特許6310972機械的スイッチ機構を利用する複数の可動アームを有する基板搬送装置

発明の名称　機械的スイッチ機構を利用する複数の可動アームを有する基板搬送装置

出願人　ブルックス　オートメーション　インコーポレイテッド　（識別番号 505047094）

　　　　特許公開件数ランキング 13870 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 11686 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6310972

公報発行日　2018年4月11

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6310972

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