特許第6346743号(P6346743)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】6346743
(24)【登録日】2018年6月1日
(45)【発行日】2018年6月20日
(54)【発明の名称】コンデンサ
(51)【国際特許分類】
   H01G 9/052 20060101AFI20180611BHJP
【FI】
   H01G9/052
【請求項の数】8
【全頁数】11
(21)【出願番号】特願2013-252714(P2013-252714)
(22)【出願日】2013年12月6日
(65)【公開番号】特開2014-135481(P2014-135481A)
(43)【公開日】2014年7月24日
【審査請求日】2016年11月28日
(31)【優先権主張番号】特願2012-270061(P2012-270061)
(32)【優先日】2012年12月11日
(33)【優先権主張国】JP
(73)【特許権者】
【識別番号】000228578
【氏名又は名称】日本ケミコン株式会社
(73)【特許権者】
【識別番号】399054321
【氏名又は名称】東洋アルミニウム株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100081961
【弁理士】
【氏名又は名称】木内 光春
(72)【発明者】
【氏名】芦野 宏次
(72)【発明者】
【氏名】田中 淳視
(72)【発明者】
【氏名】吉田 敦
(72)【発明者】
【氏名】平 敏文
(72)【発明者】
【氏名】目秦 将志
【審査官】 田中 晃洋
(56)【参考文献】
【文献】 特開2006−245149(JP,A)
【文献】 特開2011−142305(JP,A)
【文献】 特開2006−049760(JP,A)
【文献】 米国特許出願公開第2004/0147960(US,A1)
【文献】 特開2012−054448(JP,A)
(58)【調査した分野】(Int.Cl.,DB名)
H01G 9/052
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
それぞれ外部端子接続部を有する陽極体と陰極体とをセパレータを介在させて積層又は巻回したコンデンサ素子に電解液を含浸したコンデンサにおいて、
前記陽極体及び前記陰極体のうち、少なくとも前記陽極体は、予め貫通孔を複数形成した基材の両面に、弁金属からなる粉末の焼結層が積層され、前記焼結層が前記貫通孔を介して連続的に連結されており、
前記複数の貫通孔は、隣接する貫通孔同士の間隔が前記外部端子接続部に近づくにつれて大きくなるように配列されていることを特徴とするコンデンサ。
【請求項2】
前記基材がアルミニウム箔であることを特徴とする請求項1記載のコンデンサ。
【請求項3】
前記基材には、前記焼結層が積層されていない未積層部分を有することを特徴とする請求項1又は2記載のコンデンサ。
【請求項4】
前記焼結層を構成する弁金属からなる粉末の粒子径は、焼結層の内側と表層側で異なることを特徴とする請求項1〜請求項のいずれか1項記載のコンデンサ。
【請求項5】
前記陽極体と前記陰極体とを前記セパレータを介在させて積層したコンデンサ素子において、前記焼結層を構成する弁金属からなる粉末の粒子径は、焼結層の内側の粒子径が、表層側の粒子径よりも大きいことを特徴とする請求項記載のコンデンサ。
【請求項6】
前記焼結層が、連続気泡体である弁金属からなる粉末の焼結体であることを特徴とする請求項1〜請求項のいずれか1項記載のコンデンサ。
【請求項7】
前記陰極体の少なくとも一部は、弁金属からなる粉末体表面にチタン(Ti)層を施した粉末を用いて形成されていることを特徴とする請求項1〜請求項のいずれか1項記載のコンデンサ。
【請求項8】
前記弁金属からなる粉末がアルミニウム粉末又はアルミニウム合金粉末であることを特徴とする請求項1〜請求項のいずれか1項記載のコンデンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、静電容量の向上及びESRの低下を実現できるコンデンサに関する。
【背景技術】
【0002】
コンデンサは、一般的に、陽極箔と陰極箔とをセパレータを介在させて巻回又は積層してコンデンサ素子とし、このコンデンサ素子に電解液を含浸してケース等に収納し、封口を行なうことにより製造される。陽極箔には、アルミニウム等の弁金属の箔に化学的あるいは電気化学的なエッチングにより拡面処理が施され、この拡面処理した箔の表面に化成処理をすることにより酸化被膜層が形成される(例えば、特許文献1参照)。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開2010−50492号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
近年、アルミニウム等の弁金属の箔に施すエッチングの効率を向上させ、箔の表面積を従来よりも拡大させることによって静電容量を向上させることが行われている。しかしながら、このようなコンデンサにおいても、静電容量が未だ十分ではなく、ESR(等価直列抵抗)の低下と共に更なる静電容量の向上が望まれていた。
【0005】
本発明は、前記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、静電容量の向上及びESRの低下を実現できるコンデンサを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明者等は、前記課題を解決すべく鋭意検討を重ねた結果、複数の貫通孔を有するアルミニウム箔の両面にアルミニウム粉末を塗布又は含浸後、焼成し、前記貫通孔を介してアルミニウム焼結層を連続的に形成したアルミニウム箔とすることにより、コンデンサの静電容量を向上でき、かつESRを低下できることを見出し、本発明を完成させた。
【0007】
すなわち、本発明は、それぞれ外部端子接続部を有する陽極体と陰極体とをセパレータを介在させて積層又は巻回したコンデンサ素子に電解液を含浸したコンデンサにおいて、前記陽極体及び前記陰極体のうち、少なくとも前記陽極体は、予め貫通孔を複数形成した基材の両面に、弁金属からなる粉末の焼結層が積層され、前記焼結層が前記貫通孔を介して連続的に連結されており、前記複数の貫通孔は、隣接する貫通孔同士の間隔が前記外部端子接続部に近づくにつれて大きくなるように配列されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【0008】
本発明によれば、静電容量の向上及びESRの低下を実現できるコンデンサを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
図1】本発明のコンデンサに用いる陽極体の製造例を示す平面図である。
図2】基材に貫通孔を形成した一例を示す平面図である。
図3図1のIII-III線断面図である。
図4図3のA部の拡大図である。
図5】アルミニウム焼結粒子に化成処理を施して酸化被膜層を形成した状態を示す拡大図である。
図6】本発明の第1の実施形態に係る積層型コンデンサ素子を示す斜視図である。
図7】本発明の第2の実施形態に係る巻回型コンデンサ素子を示す展開図である。
図8】陽極体に切り込み部を設けた一例を示す平面図である。
図9】陽極体に曲げストレスを加えた場合の状態図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して具体的に説明する。
[第1の実施形態]
(積層型コンデンサ)
図1は、本発明のコンデンサに用いる陽極体の製造例を示す平面図である。
本実施形態のコンデンサにおいては、図1に示すように、複数の貫通孔を有する基材の両面に弁金属を構成する材料の粉末を塗布又は含浸後、焼成し、基材の両面に形成した焼結層を貫通孔を介して連続的に連結した陽極体を用いる。
【0011】
(基材)
基材としては、特にアルミニウム箔が好ましいため、以下、アルミニウム箔を使用した例について説明する。アルミニウム箔は、アルミニウム元素以外に、珪素(Si)、鉄(Fe)、銅(Cu)、マンガン(Mn)、マグネシウム(Mg)、クロム(Cr)、亜鉛(Zn)、チタン(Ti)、バナジウム(V)、ガリウム(Ga)、ニッケル(Ni)及びホウ素(B)等の不可避的な不純物元素を含有してもよい。また、前記の少なくとも1種の合金元素を必要範囲内において添加したアルミニウム合金でもよい。
【0012】
アルミニウム箔1の厚みは、特に限定されないが、10μm以上とするのが好ましい。10μm以上とすることで、後述する外部端子との接続部である外部端子接続部1aを外部端子と確実に接続できる厚みとすることができる。
【0013】
前記のアルミニウム箔1は、公知の方法によって製造されるものを使用することができる。例えば、前記の所定の組成を有するアルミニウム又はアルミニウム合金の溶湯を調製し、これを鋳造して得られた鋳塊を適切に均質化処理する。その後、この鋳塊に熱間圧延と冷間圧延を施すことにより、アルミニウム箔を得ることができる。
【0014】
また、図1に示すように、アルミニウム箔1の上部には、外部端子接続部1aが形成される。
【0015】
(貫通孔の形成)
次に、アルミニウム箔1に、縦横の行列状に複数の貫通孔2を形成する。貫通孔2の数及び寸法はアルミニウム箔1の寸法に応じて適宜定めることができる。また、貫通孔2の形状は、図1に示すように正方形とする他、長方形、円形、多角形としてもよい。さらに、複数の貫通孔2は、図1に示すように全ての貫通孔2を同じピッチで配列するだけでなく、図2に示すように、隣接する貫通孔2の間のアルミニウム箔1の幅を外部端子接続部1aに近いほど大きくすることもできる。これにより、後述するように貫通孔2内に形成されたアルミニウム粉末による導通部分の増大による導通性の向上と、アルミニウム箔1の枠による機械的強度の向上とのバランスを取ることができる。
【0016】
貫通孔2の1個あたりの大きさは、平面視面積で1〜9mmとするのが好ましく、1〜4mmとするのがさらに好ましい。貫通孔2による開口部割合については、貫通孔2形成前のアルミニウム箔の片面面積の20〜60%が好ましい。貫通孔2による開口部割合が60%を超えると、相対的にアルミニウム箔の占有面積(体積)が小さくなり、製造工程中の強度が低くなり保形性が損なわれるおそれがあると共に、ESRが上昇するおそれがある。また開口部割合が20%未満となると粉末が孔に入り込む比率が低くなるため、所望の性能が引き出せなくなってしまうおそれがある。
【0017】
貫通孔2の形成方法は、アルミニウム箔に穿孔ロール等を用いて機械的に穿孔する方法や、パンチング、レーザービームを照射して部分的に溶解除去して穿孔する方法、エッチング液とレジスト膜を用いて部分的なエッチングにより穿孔する方法等を採用することができる。
【0018】
(塗布用粉末)
続いて、アルミニウム箔1の両面に、弁金属からなる粉末体、好ましくは、アルミニウム粉末を塗布する。アルミニウム粉末は、例えば、アルミニウム純度99.8重量%以上の純アルミニウム粉末を用いることが好ましい。
【0019】
前記粉末の形状は、特に限定されず、球状、不定形状、鱗片状、繊維状等のいずれも好適に使用できる。特に、球状粒子からなる粉末が好ましい。球状粒子からなる粉末の平均粒径は、1μm以上80μm以下、特に、1μm以上30μmが好ましい。平均粒径が1μmより小さいと、所望の耐電圧が得られないおそれがある。また、80μmより大きいと、所望の静電容量が得られないおそれがある。また、前記粉末として連続気泡体を用いることもできる。この連続気泡体は貫通孔を有していてもよい。貫通孔を有する連続気泡体を用いると、粉末の貫通部についても電解液が含浸され、電導度が高くなり、ESRが抑えられ、かつ電解液の保持量を多くすることができる。なお、粉末の平均粒径は、レーザー回折式粒度分布測定法により測定することができる。
【0020】
なお、焼結層を構成する前記粉末の粒径を異ならせてもよい。例えば、焼結層の内側に粒径が大きい粉末を配置し、焼結層の外側(焼結層表層側)に粒径が小さい粉末を配置することによって、電解液の保持量が向上する。つまり、焼結層の内側に粒径が大きい粉末を配置することによって、粒径間の空隙が大きくなり電解液を多く保持することが可能となり、一方、焼結層の外側に粒径の小さい粉末を配置させることで、空隙を小さくし、保持した電解液が焼結層の外へ流出することを防ぐことができる。
【0021】
また、前記粉末は、公知の製造方法によって得ることができる。例えば、アトマイズ法、メルトスピニング法、回転円盤法、回転電極法、その他の急冷凝固法等が挙げられるが、工業的生産にはアトマイズ法、特にガスアトマイズ法が好ましい。
【0022】
(ペースト状組成物)
前記粉末をアルミニウム箔1に塗布して皮膜を形成するには、前記粉末に樹脂バインダや溶剤を含有させたペースト状組成物を用いることが好ましい。例えば図1に示すように、容器5に収容したペースト状組成物4をアルミニウム箔1に塗布する。これにより、アルミニウム箔1の両面に効率よくアルミニウム粉末の皮膜3を形成することができる。ペースト状組成物4には、必要に応じて、焼結助剤、界面活性剤等が含まれていてもよい。これらはいずれも公知又は市販のものを使用することができる。
【0023】
樹脂バインダとしては、例えば、カルボキシ変性ポリオレフィン樹脂、酢酸ビニル樹脂、塩化ビニル樹脂、塩酢ビ共重合樹脂、ビニルアルコール樹脂、ブチラール樹脂、フッ化ビニル樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、尿素樹脂、フェノール樹脂、アクリロニトリル樹脂、ニトロセルロース樹脂、パラフィンワックス、ポリエチレンワックス等の合成樹脂又はワックス、タール、にかわ、ウルシ、松脂、ミツロウ等の天然樹脂又はワックスを用いることができる。これらのバインダは、それぞれ分子量、樹脂の種類等により、加熱時に揮発するものと、熱分解によりその残渣がアルミニウム粉末とともに残存するものとがあり、所望の静電特性等に応じて使い分けすることができる。また、溶剤も公知のものが使用できる。例えば、水のほか、エタノール、トルエン、ケトン類、エステル類等の有機溶剤を使用することができる。
【0024】
(アルミニウム粉末の皮膜)
アルミニウム粉末の皮膜3を形成する方法は、前述したペースト状組成物の性状等に応じて公知の方法から適宜採択することができる。例えば、ローラー、刷毛、スプレー、ディッピング、回転ドラム等の塗布方法により形成できる。また、公知の印刷方法により形成することもできる。更に、アルミニウム箔を前記ペースト状組成物に含浸させてもよい。
【0025】
皮膜3は、必要に応じて、20℃以上300℃以下の範囲内の温度で乾燥させてもよい。
【0026】
皮膜3の厚みは特に限定されないが、一般的には20μm以上1000μm以下、特に150μm以上250μm以下とすることが好ましい。厚みが20μm未満の場合は、所望の静電容量が得られないおそれがある。また、1000μmを超える場合は、箔との密着性不良の発生や後工程内におけるひび割れ発生のおそれがある。
【0027】
図3及び図4に、貫通孔2を有するアルミニウム箔1の両面にアルミニウム粉末3aからなる皮膜3を形成した例を示す。アルミニウム粉末3aからなる皮膜3はアルミニウム箔1の両面に形成され、かつ貫通孔2を介して連続的かつ一体的に形成されている。
【0028】
(焼結層の形成)
次に、アルミニウム粉末3aからなる皮膜3を焼結して焼結層とする。焼結層は、前記のアルミニウム粉末3aが緻密化して焼結粒子となり、これらの焼結粒子同士が空隙を維持しながら繋がった構造を有していると推定される。焼結温度は、560℃以上660℃以下とすることが望ましい。焼結時間は、焼結温度等により異なるが、通常は5〜24時間程度の範囲内で適宜決定することができる。焼結雰囲気は、酸化防止の観点から真空雰囲気又は還元性雰囲気とすることが好ましい。また、圧力条件については、常圧、減圧又は加圧のいずれでもよい。
【0029】
なお、前記ペースト状組成物中に樹脂バインダ等の有機成分が含有している場合は、焼結に先立って予め100℃以上から600℃以下の温度範囲で保持時間が5時間以上の加熱処理(脱脂処理)を行なうことが好ましい。加熱処理雰囲気は、特に限定されず、例えば、真空雰囲気、不活性ガス雰囲気又は酸化性ガス雰囲気中のいずれでもよい。また、圧力条件も、常圧、減圧又は加圧のいずれでもよい。
【0030】
(陽極酸化処理)
次に、陽極酸化処理を施して、焼結層を構成するアルミニウム焼結粒子の表面に酸化被膜を形成することにより、誘電体とする。図5に、アルミニウム焼結粒子3bに酸化処理を施して酸化被膜層6を形成した状態を示す。陽極酸化処理条件は特に限定されないが、通常は濃度0.01モル以上5モル以下、温度30℃以上100℃以下のホウ酸溶液中で、10mA/cm以上400mA/cm程度の電流を5分以上印加すればよい。なお、過剰なシュードベイマイト皮膜が発生する場合は、化学的処理にて残存シュードベイマイト皮膜の除去処理を施し、粉末積層部内の空隙目詰まりを防止してもよい。
【0031】
(積層型コンデンサ素子の作製)
図6に示すように、前述した方法により表面にアルミニウム酸化被膜層を形成した陽極体7とアルミニウム箔からなる陰極体8とをセパレータ9を介して交互に積層して積層型コンデンサ素子10を形成し、さらに、図示しない電解液を含浸させて電解コンデンサを作製する。
【0032】
積層型コンデンサ素子10に含浸される電解液には、使用されるアルミニウム電解コンデンサの性能によって種々のものがあるが、エチレングリコールを用いたものや、γ−ブチロラクトンに四級アンモニウム塩を溶解したもの等、公知の種々の電解液を用いることができる。また、セパレータ9は、マニラ紙、クラフト紙、コットン、エスパルト繊維紙、ガラスセパレータなど、またはビニロン、ポリエステルなどの合成繊維からなる不織布、さらには多孔質セパレータを用いることができる。
【0033】
(効果)
(1)アルミニウム箔1上にアルミニウム焼結層を形成することにより、陽極体7の厚みを従来に比べて2倍以上大きくできる。このため、陰極体8とセパレータ9との構成比率が低下し、積層型コンデンサ素子10に占める陽極体7の体積割合が向上する。これより、陽極化成による酸化被膜の表面積を増大でき、静電容量が向上する。
【0034】
(2)アルミニウム箔1上に形成したアルミニウム焼結層の存在により、導電性が向上し、これよりESRを低下させることができる。
【0035】
(3)過電圧印加ストレス試験等における異常発生時に、図4及び図5の矢印で示すような経路でのガス抜けの通路を確保できる。このため、電極ストレスを防止でき、ショート・パンクの発生を防止できる。
【0036】
(4)焼結層内のアルミニウム焼結粒子3bの粒子径を変化させることにより、内部空隙形状を自由に設定できる。つまり、焼結層の内部の粒子径を焼結層表面の粒子径より大きくすることで、粒子間に形成される空隙を大きくでき、より多くの電解液を保持できる。また、焼結層表面の粒子径を小さくすることで、表面の空隙を小さくし、電解液を焼結層に閉じ込めることができ、コンデンサの長寿命化に寄与することができる。
【0037】
(5)外部端子接続部1aに空隙のないアルミニウム箔1のみを使用できるので、外部端子との接続が確実にできる。
【0038】
(6)貫通孔の効果により、製造工程中にアルミニウム箔1と弁金属からなる粉末とが不用意に剥離するのを低減することができる。
【0039】
[第2の実施形態]
(巻回型コンデンサ)
図7は、本発明の第2の実施形態に係る巻回型コンデンサ素子の展開図を示すものである。
【0040】
第1の実施の形態では、陽極体7と陰極体8とをセパレータ9を介して交互に積層して積層型コンデンサ素子10を形成したが、この実施形態では、帯状の陽極体と陰極体を帯状のセパレータを介して積層し、巻回することで巻回型コンデンサ素子20を形成している。
【0041】
即ち、帯状のアルミニウム箔に第1の実施の形態と同様に貫通孔21を形成し、その後、焼結層を積層して、焼結層が貫通孔を介して連続的に連結した陽極体22を形成する。ここで、第1の実施形態では、アルミニウム箔1の上部に外部端子接続部1aを形成したが、本実施形態においては、焼結層が形成されたアルミニウム箔からなる陽極体22及び陰極体24に別途引出端子23を接続することによって、外部引出手段を設けている。
【0042】
その陽極体22と帯状の陰極体24を帯状のセパレータ25を介して積層した上で、図7に示すように巻回して、巻回型コンデンサ素子20を形成する。このような巻回型コンデンサ素子20を形成後は、図示しない電解液を含浸させたのち、金属ケースに挿入し、封口体で封止をして、電解コンデンサを作成する。
【0043】
ここで、巻回する前に、巻回時のストレスを予め加えて亀裂を生じさせた上で、化成により該亀裂を修復した陽極体を巻回してコンデンサ素子を形成してもよい。巻回型コンデンサ素子20を形成する際の巻回工程において、巻回時の曲げ応力により焼結層にストレスが加わり亀裂が生じることがあり、この亀裂によってコンデンサ素子形成後の化成工程において化成効率が悪化したり、化成時に発生する反応ガスによってコンデンサが膨張したりすることがあった。この亀裂は、巻回後の化成工程で、修復することもできるが、上述したように巻回時のストレスを予め加えて亀裂を生じさせた上で、化成により該亀裂を修復することで、予め亀裂を発生させた上で修復しているため、巻回工程で新たに生じる亀裂は少ない。このため、巻回工程後の化成工程においては、化成効率が改善し、また、化成工程で生じるガスの発生量を抑制し、コンデンサの膨らみを抑制できるので、コンデンサの寿命を向上させることができる。予め亀裂を発生させるには、例えば、焼結層が形成された陽極体の化成工程中や、巻回によるコンデンサ素子形成工程前に、巻回手段の巻き軸より小径のローラーに巻き付けることにより、行うことができる。
【0044】
[他の実施形態]
アルミニウム粉末3aの焼結層を形成する際に、用途に合わせて、アルミニウム焼結層が形成されない切り込み部を設けることもできる。例えば、図8において、点線より左側のB領域のように、切り込み部11を設けて複数の貫通孔2を含めたブロック13a,13b,13c,13dの4つの部分を形成してもよい。また、図中右側のC領域のように、隣接する貫通孔2の間に切り込み部11を設けて貫通孔2毎にブロックを形成してもよい。
【0045】
切り込み部11は、予め焼結層を形成しない部分をマスキングした後、基材両面にアルミニウム粉末層を塗工する方法や、ジェット印刷等により形成することができる。このように切り込み部11を設けることによって、コンデンサ作製時に誤って折り曲げストレスが加えられた際にも、図9に示すように、切り込み部11が変形することにより、折り曲げストレスに対するブロック13の亀裂割れを防止できる。又、焼結時に発生する層内の応力を分散することにより、焼結時の歪防止や亀裂割れを防止できる。特に、巻回型コンデンサ素子20においては、巻回時に焼結層に加わる応力が切り込み部によって吸収されるので、焼結層に与える影響が低減するため、より効果が顕著に表れる。
【0046】
なお、図8では基材を縦にB領域とC領域の2分割としたが、基材全体をB領域又はC領域としても良く、また、用途に応じて他の任意の大きさの領域や形状を形成してもよい。
【0047】
また、第1の実施形態では、アルミニウム箔1を陰極体8として積層型コンデンサ素子10を形成したが、陰極体8として陽極体7と同様にアルミニウム箔に粉末焼結層を形成したものを用いてもよい。
【0048】
前記焼結層は、弁金属として基材を構成するアルミニウムと同一材料のアルミニウム粉末を用いる例を示したが、前記焼結層として基材と異なる材料を用いることもできる。例えば、アルミニウム以外のタンタル、ニオブ、チタン等の他の弁金属の粉末や弁金属にカーボンナノチューブを混合し、これを焼結したものを用いることもできる。
【0049】
また、前記焼結層に用いる粉末として、弁金属からなる粉末体表面、好ましくは、アルミニウム粉末またはアルミニウム合金粉末の表面にチタン(Ti)層を形成した粉末を用いてもよい。粉末体表面のチタン(Ti)層は、電解コンデンサ使用中に発生する水素ガスを吸蔵する効果が期待できる。この電解コンデンサ使用中に発生する水素はプラスイオンであるため、陰極側に引き付けられる。このため、陰極体8の少なくとも一部にチタン(Ti)層を形成することで、引き付けられた水素を吸収し、水素によるコンデンサの膨張を抑制することができる。表面にチタン(Ti)層を形成した粉末を用いることで、前記粉末焼結層内部の空隙表面にチタン(Ti)層を確実に形成することができ、水素ガスの吸蔵効果が期待できる。
【0050】
また、基材としてアルミニウム箔には、貫通孔2のほかに、エッチング加工により直径数μm〜数十μmの貫通孔を別途設けてもよい。このように貫通孔2のほかにエッチング加工による直径数μm〜数十μmの貫通孔を設けることにより、イオンの透過が向上し、ESRを更に低減できる。
【0051】
また、上記実施形態では、ペースト状組成物4をアルミニウム箔1に塗布することにより、皮膜3を形成したが、これに限らない。例えば、ペースト状組成物を入れた容器にアルミニウム箔を浸漬して皮膜を形成してもよいし、アルミニウム箔上にペースト状組成物を入れたドラムを回転させながらペースト状組成物を塗布してもよい。
【符号の説明】
【0052】
1…アルミニウム箔
1a…外部端子接続部
2…貫通孔
3…皮膜
3a…アルミニウム粉末
3b…アルミニウム焼結粒子
4…ペースト状組成物
5…容器
6…酸化被膜層
7…陽極体
8…陰極体
9…セパレータ
10…積層型コンデンサ素子
11…切り込み部
13,13a,13b,13c,13d…ブロック
20…巻回型コンデンサ素子
図1
図2
図3
図4
図5
図6
図7
図8
図9