特許第6345405号(P6345405)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6345405抵抗体を利用した不揮発性メモリ装置及びその駆動方法
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】6345405
(24)【登録日】2018年6月1日
(45)【発行日】2018年6月20日
(54)【発明の名称】抵抗体を利用した不揮発性メモリ装置及びその駆動方法
(51)【国際特許分類】
   G11C 13/00 20060101AFI20180611BHJP
   G11C 11/56 20060101ALI20180611BHJP
【FI】
   G11C13/00 400B
   G11C13/00 210
   G11C11/56 450
【請求項の数】19
【全頁数】28
(21)【出願番号】特願2013-217142(P2013-217142)
(22)【出願日】2013年10月18日
(65)【公開番号】特開2014-89792(P2014-89792A)
(43)【公開日】2014年5月15日
【審査請求日】2016年10月18日
(31)【優先権主張番号】10-2012-0120534
(32)【優先日】2012年10月29日
(33)【優先権主張国】KR
(73)【特許権者】
【識別番号】390019839
【氏名又は名称】三星電子株式会社
【氏名又は名称原語表記】Samsung Electronics Co.,Ltd.
(74)【代理人】
【識別番号】100110364
【弁理士】
【氏名又は名称】実広 信哉
(72)【発明者】
【氏名】李 昇▲ヨン▼
(72)【発明者】
【氏名】李 永宅
【審査官】 堀田 和義
(56)【参考文献】
【文献】 特開2010−157306(JP,A)
【文献】 米国特許出願公開第2012/0063195(US,A1)
【文献】 特開2006−79803(JP,A)
【文献】 特開2012−238369(JP,A)
(58)【調査した分野】(Int.Cl.,DB名)
G11C 13/00
G11C 11/56
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
抵抗性メモリセルと、
第1センスノードと、
前記抵抗性メモリセルと前記第1センスノードとの間に接続され、前記抵抗性メモリセルに時間の経過に伴って増加する第1クランプバイアスを提供する第1クランプ部と、
前記第1センスノードに第1補償電流を提供する第1補償部と、
前記第1センスノードに接続され、前記第1センスノードのレベル変化をセンシングする第1センスアンプと
を含み、
前記抵抗性メモリセルに格納された第1データに対する応答として前記第1クランプバイアスが始まる時点から第1時間後に前記第1センスアンプの出力値は他の状態に遷移し、
前記抵抗性メモリセルに格納された前記第1データと異なる第2データに対する応答として前記第1クランプバイアスが始まる時点から前記第1時間と異なる第2時間後に、前記第1センスアンプの出力値は他の状態に遷移
イネーブル信号を生成するイネーブル信号生成部をさらに含み、
前記イネーブル信号生成部は、
レファレンス抵抗と、
第2センスノードと、
前記レファレンス抵抗と前記第2センスノードとの間に接続され、前記レファレンス抵抗に第2クランプバイアスを提供する第2クランプ部と、
前記第2センスノードに第2補償電流を提供する第2補償部と、
前記第2センスノードに接続され、前記第2センスノードのレベル変化をセンシングする第2センスアンプと
を含み、
前記第2クランプバイアスは、リード区間の間、時間の経過に伴って変更する不揮発性メモリ装置。
【請求項2】
前記第1センスアンプは、リード区間の間に複数回アクティブになる前記イネーブル信号に応答して複数回動作する請求項1に記載の不揮発性メモリ装置。
【請求項3】
記イネーブル信号生成部は、複数のレファレンス抵抗を含み、前記複数のレファレンス抵抗の抵抗値に対応して前記イネーブル信号のアクティブ時点が変わる請求項2に記載の不揮発性メモリ装置。
【請求項4】
前記リード区間は、ノーマルリード区間であり、
前記レファレンス抵抗は、前記抵抗性メモリセルを含む請求項3に記載の不揮発性メモリ装置。
【請求項5】
前記リード区間は、ベリファイリード区間であり、
前記レファレンス抵抗は、ポリシリコンを含む請求項3に記載の不揮発性メモリ装置。
【請求項6】
前記第1補償電流と前記第2補償電流とは互いに同一である請求項に記載の不揮発性メモリ装置。
【請求項7】
前記第1クランプバイアスと前記第2クランプバイアスとは互いに同一である請求項に記載の不揮発性メモリ装置。
【請求項8】
前記第1補償部は、前記第1補償電流のサイズを調節して前記第1センスアンプのイネーブル時点を調節する請求項1に記載の不揮発性メモリ装置。
【請求項9】
前記第1クランプバイアスは、時間の経過によってk次関数(ただし、kは自然数)形態で増加する請求項1に記載の不揮発性メモリ装置。
【請求項10】
前記第1クランプバイアスは、時間の経過によって階段形態で増加する請求項1に記載の不揮発性メモリ装置。
【請求項11】
前記抵抗性メモリセルを含むメモリセルアレイは、クロスポイント構造である請求項1に記載の不揮発性メモリ装置。
【請求項12】
マルチビットデータを格納する抵抗性メモリセルと、
第1センスノードと、
前記抵抗性メモリセルと前記第1センスノードとの間に接続され、前記抵抗性メモリセルに第1クランプバイアスを提供する第1クランプ部と、
前記第1センスノードに第1補償電流を提供する第1補償部と、
前記第1センスノードに接続され、前記第1センスノードのレベル変化をセンシングする第1センスアンプと
を含み、
リード区間の間、前記第1補償電流は一定であり、前記第1クランプバイアスは時間の経過によって変更され、前記第1センスアンプは複数回イネーブルされ、前記第1センスノードのレベル変化をセンシングする不揮発性メモリ装置。
【請求項13】
前記第1センスアンプは、前記リード区間の間に複数回アクティブになるイネーブル信号に応答して複数回動作する請求項12に記載の不揮発性メモリ装置。
【請求項14】
第1補償電流が入力され、セル電流が出力される第1センスノードと、
前記セル電流が流れる抵抗性メモリセルと、
前記第1センスノードの電圧レベルをセンシングする第1センスアンプと、
第2補償電流が入力され、レファレンス電流が出力される第2センスノードと、
前記レファレンス電流が流れるレファレンス抵抗と、
前記第2センスノードの電圧レベルをセンシングする第2センスアンプと
を含み、
前記第2センスノードの電圧レベルによって遷移する前記第2センスアンプの出力値に対する応答として前記第1センスアンプがイネーブルされ、前記第1センスノードの電圧レベルをセンシングする不揮発性メモリ装置。
【請求項15】
前記第1センスノードと前記抵抗性メモリセルとの間に接続され、前記抵抗性メモリセルに第1クランプバイアスを提供する第1クランプ部をさらに含み、
前記第1クランプバイアスは時間の経過によって増加する請求項14に記載の不揮発性メモリ装置。
【請求項16】
前記第2センスノードと前記レファレンス抵抗との間に接続され、前記レファレンス抵抗に第2クランプバイアスを提供する第2クランプ部をさらに含み、
前記第2クランプバイアスは時間の経過によって増加する請求項14に記載の不揮発性メモリ装置。
【請求項17】
抵抗性メモリセルと第1センスノードとの間に接続され、前記抵抗性メモリセルに第1クランプバイアスを提供し、前記第1クランプバイアスは時間の経過によって増加する、第1クランプ部と、
レファレンス抵抗と第2センスノードとの間に接続され、前記レファレンス抵抗に第2クランプバイアスを提供し、前記第2クランプバイアスは時間の経過によって増加する、第2クランプ部と、
前記第2センスノードの電圧レベルをセンシングし、レファレンス出力信号を出力する第2センスアンプと、
前記レファレンス出力信号に基づいてイネーブル信号を出力する演算器と、
前記イネーブル信号に応答して前記第1センスノードの電圧レベルをセンシングする第1センスアンプと
を含む不揮発性メモリ装置。
【請求項18】
前記第1センスノードと前記第2センスノードとに各々同一な補償電流を提供する補償部をさらに含む請求項17に記載の不揮発性メモリ装置。
【請求項19】
抵抗性メモリセルと、
第1ないし第n(ただし、nは自然数)レファレンス出力信号を生成する第1ないし第nレファレンスブロックと、
前記第1ないし第nレファレンス出力信号に基づいてn回イネーブルされ、前記抵抗性メモリセルの抵抗値をリードするためのメインセンスアンプと
を含み、
前記第k(ただし、1≦k≦n)レファレンスブロックは、
第kレファレンス抵抗と、
第kセンスノードと、
前記第kレファレンス抵抗と前記第kセンスノードとの間に接続され、前記第kレファレンス抵抗にクランプバイアスを提供し、前記クランプバイアスは時間の経過によって増加する、第kクランプ部と、
前記第kセンスノードに補償電流を提供する第k補償部と、
前記第kセンスノードのレベル変化をセンシングし、第kレファレンス出力信号を提供する第kセンスアンプと
を含む不揮発性メモリ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、抵抗体を利用した不揮発性メモリ装置及びその駆動方法に関する。
【背景技術】
【0002】
抵抗体(resistance material)を利用した不揮発性メモリ装置には、相変化メモリ装置(PRAM:Phase change Random Access Memory)、抵抗メモリ装置(RRAM(登録商標):Resistive RAM)、磁気メモリ装置(MRAM:Magnetic RAM)などがある。動的メモリ装置(DRAM:Dynamic RAM)やフラッシュメモリ装置は、電荷(charge)を利用してデータを格納する。一方、抵抗体を利用した不揮発性メモリ装置は、カルコゲニド合金(chalcogenide alloy)のような相変化物質の状態変化(PRAM)、可変抵抗体の抵抗変化(RRAM)、強磁性体の磁化状態によるMTJ(Magnetic Tunnel Junction)薄膜の抵抗変化(MRAM)などによってデータを格納する。
【0003】
ここで、相変化メモリセルを例として説明すると、相変化物質は加列後に冷却されながら結晶状態または非晶質状態に変化するが、結晶状態の相変化物質は抵抗が低く、非晶質状態の相変化物質は抵抗が高い。したがって、結晶状態はセットデータまたは0データで定義し、非晶質状態はリセットデータまたは1データで定義する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
本発明が解決しようとする課題は、リード信頼性が向上した不揮発性メモリ装置を提供するものである。
【0005】
本発明が解決しようとする別の課題は、リード信頼性が向上した不揮発性メモリ装置の駆動方法を提供するものである。
【0006】
本発明が解決しようとする課題は、以上で言及した課題に制限されず、言及されていないさらに別の課題は以下の記載から当業者に明確に理解できるであろう。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記の課題を解決するための本発明の不揮発性メモリ装置の一実施形態は、抵抗性メモリセルと、第1センスノードと、前記抵抗性メモリセルと前記第1センスノードとの間に接続され、前記抵抗性メモリセルに第1クランプバイアスを提供し、前記第1クランプバイアスは時間の経過によって変更される、第1クランプ部と、前記第1センスノードに補償電流を提供する第1補償部と、前記第1センスノードに接続され、前記第1センスノードのレベル変化をセンシングする第1センスアンプとを含み、前記抵抗性メモリセルに格納された第1データに対する応答として前記第1クランプバイアスが始まる時点から第1時間後に前記第1センスアンプの出力値は他の状態に遷移し、前記抵抗性メモリセルに格納された前記第1データと異なる第2データに対する応答として前記第1クランプバイアスが始まる時点から前記第1時間と異なる第2時間後に、前記第1センスアンプの出力値は他の状態に遷移する。
【0008】
前記第1センスアンプは、前記リード区間の間に複数回アクティブになるイネーブル信号に応答して複数回動作し得る。
【0009】
前記イネーブル信号を生成するイネーブル信号生成部をさらに含み、前記イネーブル信号生成部は、複数のレファレンス抵抗を含み、前記レファレンス抵抗の抵抗値に対応して前記イネーブル信号のアクティブ時点が変わる場合もある。
【0010】
前記リード区間は、ノーマルリード区間であり、前記レファレンス抵抗は、抵抗性メモリセルを含み得る。
【0011】
前記リード区間は、ベリファイ(verify)リード区間であり、前記レファレンス抵抗は、ポリシリコン(polysilicon)を含み得る。
【0012】
前記イネーブル信号生成部は、複数のレファレンス出力信号を生成する複数のレファレンスブロックと、前記複数のレファレンス出力信号を提供され前記イネーブル信号を出力する演算器とを含み得る。
【0013】
前記イネーブル信号を生成するイネーブル信号生成部をさらに含み、前記イネーブル信号生成部は、レファレンス抵抗と、第2センスノードと、前記レファレンス抵抗と前記第2センスノードとの間に接続され、前記レファレンス抵抗に第2クランプバイアスを提供する第2クランプ部と、前記第2センスノードに第2補償電流を提供する第2補償部と、前記第2センスノードに接続され、前記第2センスノードのレベル変化をセンシングする第2センスアンプとを含み、前記リード区間の間、前記第2クランプバイアスは時間の経過によって変更され得る。
【0014】
前記第1補償電流と前記第2補償電流とは互いに同一であり得る。
【0015】
前記第1クランプバイアスと前記第2クランプバイアスとは互いに同一であり得る。
【0016】
前記第1補償部は、前記第1補償電流のサイズを調節し、前記第1センスアンプのイネーブル時点を調節し得る。
【0017】
前記第1クランプバイアスは、時間の経過によってk次関数(ただし、kは自然数)形態で増加し得る。
【0018】
前記第1クランプバイアスは、時間の経過によって階段形態で増加し得る。
【0019】
前記抵抗性メモリセルを含むメモリセルアレイは、クロスポイント構造であり得る。
【0020】
前記課題を解決するための本発明の不揮発性メモリ装置の別の一実施形態は、マルチビットデータを格納する抵抗性メモリセルと、第1センスノードと、前記抵抗性メモリセルと前記第1センスノードとの間に接続され、前記抵抗性メモリセルに第1クランプバイアスを提供する第1クランプ部と、前記第1センスノードに第1補償電流を提供する第1補償部と、前記第1センスノードに接続され、前記第1センスノードのレベル変化をセンシングする第1センスアンプとを含み、リード区間の間、前記第1補償電流は一定であり、前記第1クランプバイアスは時間の経過によって変更され、前記第1センスアンプは複数回イネーブルされ、前記第1センスノードのレベル変化をセンシングし得る。
【0021】
前記第1センスアンプは、前記リード区間の間に複数回アクティブになるイネーブル信号に応答して複数回動作し得る。
【0022】
前記イネーブル信号を生成するイネーブル信号生成部をさらに含み、前記イネーブル信号生成部は、複数のレファレンス抵抗を含み、前記レファレンス抵抗の抵抗値に対応し、前記イネーブル信号のアクティブ時点が変わり、前記イネーブル信号生成部は、複数のレファレンス出力信号を生成する複数のレファレンスブロックと、前記複数のレファレンス出力信号を提供され、前記イネーブル信号を出力する演算器とを含み得る。
【0023】
前記イネーブル信号を生成するイネーブル信号生成部をさらに含み、前記イネーブル信号生成部は、レファレンス抵抗と、第2センスノードと、前記レファレンス抵抗と前記第2センスノードとの間に接続され、前記レファレンス抵抗に第2クランプバイアスを提供する第2クランプ部と、前記第2センスノードに第2補償電流を提供する第2補償部と、前記第2センスノードに接続され、前記第2センスノードのレベル変化をセンシングする第2センスアンプとを含み、前記リード区間の間、前記第2クランプバイアスは時間の経過によって変更され得る。
【0024】
前記第1補償部は、前記第1補償電流のサイズを調節し、前記第1センスアンプのイネーブル時点を調節し得る。
【0025】
前記抵抗性メモリセルを含むメモリセルアレイは、クロスポイント構造であり得る。
【0026】
前記課題を解決するための本発明の不揮発性メモリ装置のさらに別の一実施形態は、第1保護電流が入力され、セル電流が出力される第1センスノードと、前記セル電流が流れる抵抗性メモリセルと、前記第1センスノードの電圧レベルをセンシングする第1センスアンプと、第2保護電流が入力され、レファレンス電流が出力される第2センスノードと、前記レファレンス電流が流れるレファレンス抵抗と、前記第2センスノードの電圧レベルをセンシングする第2センスアンプとを含み、前記第2センスノードの電圧レベルによって遷移する前記第2センスアンプの出力値に対する応答として前記第1センスアンプがイネーブルされ、前記第1センスノードの電圧レベルをセンシングし得る。
【0027】
前記第1センスノードと前記抵抗性メモリセルとの間に接続され、前記抵抗性メモリセルに第1クランプバイアスを提供する第1クランプ部をさらに含み、前記第1クランプバイアスは時間の経過によって増加し得る。
【0028】
前記第2センスノードと前記レファレンス抵抗との間に接続され、前記レファレンス抵抗に第2クランプバイアスを提供する第2クランプ部をさらに含み、前記第2クランプバイアスは時間の経過によって増加し得る。
【0029】
前記課題を解決するための本発明の不揮発性メモリ装置のさらに別の一実施形態は、抵抗性メモリセルと第1センスノードとの間に接続され、前記抵抗性メモリセルに第1クランプバイアスを提供し、前記第1クランプバイアスは時間の経過によって増加する、第1クランプ部と、レファレンス抵抗と第2センスノードとの間に接続され、前記レファレンス抵抗に第2クランプバイアスを提供し、前記第2クランプバイアスは時間の経過によって増加する、第2クランプ部と、前記第2センスノードの電圧レベルをセンシングし、レファレンス出力信号を出力する第2センスアンプと、前記レファレンス出力信号に基づいてイネーブル信号を出力する演算器と、前記イネーブル信号に応答して前記第1センスノードの電圧レベルをセンシングする第1センスアンプとを含み得る。
【0030】
前記第1センスノードと前記第2センスノードとに各々同一な補償電流を提供する補償部をさらに含み得る。
【0031】
前記課題を解決するための本発明の不揮発性メモリ装置のさらに別の一実施形態は、抵抗性メモリセルと、第1ないし第n(ただし、nは自然数)レファレンス出力信号を生成する第1ないし第nレファレンスブロックと、前記第1ないし第nレファレンス出力信号に基づいてn回イネーブルされ、前記抵抗性メモリセルの抵抗値をリードするためのメインセンスアンプとを含み、前記第k(ただし、1≦k≦n)レファレンスブロックは、第kレファレンス抵抗と、第kセンスノードと、前記第kレファレンス抵抗と前記第kセンスノードとの間に接続され、前記第kレファレンス抵抗にクランプバイアスを提供し、前記クランプバイアスは時間の経過によって増加する、第kクランプ部と、前記第kセンスノードに補償電流を提供する第k補償部と、前記第kセンスノードのレベル変化をセンシングし、第kレファレンス出力信号を提供する第kセンスアンプとを含み得る。
【0032】
本発明のその他の具体的な内容は、発明の詳細な説明及び図面に含まれている。
【図面の簡単な説明】
【0033】
図1A】本発明のいくつかの実施形態による不揮発性メモリ装置を説明するためのブロック図である。
図1B図1Aのメモリセルアレイを説明するための図である。
図1C図1Aのメモリセルアレイを説明するための図である。
図2】本発明のいくつかの実施形態による不揮発性メモリ装置で使用される抵抗性メモリセルの抵抗分布を説明するための図である。
図3】本発明のいくつかの実施形態による不揮発性メモリ装置で使用される抵抗性メモリセルの抵抗分布を説明するための図である。
図4】本発明の一実施形態による不揮発性メモリ装置を説明するためのブロック図である。
図5図4の不揮発性メモリ装置の例示的な回路図である。
図6図4のイネーブル信号生成部の例示的なブロック図である。
図7図4のイネーブル信号生成部の例示的なタイミング図である。
図8】本発明のいくつかの実施形態による不揮発性メモリ装置の駆動方法を説明するためのタイミング図である。
図9】本発明のいくつかの実施形態による不揮発性メモリ装置の駆動方法を説明するためのタイミング図である。
図10】本発明のいくつかの実施形態による不揮発性メモリ装置の駆動方法を説明するためのタイミング図である。
図11図6のレファレンスブロックの例示的な回路図である。
図12】本発明のいくつかの実施形態による不揮発性メモリ装置の駆動方法を説明するためのタイミング図である。
図13図6のレファレンスブロックの別の例示的な回路図である。
図14】本発明の別の実施形態による不揮発性メモリ装置を説明するための回路図である。
図15図14の不揮発性メモリ装置の駆動方法を説明するためのタイミング図である。
図16】本発明のいくつかの実施形態による不揮発性メモリ装置で使用できる第1クランプバイアスの例である。
図17】本発明のいくつかの実施形態による不揮発性メモリ装置で使用できる第1クランプバイアスの例である。
図18】本発明のいくつかの実施形態による不揮発性メモリ装置で使用できる第1クランプバイアスの例である。
図19】本発明のいくつかの実施形態によるメモリシステムを説明するための図である。
図20】本発明のいくつかの実施形態によるメモリシステムを説明するための図である。
図21】本発明のいくつかの実施形態によるメモリシステムを説明するための図である。
図22】本発明のいくつかの実施形態によるメモリシステムを説明するための図である。
図23】本発明のいくつかの実施形態によるメモリシステムを説明するための図である。
図24】本発明の実施形態による不揮発性メモリ装置が使用されるメモリシステムの例示的ブロック図である。
図25】本発明の実施形態による不揮発性メモリ装置が使用されるメモリシステムの別の例示的ブロック図である。
図26】本発明の実施形態による不揮発性メモリ装置が使用されるメモリシステムのさらに別の例示的ブロック図である。
図27】本発明の実施形態による不揮発性メモリ装置が使用されるメモリシステムのさらに別の例示的ブロック図である。
図28】本発明の実施形態による不揮発性メモリ装置が使用されるメモリシステムのさらに別の例示的ブロック図である。
図29】SCMが使用されたメモリシステムを図示する例示的ブロック図である。
図30】SCMが使用されたメモリシステムを図示する別の例示的ブロック図である。
図31】SCMが使用されたメモリシステムを図示する別の例示的ブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【0034】
本発明の利点及び特徴、これらを達成する方法は、添付する図面と共に詳細に後述する実施形態において明確になるであろう。しかし、本発明は、以下で開示する実施形態に限定されるものではなく、互いに異なる多様な形態で実現されるものであり、本実施形態は、単に本発明の開示を完全にし、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者に発明の範疇を完全に知らせるために提供されるものであり、本発明は、添付の特許請求の範囲によってのみ定義される。明細書全体にかけて同一の参照符号は同一の構成要素を指し、「および/または」は、言及されたアイテムの各々および一つ以上のすべての組合せを含む。
【0035】
一つの素子(elements)が他の素子と「接続された(connected to)」または「カップリングされた(coupled to)」と称されるものは、他の素子と直接連結またはカップリングされた場合または中間に他の素子を介在する場合をすべて含む。一方、一つの素子が他の素子と「直接接続された(directly connected to)」または「直接カップリングされた(directly coupled to)」と称されるものは、中間に他の素子を介在しないことを示す。「および/または」は、言及されたアイテムの各々および一つ以上のすべての組合せを含む。
【0036】
第1、第2などが多様な素子、構成要素を叙述するために使用されるが、これら素子、構成要素がこれらの用語によって制限されないことはいうまでもない。これらの用語は、単に一つ構成要素を他の構成要素と区別するために使用するものである。したがって、以下で言及される第1素子、第1構成要素または第1セクションは、本発明の技術的思想内で第2素子、第2構成要、または第2セクションであり得ることは勿論である。
【0037】
本明細書で使用された用語は、実施形態を説明するためのものであり、本発明を制限しようとするものではない。本明細書で、単数型は、文脈で特に言及しない限り複数型も含む。明細書で使用される「含む(comprises)」および/または「含む(comprising)」は、言及された構成要素、段階、動作および/または素子は一つ以上の他の構成要素、段階、動作および/または素子の存在または追加を排除しない。
【0038】
他に定義されなければ、本明細書で使用されるすべての用語(技術および科学的用語を含む)は、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者が共通に理解できる意味として使用され得る。また一般に使用される辞典に定義されている用語は、明白に特別に定義されていない限り理想的にまたは過度に解釈しない。
【0039】
以下、本発明の実施形態は、相変化メモリ装置(PRAM,Phase change Random Access Memory)を参照して説明する。しかし、本発明が抵抗メモリ装置(RRAM,Resistive RAM)、磁気メモリ装置(MRAM,Magnetic RAM)のように抵抗体を利用した不揮発性メモリ装置にすべて適用できることは、本発明が属する技術の当業者に自明である。
【0040】
図1Aは、本発明のいくつかの実施形態による不揮発性メモリ装置を説明するためのブロック図である。図1Aでは、説明の便宜上、16個のメモリバンクで構成される不揮発性メモリ装置を例としているが、これに限定されるものではない。
【0041】
図1Aを参照すると、本発明の実施形態による不揮発性メモリ装置は、メモリセルアレイと、複数のセンスアンプ及びライトドライバ(SA/WD)(2_1〜2_8)と、周辺回路領域または周辺部(PERIPHERY)3とを含む。
【0042】
メモリセルアレイは、複数のメモリバンク(1_1〜1_16)で構成されるが、これに限定されるものではない。各メモリバンク(1_1〜1_16)は、各々複数のメモリブロック(BLK0〜BLK7)で構成され、各メモリブロック(BLK0〜BLK7)は、マトリックス形態で配列された複数の不揮発性メモリセルを含む。本発明の実施形態では、メモリブロック(BLK0〜BLK7)が8×8アレイに配置された場合を例としているが、これに限定されるものではない。
【0043】
図面には詳細に図示していないが、不揮発性メモリ装置は、メモリバンク(1_1〜1_16)に対応してライト/リードしようとする抵抗性メモリセルの行及び列を各々指定する列選択回路及び行選択回路を含む。
【0044】
各々のセンスアンプ及びライトドライバ(2_1〜2_8)は、複数のメモリバンク(1_1〜1_16)のうち2個のメモリバンクに対応して配置され、対応するメモリバンクでのリード及びライト動作を行う。本発明の実施形態では、各々のセンスアンプ及びライトドライバ(2_1〜2_8)が2個のメモリバンク(1_1〜1_16)に対応する場合を例としているが、これに限定されるものではない。すなわち、各々のセンスアンプ及びライトドライバ(2_1〜2_8)は、1個または4個のメモリバンクなどに対応して配置されもよい。
【0045】
周辺回路領域3は、前記行選択回路、列選択回路、センスアンプ及びライトドライバ(2_1〜2_8)などを動作させるための複数のロジック回路ブロックと電圧生成部が配置される。
【0046】
図1B及び図1Cは、図1Aのメモリセルアレイを説明するための図である。
【0047】
図1Bを参照すると、メモリセルアレイはクロスポイント構造(cross point structure)を有する。クロスポイント構造は、一つのラインと他のラインが互いに交差する領域に一つのメモリセルが形成されている構造である。例えば、ビットライン(BL1_1〜BL4_1)が第1方向に延長して形成され、ワードライン(WL1_1〜WL3_1)が前記ビットライン(BL1_1〜BL4_1)と互いに交差するように第2方向に延長して形成され、各ビットライン(BL1_1〜BL4_1)と各ワードライン(WL1_1〜WL3_1)とが交差する領域に抵抗性メモリセル(MC)が形成される。
【0048】
メモリセルアレイは、図1Cに図示するように、3次元積層構造を有する。3次元積層構造は、複数のメモリセル層(111_1〜111_8)が垂直に積層された形態を意味する。図面では8個のメモリセル層(111_1〜111_8)が積層されているものを例としているが、これに限定されるものではない。ここで、各メモリセル層(111_1〜111_8)は、複数のメモリセルグループ及び/または複数のリダンダンシーメモリセルグループを含み得る。メモリセルアレイが3次元積層構造である場合、各メモリセル層(111_1〜111_8)は、例えば、図1Bに図示するクロスポイント構造であり得るが、これに限定されるものではない。
【0049】
図2及び図3は、本発明のいくつかの実施形態による不揮発性メモリ装置で使用される抵抗性メモリセルの抵抗分布を説明するための図である。
【0050】
抵抗性メモリセルはマルチビットセルである。抵抗性メモリセルは、第1データないし第4データ(S、R1、R2、R3)のうち何れか一つを格納する。図2に図示する抵抗分布は、ライト動作以後の分布である。
【0051】
第1データないし第4データ(S、R1、R2、R3)各々は、第1ないし第4抵抗レベル(L1、L2、L3、L4)に対応する。第1抵抗レベルから第4抵抗レベル(L1、L2、L3、L4)の順に抵抗値が増加する。例えば、第1抵抗レベルL1はRL1より小さく、第2抵抗レベルL2はRH1より大きくRL2より小さい。第3抵抗レベルL3はRH2より大きくRL3より小さく、第4抵抗レベルL4はRH3より大きい。ここで、RL1、RL2、RL3、RH1、RH2、RH3は、ライト動作時にライトが正確に行われたかを確認するベリファイリード(verify read)動作時に用いられる基準値である。
【0052】
一方、図3に図示する抵抗分布は、ライト動作後所定時間が経過した後の分布である。すなわち、第1データないし第4データ(S、R1、R2、R3)各々は、第1ないし第4抵抗レベル(DL1、DL2、DL3、DL4)に各々対応する。図2に図示する第1ないし第4抵抗レベル(L1、L2、L3、L4)に比べ、図3に図示する第1ないし第4抵抗レベル(DL1、DL2、DL3、DL4)の幅が広くなっていることが分かる。
【0053】
RN1は、第1抵抗レベルDL1と第2抵抗レベルDL2との間に位置する抵抗値であり、RN2は、第2抵抗レベルDL2と第3抵抗レベルDL3との間に位置する抵抗値であり、RN3は、第3抵抗レベルDL3と第4抵抗レベルDL4との間に位置する抵抗値である。ここで、RN1ないしRN3は、ノーマルリード(normal read)の動作時に用いられる基準値である。例えば、RN1より小さい抵抗値を有する抵抗性メモリセルは、第1データSを格納することが分かる。
【0054】
図4は、本発明の一実施形態による不揮発性メモリ装置を説明するためのブロック図である。図5は、図4の不揮発性メモリ装置の例示的な回路図である。
【0055】
まず、図4及び図5を参照すると、本発明の一実施形態による不揮発性メモリ装置は、メモリセル170、第1センスノードSN1、第1補償部140、第1クランプ部160、第1センスアンプ180及びイネーブル信号生成部またはイネーブル信号EN生成器110などを含む。
【0056】
図示するメモリセル170は、メモリセルアレイ内の複数の抵抗性メモリセルからリードするために選択された抵抗性メモリセルである。ここで、例えば、図5に図示するように、抵抗性メモリセル170がPRAMである実施形態において、抵抗性メモリセル170は、相変化物質を備える可変抵抗素子GSTと、可変抵抗素子GSTに流れる電流を制御するアクセス素子Dとを含む。ここで、アクセス素子Dは、可変抵抗素子GSTと直列接続されたダイオードまたはトランジスタを含む。また、相変化物質は、2個の元素を化合したGaSb、InSb、InSe、Sb2Te3、GeTe、3個の元素を化合したGeSbTe、GaSeTe、InSbTe、SnSb2Te4、InSbGe、及び4個の元素を化合したAgInSbTe、(GeSn)SbTe、GeSb(SeTe)、Te81Ge15Sb2S2などの多様な種類の物質を使用できる。この中でゲルマニウム(Ge)、アンチモニー(Sb)、テルリウム(Te)からなるGeSbTeを主に利用する。
【0057】
抵抗性メモリセルがRRAMである実施形態において、可変抵抗素子は、例えば、NiOまたはペロブスカイト(perovskite)を含む。ペロブスカイトは、マンガナイト(Pr0.7Ca0.3MnO, Pr0.5Ca0.5MnO、その他PCMO、LCMOなど)、タイタネート(titernate)(STO:Cr)、ジルコネート(SZO:Cr、CaNb:Cr, Ta:Cr)などの組成物(composition)である。ここで、可変抵抗素子内にはフィラメントが形成され、フィラメントは、抵抗性メモリセルを貫いて流れるセル電流の電流経路(current path)となる。
【0058】
第1補償部140は、第1センスノードSN1に第1補償電流Ibを提供する。具体的には、補償部140は、選択された抵抗性メモリセル170を貫いて流れるセル電流Icにより発生する第1センスノードSN1のレベル減少を補償するため、第1センスノードSN1に第1補償電流Ibを提供する。このような第1補償部140は、図5で図示するように、電源電圧VDDと第1センスノードSN1との間に接続されたPMOSトランジスタMP1と、電源電圧VDDと接地電圧との間に接続されたPMOSトランジスタMP2とソースS1とを含む。2個のPMOSトランジスタMP1、MP2は、ゲートが互いに接続しており、電流ミラー(current mirror)形態である。
【0059】
本発明のいくつかの実施形態による不揮発性メモリ装置において、抵抗性メモリセル170にマルチビットが格納されていても、リード区間の間、第1補償電流Ibは一定であり得る。例えば、抵抗性メモリセル170に第1データ(図3のSを参照)が格納されるかを検知する際の第1補償電流Ibと、第3データ(図3のR2を参照)が格納されたかを検知する際の第1補償電流Ibとは互いに同一であり得る。
【0060】
第1クランプ部160は、抵抗性メモリセル170と第1センスノードSN1との間に接続され、ビットラインのレベルのリードに適切な範囲内にクランプさせる。具体的には、相変化物質の臨界電圧(Vth)以下の所定レベルでクランプさせる。臨界電圧(Vth)以上のレベルになると、選択された抵抗性メモリセル170の相変化物質の相が変化するからである。第1クランプ部160は、図5に図示するように、抵抗性メモリセル170と第1センスノードSN1との間に接続されたNMOSトランジスタMN1と、OPアンプOP1とを含む。
【0061】
本発明のいくつかの実施形態による不揮発性メモリ装置において、クランプ部160は、抵抗性メモリセル170に第1クランプバイアスVCMP(t)を提供する。特に、第1クランプバイアスVCMP(t)は、リード区間の間、変更され得る。第1クランプバイアスVCMP(t)の形状は多様である。例えば、第1クランプバイアスVCMP(t)は、時間の経過によって増加する。または、第1クランプバイアスVCMP(t)は、時間の経過によって階段形態で増加し、または時間の経過によってk次関数(ただし、kは自然数)形態で増加する。
【0062】
第1センスアンプ180は、第1センスノードSN1に接続され、第1センスノードSN1のレベル変化をセンシングする。具体的には、センスアンプ180は、第1センスノードSN1のレベルと基準レベルVRを比較して比較結果を出力する。センスアンプ180は、電流センスアンプまたは電圧センスアンプを含む場合もある。
【0063】
前述したように、リード区間の間、第1補償電流Ibは一定であり、第1クランプバイアスVCMP(t)は時間の経過によって変更される。このような状態で、第1センスアンプ180は、リード区間の間複数回アクティブになるイネーブル信号ENに応答して複数回イネーブルされる。
【0064】
本発明のいくつかの実施形態による不揮発性メモリ装置において、第1センスアンプ180は、抵抗性メモリセル170に格納されたデータによって第1センスアンプ180の出力値SOUTが遷移する時点が変わる。
【0065】
例えば、抵抗性メモリセル170に第2データ(例えば、R1)が格納された場合、第1クランプバイアスVCMP(t)の提供開始時点から第1時間後に、第1センスアンプ180の出力値SOUTは、例えば、H状態からL状態に遷移する。一方、抵抗性メモリセル170に第2データ(例えば、R1)と他の第3データ(例えば、R2)とが格納された場合、第1クランプバイアスVCMP(t)の提供開始時点から前記第1時間と異なる第2時間後に、第1センスアンプ180の出力値SOUTは遷移する。このような具体的な動作については、図8ないし図10を参照して詳細に後術する。
【0066】
イネーブル信号生成部110は、リード区間の間、複数回アクティブになるイネーブル信号ENを生成して第1センスアンプ180を制御する。イネーブル信号生成部110については、図6図7図11及び図13を参照して詳細に後述する。
図6は、図4のイネーブル信号生成部の例示的なブロック図である。図7は、図4のイネーブル信号生成部の例示的なタイミング図である。
【0067】
先に、図6を参照すると、イネーブル信号生成部110は、複数のレファレンスブロック(112_1〜112_n)(ただし、nは自然数)、演算器114などを含む。
【0068】
複数のレファレンスブロック(112_1〜112_n)は、複数のレファレンス出力信号(REF1〜REFn)を生成する。複数のレファレンスブロック(112_1〜112_n)は、複数のレファレンス抵抗(RR1〜RRn)を各々含む。複数のレファレンス抵抗(RR1〜RRn)は、互いに異なる抵抗値を有する。レファレンス抵抗(RR1〜RRn)の抵抗値に対応してレファレンス出力信号(REF1〜REFn)のアクティブ時点が変わる場合もある。例えば、レファレンス抵抗(例えば、RR1)が小さい場合、レファレンス出力信号(例えば、REF1)のアクティブ時点は速く、レファレンス抵抗(例えば、RR2)が大きい場合、レファレンス出力信号(例えば、REF2)のアクティブ時点は遅くなる。
【0069】
演算器114は、複数のレファレンス出力信号(REF1〜REFn)を提供され、イネーブル信号ENを生成する。演算器114は、例えば、OR演算子である。
【0070】
図7を参照すると、t1時点で第1レファレンスブロック112_1の第1レファレンス出力信号REF1はアクティブになる。t2時点で、第2レファレンスブロック112_2の第2レファレンス出力信号REF2はアクティブになる。また、tn時点で、第nレファレンスブロック112_nの第nレファレンス出力信号REFnはアクティブになる。
【0071】
第1レファレンス出力信号REF1ないし第nレファレンス出力信号REFnがアクティブになる度に、イネーブル信号ENは、低レベルロジックから高レベルロジックに遷移する。
【0072】
図8ないし図10は、本発明のいくつかの実施形態による不揮発性メモリ装置の駆動方法を説明するためのタイミング図である。図8ないし図10は、ノーマルリード(normal read)動作に関する。図8ないし図10を説明する際、図4ないし図7の不揮発性メモリ装置の構成要素を参照する。
【0073】
特に、図8は、抵抗性メモリセル170に第2データR1が格納されている場合のタイミング図である。
【0074】
図8を参照すると、t0時点からリード動作が始まる。第1クランプバイアスVCMP(t)がイネーブルされる。図示するように、第1クランプバイアスVCMP(t)の最初値は、抵抗性メモリセル170のアクセス素子Dのしきい電圧VTHDに関連する。第1補償電流Ibは、時間の経過によって一定の状態を維持し、第1クランプバイアスVCMP(t)は、時間の経過によって、例えば、直鎖状的に増加する。第1クランプバイアスVCMP(t)の増加に伴い抵抗性メモリセル170を貫くセル電流Icが増加する。一方、例えば、時間t0とt1との間に、第1補償電流Ibがセル電流Icより大きいとき、第1センスアンプ180の出力値SOUTは高レベルロジックを維持する。
【0075】
t1時点になると、増加したセル電流Icは、第1補償電流Ib分だけ増加し、結局、第1補償電流Ibより大きくなる。したがって、第1センスノードSN1のレベルが変化し始める。この際、イネーブル信号ENはアクティブ状態となる。イネーブル信号ENに応答して第1センスアンプ180はイネーブルされ、第1センスノードSN1のレベル変化をセンシングする。したがって、第1センスアンプ180の出力値SOUTは、高レベルロジックから低レベルロジックに遷移する。第1センスアンプ180の出力端とエンコーダ(encoder)が接続されている。エンコーダは、第1センスアンプ180の出力値SOUTに対する応答として、低レベルロジックLをデータ出力DQとして出力する。
【0076】
ここで、抵抗性メモリセル170に第2データR1が格納されている場合、第1クランプバイアスVCMP(t)の提供開始時点t0から第1時間A後に、第1センスアンプ180出力値SOUTは遷移する。
【0077】
t2時点になると、再びイネーブル信号ENはアクティブ状態となる。イネーブル信号ENに応答して第1センスアンプ180はイネーブルされる。第1クランプバイアスVCMP(t)が増加するため、セル電流Icは増加し、依然として第1補償電流Ibよりセル電流Icが大きい。したがって、第1センスアンプ180の出力値SOUTは、低レベルロジック状態をそのまま維持する。また、エンコーダは、低レベルロジック値を出力する。
【0078】
t3時点になると、再びイネーブル信号ENはアクティブ状態となる。イネーブル信号ENに応答して第1センスアンプ180はイネーブルされる。第1クランプバイアスVCMP(t)が増加するため、セル電流Icは増加し、依然として第1補償電流Ibよりセル電流Icが大きい。第1クランプバイアスVCMP(t)は、抵抗性メモリセル170の相変化物質の相が変わらない範囲まで増加する。したがって、第1センスアンプ180の出力値SOUTは、低レベルロジック状態をそのまま維持する。また、エンコーダは、低レベルロジック値を出力する。
【0079】
結果的には、抵抗性メモリセル170に第2データR1が格納されている場合、エンコーダはLLLを出力する。
【0080】
図9は、抵抗性メモリセル170に第3データR2が格納されている場合のタイミング図である。図8を参照して説明した内容と実質的に同一な内容はその説明を省略する。
【0081】
図9を参照すると、t0時点からリード動作が始まる。第1補償電流Ibは一定の状態を維持し、第1クランプバイアスVCMP(t)は時間の経過によって増加する。第1クランプバイアスVCMP(t)の増加に伴ってセル電流Icが増加し始める。しかし、第1補償電流Ibがセル電流Icより大きいため、第1センスアンプ180の出力値SOUTは高レベルロジックを維持する。
【0082】
次いで、t1時点になっても、第1補償電流Ibがセル電流Icより大きい。したがって、第1センスアンプ180の出力値SOUTは高レベルロジックを維持する。
【0083】
t2時点になると、増加していたセル電流Icは、第1補償電流Ib分だけ増加し、結局、第1補償電流Ibより大きくなる。したがって、第1センスノードSN1のレベルが変化し始める。このとき、イネーブル信号ENはアクティブ状態となる。イネーブル信号ENに応答して第1センスアンプ180はイネーブルされ、第1センスノードSN1のレベル変化をセンシングする。したがって、第1センスアンプ180の出力値SOUTは、高レベルロジックから低レベルロジックに遷移する。エンコーダは、第1センスアンプ180の出力値SOUTに基づきデータ出力DQとして低レベルロジックL値を出力する。
【0084】
ここで、抵抗性メモリセル170に第3データR2が格納されている場合、第1クランプバイアスVCMP(t)の提供開始時点t0から第2時間B後に、第1センスアンプ180の出力値SOUTは遷移する。
【0085】
t3時点になると、イネーブル信号ENはアクティブ状態となる。イネーブル信号ENに応答して第1センスアンプ180はイネーブルされる。第1クランプバイアスVCMP(t)が増加するため、セル電流Icは増加し、依然として第1補償電流Ibよりセル電流Icが大きい。したがって、第1センスアンプ180の出力値SOUTは、低レベルロジック状態をそのまま維持する。また、エンコーダは、低レベルロジック値を出力する。
【0086】
結果的には、抵抗性メモリセル170に第3データR2が格納されている場合、エンコーダはHLLを出力する。
【0087】
図10は、抵抗性メモリセル170に第4データR3が格納されている場合のタイミング図である。図8を参照して説明した内容と実質的に同一な内容は省略する。
【0088】
図10を参照すると、t0時点からリード動作が始まる。第1補償電流Ibは一定の状態を維持し、第1クランプバイアスVCMP(t)は時間の経過によって増加する。第1クランプバイアスVCMP(t)の増加に伴ってセル電流Icが増加し始める。
【0089】
次いで、t1時点、t2時点になっても、第1補償電流Ibがセル電流Icより大きい。したがって、第1センスアンプ180の出力値SOUTは高レベルロジックを維持する。
【0090】
次いで、t3時点になると、増加したセル電流Icは、第1補償電流Ib分だけ増加し、結局、第1補償電流Ibより大きくなる。したがって、第1センスノードSN1のレベルが変化し始める。この際、イネーブル信号ENはアクティブ状態となる。イネーブル信号ENに応答して第1センスアンプ180はイネーブルされ、第1センスノードSN1のレベル変化をセンシングする。したがって、第1センスアンプ180の出力値SOUTは、高レベルロジックから低レベルロジックに遷移する。エンコーダは、第1センスアンプ180の出力値SOUTに対する応答として、データ出力DQとして低レベルロジックL値を出力する。
【0091】
ここで、抵抗性メモリセル170に第4データR3が格納されている場合、第1クランプバイアスVCMP(t)の提供開始時点t0から第3時間C後に、第1センスアンプ180出力値SOUTは遷移する。
【0092】
結果的には、抵抗性メモリセル170に第4データR3が格納されている場合、エンコーダはHHLを出力する。
【0093】
ここで、図8ないし図10を参照すると、本発明のいくつかの実施形態による不揮発性メモリ装置は、抵抗性メモリセル170に格納されているデータによって第1センスアンプ180の出力値SOUTの遷移時点が変わる(図8のA、図9のB、図10のCを参照)場合もある。
【0094】
また、抵抗性メモリセル170に格納されているデータによって第1センスアンプ180の出力端と接続されたエンコーダは互いに異なるロジック値を出力する。すなわち、抵抗性メモリセルに格納されたデータによって、LLL、HLL、HHL、HHHなどを出力する。
【0095】
図8ないし図10で説明したように、ノーマルリードの動作中に第1センスノードSN1のレベル変化する時点にイネーブル信号ENはアクティブ状態となる。このようなイネーブル信号ENを生成するため、イネーブル信号生成部110のレファレンス抵抗(RR1〜RRn)として抵抗性メモリセルを使用する。特に、ノーマルリード動作時は、レファレンス抵抗(RR1〜RRn)を抵抗性メモリセルとして利用できるが、これに限定されない。図2及び図3を参照して説明したように、ライト動作後の所定時間が経つと、抵抗性メモリセル170が劣化され、抵抗性メモリセル170の抵抗値が変更される場合もある。したがって、このような変更を考慮し、イネーブル信号ENをアクティブにするため、レファレンス抵抗(RR1〜RRn)として抵抗性メモリセルを利用する。本発明の一実施形態による抵抗性メモリセルを含むレファレンスブロックについて図11を参照して説明する。
【0096】
図11は、図6のレファレンスブロックの例示的な回路図である。
【0097】
図11を参照すると、レファレンスブロック(例えば、112_1)は、レファレンス抵抗(RR1〜RRn)、第2センスノードSN2、第2クランプ部260、第2補償部240、第2センスアンプ280などを含む。
【0098】
レファレンス抵抗(例えば、RR1)は、ここで説明された抵抗性メモリセル170と同一な構成である。すなわち、レファレンス抵抗RR1は、相変化物質を備える可変抵抗素子GSTと、可変抵抗素子GSTに流れる電流を制御するアクセス素子Dとを含む。
【0099】
第2補償部240は、第2センスノードSN2に第2補償電流Ib2を提供する。第2補償部240は、電源電圧VDDと第2センスノードSN2との間に接続されたPMOSトランジスタMP3を含み、PMOSトランジスタMP3のゲートは第1補償部140のノードN2に接続される。すなわち、第1補償部140のPMOSトランジスタ(MP1、MP2)と、第2補償部240のPMOSトランジスタMP3とは同一なノードに接続できる。したがって、第1補償電流Ibと第2補償電流Ib2とは同一であるかまたは類似する。すなわち、マルチビットが格納された抵抗性メモリセル170に格納されたデータをリードする間、第1補償電流Ibと第2補償電流Ib2は一定である。
【0100】
第2クランプ部260は、レファレンス抵抗RR1と第2センスノードSN2との間に接続される。第2クランプ部260は、NMOSトランジスタMN2と、OPアンプOP2とを含む。ここで、第2クランプ部260は、レファレンス抵抗(RR1〜RRn)に第2クランプバイアスVCMP2(t)を提供する。第2クランプバイアスVCMP2(t)は、リード区間の間、時間の経過によって変更される。第2クランプバイアスVCMP2(t)は、第1クランプバイアスVCMP(t)と同一である。例えば、第1クランプバイアスVCMP(t)のように、第2クランプバイアスVCMP2(t)は、時間の経過によって増加する。第2クランプバイアスVCMP2(t)は、時間の経過によって階段形態で増加するか、または時間の経過によってk次関数(ただし、kは自然数)形態で増加する。
【0101】
しかし、第1クランプバイアスVCMP(t)と第2クランプバイアスVCMP2(t)とが必ず同一である必要はない。第1クランプバイアスVCMP(t)と第2クランプバイアスVCMP2(t)とを別途に生成/制御してもよい。
【0102】
第2センスアンプ280は、第2センスノードSN2に接続され、第2センスノードSN2のレベル変化をセンシングする。具体的には、第2センスアンプ280は、第2センスノードSN2のレベルと基準レベルVRとを比較し、レファレンス出力信号REF1を出力する。
【0103】
図12は、本発明のいくつかの実施形態による不揮発性メモリ装置の駆動方法を説明するためのタイミング図である。図12は、ベリファイリード(verify read)動作などを図示している。
【0104】
図12では例示的に、抵抗性メモリセル170に第2データR1をライトした後、抵抗性メモリセル170の抵抗値がRH1より大きいかを確認する図である。別途説明はしないが、本発明が属する技術の当業者は、ここで説明したように、抵抗性メモリセル170の抵抗値とRL1、RL2、RH2、RL3、RH3を比較する方法を容易に類推できる。
【0105】
図12を参照すると、t12時点で、増加していたセル電流Icは第1補償電流Ib分だけ増加し、結局、第1補償電流Ibより大きくなる。したがって、第1センスノードSN1のレベルが変化し始める。この際、イネーブル信号ENはアクティブ状態となる。イネーブル信号ENに応答して第1センスアンプ180はイネーブルされ、第1センスノードSN1のレベル変化をセンシングする。したがって、第1センスアンプ180の出力値SOUTは、高レベルロジックから低レベルロジックに遷移する。エンコーダは、第1センスアンプ180の出力値SOUTに基づき、データ出力DQとして低レベルロジックL値を出力する。
【0106】
図13は、図6のレファレンスブロックの別の例示的な回路図である。説明の便宜上、図11を参照して説明した内容と違う点を中心に説明する。
【0107】
図13を参照すると、イネーブル信号生成部110のレファレンス抵抗(例えば、RR1)としてポリシリコン(poly silicon)を使用する。図12で説明したように、ベリファイリード動作において、第1センスノードSN1のレベル変化する時点にイネーブル信号ENをアクティブ状態にしなければならない。しかし、ベリファイリード動作は、ライト動作後に直ちに行われる。したがって、抵抗性メモリセル170の抵抗値が簡単に移動しない。したがって、レファレンス抵抗RR1として固定抵抗であるポリシリコンを使用してもよい。もちろん、レファレンス抵抗RR1として抵抗性メモリセルまたは他の物質を使用してもよい。
【0108】
図14は、本発明の別の実施形態による不揮発性メモリ装置を説明するための回路図である。図15は、図14の不揮発性メモリ装置の駆動方法を説明するためのタイミング図である。説明の便宜上、図4及び図5を参照して説明した内容と違う点を中心に説明する。
【0109】
図14を参照すると、本発明の別の実施形態による不揮発性メモリ装置において、第1補償部140は、第1補償電流Ibのサイズを調節し、第1センスアンプ180のイネーブル時点を調節する。
【0110】
第1補償部140は、PMOSトランジスタ(MP1、MP2)と、複数のスイッチ(SW1、SW2、SWm)(ただし、mは2以上の自然数)と、複数のソース(S1、S2、Sm)とを含む。複数のスイッチ(SW1、SW2、SWm)から少なくとも一つのスイッチ(SW1、SW2、SWm)を活性化することによって、複数のソース(S1、S2、Sm)から少なくとも一つのソース(S1、S2、Sm)を選択できる。これによって、第1補償電流Ibの電流量が調節される。
【0111】
ここで図15を参照して抵抗性メモリセル170に第3データR2が格納された場合について説明する。
【0112】
仮に、ソースS1を選択した場合(CASE S1)は、t2時点でセル電流Icが第1補償電流Ibより大きくなる。
【0113】
一方、ソースS2を選択した場合(CASE S2)は、t2a時点でセル電流Icが第1補償電流Ibより大きくなる。すなわち、ソースS2を選択した場合は、ソースS1を選択する場合より第1センスアンプ180のイネーブル時点が速くなる。
【0114】
ソースS3を選択した場合(CASE S3)は、t2b時点でセル電流Icが第1補償電流Ibより大きくなる。すなわち、ソースS3を選択した場合には、ソースS1を選択する場合より第1センスアンプ180のイネーブル時点が遅くなる。
【0115】
このように、第1補償電流Ibの電流量を調節することによって、第1センスアンプ180のイネーブル時点を調節できる。すなわち、センシング時点を調節できる。
【0116】
図16ないし図18は、本発明のいくつかの実施形態による不揮発性メモリ装置で使用できる第1クランプバイアスの例である。
【0117】
図16のように、第1クランプバイアスVCMP(t)は、時間の経過によって階段形態で増加する。
【0118】
図17のように、第1クランプバイアスVCMP(t)は、区間別に勾配が異なる場合もある。例えば、t0からt1の間で第1クランプバイアスVCMP(t)の勾配はθ1であり、t1からt2の間で第1クランプバイアスVCMP(t)の勾配はθ2であり、t2からt3の間で第1クランプバイアスVCMP(t)の勾配はθ3である。θ1よりθ2が大きく、θ2よりθ3が大きい場合もあるが、これに限定されない。
【0119】
図18のように、第1クランプバイアスVCMP(t)は、時間の経過によってk次関数(ただし、kは自然数)形態で増加する。図18では例示的に第1クランプバイアスVCMP(t)が2次関数形態で増加することを図示するが、これに限定されない。
【0120】
図19ないし図23は、本発明のいくつかの実施形態によるメモリシステムを説明するための図である。ここで、図19ないし図23は、本発明の実施形態による不揮発性メモリ装置を使用するメモリシステムに関するものである。
【0121】
図19は、本発明の実施形態による不揮発性メモリ装置が使用される携帯電話システム(cellular phone system)の例示的図である。
【0122】
図19を参照すると、携帯電話システムは、音を圧縮するかまたは圧縮された音を解凍する(compression or decompression)ADPCMコーデック回路1202、スピーカ(speaker)1203、マイクロホン(microphone)1204、デジタルデータを時分割マルチプレックシングするTDMA回路1206、無線信号のキャリア周波数(carrier frequency)をセットするPLL回路1210、無線信号を伝達するか受信するためのRF回路1211などを含む。
【0123】
また、携帯電話システムは様々な種類のメモリ装置を含むが、これに限定されるものではなく、例えば、不揮発性メモリ装置1207と、ROM1208と、SRAM1209とを含む。不揮発性メモリ装置1207は、本発明の実施形態による不揮発性メモリ装置が使用され、例えば、ID番号を格納できる。ROM1208は、プログラムを格納でき、SRAM1209は、システムコントロールマイクロコンピュータ1212のための作業領域として使用されるかまたはデータを一時的に格納する。ここで、システムコントロールマイクロコンピュータ1212は、プロセッサとして不揮発性メモリ装置1207のライト動作及びリード動作を制御する。
【0124】
図20は、本発明の実施形態による不揮発性メモリ装置が使用されるメモリカードの例示的図である。メモリカードは、例えば、MMCカード、SDカード、マルチユース(multiuse)カード、マイクロSDカード、メモリスティック、コンパックSDカード、IDカード、PCMCIAカード、SSDカード、チップカード(chipcard)、スマートカード(smartcard)、USBカードなどである。
【0125】
図20を参照すると、メモリカードは、外部とのインターフェースを行うインターフェース部1221と、バッファメモリを有し、メモリカードの動作を制御するコントローラ1222と、本発明の実施形態による少なくとも一つの不揮発性メモリ装置1207とを含む。コントローラ1222は、プロセッサとして不揮発性メモリ装置1207のライト動作及びリード動作を制御する。具体的には、コントローラ1222は、データバス(DATA)とアドレスバス(ADDRESS)を介して不揮発性メモリ装置1207及びインターフェース部1221とカップリングしている。
【0126】
図21は、本発明の実施形態による不揮発性メモリ装置が使用されるデジタルスチルカメラ(digital still camera)の図である。
【0127】
図21を参照すると、デジタルスチルカメラは、ボディー1301、スロット1302、レンズ303、ディスプレイ部1308、シャッターボタン1312、ストロボ(strobe)1318などを含む。特に、スロット1308にはメモリカード1331が挿入され、メモリカード1331は、本発明の実施形態による不揮発性メモリ装置1207を少なくとも一つ含む。
【0128】
メモリカード1331が接触型(contact type)である場合、メモリカード1331がスロット1308に挿入される際、メモリカード1331と回路基板上の特定電気回路とが電気的に接触する。メモリカード1331が非接触型(non−contact type)である場合、メモリカード1331は無線信号によりメモリカード1331と通信する。
【0129】
図22は、図20のメモリカードが使用される多様なシステムを説明する図である。
【0130】
図22を参照すると、メモリカード1331は、(a)ビデオカメラ、(b)テレビ、(c)オーディオ装置、(d)ゲーム装置、(e)電子音楽装置、(f)携帯電話、(g)コンピュータ、(h)PDA(Personal Digital Assistant)、(i)ボイスレコーダー(voice recorder)、(j)PCカードなどのような電子装置に使用される。
【0131】
図23は、本発明の実施形態による不揮発性メモリ装置が使用されるイメージセンサ(image sensor)システムの例示的図である。
【0132】
図23を参照すると、イメージセンサシステムは、イメージセンサ1332、入出力装置1336、RAM1348、CPU1344、本発明の実施形態による不揮発性メモリNVM装置1354などを含む。各構成要素、すなわち、イメージセンサ1332、入出力装置1336、RAM1348、CPU1344、及び不揮発性メモリ(NVM)装置1354は、バス1352を介して互いに通信する。イメージセンサ1332は、フォトゲート、フォトダイオードなどのようにフォトセンシング(photo sensing)素子を含む。各々の構成要素は、プロセッサと共に一つのチップで構成され得、プロセッサと各々別個のチップで構成され得る。
【0133】
図24は、本発明の実施形態による不揮発性メモリ装置が使用されるメモリシステムのブロック図である。
【0134】
図示するように、メモリシステムは、メモリコントローラ3020とカップリングされるメモリ3010を含む。メモリ3010は前述した実施形態のうち何れであってもよい。メモリコントローラ3020は、メモリ3010の動作制御のために入力信号を提供する。例えば、メモリコントローラ3020は、コマンド(CMD)とアドレス信号を送る。メモリコントローラ3020は、メモリインターフェース、ホストインターフェース、ECC回路、CPU(central processing unit)、バッファメモリなどを含む。メモリインターフェースは、データをバッファメモリからメモリ3010に伝送し、メモリ3010からデータをリードし、バッファメモリに伝送する。また、メモリインターフェースは、コマンドまたはアドレスを外部ホストからメモリ3010に伝送する。
【0135】
ホストインターフェースは、外部ホストとUSB (Universal Serial Bus)、SCSI(Small Computer System Interface)、PCI express、ATA、PATA(Parallel ATA)、SATA(Serial ATA)、SAS(Serial Attached SCSI)などを介して通信する。
【0136】
本発明の実施形態によるメモリシステムは、ECC回路を有する。ECC回路は、メモリ3010に伝送されるデータを利用してパリティビットを生成できる。生成されたパリティビットメモリ3010の特定領域にデータと共に格納される。ECC回路は、メモリ3010からリードされるデータのエラーを感知する。仮に、感知したエラーの修正が可能であれば、ECC回路はデータを修正できる。
【0137】
CPUは、ホストインターフェースまたはメモリインターフェースを介して外部ホストまたはメモリ3010を制御する。CPUは、メモリを駆動するファームウェアによってライト、リード、削除動作を制御する。
【0138】
バッファメモリは、外部ホストから提供されたライトデータまたはメモリ3010からリードしたデータを一時的に格納する。また、バッファメモリは、メモリ3010に格納されるメタデータまたはキャッシュデータを格納する。突然のパワーオフ時の動作中に、バッファメモリに格納されているメタデータまたはキャッシュデータは、メモリ3010に格納される。バッファデータは、DRAMまたはSRAMである。
【0139】
図25は、本発明の実施形態による不揮発性メモリ装置が使用されるメモリシステムの別の例示的ブロック図である。図25のメモリシステムは、図24のメモリシステムと実質的に同一である。違う点は、メモリ3010とメモリコントローラ3020がカード3130に埋め込まれている点である。例えば、カード3130はフラッシュメモリカードである。すなわち、カード3130は、デジタルカメラ、パーソナルコンピュータなどのように消費家電製品に使用されるスタンダード製品である。メモリコントローラ3020は、他の装置、例えば、外部装置から提供された制御信号に従いメモリ3010を制御する。
【0140】
図26は、本発明の実施形態による不揮発性メモリ装置が使用されるメモリシステムのさらに別の例示的ブロック図である。図示するように、メモリ3010は、ホストシステム3210にカップリングされる。ホストシステム3210は、パーソナルコンピュータ、デジタルカメラなどのようなプロセシングシステムである。ホストシステム3210は、削除できる格納装置としてメモリ3010を使用する。前述したように、ホストシステム3210は、メモリ3010を制御するために入力信号を提供する。例えば、ホストシステム3210は、コマンド(CMD)とアドレス信号を提供する。
【0141】
図27は、本発明の実施形態による不揮発性メモリ装置が使用されるメモリシステムのさらに別の例示的ブロック図である。ホストシステム3210とカード3130がカップリングされる。ホストシステム3210が制御信号をカード3130に提供し、例えば、制御信号に従い、メモリコントローラ3020がメモリ3010を制御する。
【0142】
図28は、本発明の実施形態による不揮発性メモリ装置が使用されるメモリシステムのさらに別の例示的ブロック図である。メモリ3010は、コンピューターシステム3410内のCPU3120に格納される。例えば、コンピューターシステム3410は、パーソナルコンピュータ、PDAなどである。メモリ3010は、バスなどを介してCPU3120と直接接続できる。
【0143】
本発明の実施形態による不揮発性メモリ装置は、SCM(storage class memory)として使用される。SCMは、不揮発性特性とアクセス特性を共に有する一般的メモリコンセプトを意味する。SCMは、データ格納領域及びプログラム動作領域として使用される。
【0144】
前述したPRAM、RRAM、MRAMなどの抵抗体を利用した不揮発性メモリ装置はSCMとして使用される。このようなSCMは、フラッシュメモリの代わりに、データ格納メモリとして使用され得、SRAMの代わりにメインメモリとして使用され得る。一つのSCMはフラッシュメモリとSRAMを代替できる。
【0145】
図29は、SCMが使用されたメモリシステムを図示する例示的ブロック図である。メモリシステム4100は、CPU4110と、SDRAM4120と、フラッシュメモリの代わりに使用されたSCM4130とを含む。
【0146】
メモリシステム4100で、SCM4130のデータアクセススピードは、フラッシュメモリのスピードより速い。例えば、PC環境で、CPU4110が4GHzで動作する際、SCMの一種のPRAMのアクセス速度は、フラッシュのアクセス速度より約32倍速い。したがって、メモリシステム4100は、フラッシュメモリを装着したメモリシステムよりさらに速いスピードアクセス利得(higher−speed access gain)が得られる。
【0147】
図30は、SCMが使用されたメモリシステムを図示する別の例示的ブロック図である。メモリシステム4200は、CPU4210と、SDRAMの代わりに使用されたSCM4220と、フラッシュメモリ4230とを含む。
【0148】
メモリシステム4200で、SCM4220のパワー使用は、SDRAMのパワー使用より小さい。コンピューターシステムのメインメモリによって使用されたエネルギーは、全体システムで使用されるエネルギーの約40%程度である。したがって、多くの人々はメインメモリで使用されるエネルギーを減らすために努力する。SCMは、動的エネルギー使用を平均して約53%節減でき、電力リークによるエネルギー使用を平均して約73%節減できる。その結果、メモリシステム4200は、SDRAMを装着したメモリシステムよりエネルギーを節減できる。
【0149】
図31は、SCMが使用されたメモリシステムを図示する別の例示的ブロック図である。メモリシステム4300は、CPU4310と、SDRAM及びフラッシュメモリの代わりに使用されたSCM4320とを含む。例えば、SCM4320は、SDRAMの代わりにメインメモリとして使用され、フラッシュメモリの代わりにデータ格納メモリとして使用される。したがって、このようなメモリシステム4300は、データアクセススピード、ローパワー、スペースの活用、費用などの面において長所がある。
【0150】
以上、添付する図面を参照して本発明の実施形態について説明したが、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者は、本発明が、その技術的思想や必須の特徴を変更しない範囲で他の具体的な形態で実施され得ることを理解することができる。したがって、上記実施形態はすべての面で例示的なものであり、限定的なものではないと理解しなければならない。
【符号の説明】
【0151】
110 イネーブル信号生成部
140 第1補償部
160 第1クランプ部
170 抵抗性メモリセル
180 第1センスアンプ
図1A
図1B
図1C
図2
図3
図4
図5
図6
図7
図8
図9
図10
図11
図12
図13
図14
図15
図16
図17
図18
図19
図20
図21
図22
図23
図24
図25
図26
図27
図28
図29
図30
図31