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特許6324318インプリントリソグラフィー用のシームレスな大面積マスターテンプレートの製造方法
発明の名称 インプリントリソグラフィー用のシームレスな大面積マスターテンプレートの製造方法
出願人 キャノン・ナノテクノロジーズ・インコーポレーテッド （識別番号 514153148）
特許公開件数ランキング 4793 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 3986 位（0件）（共同出願を含む）
出願人 モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド （識別番号 503193362）
特許公開件数ランキング 4793 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 3986 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6324318
公報発行日 2018年5月16
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6324318
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