特許6321949磁気軸受装置、及び真空ポンプ

発明の名称　磁気軸受装置、及び真空ポンプ

出願人　エドワーズ株式会社　（識別番号 508275939）

　　　　特許公開件数ランキング 1151 位（6件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1169 位（5件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6321949

公報発行日　2018年5月9

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6321949

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