、エッチングの不良がないと判断されれば、領域カメラ１６３を制御してスティックＳを撮影し、撮影されたイメージを基に、臨界寸法検査、全体ピッチ検査及び直進度検査を行うことができる。このとき、臨界寸法検査は、一定領域において、開口部の対角線長などが正確であるか否かということを検査し、全体ピッチ検査は、一定個数の開口部を含む領域の全体長などを検査することである。また、直進度検査は、開口部が、一定の直線に配列されているか否かということなどを検査する（Ｓ１５０段階）。

【0064】

制御ユニット１５０は、前述のような検査によって得られた結果から、スティックＳが正確に形成されていると判別されれば、次の段階であるスティックＳのハンプ高Ｈ５検査を行う。このとき、スティックＳのハンプ高Ｈ５は、図６のように定義される。すなわち、スティックＳの開口部を除いた部分の断面は、図６のように形成される。このとき、スティックＳの断面は、上面から下面に向かって所定の位置Ａに到達するまでは、下面に行くほど幅が広くなっており、所定の位置Ａからさらに下面に到達するまでの間では、幅が一定になるか、あるいは狭まっている。このとき、幅が一定である部分、あるいは幅が細くなる部分をスティックＳのハンプと定義し、この部分の高さ（長さ）を、スティックＳのハンプ高Ｈ５と定義する。

【0065】

前述のようなスティックＳのハンプ高Ｈ５は、有機物を蒸着する際、シャドウ（shadow）効果に多くの影響を及ぼす。従って、スティックＳのハンプ高Ｈ５を精密に測定し、ハンプ高Ｈ５が所定の値にあるスティックＳを有機物蒸着の際に用いることは、有機物蒸着の正確度及び精密度を向上させるために、相当に重要である。

【0066】

スティックＳのハンプ高Ｈ５が精密に形成できているか否かを確認するために、従来においては、製造した一定数のスティックＳから一部を抜き取り、抜き取ったスティックＳを切断し、切断した部位を撮影したり、顕微鏡などを使用してスティックＳのハンプ高Ｈ５を測定したりしていた。しかし、このような場合、スティックＳの全体に対して検査しなければならず、さらに、スティックＳを切断した後、それを廃棄処分することにより、検査したスティックＳを再使用することが不可能である。それだけではなく、前述のように従来の方法を使用する場合、検査時間が長くかかることにより、生産性も低下する。

【0067】

従って、本発明の実施形態によるスティック検査装置１００は、非破壊方式でスティックＳを検査することを可能にするため、検査したスティックＳの再使用が可能となり、スティックＳの全数検査も可能となる。さらに、本発明の実施形態によるスティック検査装置１００によれば、検査するためにスティックＳの切断を行わないことから、検査時間も短く、生産性低下を防止することができる。さらに、本発明の実施形態によるスティック検査装置１００は、非接触方式でスティックＳを検査することを可能にするため、スティックＳの変形を最小化することができる。

【0068】

具体的には、前述のように、各種検査が完了した後、制御ユニット１５０は、第１検査ユニット１２０を介して、スティックＳの三次元イメージを獲得することができる。このとき、制御ユニット１５０は、前述のようなイメージを用いて、光線分散ユニット１３０からスティックＳの最上面までの第１距離Ｈ１を算出することができる。また、制御ユニット１５０は、光線分散ユニット１３０からスティックＳのハンプの開始点Ａまでの第２距離Ｈ２を算出することができる（図６参照）。

【0069】

前述のような作業が進められている間、距離測定ユニット１４０は、光線分散ユニット１３０からスティックＳの底面までの第３距離Ｈ３を測定することができる（図６参照）。このとき、第１検査ユニット１２０と距離測定ユニット１４０との測定は、スティックＳの任意の部分において、数回反復して行われる。

【0070】

また、前述のような作業が進められている間、制御ユニット１５０は、第３距離Ｈ３があらかじめ定められた距離と同一になるように、光線分散ユニット１３０及び距離測定ユニット１４０を上下動させることができる。このとき、光線分散ユニット１３０及び距離測定ユニット１４０は、シリンダに連結されるか、あるいはギア及びモータに連結されることにより、上下動が可能である。

【0071】

前述のような作業を完了すると、制御ユニット１５０は、第１距離Ｈ１と第３距離Ｈ３との差を算出し、スティックＳの全体高Ｈ４を算出することができる。また、制御ユニット１５０は、第２距離Ｈ２と第３距離Ｈ３との距離差を算出し、スティックＳのハンプ高Ｈ５を算出することができる。制御ユニット１５０は、算出されたスティックＳのハンプ高Ｈ５を算出した後、あらかじめ定められた値と比較し、スティックＳが不良か否かを判別することができる（Ｓ１６０段階）。

【0072】

制御ユニット１５０は、前述のような各種情報をスティックＳに記入するように、記録ユニット１８０を制御することができる。記録ユニット１８０は、ＱＲコードを生成してスティックＳに付着するか、あるいはスティックＳに直接記録することができる。このとき、各種情報は、スティックＳの番号、スティックＳの材質、スティックＳの特性、スティックＳが不良か否か、スティックＳの各検査結果、スティックＳの製造日付、スティックＳの製造会社のような情報を含むことができる（Ｓ１７０段階）。

【0073】

前記の過程が完了すれば、スティックＳは、前記スティック保存部に再び移送されるか、あるいは外部に搬出される。このとき、スティックＳが不良か否かの結果により、良品であるスティックＳと、不良であるスティックＳとは、互いに区分されて移送される（Ｓ１８０段階）。

【0074】

また、スティック検査装置１００及びスティック検査方法は、非破壊方式によってハンプ高を測定することにより、検査したスティックＳの再使用が可能となり、スティックＳの全数検査が可能となる。また、スティックＳの切断がないことから、測定時間が短縮され、生産性低下を防止することができる。

【0075】

さらに、本実施形態にかかるスティック検査装置１００及びスティック検査方法によれば、非接触方式でスティックＳを検査することにより、生産性低下を防止するだけではなく、スティックＳの変形を最小化することができる。

【0076】

なお、上述の一般的で具体的な方法は、システム、方法、コンピュータプログラム、またはあるシステム、方法、コンピュータプログラムの組み合わせを使用して実施されることができる。

【0077】

このように本発明は、図面に図示された一実施形態を参照して説明したが、それは例示的なものに過ぎず、当該分野で当業者であるならば、それらから多様な変形及び実施形態の変形が可能であるという点を理解するであろう。従って、本発明の真の技術的な保護範囲は、特許請求の範囲の技術的思想によって決められるものである。

【0078】

さらに、前述以外の他の側面、特徴、利点は、以下の図面、特許請求の範囲、及び発明の詳細な説明から明確になるであろう。

【産業上の利用可能性】

【0079】

本発明のスティック検査装置及びスティック検査方法は、例えば、ディスプレイ関連の技術分野に効果的に適用可能である。

【符号の説明】

【0080】

１００ スティック検査装置
１１０ 引っ張りユニット
１１１ クランプ
１２０ 第１検査ユニット
１３０ 光線分散ユニット
１４０ 距離測定ユニット
１５０ 制御ユニット
１６０ 第２検査ユニット
１６１ 屈曲検査器
１６２ ラインスキャナ
１６３ 領域カメラ
１７０ プレアラインユニット
１７１ ステージ
１７２ ブロック
１７３ フローティング部
１８０ 記録ユニット
１９０ アラインユニット
Ａ ハンプの開始点
Ｓ スティック

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】