特許6336329基板搬送装置

発明の名称　基板搬送装置

出願人　富士機械製造株式会社　（識別番号 237271）

　　　　特許公開件数ランキング 267 位（113件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 114 位（224件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6336329

公報発行日　2018年6月6

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6336329

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-6336329「基板搬送装置」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録