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特許6328665ＥＵＶリソグラフィに使用されるミラー基板用のＴｉＯ２−ＳｉＯ２ガラスのブランクの製造方法
発明の名称 ＥＵＶリソグラフィに使用されるミラー基板用のＴｉＯ２−ＳｉＯ２ガラスのブランクの製造方法
出願人 ヘレウス・クアルツグラース・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング・ウント・コンパニー・コマンディット・ゲゼルシャフト （識別番号 599089712）
特許公開件数ランキング 12243 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 10267 位（0件）（共同出願を含む）
出願人 信越石英株式会社 （識別番号 190138）
特許公開件数ランキング 4146 位（1件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 10267 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6328665
公報発行日 2018年5月23
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6328665
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