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特許6306437縦型成膜装置
発明の名称 縦型成膜装置
出願人 国立大学法人山梨大学 （識別番号 304023994）
特許公開件数ランキング 1232 位（27件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 1288 位（20件）（共同出願を含む）
出願人 山梨県 （識別番号 391017849）
特許公開件数ランキング 7168 位（2件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 5723 位（2件）（共同出願を含む）
出願人 株式会社中家製作所 （識別番号 594109347）
特許公開件数ランキング 31340 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 25341 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6306437
公報発行日 2018年4月4
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6306437
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