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特許6312387粒子ビームデバイス及び粒子ビームデバイスを操作する方法
発明の名称 粒子ビームデバイス及び粒子ビームデバイスを操作する方法
出願人 カール ツァイス マイクロスコーピー ゲーエムベーハー （識別番号 512158505）
特許公開件数ランキング 14468 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 12296 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6312387
公報発行日 2018年4月18
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6312387
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