特許6343549ガントリー型ＸＹリニアモーションステージの動的変形誤差と熱的変形誤差とをリアルタイムで補償するためのシステム、ステージ装置並びにこのステージ装置を備えるシステム

発明の名称　ガントリー型ＸＹリニアモーションステージの動的変形誤差と熱的変形誤差とをリアルタイムで補償するためのシステム、ステージ装置並びにこのステージ装置を備えるシステム

出願人　スンハン・エンジニアリング・コーポレイション　（識別番号 508250936）

　　　　特許公開件数ランキング 1219 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1250 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6343549

公報発行日　2018年6月13

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6343549

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-6343549「ガントリー型ＸＹリニアモーションステージの動的変形誤差と熱的変形誤差とをリアルタイムで補償するためのシステム、ステージ装置並びにこのステージ装置を備えるシステム」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録