特許6328752ポリシリコンの搬送装置及び反応器システム並びにそれらを用いた多結晶シリコンの製造方法

発明の名称　ポリシリコンの搬送装置及び反応器システム並びにそれらを用いた多結晶シリコンの製造方法

出願人　アールイーシー　シリコン　インコーポレイテッド　（識別番号 507002985）

　　　　特許公開件数ランキング 1788 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1520 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6328752

公報発行日　2018年5月23

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6328752

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