発明の名称 集束イオン・ビームの低kV強化
出願人 エフ・イ−・アイ・カンパニー (識別番号 501419107)
特許公開件数ランキング 31533 位(0件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 25576 位(0件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-6341680
公報発行日 2018年6月13
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6341680
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