特許 6346487 抵抗器の製造方法、抵抗値測定方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6346487

(24)【登録日】2018年6月1日

(45)【発行日】2018年6月20日

(54)【発明の名称】抵抗器の製造方法、抵抗値測定方法

(51)【国際特許分類】

   H01C 17/02 20060101AFI20180611BHJP

   G01R 27/02 20060101ALI20180611BHJP

   G01R 27/08 20060101ALI20180611BHJP

【ＦＩ】

   H01C17/02

   G01R27/02 R

   G01R27/08

【請求項の数】5

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2014-82108(P2014-82108)

(22)【出願日】2014年4月11日

(65)【公開番号】特開2015-204328(P2015-204328A)

(43)【公開日】2015年11月16日

【審査請求日】2017年3月30日

(73)【特許権者】

【識別番号】000105350

【氏名又は名称】ＫＯＡ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100091096

【弁理士】

【氏名又は名称】平木 祐輔

(74)【代理人】

【識別番号】100102576

【弁理士】

【氏名又は名称】渡辺 敏章

(74)【代理人】

【識別番号】100108394

【弁理士】

【氏名又は名称】今村 健一

(72)【発明者】

【氏名】阿部 裕一

【審査官】 右田 勝則

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００７−１５５５６７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１５−０８１８６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１４−１９４９６１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｃ １７／０２

Ｇ０１Ｒ ２７／０２

Ｇ０１Ｒ ２７／０８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１の電極および第２の電極と、前記第１の電極と前記第２の電極との間に設けられた抵抗体と、を有する抵抗器を、前記第１の電極と前記第２の電極とにそれぞれ接触して電流を流す一対の電流端子と、前記第１の電極と前記第２の電極とにそれぞれ接触して電圧を測定する一対の電圧検出端子とを備えた抵抗値測定手段により測定する工程を有する抵抗器の製造方法であって、
前記抵抗値測定手段により測定する工程は、
前記第１の電極と前記第２の電極との配置方向に前記抵抗器を２分する基準線を基準として対角に位置するように前記第１の電極の第１のエリアと前記第２の電極の第２のエリアとを規定し、
前記電流端子を前記基準線寄りとなる位置に接触させるとともに、前記電圧検出端子を、前記第１のエリアおよび前記第２のエリアのそれぞれにおいて、前記電流端子の接触位置よりも前記基準線から離れた位置に接触させて、４端子測定を行う工程を含む
抵抗器の製造方法。

【請求項2】

前記電流端子を、前記第１のエリアおよび前記第２のエリアのそれぞれのエリア内となるように接触させて測定を行うことを特徴とする請求項１に記載の抵抗器の製造方法。

【請求項3】

前記抵抗器は長方形状であり、長辺側が電極であることを特徴とする請求項１又は２に記載の抵抗器の製造方法。

【請求項4】

前記抵抗体は金属板であることを特徴とする請求項１から３までのいずれか１項に記載の抵抗器の製造方法。

【請求項5】

第１の電極および第２の電極と、前記第１の電極と前記第２の電極との間に設けられた抵抗体と、を有する抵抗器を、前記第１の電極と前記第２の電極とにそれぞれ接触して電流を流す一対の電流端子と、前記第１の電極と前記第２の電極とにそれぞれ接触して電圧を測定する一対の電圧検出端子とを備えた抵抗値測定手段により測定する抵抗器の抵抗値測定方法であって、
前記抵抗値測定手段により測定する工程は、
前記第１の電極と前記第２の電極との配置方向に前記抵抗器を２分する基準線を基準として対角に位置するように前記第１の電極の第１のエリアと前記第２の電極の第２のエリアとを規定し、
前記電流端子を前記基準線寄りとなる位置に接触させるとともに、前記電圧検出端子を、前記第１のエリアおよび前記第２のエリアのそれぞれにおいて、前記電流端子の接触位置よりも前記基準線から離れた位置に接触させて、４端子測定を行う工程を含む
抵抗器の抵抗値測定方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、抵抗器の製造方法及び抵抗測定方法に関する。

【背景技術】

【0002】

チップ型抵抗器の製造工程において、最終工程で抵抗値を測定して良品を選別し、或いは、途中の工程で抵抗値を測定し、必要に応じて抵抗体を加工等するなどの方法で、抵抗値を調整することが行われている。

【0003】

例えば、下記特許文献１では、４端子法による抵抗値の測定が開示されている。例えば１０ｍΩ以下など低い抵抗値を有する抵抗器を用いた電流検出が行われ、このような抵抗器の抵抗値測定は、一般に４端子法が用いられる。４端子法を用いることで、抵抗値を精度良く測定することが可能である。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開平６−２８９０７５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、電流プローブまたは電圧のプローブの少なくとも一方のコンタクト位置がずれると、測定抵抗値の変動が生じる。一般に、抵抗器の抵抗値測定時の位置合せ、すなわち、プローブと抵抗器との位置合せ余裕が少なく、抵抗値精度のバラツキを抑えて量産することが難しいという問題があった。特に、長辺側を電極とした長辺型抵抗器の構造においては、電極幅が狭いため、電流が流れる方向に電流プローブと電圧のプローブを並べて当てることは難しく、コンタクト位置のずれに起因する抵抗値精度のバラツキを抑えることが難しいという問題が顕在化していた。
本発明は、抵抗器の抵抗値を精度良く測定することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一観点によれば、第１の電極および第２の電極と、前記第１の電極と前記第２の電極との間に設けられた抵抗体と、を有する抵抗器を、前記第１の電極と前記第２の電極とにそれぞれ接触して電流を流す一対の電流端子と、前記第１の電極と前記第２の電極とにそれぞれ接触して電圧を測定する一対の電圧検出端子とを備えた抵抗値測定手段により測定する工程を有する抵抗器の製造方法であって、前記抵抗値測定手段により測定する工程は、前記第１の電極と前記第２の電極との配置方向に前記抵抗器を２分する基準線を基準として対角に位置するように前記第１の電極の第１のエリアと前記第２の電極の第２のエリアとを規定し、前記電流端子を前記基準線寄りとなる位置に接触させるとともに、前記電圧検出端子を、前記第１のエリアおよび前記第２のエリアのそれぞれにおいて、前記電流端子の接触位置よりも前記基準線から離れた位置に接触させて、４端子測定を行う工程を含む抵抗器の製造方法が提供される。

【0007】

前記電流端子を、前記基準線上において接触させて測定を行っても良い。
前記抵抗器は長方形状であり、長辺側が電極である場合に当該製造方法を適用することが好ましい。
前記抵抗体は金属板であることが好ましい。

【0008】

また、本発明は、第１の電極および第２の電極と、前記第１の電極と前記第２の電極と
の間に設けられた抵抗体と、を有する抵抗器を、前記第１の電極と前記第２の電極とにそれぞれ接触して電流を流す一対の電流端子と、前記第１の電極と前記第２の電極とにそれぞれ接触して電圧を測定する一対の電圧検出端子とを備えた抵抗値測定手段により測定する抵抗器の抵抗値測定方法であって、前記抵抗値測定手段により測定する工程は、前記第１の電極と前記第２の電極との配置方向に前記抵抗器を２分する基準線を基準として対角に位置するように前記第１の電極の第１のエリアと前記第２の電極の第２のエリアとを規定し、前記電流端子を前記基準線寄りとなる位置に接触させるとともに、前記電圧検出端子を、前記第１のエリアおよび前記第２のエリアのそれぞれにおいて、前記電流端子の接触位置よりも前記基準線から離れた位置に接触させて、４端子測定を行う工程を含む抵抗器の抵抗値測定方法が提供される。

【発明の効果】

【0009】

本発明によれば、抵抗器の抵抗値を精度良く測定することができる。また、抵抗器の抵抗値精度のバラツキを抑えて量産することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本発明の一実施の形態による抵抗器の製造方法及び抵抗値の測定方法において用いられる長辺型抵抗器の外観構成例を示す斜視図である。

【図2】長辺型抵抗器をその長辺方向と直交する方向に切った断面図である。

【図3A】長辺型抵抗器の製造工程の一例を示す斜視図である。

【図3B】長辺型抵抗器の製造工程の一例を示す斜視図である。

【図4】長辺型抵抗器の製造工程の一例を示す断面図である。

【図5】製造工程の流れを示すフローチャート図である。

【図6】長辺型抵抗器のパラメータの一例を示す図であり、図６（ａ）は抵抗器の平面図、図６（ｂ）は側面図である。

【図7】４端子法における一般的なプローブ配置例を示す図である。

【図8】本実施の形態による抵抗値測定における電圧端子と電流端子の配置例を示す図であり、図３Ｂ（ｈ）に対応する図である。

【図9】図８と比較する比較例による抵抗値測定における電圧端子と電流端子の配置例を示す図である。

【図10】製品位置ズレの影響を示す図である。

【図11】プローブ位置ズレの影響を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下に、本発明の実施の形態による抵抗器の製造方法及び抵抗値の測定方法について、長辺型抵抗器を例にして、図面を参照しながら詳細に説明を行う。

【0012】

図１は、本発明の一実施の形態による抵抗器の製造方法及び抵抗値の測定方法において用いられる長辺型抵抗器の外観構成例を示す斜視図であり、図２は、長辺型抵抗器をその長辺方向と直交する方向に切った断面図である。また、図３Ａ、図３Ｂは、長辺型抵抗器の製造工程の一例を示す斜視図であり、図４は、長辺型抵抗器の製造工程の一例を示す断面図であり、図５は、製造工程の流れを示すフローチャート図である。

【0013】

本実施の形態による長辺型抵抗器１００は、Ｎｉ−Ｃｒ系などの板状の抵抗体１１１と、その一面（抵抗体上面１１１ａの反対側の抵抗体下面１１１ｂ）に、ある距離だけ離れて形成され、例えばＣｕからなる２つの電極１１３とを有し、一面の電極１１３間の領域に抵抗体下面１１１ｂが露出している。その露出面に保護膜が形成されていても良い。ここで、抵抗体上面１１１ａとは反対側の電極１１３の下面１１３ｘと電極１１３の外側面１１３ｙ及び抵抗体端面１１１ｄとが、電極コート材１３１により被覆されている。

【0014】

以下に、上記の抵抗器１００の製造方法について説明する。図３から図５までは、抵抗体の製造工程の要部を示す図であり、図３Ａ、図３Ｂは斜視図、図４は図３Ａ、図３Ｂにおける要部断面図、図５は製造工程の例を示すフローチャート図である。

【0015】

まず、図３Ａ（ａ）、図４の（１）に示すように、例えば、Ｎｉ−Ｃｒ系などの第１の金属材からなる抵抗体の板（層）１１１とＣｕなどの第２の金属材からなる電極板（層）１１３との平板状の積層材１１０を準備する（図５： ステップＳ１）。

【0016】

次いで、フォトレジストなどを用いたリソグラフィー技術を利用して、積層材１１０に、厚さ方向に貫通し、面内の一方向（第１の方向）に延在するスリット２０１を形成する（ステップＳ２）。そのために、電極材１１３側の一面に、スリット２０１の幅の領域を開口するレジストパターンＡ１が、他の一面にも同じ領域に開口を有するレジストパターンＡ２が形成される。スリット２０１は、第１の方向と直交する第２の方向に間隔をあけて複数設けられる。尚、スリット幅と間隔は、それぞれ、位置により変更して、異なる幅の抵抗器を形成するようにしても良い。要するに、抵抗器の幅がスリット間の間隔により決定する。

【0017】

次いで、レジストパターンＡ１、Ａ２を利用して、抵抗体の板１１１と電極板１１３とをエッチングする。エッチングは、ウェットエッチング、ドライエッチングのいずれでもよい。なお、レジストやエッチングではなく、プレスなどにより打ち抜いても良い。次いで、レジストを除去すると、図４（２）に示すように、抵抗体の板１１１と電極板１１３と貫通するスリット２０１が形成される。（図３Ａの（ｃ））。このスリットの一方の位置は、図１、図２に示す電極１１３の側面１１３ｂ及び抵抗体端面１１１ｄに位置する。スリット２０１は、積層材１１０の第１の方向の端面までは形成されていない。

【0018】

次いで、図３Ａの（ｄ）に示すように、スリット２０１が形成された積層材１１０の両面にそれぞれフォトレジストＢ１、Ｂ２を塗布する。

【0019】

次いで、図３Ａの（ｅ）に示すように、積層材１１０の電極材の板１１３側の一面に、スリット２０１と同じ方向に延在するレジストパターンＢ２−１を形成する。レジストパターンＢ２−１の幅は、電極材の板１１３を分離して電極を形成した場合における隣接する電極間の距離に対応し、レジストパターンＢ２−１の端部と隣接するスリット２０１の端部との間の距離が電極幅に対応する位置に形成される。したがって、この段階で、電極間距離と電極幅とを規定することができる。この際、積層材１１０の抵抗材の板１１１側の一面には全面にフォトレジストＢ１を残しておく。次いで、レジストパターンＢ２−１をマスクとして、Ｓｎの電解メッキなどにより電極コート材１３１を形成する。図４の（３）に示すように、抵抗体の板１１１と電極板１１３の側面が、電極コート材１３１により被覆される（図３Ａ（ｆ）、ステップＳ３）。

【0020】

次いで、図３Ｂ（ｇ）に示すように、レジストパターンＢ２−１とＢ１とを除去する。Ｂ１は残しても良い。すると、図４の（４）に示すように、レジストパターンＢ２−１を除去した領域１４１に、電極板１１３の表面が露出する（ステップＳ４）。

【0021】

次いで、図３Ｂ（ｈ）に示すように、例えば塩化第二鉄の水溶液を用いて、Ｎｉ−Ｃｒに対してＣｕの選択エッチングを行う。これにより、図４の（５）に示すように、レジストパターンＢ２−１を除去した領域１４１に抵抗体の板１１１が露出し、電極１１３が分離する（ステップＳ５）。

【0022】

次いで、図３Ｂ（ｉ）に示すように、スリット２０１の端部近傍のスリット２０１内の位置で、スリット２０１の延在方向と直交する方向に、ダイシング、せん断などにより、積層材１１０をカットする（ステップＳ６）。

【0023】

次いで、図３Ｂ（ｊ）、（ｋ）に示すように、スリット２０１の延在方向と直交する方向に、ダイシング、せん断などにより、積層材１１０をカットして個片化する。これにより、図４の（６）に示すように、図１と同様の長辺型抵抗器の構造を形成することができる。なお、以上の説明では抵抗体の板と電極の板からなる積層材について説明したが、抵抗体の端部にめっき等により銅等の電極を形成したものでもよい。

【0024】

以上のようにして製造した長辺型抵抗器の抵抗値を、例えば、最終選別工程において、図３Ｂ（ｈ）に示すように４端子法により測定する。抵抗値の測定は、抵抗値の調整等の中間工程において行っても良い。以下に、計算機シミュレーションにより求めた４端子法による抵抗値について説明する。

【0025】

図６は、長辺型抵抗器１００の計算機シミュレーションに用いるパラメータを示す図であり、図６（ａ）は長辺型抵抗器１００の平面図、図６（ｂ）は長辺型抵抗器１００の側面図である。３．２ｍｍ×１．６ｍｍ×０．２ｍｍの金属板抵抗体１１１の下面に、厚さ０．１ｍｍの銅電極１１３を形成した構造を用いた。抵抗体１１１としてＣｕ／Ｎｉ（マンニガン）の体積抵抗率は、４５×１０^−８Ω・ｍとした。

【0026】

図８は、本実施の形態による抵抗値測定における電圧端子と電流端子の配置例を示す図であり、図３Ｂ（ｈ）に対応する図である。図８（ａ）、（ｂ）に例示する本実施の形態による抵抗値の測定方法では、第１の電極１１３ａと第２の電極１１３ｂとの両電極の配置方向に抵抗器を２分する線を基準線１１と定義し、この基準線１１を基準として対角に位置するように、第１の電極部分を第１のエリア１５ｂ、第２の電極部分を第２のエリア１５ｃとして規定した場合に、第１のエリア１５ｂおよび第２のエリア１５ｃのそれぞれにおいて、基準線１１寄りにそれぞれ２本の電流端子（Ｉ（＋）、Ｉ（−）： 丸印、以下、同様である。）を、それよりも基準線１１から離れた位置に２本の電圧端子（Ｖ（＋）、Ｖ（−）： 三角印、以下、同様である。）を、接触させる。第１のエリアを１５ａとした場合には、第２のエリアを１５ｄとすれば良い。

【0027】

図８（ａ）は、２本の電流端子を、２つの電極１１３ａ、１１３ｂのそれぞれの延在方向の中心位置に、すなわち、両銅電極１１３の配置方向に長辺型抵抗器１００を２分する基準線１１上に配置した例である。

【0028】

以上のように、図８（ａ）の例では、２本の電圧端子を、基準線１１から１．２ｍｍだけ離れた位置に配置している。このプローブ配置を配置Ｃと称する。

【0029】

また、図８（ｂ）では、図８（ａ）において、２本の電流端子を基準線からそれぞれ逆方向に０．４ｍｍだけ離れた位置に配置している。このプローブ配置を、配置Ｄと称する。

【0030】

図７（ａ）、（ｂ）は、比較例としてのプローブ配置例を示す図であり、図７（ａ）では、２本の電圧端子をエリア１５ｂとエリア１５ｄに、２本の電流端子とをエリア１５ａとエリア１５ｂに、それぞれが対向するように配置している。この例では、電圧端子と電流端子とが基準線１１から１．２ｍｍずつ離れ、電圧端子同士、電流端子同士がそれぞれ対向する位置に配置される。このプローブ配置を配置Ａと称する。

【0031】

図７（ｂ）では、２本の電圧端子をエリア１５ｂ、１５ｃに、２本の電流端子をエリア１５ａ、１５ｄに配置している。この例では、電圧端子と電流端子とが基準線１１から１．２ｍｍずつ離れ、電圧端子と電流端子とがそれぞれ対向する位置に配置される。このプローブ配置を配置Ｂと称する。

【0032】

また、図９は、図８と比較する比較例による抵抗値測定における電圧端子と電流端子の配置例を示す図である。図９（ａ）は、２つの電圧端子を、２つの電極１１３ａ、１１３ｂのそれぞれの延在方向の中心位置に、すなわち、両電極１１３ａ、１１３ｂの配置方向に抵抗器１００を２分する基準線１１上に配置する。また、基準線１１を基準として対角に位置するように、第１の電極部分を第１のエリア１５ｂ、第２の電極部分を第２のエリア１５ｃとして規定した場合に、２本の電流端子を、第１のエリア１５ｂおよび第２のエリア１５ｃそれぞれにおいて、基準線１１から離れた位置に配置する。図９（ａ）の例では、２本の電流端子を、基準線１１から１．２ｍｍだけ離れた位置に配置している。このプローブ配置を配置Ｅと称する。

【0033】

図９（ｂ）の例では、図９（ａ）において、２本の電圧端子を基準線からそれぞれ逆方向に０．４ｍｍだけ離れた位置に配置している。このプローブ配置を、配置Ｆと称する。

【0034】

これらのプローブ配置において、抵抗値測定精度の違いについて計算機シミュレーションによる理論値に基づいて以下に説明する。

【0035】

まず、図１０（ａ）に示すように、上記の配置ＡからＤまでについて、抵抗器の位置がＸ方向（電極の延在する方向（配置方向）であり搬送方向と一致する。）とＹ方向（Ｘ方向と直交する方向（基準線の延びる方向））とに位置ずれした場合の測定抵抗値の変動について以下に説明する。

【0036】

図１０（ｂ）は、搬送方向であるＸ方向に抵抗器が位置ずれした場合（Ｘずれ）における、位置ずれしていない場合の抵抗値を基準とした、抵抗値の変動を％で示す図である。

【0037】

図１０（ｂ）に示すように、電極の延在方向の端部近傍に配置している配置Ａ、配置Ｂに対して、電流端子の配置を電極の中央付近の基準線に沿って配置し、電圧端子の配置を基準線から離れた位置であって、基準線に対して反対側の位置（対角位置）に配置する配置Ｃとすることにより、Ｘずれに対する抵抗値の変動を抑制することができることがわかる。さらに、電流端子の配置を電極の中央付近の基準線に沿って基準線から離れる逆方向に移動させた配置Ｄとすることで、Ｘずれに対する抵抗値の変動をより一層抑制することができることがわかる。尚、配置Ｄは配置Ｃの状態から、抵抗器の中心を軸として電流端子を時計周りに回転させるように、電極の端部方向に平行移動させた（Ｘ方向に電圧端子に近づく方向に例えば０．４ｍｍ移動させた）配置例であるが、電流端子の回転方向を抵抗器の中心を軸として反時計周りに回転させるように、電極の端部方向に平行移動させた配置（Ｘ方向に電圧端子から遠ざかる方向に例えば０．４ｍｍ移動させた）配置としても良い。

【0038】

このように、配置Ｃや配置ＤにおけるＸずれに対する抵抗値の変動の抑制効果は、対角方向に流れる電流（電子の移動）が少ない方向において電圧を測定することで、電流分布に依存する電圧測定値の変動を抑制できることに起因するものと解釈できる。

【0039】

図１０（ｃ）は、Ｙ方向に抵抗器が位置ずれした場合における抵抗値の、位置ずれしていない場合の抵抗値を基準とした変動を％で示す図である。この場合でも、配置Ｃ、Ｄでは、配置Ａ、Ｂよりも変動は抑制できるという、Ｘ方向のずれの場合と同様の効果が得られている。但し、その効果は図１０（ｂ）よりも少なく、長辺型抵抗器の場合には、電極が延在するＸ方向を搬送方向としたときにより高い効果が得られることがわかる。

【0040】

図１１は、片側の電圧検出プローブの当接位置がＸ方向又はＹ方向にズレた場合における、配置ＡからＤまで、及び配置Ｅ、Ｆにおける抵抗値の測定値の変動値を示す図である。

【0041】

図１１（ａ）は、ずれの様子を示す図であり、図１１（ｂ）は、電圧プローブのＸズレの影響を示し、図１１（ｃ）は、電圧プローブのＹズレの影響を示す図である。

【0042】

このように、比較例の配置である電極の延在方向の端部近傍に配置している配置Ａ、配置Ｂに対して、電流端子の配置を電極の中央付近の基準線に沿って配置し、電圧端子の配置を基準線から離れた位置であって、基準線に対して反対側の位置（対角位置）に配置する配置Ｃとすることにより、１本の電圧プローブのＸずれに対する抵抗値の変動を抑制することができることがわかる。さらに、電流端子の配置を電極の中央付近の基準線に沿って基準線から離れる逆方向に移動させた配置Ｄとすることで、１本の電圧プローブのＸずれに対する抵抗値の変動をより一層抑制することができることがわかる。

【0043】

尚、電流プローブを外側に配置した配置Ｅ、Ｆでは、１本の電圧プローブのコンタクト位置のＸずれに対する抵抗値の変動を抑制することはできていないことがわかる。これは、電流プローブを外側に配置すると、電圧プローブのコンタクト位置のＸずれの影響が大きくなるためである。このように、電圧プローブは、基準線からできるだけ外側に配置することが好ましい。

【0044】

図１１（ｃ）に示す１本の電圧プローブのコンタクト位置のＹずれについても、配置依存性はＸズレと同様の傾向を示すことがわかる。

【0045】

以上に結果から、両電極の配置方向に抵抗器を２分する線を基準として対角に位置するように、第１の電極部分を第１のエリア、第２の電極部分を第２のエリアとして規定し、第１のエリアおよび第２のエリアそれぞれにおいて、基準線寄りに電流端子を、それよりも基準線から離れた位置に電圧検出端子を、接触させるようにして４端子測定を行うことで、Ｘ方向及びＹ方向の抵抗器の製品ずれと１本のプローブずれのいずれに関しても、ズレに対する測定値の変動を抑制することができる。

【0046】

すなわち、測定時の搬送方向は、電極の長さ方向とし、交差する方向で測定するとともに、電圧端子を外側にすることで、抵抗器の抵抗測定時の抵抗器の位置ズレやプローブズレに起因する測定値の変動を抑制することができる。

【0047】

尚、上記の効果は、抵抗器が長方形状であり、長辺側が電極である長辺型抵抗器では電流方向に電流と電圧のプローブを並べて当てられない長辺型抵抗器の測定及び製造工程においてより有用である。

【0048】

また、抵抗体が金属であるような低抵抗な抵抗器において、より有用である。
上記の実施の形態において、添付図面に図示されている構成等については、これらに限定されるものではなく、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。

【0049】

例えば、本実施の形態では、長辺型抵抗器を例に説明したが、電極が長辺方向に延材する構造に限定されるものではない。

【0050】

また、本発明の各構成要素は、任意に取捨選択することができ、取捨選択した構成を具備する発明も本発明に含まれるものである。

【産業上の利用可能性】

【0051】

本発明は、抵抗器の製造方法、測定方法として利用可能である。

【符号の説明】

【0052】

１００…長辺型抵抗器、１１１…抵抗体、１１３…電極。

【図1】

【図2】

【図3A】

【図3B】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】