特許 6322468 吸着機構

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6322468

(24)【登録日】2018年4月13日

(45)【発行日】2018年5月9日

(54)【発明の名称】吸着機構

(51)【国際特許分類】

   B25J 15/06 20060101AFI20180423BHJP

【ＦＩ】

   B25J15/06 M

【請求項の数】3

【全頁数】17

(21)【出願番号】特願2014-90944(P2014-90944)

(22)【出願日】2014年4月25日

(65)【公開番号】特開2015-208801(P2015-208801A)

(43)【公開日】2015年11月24日

【審査請求日】2017年3月24日

(73)【特許権者】

【識別番号】399030060

【氏名又は名称】学校法人 関西大学

(74)【代理人】

【識別番号】100074332

【弁理士】

【氏名又は名称】藤本 昇

(74)【代理人】

【識別番号】100138416

【弁理士】

【氏名又は名称】北田 明

(72)【発明者】

【氏名】高橋 智一

【審査官】 永冨 宏之

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１２−２４１８３２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−２３３６２６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００２−２８３２６７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 高橋 智一，多様な形状をした物体を把持できる真空吸着グリッパの開発，２０１３年１１月１９日，ＵＲＬ，https://shingi.jst.go.jp/past_abst/abst/p/13/1340/kanchu_1.pdf

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ２５Ｊ １５／０６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

対象物を吸着するための吸着体を備えた吸着機構であって、
前記吸着体が、対象物に当接する可撓性及び弾力性を有する当接部と、該当接部の側方を覆う該当接部よりも保形強度が高い可撓性及び弾力性を有する側壁部と、前記当接部に設けられた変形可能な変形部とを備え、前記変形部を変形させる外力を付与する外力付与部を備え、該外力付与部は、前記当接部と前記側壁部とで形成される内部空間に吸引力を発生させる吸引部から構成され、
前記当接部は、該当接部における対象物との当接面に対象物から離間するように前記吸着体の内部側に凹む区画用の凹部を形成することによって区画される複数の当接部分から構成され、
一方の前記当接部分は、略フラットな外面を有し、かつ、内面の多数箇所に外面側に凹んだ第１凹部が形成されて他の部分よりも薄い薄肉部から前記変形部を構成し、
他方の前記当接部分は、前記区画用の凹部から前記当接面側へ突出する外部側に突出する有底筒状の多数の突起部から構成され、各突起部の突出端に、内面から外面側に凹んだ第２凹部が形成されて他の部分よりも薄い薄肉部から前記変形部を構成し、
前記吸引部の吸引力が前記内部空間を介して一方の前記当接部分の第１凹部及び他方の前記当接部分の第２凹部に伝達されて該第１凹部の薄肉部及び該第２凹部の薄肉部が変形することを特徴とする吸着機構。

【請求項2】

前記凹部が、前記当接部の外周縁部に沿って形成された略環状の溝から形成されていることを特徴とする請求項１に記載の吸着機構。

【請求項3】

前記当接部と前記側壁部とで形成される内部空間に充填材が充填されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の吸着機構。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、対象物を吸着するための吸着体を備えた吸着機構に関する。

【背景技術】

【0002】

かかる吸着機構は、ロボットハンドに用いられることが多い。この吸着機構がロボットハンドに用いられる場合には、吸引部からの吸引力で対象物を吸着体で吸着する。その吸着状態で他の場所へ移動して吸着を解除することによって、対象物の移動を行うことができる。この吸着機構としては、例えば、複数のエジェクタに圧縮エアを供給することにより負圧を生成する装置と、これら装置により生じた負圧により対象物を吸着するよう、エジェクタと同数設けられる吸引口とを備えて構成されている（例えば、特許文献１参照）。この吸着機構の各吸引口には、開閉用のバルブが内蔵され、それらのバルブの開閉を制御することによって、対象物を吸着する又は吸着解除することができる。

【0003】

また、特許文献２，３には、吸盤を対象物に当接させて真空装置からの吸引力で吸引することによって、対象物を吸盤で吸着する構成のものが開示されている。前記吸盤は、下端が開放され、下側ほど広がったラッパ状の吸着部と、吸着部の上側に一体化され、吸着部の内部を真空にすべく真空装置からの真空エアを供給するための吸引口が形成された円筒部とを備えている。そして、前記吸引口にそれを開閉する開閉用のバルブを設け、そのバルブを制御することによって、吸引する状態と吸引しない状態とに切り替えて、対象物を吸着する又は吸着解除することができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特表２００８−５０７６４９号公報（図１参照）

【特許文献2】特開２００４−２３０５５０号公報（図１参照）

【特許文献3】特開平６−２２６６７４号公報（図１参照）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

上記３つの特許文献の構成では、吸引口に開閉用のバルブの他、バルブを切り替え操作するための配線等の電気的な構成を設けなければならない。そのため、構造が複雑になるだけでなく、各バルブを切り替えるタイミングを制御するための制御構成も複雑になるという不都合があった。特に、吸引口が多くなればなるほど、前記不都合が顕著になるものであった。
また、特許文献２，３では、１個の吸盤で対象物を吸着する構成であるため、対象物を吸着した状態において、吸盤の外周縁の一部が対象物から不測に離間して吸盤が対象物から外れてしまう不都合もあり、改善の余地があった。

【0006】

本発明が前述の状況に鑑み、解決しようとするところは、構造及び制御構成を簡素にすることができ、しかも対象物を吸着した状態において対象物から外れ難い吸着機構を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の吸着機構は、前述の課題解決のために、対象物を吸着するための吸着体を備えた吸着機構であって、前記吸着体が、対象物に当接する可撓性及び弾力性を有する当接部と、該当接部の側方を覆う該当接部よりも保形強度が高い可撓性及び弾力性を有する側壁部と、前記当接部に設けられた変形可能な変形部とを備え、前記変形部を変形させる外力を付与する外力付与部を備え、該外力付与部は、前記当接部と前記側壁部とで形成される内部空間に吸引力を発生させる吸引部から構成され、前記当接部は、該当接部における対象物との当接面に対象物から離間するように前記吸着体の内部側に凹む区画用の凹部を形成することによって区画される複数の当接部分から構成され、一方の前記当接部分は、略フラットな外面を有し、かつ、内面の多数箇所に外面側に凹んだ第１凹部が形成されて他の部分よりも薄い薄肉部から前記変形部を構成し、他方の前記当接部分は、前記区画用の凹部から前記当接面側へ突出する外部側に突出する有底筒状の多数の突起部から構成され、各突起部の突出端に、内面から外面側に凹んだ第２凹部が形成されて他の部分よりも薄い薄肉部から前記変形部を構成し、前記吸引部の吸引力が前記内部空間を介して一方の前記当接部分の第１凹部及び他方の前記当接部分の第２凹部に伝達されて該第１凹部の薄肉部及び該第２凹部の薄肉部が変形することを特徴としている。

【0008】

上記構成のように、吸着体の当接部を対象物に当接させた当接状態において外力付与部の外力が変形部に付与されることによって、変形部が対象物から離間する側（吸着体の内部側）へ変形する。この変形により変形部と対象物との間に外部よりも減圧された密閉空間が形成される。この減圧された密閉空間が形成されることにより密閉空間と外部との間に圧力差が発生し、その圧力差で対象物を吸着体に吸着することができる。また、当接部が、区画される複数の当接部分から構成され、各当接部分に、少なくとも１つの変形部が設けられているので、対象物を吸着した状態において、区画されている一方の当接部分に設けられている変形部が不測に対象物から離間して外れた場合でも、残る他方の当接部分が連鎖的に対象物から離間して外れることがなく、確実に対象物を吸着した状態を維持し易い利点がある。また、対象物の表面が波打っているような形状であっても、区画されているので、当接部が対象物の表面に沿いやすく対象物を安定して吸着することができる。
また、当接部における対象物との当接面に対象物から離間する吸着体の内部側に凹む区画用の凹部を形成することによって、その形成された区画用の凹部で変形しやすく、対象物の表面により一層沿わせ易い。
また、区画用の凹部に、当接面側へ突出する複数の突起部を設け、突起部の突出端に変形部が形成されていれば、各突出部の先端を対象物に当接させて対象物を吸着保持することができる。
また、当接部を、複数の突出部から構成しておけば、複数の突出部のうちの一方の突出部の変形部が対象物から外れることがあっても、他方の突出部の変形部で対象物を吸着保持することができる。
また、複数の凹部が当接部と側壁部とで形成される内部空間に連通する構成にしておけば、内部空間に吸引部の吸引力を作用させるだけで、吸引部の吸引力が内部空間を介して全ての第１凹部及び第２凹部に伝達され、第１凹部及び第２凹部の全ての薄肉部を変形させることができる。これにより、各凹部に吸引部の吸引力を伝達するように、各凹部を制御する構成に比べて、制御構成を簡素にすることができる。

【0011】

また、本発明の吸着機構は、前記凹部が、前記当接部の外周縁部に沿って形成された略環状の溝から形成されていてもよい。

【0012】

上記のように、凹部が、当接部の外周縁部に沿って形成された略環状の溝から形成されていれば、当接部の外周縁部を対象物の形状に沿って変形し易く、対象物の吸着をより一層確実に行える。

【0019】

また、本発明の吸着機構は、前記当接部と前記側壁部とで形成される内部空間に充填材が充填されていてもよい。

【0020】

上記構成のように、内部空間に充填材を充填しておけば、吸着体を構成する当接部が対象物と当接した時に、充填材が適度な抵抗となるので、側壁部が不測に（必要以上に大きく）変形して（潰れて）、当接部の当接面が対象物に良好に沿わないことを回避することができる。これにより、どのような形状の対象物であっても、確実に吸着することができる。

【発明の効果】

【0021】

本発明によれば、外力付与部の外力を変形部に作用させるだけで、対象物を吸着体に吸着することができるため、吸引口に開閉用のバルブを設けることが不要にできるだけでなく、該バルブを切り替え操作するための配線等の電気的な構成及びバルブを切り替えるタイミングを制御する制御構成を不要にすることができる。しかも、区画されている一方の当接部分に設けられている変形部が不測に対象物から離間して外れた場合でも、残る他方の当接部分が連鎖的に対象物から離間して外れることがない。よって、構造及び制御構成を簡素にすることができ、しかも対象物を吸着した状態において対象物から外れ難い吸着機構を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0022】

【図1】（ａ）は本発明の吸着機構を示し、（ｂ）は（ａ）の吸着機構における吸着体の拡大断面図である。

【図2】本発明の吸着機構における吸着体で把持できる基本的な原理を示し、（ａ）は対象物に吸着体を当接した状態を示す断面図、（ｂ）は対象物を吸着体で吸着した状態を示す断面図である。

【図3】（ａ）は吸着体の底面図、（ｂ）は図３（ａ）におけるＡ−Ａ線断面図、（ｃ）は対象物に吸着体の底面を押し付けた状態を示す断面図である。

【図4】（ａ），（ｂ）は他の吸着体の底面図である。

【図5】（ａ），（ｂ）は他の吸着体の底面図である。

【図6】（ａ），（ｂ）は他の吸着体の底面図である。

【図7】（ａ）は他の吸着体の底面図、（ｂ）は図７（ａ）におけるＢ−Ｂ線断面図、（ｃ）は対象物に吸着体の底面を押し付けた状態を示す断面図である。

【図8】（ａ），（ｂ）は他の吸着体の底面図である。

【図9】（ａ），（ｂ）は他の吸着体の底面図である。

【図10】（ａ），（ｂ）は他の吸着体の底面図、（ｃ）は図１０（ｂ）におけるＣ−Ｃ線断面図である。

【図11】他の吸着体の底部の断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0023】

図１（ａ）は、対象物を吸着力で吸着するための吸着機構１を示している。この吸着機構１は、対象物を吸着するための吸着体２と、吸着体２に吸着力を発生させるために後述する変形部１１Ｂ，１２Ｂを変形させる外力を付与する外力付与部３とを備えている。

【0024】

外力付与部３は、吸引力を発生させる吸引部からなり、この吸引部は、真空を発生させる真空ポンプから構成されている。

【0025】

吸着体２と真空ポンプ３との間には、バルブ４が設けられている。このバルブ４を自動的又は人為的に切り替え操作することによって、吸着体２内のエアを排出して吸着体２内を吸着体２外（外気）の圧力よりも減圧する状態と、減圧された吸着体２内を吸着体２外（外気）に開放して吸着体２外（外気）と同圧に戻す状態とに切り替えることができる。吸着体２内を吸着体２外（外気）よりも減圧することによって、対象物を吸着体２で吸着できる。また、減圧された吸着体２内を吸着体２外（外気）に開放することによって、吸着した対象物を吸着解除できる。尚、バルブ４と真空ポンプ３とが第１ホース５を介して連結され、吸着体２とバルブ４とが第２ホース６を介して連結されている。従って、真空ポンプ３からの吸引力が、第１ホース５、バルブ４、第２ホース６を介して吸着体２へ伝達される。また、第２ホース６の途中部分には、第２ホース６の内部において大気圧以下の圧力を測定するための真空計Ｐが接続されている。この真空計Ｐの測定値から、吸着体２が吸着動作中かどうかを把握することができる。

【0026】

吸着体２は、第２ホース６に接続された基台７に取り付けられ、対象物に当接する当接部８と、当接部８の側方を覆うべく、当接部８の外周縁から基台７側へ延出された側壁部９とを備えている。当接部８と側壁部９とが、可撓性及び弾力性を有する樹脂材料から一体形成されている。そして、吸着体２は、当接部８と側壁部９とで外気と密閉された内部空間を有する構成となっている。可撓性及び弾力性を有する樹脂材料としては、例えばシリコーンゴム等のエラストマーを用いるのが最適であるが、軟質性を有する各種の合成樹脂であってもよい。

【0027】

基台７の厚み方向一端（後端）に、第２ホース６が接続される円筒状部７Ａが突出形成され、円筒状部７Ａの中心部に、第２ホース６と連通する貫通孔７Ｋが形成されている。この貫通孔７Ｋは、基台７の厚み方向一端側（後端側）に形成された断面形状円形の小径孔７ａと、この小径孔７ａの内部側端から基台７の厚み方向他端（前端）に亘って形成され、かつ、小径孔７ａよりも大きな直径を有する断面形状円形の大径孔７ｂとから構成されている。

【0028】

また、基台７の厚み方向他端（前端）に、側壁部９の遊端部（後端部）９Ａが嵌まり込む凹部７Ｂが形成されている。この凹部７Ｂに嵌め込まれた側壁部９は、凹部７Ｂの内側に配置された取付部材１０によって固定されている。取付部材１０は、中央に大径孔７ｂと連通する貫通孔１０ａを有する円板部１０Ａと、この円板部１０Ａの外周縁から直交する方向に延出される円筒部１０Ｂとから構成されている。

【0029】

当接部８における対象物との当接面の外周縁に、当接面から離間する内部側に凹む円環状の凹部８Ｍ（図３（ａ）では凹部８Ｍをわかりやすくするためにドットを記載している）が形成されている。この凹部８Ｍを形成することによって、当接部８を複数（図では２個）の当接部分１１，１２に区画している。これら２つの当接部分１１，１２は、内部側に位置する略円形状の第１当接部分１１と、外部側に位置する略円環状の第２当接部分１２とから構成されている。

【0030】

凹部８Ｍは、図１（ｂ）に示すように、凹んだフラット面を有する底壁８ａと底壁８ａから当接面側へ立ち上げられた垂直面を有し互いに対向するように配置される一対の側壁８ｂ，８ｃとを備えて、円環状の溝に構成されている。一対の側壁８ｂ，８ｃは、外側に位置する外側壁８ｂと内側に位置する内側壁とからなる。

【0031】

第１当接部分１１は、円形で略フラットな表面（外面）を有しており、その第１当接部分１１には、図１（ｂ）及び図３（ａ），（ｂ）に示すように、内面（裏面）の多数箇所（３６個）に外面側に凹んだ円形の凹部１１Ａが形成されて他の部分よりも薄い第１薄肉部１１Ｂが形成されている。これら第１薄肉部１１Ｂは、変形可能な第１変形部を構成し、これら第１変形部１１Ｂは、対象物との当接状態において真空ポンプ３からの吸引力により対象物から離間する側（吸着体２の内部側）へ引っ張られて変形する。これら第１変形部１１Ｂの変形により第１変形部１１Ｂと対象物との間に外部（外気）よりも減圧された密閉空間が形成され、吸着体２が対象物を吸着する。第１薄肉部１１Ｂの数としては、３６個に限定されることはなく、第１当接部分１１の面積の大きさに応じて任意の数に設定することができる。また、第１薄肉部１１Ｂの大きさによっては、個数を減らすこともできる。また、対象物の形状や大きさに合わせて第１薄肉部１１Ｂの数を設定することができる。

【0032】

第２当接部分１２は、凹部８Ｍに凹部８Ｍから外部側へ突出する多数の突起部１２Ａから構成されている。これら突起部１２Ａは、有底円筒状の円筒体からなり、凹部８Ｍに所定間隔を置いて突出形成されている（図３（ａ）では２４個であるが、個数は自由に変更できる）。各突起部１２Ａの突出端に、内面から外面側に凹んだ円形の凹部１２ａ（図１（ｂ）参照）が形成されて他の部分よりも薄い第２薄肉部１２Ｂが形成されている。各第２薄肉部１２Ｂは、変形可能な変形部を構成し、これら第２変形部１２Ｂは、対象物との当接状態において真空ポンプ３からの吸引力により対象物から離間する側（吸着体２の内部側）へ引っ張られて変形する。これら第２変形部１２Ｂの変形により第２変形部１２Ｂと対象物との間に外部（外気）よりも減圧された密閉空間が形成され、吸着体２が対象物を吸着する。第２薄肉部１２Ｂの数としては、２４個に限定されることはなく、任意の数に設定することができ、また、第２薄肉部１２Ｂの形状や大きさによっては、第２薄肉部１２Ｂの個数を減らすこともできる。また、対象物の形状や大きさに合わせて第２薄肉部１２Ｂの数を設定することができる。尚、図３（ａ）において、第１薄肉部１１Ｂ及び第２薄肉部１２Ｂをわかりやすくするために、第１薄肉部１１Ｂ及び第２薄肉部１２Ｂにハッチングを施している。

【0033】

対象物を吸着する基本的な原理を図２（ａ），（ｂ）に基づいて説明する。図１（ｂ）及び図３（ａ），（ｂ）では、吸着体２の第１薄肉部１１Ｂや第２薄肉部１２Ｂを多数備えたものを示しているが、図２（ａ），（ｂ）では、分かりやすくするために、１つの第２薄肉部１２Ｂのみを示している。この第２薄肉部１２Ｂが変形して対象物を吸着する吸着体２を構成している。このように構成された第２薄肉部１２Ｂを吸着したい対象物である板状体Ｓ１に当接させると、図２（ａ）に示すように第２薄肉部１２Ｂの外面１２ｂと板状体Ｓ１の外面Ｓｂとの間に僅かな空間Ｈ１が形成される。バルブ４を切り替えて真空ポンプ３からの吸引力を吸着体２へ供給することによって、吸着体２の内部の空間Ｘ１の圧力が外部（外気）の圧力よりも減圧される。この減圧により、第２薄肉部１２Ｂが板状体Ｓ１から離間する側へ変形して（吸着体２の内部側に凹んで）、図２（ｂ）に示すように大きな空間Ｈ２となる。このように空間の体積が増大すると、ボイル・シャルルの法則により圧力が下がり（減圧され）、板状体Ｓ１を空間Ｈ２で吸着することができる。但し、第２薄肉部１２Ｂの弾性復元力があるため、吸着体２の内部の空間Ｘ１の圧力をＰ１、空間Ｈ２の圧力をＰ２、第２薄肉部１２Ｂの圧力をＰ３とすると、Ｐ１＝Ｐ２+Ｐ３の関係が成立し、つり合った状態となる。また、空間Ｈ２の面積をＳ２とすると、吸着体２の吸着力Ｆ２は、Ｓ２×Ｐ２となる。尚、図２（ａ），（ｂ）では、吸着体２の内部に充填される後述するガラスビーズ及びフィルターを省略している。

【0034】

吸着体２の内部には、充填材としてのガラスビーズ１５が充填されており、対象物との当接時に、充填材が適度な抵抗となるので、吸着体２を構成する側壁部９が不測に（必要以上に大きく）変形して（潰れて）、当接部８の当接面（外面）が対象物に良好に沿わないことを回避することができる。これにより、どのような形状の対象物であっても、確実に吸着することができる。ここでは、吸着体２の内部にガラスビーズ１５を充填しているが、発泡ビーズや炭酸カルシウム等の粒状の物質の他、スポンジ、ゴムチップ、オガクズ等であってもよい。要するに、エアを通すことができるとともに対象物との当接時に対象物の形状に沿って側壁部９が良好に変形することができる構成であれば、どのような形状及び材料の充填材であってもよい。

【0035】

吸着体２の内部に充填されたガラスビーズ１５が、第１当接部分１１の凹部１１Ａ及び第２当接部分１２の凹部１２ａに入り込むことを阻止するための第１フィルター１３及び第２フィルター１４を第１当接部分１１の内面（裏面）１１Ｕ及び第２当接部分１２の内面（裏面）１２Ｕに接着剤を用いて貼り付けている（係止手段を用いて係止固定してもよい）。この第１フィルター１３及び第２フィルター１４を設けることによって、凹部１１Ａ及び凹部１２ａにガラスビーズ１５が入り込んで第１薄肉部１１Ｂ及び第２薄肉部１２Ｂが変形することが阻止されるといったトラブルを確実に回避することができる。また、吸着体２の内部に充填されたガラスビーズ１５が取付部材１０の貫通孔１０ａを通して第２ホース６側へ排出されることを阻止するための第３フィルター１６を取付部材１０に接着剤を用いて貼り付けている（係止手段を用いて係止固定してもよい）。

【0036】

前記のように構成された吸着体２（図１（ｂ）及び図３（ａ），（ｂ）参照）により、対象物Ｓ２を吸着する場合を図３（ｃ）に示している。これは、上面の中央に略半円状の凸部１７を有する対象物Ｓ２に、吸着体２を当接すると、対象物Ｓ２の凸部１７の表面（外面）１７Ａに沿って吸着体２の第１当接部分１１が変形する一方、吸着体２の外周縁のフラットな表面（外面）１８に吸着体２の第２当接部分１２が当接する。この状態において吸着体２の第１薄肉部１１Ｂ及び第２薄肉部１２Ｂ（図３（ａ），（ｂ）参照）が変形して吸着体２が対象物Ｓ２を吸着する。吸着体２が、開放された構成ではなく、密閉された構成であるため、塵が吸着体２の内部に入り込むことがない。このため、吸着力が塵の堆積により低下するといったことがなく、長期間に亘って安定した吸着力を発揮することができる。また、当接部が、区画される複数（ここでは２個）の当接部分１１，１２から構成され、各当接部分１１又は１２に、少なくとも１つの変形部１１Ｂ又は１２Ｂが設けられているので、対象物Ｓ２を吸着した状態において、区画されている一方の当接部分１１に設けられている変形部１１Ｂの一部が不測に対象物Ｓ２から離間して外れた場合でも、他方の当接部分１２が連鎖的に対象物Ｓ２から離間して外れることがなく、確実に対象物Ｓ２を吸着した状態を維持し易い利点がある。また、対象物Ｓ２の表面が波打っているような形状であっても、区画されているので、第１当接部分１１及び第２当接部分１２が対象物の表面に沿いやすく対象物を安定して吸着することができる。

【0037】

真空ポンプ３からの吸引力を吸着体２へ供給すべくバルブ４を切り替えるタイミングは、第１当接部分１１及び第２当接部分１２が対象物に当接したことを検出した時の検出信号に基づいて行う場合が考えられるが、バルブ４を切り替える切り替えスイッチを人為的に操作してバルブ４を切り替えてもよい。尚、第１当接部分１１及び第２当接部分１２が対象物に当接したことを検出する手段としては、磁気センサや光反射型センサ等を用いることができる。

【0038】

また、本発明では、真空ポンプ３の吸引力を第１変形部１１Ｂ及び第２変形部１２Ｂに作用させるだけで、対象物を吸着体２に吸着することができるため、吸引口に開閉用のバルブを設けることが不要にできるだけでなく、バルブを切り替え操作するための配線等の電気的な構成及びバルブを切り替えるタイミングを制御する制御構成を不要にすることができ、構造及び制御構成を簡素にすることができる。

【0039】

尚、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

【0040】

例えば、吸着体２を図４〜図１１に示す構成にしてもよい。尚、図４〜図１１において、凹部及び第１薄肉部１１Ｂ及び第２薄肉部１２Ｂをわかりやすくするために、凹部にドットを施し、第１薄肉部１１Ｂ及び第２薄肉部１２Ｂにハッチングを施している。図４（ａ）では、吸着体２の底面に大小２つの円環状の凹部１９，２０を形成することによって、当接部８が大きさの異なる２つの第１当接部分２１，２２と大きさの異なる２つの第２当接部分２３，２４の合計４つの部分に区画された構成を示している。内側に位置する円形状の第１当接部分２２には、内面（裏面）の多数箇所（１２個）に外面側に凹んだ円形の凹部が形成されて他の部分よりも薄い第１薄肉部２２Ｂが形成されている。また、外側に位置する円環状の第１当接部分２１には、外面側に凹んだ円形の凹部が環状に沿って所定間隔をおいて形成されて他の部分よりも薄い第１薄肉部２１Ｂが１２個形成されている。これら第１薄肉部２１Ｂ，２２Ｂは、変形可能な第１変形部を構成し、これら第１変形部２１Ｂ，２２Ｂは、対象物との当接状態において真空ポンプ３からの吸引力により対象物から離間する側（吸着体２の内部側）へ引っ張られて変形する。これら第１変形部２１Ｂ，２２Ｂの変形により第１変形部２１Ｂ，２２Ｂと対象物との間に外部（外気）よりも減圧された密閉空間が形成され、吸着体２の第１変形部２１Ｂ，２２Ｂが対象物を吸着する。また、各第２当接部分２３，２４は、前述同様に、凹部１９又は２０から外部側へ突出する多数の突起部１９Ａ又は２０Ａから構成されている。これら突起部１９Ａ又は２０Ａは、有底円筒状の円筒体からなり、所定間隔を置いて凹部１９又は２０に突出形成されている（図４（ａ）では突起部１９Ａが２４個であり、突起部２０Ａが１２個であるが、個数は自由に変更できる）。各円筒体の突出端に、内面から外面側に凹んだ円形の凹部が形成されて他の部分よりも薄い第２薄肉部１９Ｂ又は２０Ｂが形成されている。各第２薄肉部１９Ｂ又は２０Ｂは、変形可能な変形部を構成し、これら第２変形部１９Ｂ又は２０Ｂは、対象物との当接状態において真空ポンプ３からの吸引力により対象物から離間する側（吸着体２の内部側）へ引っ張られて変形する。これら第２変形部１９Ｂ又は２０Ｂの変形により第２変形部１９Ｂ又は２０Ｂと対象物との間に外部（外気）よりも減圧された密閉空間が形成され、吸着体２の第２変形部１９Ｂ又は２０Ｂが対象物を吸着する。また、図４（ｂ）では、円環状の凹部ではなくて、２個の半円状の凹部２５，２６が形成されて当接部８が、３つの部分に区画されている場合を示している。凹部２５，２６で囲まれる部分が略円形でフラット面を有する第１当接部分２７を構成している。第１当接部分２７には、内面（裏面）の多数箇所（３６個）に外面側に凹んだ円形の凹部が形成されて他の部分よりも薄い第１薄肉部２７Ｂが形成されている。尚、第２当接部分２８，２９の両端部間のそれぞれにも、外面側に凹んだ円形の凹部が形成されて他の部分よりも薄い１個の第１薄肉部２７Ｂが形成されている。尚、第１薄肉部２７Ｂは、合計３８個形成されている。また、各第２当接部分２８又は２９は、前述同様に、凹部２５又は２６から外部側へ突出する多数の突起部２８Ａ，２９Ａから構成されている。突起部２８Ａ，２９Ａは、有底円筒状でなる円筒体から構成され、凹部２５又は２６に沿って所定間隔を置いて多数設けられている（図４（ｂ）では突起部２８Ａ，２９Ａがいずれも１１個であるが、個数は自由に変更できる）。突起部２８Ａ，２９Ａの突出端には、内面から外面側に凹んだ円形の凹部が形成されて他の部分よりも薄い第２薄肉部２８Ｂ又は２９Ｂが形成されている。各第２薄肉部２８Ｂ又は２９Ｂは、変形可能な変形部を構成している。変形部２８Ｂ又は２９Ｂが変形することについては、前述と同様である。

【0041】

また、図５（ａ）では、当接部８が、３個の円弧状の凹部３０，３１，３２が形成されて４つの部分に区画されている場合を示している。凹部３０，３１，３２で囲まれる部分が略円形でフラット面を有する第１当接部分３３を構成している。第１当接部分３３には、内面（裏面）の多数箇所（３６個）に外面側に凹んだ円形の凹部が形成されて他の部分よりも薄い第１薄肉部（変形部）３３Ｂが形成されている。尚、第２当接部分３４，３５，３６の両端部間（３か所）のそれぞれにも、外面側に凹んだ円形の凹部が形成されて他の部分よりも薄い１個の第１薄肉部３３Ｂが形成されている。尚、第１薄肉部３３Ｂは、合計３９個形成されている。また、各第２当接部分３４又は３５又は３６は、前述同様に、凹部３０又は３１又は３２から外部側へ突出する多数の突起部３４Ａ又は３５Ａ又は３６Ａから構成されている。突起部３４Ａ又は３５Ａ又は３６Ａは、有底円筒状でなる円筒体から構成され、凹部３０又は３１又は３２に沿って所定間隔を置いて多数設けられている（図５（ａ）では突起部３４Ａ又は３５Ａ又は３６Ａがいずれも７個であるが、個数は自由に変更できる）。突起部３４Ａ又は３５Ａ又は３６Ａの突出端には、内面から外面側に凹んだ円形の凹部が形成されて他の部分よりも薄い第２薄肉部３４Ｂ又は３５Ｂ又は３６Ｂが形成されている。各第２薄肉部３４Ｂ又は３５Ｂ又は３６Ｂは、変形可能な変形部を構成している。第１変形部３３Ｂ及び第２変形部３４Ｂ，３５Ｂ，３６Ｂが変形することについては、前述と同様である。また、図５（ｂ）では、１つの円形の第１当接部分３８の外周縁に所定間隔を置いて２４個に区画された第２当接部分３９とから当接部８を構成している。各第２当接部分３９は、円形の各凹部３７の中心部に凹部３７から外部側へ突出する１つの突起部３９Ａから構成されている。各突起部３９Ａは、有底円筒状でなる円筒体で構成されている。各突起部３９Ａの突出端には、内面から外面側に凹んだ円形の凹部が形成されて他の部分よりも薄い第２薄肉部３９Ｂが形成されている。各第２薄肉部３９Ｂは、変形可能な変形部を構成している。また、第１当接部分３８には、内面（裏面）の多数箇所（３６個）に外面側に凹んだ円形の凹部が形成されて他の部分よりも薄い第１薄肉部（変形部）３８Ｂが形成されている。

【0042】

また、図６（ａ）では、円環状の凹部ではなくて、外周縁よりも内側部分に正６角形状で帯状の凹部４０が形成されて、当接部８を３つの部分に区画されている場合を示している。凹部４０で囲まれる部分が正６角形状でフラット面を有する内側の第１当接部分４１を構成し、凹部４０の外側に位置する外側の第１当接部分４２を構成している。各第１当接部分４１又は４２には、内面（裏面）の多数箇所（４９個又は２４個）に外面側に凹んだ円形の凹部が形成されて他の部分よりも薄い第１薄肉部（変形部）４１Ｂ又は４２Ｂが形成されている。また、各第２当接部分４３は、前述同様に、凹部４０から外部側へ突出する多数の突起部４３Ａから構成されている。これら突起部４３Ａは、有底円筒状の円筒体からなり、所定間隔を置いて凹部４０に突出形成されている（図６（ａ）では突起部４３Ａが２４個であるが、個数は自由に変更できる）。各円筒体の突出端に、内面から外面側に凹んだ円形の凹部が形成されて他の部分よりも薄い第２薄肉部４３Ｂが形成されている。各第２薄肉部４３Ｂは、変形可能な変形部を構成している。図６（ｂ）では、円環状の凹部ではなくて、外周縁よりも内側部分に正４角形状で帯状の凹部４４が形成されて、当接部８を３つの部分に区画されている場合を示している。凹部４４で囲まれる部分が正４角形状でフラット面を有する内側の第１当接部分４５を構成し、凹部４４の外側に位置する外側の第１当接部分４６を構成している。内側の第１当接部分４５には、内面（裏面）に外面側に凹んだ円形の凹部が形成されて他の部分よりも薄い第１薄肉部（変形部）４５Ｂをマトリックス状に整列した状態で２５個備えている。外側の第１当接部分４６には、内面（裏面）に外面側に凹んだ円形の凹部が形成されて他の部分よりも薄い第１薄肉部（変形部）４５Ｂを２列に整列した状態で合計４８個備えている。また、各第２当接部分４７は、前述同様に、凹部４４から外部側へ突出する多数の突起部４７Ａから構成されている。これら突起部４７Ａは、有底円筒状の円筒体からなり、所定間隔を置いて凹部４４に突出形成されている（図６（ｂ）では突起部４７Ａが２４個であるが、個数は自由に変更できる）。各円筒体の突出端に、内面から外面側に凹んだ円形の凹部が形成されて他の部分よりも薄い第２薄肉部４７Ｂが形成されている。各第２薄肉部４７Ｂは、変形可能な変形部を構成している。図６（ｂ）で示した正４角形状で帯状の凹部４４の内側に、凹部４４よりも小さな正４角形状で帯状の凹部を更に備えていてもよい。

【0043】

また、図７（ａ）では、円環状の凹部ではなくて、一直線状でかつ第１当接部分が左右方向で２つ存在するように直径方向に沿って帯状の凹部４８が形成されている。これにより、当接部８を３つの当接部分４９，５０，５１に区画されている場合を示している。左側の第１当接部分４９には、内面（裏面）から外面側に凹んだ円形の凹部が形成されて他の部分よりも薄い第１薄肉部４９Ｂが放射状に合計４３個形成されている。右側の第１当接部分５０にも左側の第１当接部分４９と同様に、内面（裏面）から外面側に凹んだ円形の凹部が形成されて他の部分よりも薄い第１薄肉部５０Ｂが放射状に合計４３個形成されている。また、第２当接部分５１は、前述同様に、凹部４８から外部側へ突出する多数の突起部５１Ａから構成されている。これら突起部５１Ａは、有底円筒状の円筒体からなり、所定間隔を置いて凹部４８に突出形成されている（図７（ａ）では突起部５１Ａが１１個であるが、個数は自由に変更できる）。各円筒体の突出端に、内面から外面側に凹んだ円形の凹部が形成されて他の部分よりも薄い第２薄肉部５１Ｂが形成されている。各第２薄肉部５１Ｂは、変形可能な変形部を構成している。このように一直線状でかつ第１当接部分を左右方向で２分割するような凹部４８を形成することによって、凹部４８で折れ曲がりやすくなるため、図７（ｃ）に示すように、中心部に凹部５２が形成されている対象物Ｓ３を吸着する際に、当接部８が凹部５２の外面に沿って変形し易く、対象物Ｓ３を確実に吸着することができる。

【0044】

また、図８（ａ）では、円環状の凹部ではなくて、円の中心から放射状に３本（ここでは３本であるが４本以上であってもよい）の溝が形成されたＹ字状で帯状の凹部５７が形成されて、当接部８を４つの当接部分５３，５４，５５，５６に区画されている場合を示している。３つの第１当接部分５３，５４，５５は、いずれも同一構成であり、各第１当接部分５３又は５４又は５５は、内面（裏面）から外面側に凹んだ円形の凹部が形成されて他の部分よりも薄い第１薄肉部５３Ｂ又は５４Ｂ又は５５Ｂが放射状に２７個形成されている。また、第２当接部分５６は、前述同様に、凹部５７から外部側へ突出する多数の突起部５６Ａから構成されている。これら突起部５６Ａは、有底円筒状の円筒体からなり、所定間隔を置いて凹部５７に突出形成されている（図８（ａ）では突起部５６Ａが１６個であるが、個数は自由に変更できる）。各円筒体の突出端に、内面から外面側に凹んだ円形の凹部が形成されて他の部分よりも薄い第２薄肉部５６Ｂが形成されている。図８（ｂ）では、図８のＹ字状の凹部５７ではなくて、十字状で帯状の凹部５８が形成されて、当接部８を５つの当接部分５９，６０，６１，６２，６３に区画されている場合を示している。４つの第１当接部分５９，６０，６１，６２は、いずれも同一構成であり、各第１当接部分５９又は６０又は６１又は６２は、内面（裏面）から外面側に凹んだ円形の凹部が形成されて他の部分よりも薄い第１薄肉部５９Ｂ又は６０Ｂ又は６１Ｂ又は６２Ｂが放射状に１８個形成されている。また、第２当接部分６３は、前述同様に、凹部５８から外部側へ突出する多数の突起部６３Ａから構成されている。これら突起部６３Ａは、有底円筒状の円筒体からなり、所定間隔を置いて凹部５８に突出形成されている（図８（ｂ）では突起部５６Ａが２１個であるが、個数は自由に変更できる）。各円筒体の突出端に、内面から外面側に凹んだ円形の凹部が形成されて他の部分よりも薄い第２薄肉部６３Ｂが形成されている。

【0045】

また、図９（ａ）では、円環状の凹部ではなくて、縦３列の帯状の凹部６４と横３列の帯状の凹部６５とが交差して形成されて、当接部８を１７つの当接部分６６〜８２に区画されている場合を示している。四隅の第１当接部分６６，６９，７８，８１は、いずれも同一構成であり、各第１当接部分６６又は６９又は７８又は８１は、内面（裏面）から外面側に凹んだ円形の凹部が形成されて他の部分よりも薄い第１薄肉部６６Ｂ又は６９Ｂ又は７８Ｂ又は８１Ｂが放射状に１個形成されている。残りの１２つの第１当接部分６７，６８，７０，７１，７２，７３，７４，７５，７６，７７，７９，８０は、いずれも同一構成であり、１つの第１当接部分７０（２段目の左端に位置する）は、内面（裏面）から外面側に凹んだ円形の凹部が形成されて他の部分よりも薄い第１薄肉部７０Ｂが放射状に５個形成されている。また、第２当接部分８２は、前述同様に、凹部６４から外部側へ突出する多数の突起部８２Ａから構成されている。これら突起部８２Ａは、有底円筒状の円筒体からなり、所定間隔を置いて凹部５７に突出形成されている（図９（ａ）では突起部８２Ａが５７個であるが、個数は自由に変更できる）。各円筒体の突出端に、内面から外面側に凹んだ円形の凹部が形成されて他の部分よりも薄い第２薄肉部８２Ｂが形成されている。図９（ｂ）では、円環状の凹部ではなくて、正六角形でなるハニカム形状で帯状の凹部８３が形成されて、当接部８を１４つの当接部分８４〜９６に区画されている場合を示している。正六角形で囲まれた第１当接部分９０〜９６は、いずれも同一構成であり、最上部に位置する第１当接部分９１は、内面（裏面）から外面側に凹んだ円形の凹部が形成されて他の部分よりも薄い第１薄肉部９１Ｂが放射状に９個形成されている。残りの外周部分には、２種類の第１当接部分８４〜８９が存在し、一方の第１当接部分８６又は８９（左右両側の２か所に形成されている）は、内面（裏面）から外面側に凹んだ円形の凹部が形成されて他の部分よりも薄い第１薄肉部８６Ｂ又は８９Ｂが１個形成されている。また、他方の第１当接部分８４，８５，８７，８８（上下に合計４か所に形成されている）は、内面（裏面）から外面側に凹んだ円形の凹部が形成されて他の部分よりも薄い第１薄肉部８４Ｂ，８５Ｂ，８７Ｂ，８８Ｂが２個形成されている。また、第２当接部分９７は、前述同様に、凹部８３から外部側へ突出する多数の突起部９７Ａから構成されている。これら突起部９７Ａは、有底円筒状の円筒体からなり、所定間隔を置いて凹部８３に突出形成されている（図９（ｂ）では突起部９７Ａが５０個であるが、個数は自由に変更できる）。各円筒体の突出端に、内面から外面側に凹んだ円形の凹部が形成されて他の部分よりも薄い第２薄肉部９７Ｂが形成されている。

【0046】

また、図１０（ａ）では、円環状で帯状の凹部９８とＹ字状で帯状の凹部９９とが合体した形状の凹部１００が形成されて、当接部８を４つの当接部分１０１，１０２，１０３，１０４に区画されている場合を示している。３つの第１当接部分１０１，１０２，１０３は、いずれも同一構成であり、各第１当接部分１０１又は１０２又は１０３は、内面（裏面）から外面側に凹んだ円形の凹部が形成されて他の部分よりも薄い第１薄肉部１０１Ｂ又は１０２Ｂ又は１０３Ｂが放射状に１８個形成されている。また、第２当接部分１０４は、前述同様に、凹部１００から外部側へ突出する多数の突起部１０４Ａから構成されている。これら突起部１０４Ａは、有底円筒状の円筒体からなり、所定間隔を置いて凹部１００に突出形成されている（図１０（ｂ）では突起部１０４Ａが３７個であるが、個数は自由に変更できる）。各円筒体の突出端に、内面から外面側に凹んだ円形の凹部が形成されて他の部分よりも薄い第２薄肉部１０４Ｂが形成されている。また、図１０（ｂ），（ｃ）では、当接部分が、吸着体２の底部１０５から離間する外部側に突出する多数（図では、１９３個）の突出部１０６から構成されている。各突出部１０６の突出端に、内面から外面側に凹んだ円形の凹部が形成されて他の部分よりも薄い第２薄肉部１０６Ｂが形成されている。

【0047】

図８（ａ），（ｂ）〜１０（ａ）のように凹部が少なくとも一つの交差部分を有する吸着体２及び図１０（ｂ）のように多数（図では、１９３個であるが少なくとも５個）の当接部分１０６からなる吸着体２である場合には、吸着体２自体が変形し易くなるため、図３（ｃ）の凸部１７を有する対象物Ｓ２及び図７（ｃ）の凹部５２を有する対象物Ｓ３のいずれにおいても、対象物の形状に沿って変形し易い。従って、対象物の形状にかかわらず、吸着効果を確実に発揮することができる利点がある。

【0048】

また、前記実施形態では、側壁部９が変形可能に構成した場合を示したが、対象物の吸着面がフラット面である場合には、側壁部９を変形不能な金属や硬質プラスチック等で構成することができる。

【0049】

また、前記実施形態では、変形部を変形させるための外力としてエア（気体）を用いたが、液体を用いてもよい。この液体の場合は、液体ポンプで吸着体２の内部の液体を取り除くことになる。また、変形部に例えば伸縮作動するピストロッドのロッドの先端を連結しておき、ピストンロッドを短縮作動させることによって、変形部を引っ張り変形させるようにしてもよい。また、前記実施形態の真空ポンプに代えて、例えば吸着体２の内部のエアを吸引するためのシリンダであってもよい。

【0050】

また、前記実施形態では、第１当接部分に形成した第１薄肉部を変形部としたが、全域に亘って同一厚みの当接部とし、その当接部のうちの変形させたい特定部分を他の部分よりも変形し易い材料から構成して、その特定部分を変形部に構成してもよい。

【0051】

また、前記実施形態では、吸着体２を、当接部８と側壁部９とで構成したが、当接部８のみで構成してもよい。この場合、平面のある対象物を吸着することになる。

【0052】

また、前記実施形態では、吸着体２は、当接部８の内側に凹部１１Ａを形成して薄肉部１１Ｂを形成したが、図１１に示すように、当接部８の内側に形成された凹部１１Ａに対応する当接部８の外側にも凹部１１Ｃを形成して薄肉部１１Ｂを構成して吸着体を構成してもよい。また、図１１では、当接部８の厚みよりも側壁部９の厚みを厚く形成して側壁部９の保形強度を向上させることによって、図１（ｂ）で示したガラスビーズ１５を吸着体２の内部に充填しなくてもよい（３つのフィルター１３，１４，１６も不要となる）。また、当接部８と側壁部９とを別々に形成し、側壁部９を当接部８よりも保形強度が高いように構成し、それらを一体化して吸着体２を構成してもよい。

【0053】

また、前記実施形態では、第１当接部分１１が当接する高さ位置と第２当接部分１２が当接する高さ位置とを同一に設定しているが、第１当接部分１１が当接する高さ位置が第２当接部分１２が当接する高さ位置よりも高い位置に設定する、又は逆に第２当接部分１２が当接する高さ位置が第１当接部分１１が当接する高さ位置よりも高い位置に設定してもよいし、対象物の形状に合わせて第１当接部分１１の中でも当接する高さ位置が異なるように設定する、又は第１当接部分１１の中でも当接する高さ位置が異なるように設定してもよい。また、第１当接部分１１に対する第２当接部分１２の比率は、自由に変更することができる。

【0054】

また、前記実施形態では、突起部１２Ａを円筒体から構成したが、直方体や立方体等の規則的に立体形状の他、不規則な立体形状であってもよい。

【0055】

また、前記実施形態では、凹部８Ｍを、底壁８ａと外側壁８ｂと内側壁８ｃとからなる溝から構成したが、外側壁８ｂの無い凹部、つまり底壁８ａが外周端縁まで続く凹みであってもよい。

【0056】

本発明の吸着機構は、ロボットハンドに用いて対象物をハンドリングする場合に適用できる他、窓面に吸着させて移動させることによって清掃を行う清掃機械、箱詰めするための商品をピッキングするピッキング装置、対象物を吸着により固定して各種の加工を行う加工装置、対象物を吸着して搬送する搬送装置等においても適用することができる。

【符号の説明】

【0057】

１…吸着機構、２…吸着体、３…外力付与部（真空ポンプ）、４…バルブ、５，６…ホース、７…基台、７Ａ…円筒状部、７Ｂ…凹部、７Ｋ…貫通孔、７ａ…小径孔、７ｂ…大径孔、８…当接部、８Ｍ…凹部、９…側壁部、１０…取付部材、１０Ａ…円板部、１０Ｂ…円筒部、１０ａ…貫通孔、１１…第１当接部分、１１Ａ…凹部、１１Ｂ…第１薄肉部（変形部）、１２…第２当接部分、１２Ａ…突起部、１２Ｂ…第２薄肉部（変形部）、１２ａ…凹部、１２ｂ…外面、１３，１４，１６…フィルター、１５…ガラスビーズ、１７…凸部、１９，２０…凹部、１９Ａ…突起部、１９Ｂ…第１薄肉部（変形部）、２０Ａ…突起部、２１，２２…第１当接部分、２１Ｂ，２２Ｂ…第１薄肉部（変形部）、２３，２４…第２当接部分、２５，２６…凹部、２７…第１当接部分、２７Ｂ…第１薄肉部（変形部）、２８，２９…第２当接部分、２８Ａ，２９Ａ…突起部、２８Ｂ…第１薄肉部（変形部）、３０，３１，３２…凹部、３３…第１当接部分、３３Ｂ…第１薄肉部（変形部）、３４，３５，３６…第２当接部分、３４Ａ，３５Ａ，３６Ａ…突起部、３４Ｂ，３５Ｂ，３６Ｂ…第１薄肉部（変形部）、３７…凹部、３８…第１当接部分、３９…第２当接部分、３９Ａ…突起部、３９Ｂ…第１薄肉部（変形部）、４０…凹部、４１，４２…第１当接部分、４３…第２当接部分、４３Ａ…突起部、４３Ｂ…第１薄肉部（変形部）、４４…凹部、４５，４６…第１当接部分、４７…第２当接部分、４７Ａ…突起部、４７Ｂ…第１薄肉部（変形部）、４８…凹部、４９，５０…第１当接部分、５１…第２当接部分、４９Ｂ，５０Ｂ…第１薄肉部（変形部）、５１Ａ…突起部、５１Ｂ…第２薄肉部（変形部）、５２…凹部、５３，５４，５５…第１当接部分、５６…第２当接部分、５３Ｂ…第１薄肉部（変形部）、５６…第２当接部分、５６Ａ…突起部、５６Ｂ…第２薄肉部（変形部）、５７，５８…凹部、５９，６０，６１，６２…第１当接部分、６３…第２当接部分、５９Ｂ…第１薄肉部（変形部）、６３Ａ…突起部、６３Ｂ…第２薄肉部（変形部）、６４，６５…凹部、６６〜８１…第１当接部分、６６Ｂ…第１薄肉部（変形部）、７０Ｂ…第１薄肉部（変形部）、８２…第２当接部分、８２Ａ…突起部、８２Ｂ…第２薄肉部（変形部）、８３…凹部、８４〜９６…第１当接部分、８４Ｂ，８５Ｂ，８６Ｂ，８７Ｂ，８８Ｂ…第１薄肉部（変形部）、９７…第２当接部分、９７Ａ…突起部、９７Ｂ…第２薄肉部（変形部）、９８，９９，１００…凹部、１０１，１０２，１０３…第１当接部分、１０４…第２当接部分、１０１Ｂ…第１薄肉部（変形部）、１０４Ａ…突起部、１０４Ｂ…第２薄肉部、１０５…底部、１０６…突出部（当接部分）、１０６Ｂ…薄肉部、Ｐ…真空計、Ｓ１…板状体、Ｓ２，Ｓ３…対象物、Ｓｂ…外面

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】