特許6322678基板処理装置及びこれを用いた基板処理方法

発明の名称　基板処理装置及びこれを用いた基板処理方法

出願人　ユ−ジーン　テクノロジー　カンパニー．リミテッド　（識別番号 509123895）

　　　　特許公開件数ランキング 966 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 956 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6322678

公報発行日　2018年5月9

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6322678

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