特許 6336876 情報処理装置、及び情報処理方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6336876

(24)【登録日】2018年5月11日

(45)【発行日】2018年6月6日

(54)【発明の名称】情報処理装置、及び情報処理方法

(51)【国際特許分類】

   G01N 23/2276 20180101AFI20180528BHJP

   G01N 23/2273 20180101ALI20180528BHJP

   G01N 23/2252 20180101ALI20180528BHJP

【ＦＩ】

   G01N23/227 320

   G01N23/227 310

   G01N23/225 312

【請求項の数】3

【全頁数】10

(21)【出願番号】特願2014-205615(P2014-205615)

(22)【出願日】2014年10月6日

(65)【公開番号】特開2016-75559(P2016-75559A)

(43)【公開日】2016年5月12日

【審査請求日】2017年6月22日

(73)【特許権者】

【識別番号】000004271

【氏名又は名称】日本電子株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100090387

【弁理士】

【氏名又は名称】布施 行夫

(74)【代理人】

【識別番号】100090398

【弁理士】

【氏名又は名称】大渕 美千栄

(72)【発明者】

【氏名】横内 和城

【審査官】 藤田 都志行

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００７−０７８５０８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−０７１６４７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−１６９５７３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−１０６７１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−１５６４６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−１１２５２３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２０１４／０１００７９１（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 発明協会公開技報公技番号２００７−５０４４２２

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｎ ２３／００−２３／２２７６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

分析装置において取得された測定データを処理する情報処理装置であって、
前記測定データの取得に関する履歴と、前記分析装置における分析位置に関する履歴と、前記分析装置において試料に対して行われた所定の操作に関する履歴とを、時刻情報に対応付けてログ情報として記憶する記憶部と、
前記ログ情報に基づいて、前記測定データの取得に関する履歴と前記分析位置に関する履歴と前記所定の操作に関する履歴とを表示画面のログ表示領域に時系列で表示させる制御を行う表示制御部とを含み、
前記表示制御部は、
前記測定データに基づき生成した測定結果画像を前記表示画面に表示させる制御を行い、複数の前記測定結果画像から１つの前記測定結果画像を選択する操作入力があった場合に、選択された前記測定結果画像の生成に用いた前記測定データに対応する履歴を前記ログ表示領域において特定可能に表示させる制御を行う、情報処理装置。

【請求項2】

請求項１において、
前記表示制御部は、
前記ログ情報に基づいて、前記測定データの取得に関する履歴を前記分析位置又は前記所定の操作の種別により分類して表示させる制御を行う、情報処理装置。

【請求項3】

分析装置において取得された測定データを処理する情報処理方法であって、
前記測定データの取得に関する履歴と、前記分析装置における分析位置に関する履歴と、前記分析装置において試料に対して行われた所定の操作に関する履歴とを、時刻情報に対応付けてログ情報として記憶部に記憶させる記憶工程と、
前記ログ情報に基づいて、前記測定データの取得に関する履歴と前記分析位置に関する履歴と前記所定の操作に関する履歴とを表示画面のログ表示領域に時系列で表示させる制御を行う表示制御工程とを含み、
前記表示制御工程において、
前記測定データに基づき生成した測定結果画像を前記表示画面に表示させる制御を行い、複数の前記測定結果画像から１つの前記測定結果画像を選択する操作入力があった場合に、選択された前記測定結果画像の生成に用いた前記測定データに対応する履歴を前記ログ表示領域において特定可能に表示させる制御を行う、情報処理方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、分析装置において取得された測定データを処理する情報処理装置、及びデータ処理方法に関する。

【背景技術】

【0002】

試料分析の分野で、試料表面に存在する元素の分析を行うために、オージェ電子分光装置（ＡＥＳ）等の分析装置が用いられる（例えば、特許文献１）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００８−２０３８６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

分析装置を用いた分析作業では、分析対象となる試料は、分析装置内に導入された後、電子ビームの照射や表面加工等によって状態が経時変化する。特に、ＡＥＳやＸＰＳ（Ｘ線光電子分光装置）では、試料をエッチングする操作を行いながらデプスプロファイルを測定して深さ方向分析を行う手法がある。従って、分析装置で測定（取得）された測定データを参照する際には、当該測定データが取得された前後の状況を把握することが、ユーザ（或いは、管理者や依頼者）にとって有用である。

【0005】

本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、本発明のいくつかの態様によれば、測定データが取得された前後の状況を把握し易くすることが可能な、情報処理装置及び情報処理方法を提供することができる。

【課題を解決するための手段】

【0006】

（１）本発明に係る情報処理装置は、分析装置において取得された測定データを処理する情報処理装置であって、前記測定データの取得に関する履歴と、前記分析装置における分析位置に関する履歴と、前記分析装置において試料に対して行われた所定の操作に関する履歴とを、時刻情報に対応付けてログ情報として記憶する記憶部と、前記ログ情報に基づいて、前記測定データの取得に関する履歴と前記分析位置に関する履歴と前記所定の操作に関する履歴とを表示画面のログ表示領域に時系列で表示させる制御を行う表示制御部とを含み、前記表示制御部は、前記測定データに基づき生成した測定結果画像を前記表示画面に表示させる制御を行い、複数の前記測定結果画像から１つの前記測定結果画像を選択する操作入力があった場合に、選択された前記測定結果画像の生成に用いた前記測定データに対応する履歴を前記ログ表示領域において特定可能に表示させる制御を行う。

【0007】

また、本発明に係る情報処理方法は、分析装置において取得された測定データを処理する情報処理方法であって、前記測定データの取得に関する履歴と、前記分析装置における分析位置に関する履歴と、前記分析装置において試料に対して行われた所定の操作に関する履歴とを、時刻情報に対応付けてログ情報として記憶部に記憶させる記憶工程と、前記ログ情報に基づいて、前記測定データの取得に関する履歴と前記分析位置に関する履歴と前記所定の操作に関する履歴とを表示画面のログ表示領域に時系列で表示させる制御を行う表示制御工程とを含み、前記表示制御工程において、前記測定データに基づき生成した測定結果画像を前記表示画面に表示させる制御を行い、複数の前記測定結果画像から１つの前記測定結果画像を選択する操作入力があった場合に、選択された前記測定結果画像の生成に用いた前記測定データに対応する履歴を前記ログ表示領域において特定可能に表示
させる制御を行う。

【0008】

本発明によれば、測定データの取得に関する履歴と、分析位置に関する履歴と、試料に対して行われた所定の操作に関する履歴とを、表示画面のログ表示領域に時系列で表示させるとともに、ユーザにより選択された測定結果画像の生成に用いた測定データに対応する履歴を当該ログ表示領域において特定可能に表示することで、ユーザが選択した測定結果画像の元となる測定データが取得された前後の状況（分析位置、試料の状態）を把握し易くすることができ、ユーザ等にとって有用な情報を提供することができる。

【0009】

（２）本発明に係る制御装置では、前記表示制御部は、前記ログ情報に基づいて、前記測定データの取得に関する履歴を前記分析位置又は前記所定の操作の種別により分類して表示させる制御を行ってもよい。

【0010】

また、本発明に係る情報処理方法では、前記表示制御工程において、前記ログ情報に基づいて、前記測定データの取得に関する履歴を前記分析位置又は前記所定の操作の種別により分類して表示させる制御を行ってもよい。

【0011】

本発明によれば、測定データの取得に関する履歴を分析位置や操作種別で分類して表示することで、各測定データが取得されたときの分析位置や、各測定データが取得されたときの試料の状態を把握し易くすることができ、ユーザ等にとって有用な情報を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本実施形態に係る情報処理装置の機能ブロック図の一例を示す図である。

【図2】表示部に表示される表示画面の一例を示す図である。

【図3】ログ情報の一例を示す図である。

【図4】図３に示すログ情報に基づき生成されたログ表示領域の一例を示す図である。

【図5】表示部に表示される表示画面の一例を示す図である。

【図6】ログ表示領域の一例を示す図である。

【図7】測定データの取得に関する履歴を操作種別に基づき分類したときのログ表示領域を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。

【0014】

１．構成
図１に、本実施形態に係る情報処理装置の機能ブロック図の一例を示す。なお本実施形態の情報処理装置は図１の構成要素（各部）の一部を省略した構成としてもよい。

【0015】

情報処理装置１０は、分析装置１で測定（取得）された測定データを処理するための装置である。本実施形態では、分析装置１がオージェ電子分光装置（オージェ電子分光器を備えた走査型電子顕微鏡）である場合を例にとって説明するが、本発明は、分析装置１が電子線プローブマイクロアナライザ（ＥＰＭＡ）やＸ線光電子分光装置（ＸＰＳ、ＥＳＣＡ）等である場合にも適用することができる。

【0016】

本実施形態の情報処理装置１０は、分析装置１で測定された測定データとして、スペクトルデータ、元素マップ（オージェ像）データ、二次電子像（ＳＥＭ像）データ、デプス
プロファイル（深さ方向の濃度分布）データ、ラインプロファイルデータを取得する。情報処理装置１０は、処理部２０と、操作部３０と、表示部４０と、記憶部５０とを含んでいる。

【0017】

操作部３０は、ユーザが操作情報を入力するためのものであり、入力された操作情報を処理部２０に出力する。操作部３０の機能は、キーボード、マウス、ボタン、タッチパネル、タッチパッドなどのハードウェアにより実現することができる。

【0018】

表示部４０は、処理部２０によって生成された画像を表示するものであり、その機能は、ＬＣＤ、ＣＲＴ、操作部３０としても機能するタッチパネルなどにより実現できる。

【0019】

記憶部５０は、処理部２０の各部としてコンピュータを機能させるためのプログラムや各種データを記憶するとともに、処理部２０のワーク領域として機能し、その機能はハードディスク、ＲＡＭなどにより実現できる。

【0020】

特に本実施形態の記憶部５０は、前記測定データの取得に関する履歴と、分析装置１における分析位置（測定位置、試料ステージの位置）に関する履歴と、分析装置１において試料に対して行われた所定の操作に関する履歴（ユーザの分析操作に関する行動記録）とを、時刻情報に対応付けてログ情報５２として記憶する。ここで、「所定の操作」とは、試料の状態を変化させ得る操作であり、例えば、試料にイオンビームを照射してエッチング（スパッタリング）を行う操作等をいう。また、記憶部５０は、分析装置１で測定された測定データと、当該測定データから生成した測定結果画像を記憶する。

【0021】

処理部２０（コンピュータ）は、測定データに対してデータ処理を実行する処理、データ処理結果を表示部４０の表示画面に表示させる処理等を行う。処理部２０は、測定データに対して平滑化処理、微分処理、四則演算処理、画像合成処理等のデータ処理を行う。処理部２０の機能は、各種プロセッサ（ＣＰＵ、ＤＳＰ等）などのハードウェアや、プログラムにより実現できる。処理部２０は、表示制御部２２を含む。

【0022】

表示制御部２２は、ログ情報５２に基づいて、前記測定データの取得に関する履歴と前記分析位置に関する履歴と前記所定の操作に関する履歴とを、表示画面のログ表示領域に時系列で表示させる制御を行う。

【0023】

また、表示制御部２２は、記憶部５０に記憶された測定データに基づき生成した測定結果画像（測定データを可視化した画像）を表示画面に表示させる制御を行い、操作部３０において、複数の前記測定結果画像から１つの前記測定結果画像を選択する操作入力があった場合に、選択された前記測定結果画像の生成に用いた前記測定データに対応する履歴を前記ログ表示領域において特定可能に表示させる（例えば、当該測定データに対応する履歴を強調表示する）制御を行う。

【0024】

また、表示制御部２２は、ログ情報５２に基づいて、前記測定データの取得に関する履歴を前記分析位置又は前記所定の操作の種別により分類して（並べ替えて）表示させる制御を行ってもよい。測定データの取得に関する履歴の分類は、ログ情報５２における各履歴の時刻情報を遡ってトレースすることで実行される。

【0025】

２．本実施形態の手法
次に本実施形態の手法について図面を用いて説明する。

【0026】

図２は、表示部４０に表示される表示画面（ＧＵＩ：グラフィカルユーザインターフェース）の一例を示す図である。図２に示す表示画面ＤＳの左側領域には、測定データの取
得、分析位置及び分析操作に関する履歴を時系列で表示するログ表示領域ＬＩが配置され、表示画面ＤＳの右側領域には、測定データに基づき生成した測定結果画像ＭＩが表示されている。

【0027】

情報処理装置１０では、測定データの取得、分析位置及び分析操作に関する履歴とを、時刻情報に対応付けてログ情報５２として記憶部５０に記憶し、ログ情報５２に基づいて、図２に示すような時系列の履歴をログ表示領域ＬＩに表示させる。本実施形態では、分析位置に関する履歴として、測定データ取得時或いは分析操作実行時の試料ステージの位置情報を記録する。また、分析操作に関する履歴として、分析装置１への試料の導入操作、イオンビーム照射によるエッチング（スパッタリング）を行う操作に関する情報（エッチング深さ、エッチング時間、イオン銃の条件等）、イオンビーム照射による電荷の中和を行う操作に関する情報（ＯＮ−ＯＦＦ操作、イオン銃の条件等）、分析装置１からの試料取り出し操作を記録する。なお、分析操作に関する履歴として、プローブトラッキングを行う操作或いは自動プローブトラッキングに関する情報（プローブトラッキング実行時の比較像、ドリフト量等）や、分析装置１のメンテナンス操作（各種キャリブレーション）に関する情報を更に記録してもよい。また、測定データ取得時の試料室内の真空度のモニタリング値をログ情報５２に記録してもよい。

【0028】

図３は、ログ情報５２の一例を示す図である。図３に示すログ情報１００には、測定データの取得、ステージ移動（分析位置の変更）、及びエッチング操作や中和操作の各履歴１３０が、それらが実行された時刻１２０（時刻情報）に対応付けて格納されている。また、履歴１３０のうち、測定データ取得の履歴には、取得した測定データを特定するための情報１４０が対応付けられている。また、各履歴には、識別情報（ＩＤ）１１０が設定されている。

【0029】

図４は、図３に示すログ情報１００に基づき生成されたログ表示領域ＬＩの一例を示す図である。ログ表示領域ＬＩには、時刻と、各時刻に実行されたイベント（測定データの取得、ステージ移動及び分析操作）の内容を表すアイコンとが表示される。また、測定データの取得については、取得した測定データに基づき生成した測定結果画像（スペクトル、オージェ像、ＳＥＭ像）がサムネイル表示され、且つ測定データのデータ名が表示される。また、エッチング操作についてはエッチング深さが表示される。

【0030】

図４に示すログ表示領域ＬＩを見ると、時刻「０６：５０」に試料が導入され、時刻「０７：２４」にステージが移動（分析位置が変更）され、時刻「１２：０３」にスペクトル「ｄａｔａ００１」が取得され、時刻「１３：１８」から「１３：２２」にかけて複数のＳＥＭ像「ｄａｔａ００２」〜「ｄａｔａ００５」が取得され、時刻「１３：３３」に複数のスペクトル「ｄａｔａ００６」が取得され、時刻「１３：５５」に深さ「３００１７ｎｍ」のエッチング操作が行われ、時刻「１４：２５」に中和操作が開始され、時刻「１４：３８」にオージェ像「ｄａｔａ００７」が取得され、時刻「１５：２５」に中和操作が終了され、時刻「１６：０４」に複数のオージェ像「ｄａｔａ００８」等が取得されたことが分かる。

【0031】

これにより、「ｄａｔａ００１」〜「ｄａｔａ００６」はエッチング操作が行われる前に取得された測定データであり、「ｄａｔａ００７」〜「ｄａｔａ００８」等はエッチング操作が行われた後に取得された測定データあり、更に「ｄａｔａ００７」は中和操作が行われている間に取得された測定データであることが分かる。

【0032】

このように、本実施形態によれば、測定データの取得、分析位置及び分析操作に関する履歴を時系列で表示画面に表示させることで、各測定データが取得された前後の状況（各測定データがいつどのような状況で測定されたか）を把握し易くすることができ、特に、
測定を行ったユーザ（オペレータ）以外の管理者や依頼者が、測定データの根拠を把握し、測定データの正当性や妥当性を検証する上で有用な情報を提供することができる。

【0033】

また、本実施形態では、ユーザが、ログ表示領域ＬＩに表示された測定データの履歴を選択して所定の操作（例えば、ダブルクリックする操作）を行うと、選択された測定データに基づき生成された測定結果画像ＭＩを含むレポートが生成される。図２に示す例では、表示画面ＤＳの右側領域に、測定結果画像ＭＩを含むレポートＬＰが拡大表示され、表示画面ＤＳの中央領域に、生成されたレポートのサムネイルが一覧表示されている。

【0034】

そして、ユーザが、表示画面ＤＳの右側領域に表示されたレポートＬＰに含まれる測定結果画像ＭＩを選択する操作（例えば、クリックする操作）を行うと、選択された測定結果画像ＭＩの生成に用いた測定データに対応する履歴がログ表示領域ＬＩにおいて特定可能に表示される。図５に示す例では、測定結果画像ＭＩが選択されたために、当該測定結果画像ＭＩの生成に用いた測定データ「ｄａｔａ００９」の履歴が、ログ表示領域ＬＩ内に表示され、且つログ表示領域ＬＩにおいて強調表示（文字と背景の色が反転表示）されている。

【0035】

このようにすると、レポートＬＰに含まれる測定結果画像の元となる測定データの履歴をログ表示領域ＬＩ上で容易に特定することができ、当該測定データが取得された前後の状況を把握し易くすることができる。特に、測定を行ったユーザ以外の管理者や依頼者がレポートに含まれる測定結果画像（及び、元となる測定データ）の正当性や妥当性を検証する上で有用な情報を提供することができる。

【0036】

なお、レポートＬＰに含まれる測定結果画像には、測定結果画像の元となる測定データを特定するための情報（ログ情報１００に格納された情報１４０に相当）が対応付けて設定される。そして、表示制御部２２は、レポートＬＰ内の測定結果画像を選択する操作入力があった場合には、選択された測定結果画像に設定された当該情報に基づきログ情報を参照することで、当該測定結果画像の元となる測定データの履歴（ログ情報１００に格納された履歴の識別情報１１０）を特定し、特定した測定データの履歴をログ表示領域ＬＩにおいて強調表示する制御を行う。

【0037】

また、本実施形態では、ユーザは、所定の操作を行うことで、ログ表示領域ＬＩに時系列で表示された複数の測定データの取得に関する履歴を、分析位置又は分析操作の種別により（分析位置又は分析操作の種別をキーとして）分類して（並べ替えて）表示させることができる。

【0038】

図６に示すログ表示領域ＬＩでは、測定データの取得に関する履歴が時系列で表示されている。図６に示す例では、試料の導入後、分析位置が「分析視野１」に移動され、「分析視野１」において測定データ「ｄａｔａ１１」〜「ｄａｔａ１３」が取得され、深さ「１００ｎｍ」のエッチングが行われた後、測定データ「ｄａｔａ１４」〜「ｄａｔａ１６」が取得され、深さ「５００ｎｍ」のエッチングが行われた後、測定データ「ｄａｔａ１７」〜「ｄａｔａ１９」が取得されている。その後、分析位置が「分析視野２」に移動され、「分析視野２」において測定データ「ｄａｔａ２１」〜「ｄａｔａ２３」が取得され、深さ「１００ｎｍ」のエッチングが行われた後、測定データ「ｄａｔａ２４」〜「ｄａｔａ２６」が取得され、深さ「５００ｎｍ」のエッチングが行われた後、測定データ「ｄａｔａ２７」〜「ｄａｔａ２９」が取得されている。

【0039】

ここで、ユーザが、エッチング深さ（分析操作の種別の一例）に基づく分類を指示する操作を行うと、ログ表示領域ＬＩは図７に示すように更新される。図７に示すログ表示領域ＬＩでは、測定データの取得に関する履歴が、エッチング深さ（０ｎｍ、１００ｎｍ、
５００ｎｍ）毎に分類されて表示されている。これにより、「ｄａｔａ１１」〜「ｄａｔａ１３」、「ｄａｔａ２１」〜「ｄａｔａ２３」が試料表面における測定データであり、「ｄａｔａ１４」〜「ｄａｔａ１６」、「ｄａｔａ２４」〜「ｄａｔａ２６」が試料表面から深さ１００ｎｍにおける測定データであり、「ｄａｔａ１７」〜「ｄａｔａ１９」、「ｄａｔａ２７」〜「ｄａｔａ２９」が試料表面から深さ５００ｎｍにおける測定データであることを容易に把握することができる。

【0040】

このように、測定データの取得に関する履歴を分析位置や分析操作種別で分類して表示することで、各測定データが取得されたときの分析位置や、各測定データが取得されたときの試料の状態を把握し易くすることができ、ユーザ等にとって有用な情報を提供することができる。

【0041】

なお、測定データの取得に関する履歴には、測定データが取得されたときの分析位置や分析操作の種別に関する情報が含まれていない。表示制御部２２は、ログ情報５２を参照して時刻情報（ログ情報１００に格納された時刻１２０）を遡って履歴をトレースすることで、各測定データが取得されたときの分析位置と分析操作の種別を特定し、これにより分析位置や分析操作種別に基づく分類を実行する。

【0042】

なお、本発明は、上述の実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。

【符号の説明】

【0043】

１ 分析装置、１０ 情報処理装置、２０ 処理部、２２ 表示制御部、３０ 操作部、４０ 表示部、５０ 記憶部、５２ ログ情報

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】