特許6328702低温基板上の薄膜を還元する方法

発明の名称　低温基板上の薄膜を還元する方法

出願人　エヌシーシー　ナノ，　エルエルシー　（識別番号 511009710）

　　　　特許公開件数ランキング 966 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 956 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6328702

公報発行日　2018年5月23

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6328702

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-6328702「低温基板上の薄膜を還元する方法」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録