特許6325641アルミニウム合金スパッタリングターゲット

発明の名称　アルミニウム合金スパッタリングターゲット

出願人　株式会社コベルコ科研　（識別番号 130259）

　　　　特許公開件数ランキング 1192 位（6件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1045 位（6件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6325641

公報発行日　2018年5月16

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6325641

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