特許 6348513 非対称的重複および懸架シャッター構造

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6348513

(24)【登録日】2018年6月8日

(45)【発行日】2018年6月27日

(54)【発明の名称】非対称的重複および懸架シャッター構造

(51)【国際特許分類】

   G02B 26/02 20060101AFI20180618BHJP

   B81B 3/00 20060101ALI20180618BHJP

   B81C 1/00 20060101ALI20180618BHJP

   G09F 9/37 20060101ALI20180618BHJP

   G09F 9/00 20060101ALI20180618BHJP

【ＦＩ】

   G02B26/02 B

   B81B3/00

   B81C1/00

   G09F9/37

   G09F9/00 338

【請求項の数】16

【全頁数】35

(21)【出願番号】特願2015-553767(P2015-553767)

(86)(22)【出願日】2014年1月13日

(65)【公表番号】特表2016-513266(P2016-513266A)

(43)【公表日】2016年5月12日

(86)【国際出願番号】US2014011270

(87)【国際公開番号】WO2014113320

(87)【国際公開日】20140724

【審査請求日】2016年12月19日

(31)【優先権主張番号】13/745,408

(32)【優先日】2013年1月18日

(33)【優先権主張国】US

(73)【特許権者】

【識別番号】500480274

【氏名又は名称】スナップトラック・インコーポレーテッド

(74)【代理人】

【識別番号】100108453

【弁理士】

【氏名又は名称】村山 靖彦

(74)【代理人】

【識別番号】100163522

【弁理士】

【氏名又は名称】黒田 晋平

(72)【発明者】

【氏名】ジアンル・シ

【審査官】 越河 勉

(56)【参考文献】

【文献】 特表２０１０−５１７０７２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２０１２／０１５４４５５（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 特開２００６−１３３７４４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２００８／０９１３３９（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 米国特許出願公開第２００７／０２１６９８７（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 特表２０１４−５０６３３９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−０４３７９０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２０１０／０１８８４４３（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０２Ｂ ２６／００−２６／０８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第２の端辺から離隔された第１の端辺を有する第１の開口を有する第１の層と、
第２の開口を有する第２の層と、
光が前記第１の開口を通過するのを妨げるためのシャッターと、を備え、
前記シャッターが、第２のシャッターの辺から離隔された第１のシャッターの辺を有し、第１の位置において、前記第１の開口の前記第１の端辺を越える長さに延びる前記第１のシャッターの辺と、前記第１の開口の前記第２の端辺を越える第２のより長い長さに延びる前記第２のシャッターの辺と、を有するように前記第１の開口と揃えられ、
前記シャッターが前記第１の位置にあるときに、前記第１のシャッターの辺が、前記第２の開口の第１の端辺を越える長さに延び、
前記シャッターが前記第１の位置にあるときに、前記第２のシャッターの辺が、前記第２の開口の第２の端辺を越える第２のより長い長さに延び、
前記シャッターが、前記第１の層と前記第２の層との間に挿入され、
前記第２の開口および前記第１の開口が、少なくとも部分的に互いに同じ広がりを持ち、
前記第２の開口が、前記第１のシャッターの辺に直交する方向において、前記第１の開口より広く、
前記シャッターが、前記第１のシャッターの辺に直交する前記方向において、前記第１の開口より広く、前記第１のシャッターの辺に直交する前記方向において、前記第２の開口より広い、ディスプレイ。

【請求項2】

前記第１の位置と第２の位置との間で前記シャッターを移動させるためのアクチュエータをさらに備え、前記シャッターを前記第１の位置から前記第２の位置に移動させることが、前記第１のシャッターの辺が前記第１の開口を横切ることを生じさせる、請求項１に記載のディスプレイ。

【請求項3】

前記第２の開口が、前記第２のシャッターの辺に向かって、前記第１の開口より遠くに延びる、請求項１に記載のディスプレイ。

【請求項4】

前記第１の位置が、光が前記第１の開口を通過するのを遮るように前記シャッターを前記第１の開口と揃え、前記第２の位置が、光が前記第１の開口を通過するのを可能にするように前記シャッターを前記第１の開口と揃える、請求項２に記載のディスプレイ。

【請求項5】

前記シャッターの一部が、前記シャッターが第２の位置にあるとき、前記第２の開口にわたって延びる、請求項１に記載のディスプレイ。

【請求項6】

光キャビティをさらに備え、前記第１の層が前記光キャビティと前記シャッターとの間に挿入され、前記光キャビティが前記第１の開口に向けて光を通すように配列される、請求項１に記載のディスプレイ。

【請求項7】

前記第１の層が、それぞれのシャッターと、前記シャッターを前記第１の位置と第２の位置との間で移動させるためのそれぞれのアクチュエータとをそれぞれ有する複数の開口を含む、請求項１に記載のディスプレイ。

【請求項8】

前記複数のシャッターのうちの少なくとも２つのシャッターが、前記第１の位置から前記第２の位置まで移行するときに、異なる運動方向に移動する、請求項７に記載のディスプレイ。

【請求項9】

ディスプレイと通信するように構成され、画像データを処理するように構成されたプロセッサと、
前記プロセッサと通信するように構成されたメモリデバイスとをさらに備える、請求項７に記載のディスプレイ。

【請求項10】

ディスプレイに少なくとも１つの信号を送信するように構成されたドライバ回路と、
前記ドライバ回路に前記画像データの少なくとも一部分を送信するように構成されたコントローラとをさらに備える、請求項９に記載のディスプレイ。

【請求項11】

前記画像データを前記プロセッサに送信するように構成された画像ソースモジュールをさらに備え、前記画像ソースモジュールが、ａ）受信機、ｂ）トランシーバ、およびｃ）送信機からなる群から選択される少なくとも１つの構成要素を備える、請求項９に記載のディスプレイ。

【請求項12】

入力データを受信して、前記入力データを前記プロセッサに伝達するように構成された入力デバイスをさらに備える、請求項９に記載のディスプレイ。

【請求項13】

ディスプレイを製造する方法であって、
第２の端辺から離隔された第１の端辺を有する第１の開口を有する第１の層を設けるステップと、
第２の開口を有する第２の層を設けるステップと、
第２のシャッターの辺から離隔された第１のシャッターの辺を有し、光が前記第１の開口を通過するのを妨げるための第１の位置まで、前記第１の開口に近接する経路を横切るように配列された可動シャッターを、前記第１の層と前記第２の層との間にかつ前記第１の開口に近接して配設するステップであって、前記シャッターが、前記経路と揃えられた方向において前記第１の開口より広く、前記経路と揃えられた前記方向において前記第２の開口より広い、配設するステップと、
前記シャッターが前記第１の位置にあるときに、前記第１の開口の前記第１の端辺を越える長さに延びる前記第１のシャッターの辺、および前記第１の開口の前記第２の端辺を越える第２のより長い長さに延びる前記第２のシャッターの辺を有するように前記シャッターを前記第１の開口と揃えるステップとを含み、
前記シャッターが前記第１の位置にあるときに、前記第１のシャッターの辺が、前記第２の開口の第１の端辺を越える長さに延び、
前記シャッターが前記第１の位置にあるときに、前記第２のシャッターの辺が、前記第２の開口の第２の端辺を越える第２のより長い長さに延びる、方法。

【請求項14】

前記第１の位置と第２の位置との間で前記シャッターを移動させるためのアクチュエータを設けるステップをさらに含み、前記シャッターを前記第２の位置に移動させることが、前記第１のシャッターの辺が前記第１の開口を横切ることを生じさせる、請求項１３に記載の方法。

【請求項15】

前記第２の開口が、前記第２のシャッターの辺に向かって、前記第１の開口より遠くに延びる、請求項１３に記載の方法。

【請求項16】

前記シャッターが第２の位置にあるときに、前記シャッターにわたって延びるように前記第２の開口を形成するステップをさらに含む、請求項１３に記載の方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本分野はディスプレイであり、より詳細には、マイクロ電気機械システムのシャッターを有するディスプレイである。

【背景技術】

【0002】

電気機械システム（ＥＭＳ）は、電気的および機械的要素、アクチュエータ、トランスデューサ、センサ、ミラーおよび光学フィルムなどの光学的構成要素、ならびに電子機器を有するデバイスを含む。ＥＭＳデバイスまたはＥＭＳ要素は、限定はしないが、マイクロスケールおよびナノスケールを含む多様なスケールで製造され得る。たとえば、マイクロ電気機械システム（ＭＥＭＳ）デバイスは、約１ミクロンから数百ミクロン以上までに及ぶサイズを有する構造を含むことができる。ナノ電気機械システム（ＮＥＭＳ）デバイスは、たとえば数百ナノメートルより小さいサイズを含む、１ミクロンより小さいサイズを有する構造を含むことができる。電気機械要素は、堆積、エッチング、リソグラフィ、ならびに／または電気的および電気機械的デバイスを形成するために基板および／もしくは堆積された材料層の各部をエッチング除去するかもしくは層を追加する他のマイクロマシニングプロセスを使用して作成され得る。

【0003】

従来のデジタルマイクロ電気機械シャッターディスプレイでは、複数のＭＥＭＳシャッターが格子状に配列される。各シャッターは、開口の上にまたは開口から離れて移動することによって光を遮るかまたは通すことができる。各シャッターおよび開口は、ディスプレイにおける画素として働く。シャッターの動作は、光を遮るかまたは通すようにシャッターを移動させ、そうすることによってディスプレイ上に画像を作成するアクチュエータによって制御される。

【0004】

この従来の設計では、典型的には、一方が他方の上に配置された２つの開口があり、シャッターは、２つの開口の間に配置される。アクチュエータは、光が２つの開口の間を進むのを妨げるために、シャッターを２つの開口の間の１つの位置に駆動することができる。代替として、アクチュエータは、シャッターを開口から離れるように移動させ、光が一方の開口から他方に通ることを可能にすることができる。シャッターおよび開口の位置およびサイズは、光がどのようにして１つの開口から別の開口に通るかに影響を及ぼし、ディスプレイの特性に影響を及ぼすことがある。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

これらの従来のディスプレイは十分良好に作動するが、表示される画像の特性を改善するために、シャッターおよび開口が光を通す方法を改善することが、当技術分野にとって有益であろう。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本開示のシステム、方法およびデバイスはそれぞれ、いくつかの発明的態様を有し、これらのうちのどの１つも、開示する望ましい属性に対して単独で寄与することはない。

【0007】

本開示で説明する主題の１つの発明的態様は、第２の端辺から離隔された第１の端辺を有する開口を有する基板と、光が開口を通過するのを妨げるためのシャッターであって、第２の辺から離隔された第１の辺を有し、第１の位置において、開口の第１の端辺を越える長さに延びる第１のシャッターの辺と開口の第２の端辺を越える第２のより長い長さに延びる第２のシャッターの辺とを有するように開口と揃えられる、シャッターとを含むディスプレイ内に実装され得る。

【0008】

いくつかの実装形態では、ディスプレイは、第１の位置と第２の位置との間でシャッターを移動させるためのアクチュエータを含み得、シャッターを第２の位置に移動させることが、シャッターの第１の辺が前記開口を横切ることを生じさせる。

【0009】

いくつかの実装形態では、ディスプレイは、シャッターの、基板と反対の側面上に配設され、第２の開口の一部が基板内の開口と同じ広がりを持つように基板内の開口と揃えられた第２の開口を画定する、第２の材料層を含むことができる。いくつかの実施形態では、第２の開口は、基板内の開口と非対称的に揃えられ、シャッターの第２の辺に向かってより遠くに延びるように、基板内の開口から横方向にオフセットされ得る。いくつかの実施形態では、第２の材料層は、基板内の開口から横方向に離隔され、周縁辺から基板上に形成されたシャッターアセンブリの実質的に終端辺まで延びるように開口を画定する周縁辺を有することができる。

【0010】

いくつかの実装形態では、ディスプレイの第１の位置は、光が開口を通過するのを遮るようにシャッターを開口と揃え、第２の位置は、光が開口を通過するのを可能にするようにシャッターを開口と揃えることができる。ディスプレイのいくつかの実装形態では、シャッターが第２の位置にあるとき、シャッターの一部は、開口にわたって延びることができる。

【0011】

いくつかの実装形態では、ディスプレイは、基板と反対側に配設され、開口に向けて光を通すように配列された光キャビティを含む。

【0012】

いくつかの実装形態では、ディスプレイは、それぞれのシャッターと、シャッターを第１の位置と第２の位置との間で移動させるためのそれぞれのアクチュエータとをそれぞれ有する複数の開口を含む基板を有することができる。いくつかの実装形態では、複数のシャッターのうちの１つは、第１の位置から第２の位置まで第１の運動方向に移動し、第２の異なるシャッターは、第１の位置から第２の位置まで異なる運動方向に沿って移動する。

【0013】

いくつかの実装形態では、ディスプレイは、ディスプレイと通信するように構成されたプロセッサと、画像データを処理するように構成されたプロセッサと、プロセッサと通信するように構成されたメモリデバイスとを含むことができる。

【0014】

いくつかの実装形態では、ディスプレイは、ディスプレイに少なくとも１つの信号を送信するように構成されたドライバ回路と、ドライバ回路に画像データの少なくとも一部分を送信するように構成されたコントローラとを含むことができる。

【0015】

いくつかの実装形態では、ディスプレイは、画像データを前記プロセッサに送信するように構成された画像ソースモジュールを含み得、画像ソースモジュールは、受信機、トランシーバ、および送信機のうちの少なくとも１つを含む。

【0016】

いくつかの実装形態では、ディスプレイは、入力データを受信し、その入力データをプロセッサに伝達するように構成された入力デバイスを含むことができる。

【0017】

本明細書で開示する主題の別の発明的態様は、第２の端辺から離隔された第１の端辺を有する開口を有する基板を設けるステップと、第２の辺から離隔された第１の辺を有し、光が開口を通過するのを妨げるための第１の位置まで、開口に近接する経路を横切るように基板上に配列された可動シャッターを、開口に近接して配設するステップと、第１の位置にあるときに、開口の第１の端辺を越える長さに延びる第１のシャッターの辺、および開口の第２の端辺を越える第２のより長い長さに延びる第２のシャッターの辺を有するようにシャッターを開口と揃えるステップとを含む、ディスプレイを製造する方法で実装され得る。

【0018】

いくつかの実装形態では、方法は、第１の位置と第２の位置との間でシャッターを移動させるためのアクチュエータを設けるステップを含み得、シャッターを第２の位置に移動させることが、シャッターの第１の辺が開口を横切ることを生じさせる。

【0019】

いくつかの実装形態では、方法は、シャッターの、基板と反対の側面上に配設され、第２の開口の一部が基板内の開口と同一の広がりを持つように基板内の開口と揃えられた第２の開口を画定する、第２の材料層を設けるステップを含むことができる。

【0020】

いくつかの実装形態では、方法は、基板内の開口と非対称的に揃えられ、シャッターの第２の辺に向かってより遠くに延びるように、第２の開口を基板内の開口から横方向に離隔させるステップを含むことができる。

【0021】

いくつかの実施形態では、方法は、基板内の開口から横方向に離隔され、周縁辺から基板上に形成されたシャッターアセンブリの実質的に終端辺まで延びるように開口を画定する周縁辺を有することができる第２の材料層を含むことができる。

【0022】

方法は、シャッターが第２の位置にあるときに、シャッターにわたって延びるように開口を形成するステップを含むことができる。

【0023】

本開示で説明する主題の１つまたは複数の実装形態の詳細は、添付の図面および以下の説明において示す。本開示で提供する例は、主に、ＥＭＳおよびＭＥＭＳ方式ディスプレイに関して説明するが、本明細書で提供する概念は、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、有機発光ダイオード（「ＯＬＥＤ」）ディスプレイ、および電界放出ディスプレイなど、他のタイプのディスプレイに適用することができる。他の特徴、態様および利点は、説明、図面および特許請求の範囲から明らかになろう。以下の図の相対寸法は、一定の縮尺で描かれてはいない場合があることに留意されたい。

【0024】

上記の説明は、以下の図面を参照する以下の発明を実施するための形態からより容易に理解されよう。

【図面の簡単な説明】

【0025】

【図1A】例示的なディスプレイ装置の等角図である。

【図1B】図１Ａのディスプレイ装置のブロック図である。

【図2】図１ＡのＭＥＭＳ方式ディスプレイ内への組み込みに適している例示的なシャッター方式光変調器の斜視図である。

【図3A】シャッター方式ディスプレイ装置の断面図である。

【図3B】シャッター方式ディスプレイ装置のＭＥＭＳダウン実装形態の断面図である。

【図4】第１の位置にあるＭＥＭＳ方式シャッターおよび第２の位置にあるＭＥＭＳ方式シャッターの上面図である。

【図5A】第１の開口と第２の開口との間に非対称的に整列され、軸の運動方向に沿って横に移動するシャッターを示す断面図である。

【図5B】第１の開口と第２の開口との間に非対称的に整列され、軸の運動方向に沿って横に移動するシャッターを示す断面図である。

【図6A】開口とシャッターとの間のギャップを通過する光源からの光の断面図である。

【図6B】シャッターの辺の周りを進む回折光のパターンの図式表現である。

【図7】ＭＥＭＳ方式シャッターが第１の開口の上に非対称的に整列され、第２の開口が増加された幅を有する断面図である。

【図8】ＭＥＭＳ方式シャッターが第１の開口の上に非対称的に整列され、第２の開口が、基板上に形成されたシャッターアセンブリの終端辺まで延びる断面図である。

【図9】第２の位置にあるシャッターの下に延びる第１の開口の上に非対称的に整列されたＭＥＭＳ方式シャッターの断面図である。

【図10】基板上に形成されたシャッターアセンブリの終端辺まで延びる複数の開口の上面図である。

【図11A】複数の光変調器のディスプレイ要素を含むディスプレイデバイスを示すシステムブロック図である。

【図11B】複数の光変調器のディスプレイ要素を含むディスプレイデバイスを示すシステムブロック図である。

【発明を実施するための形態】

【0026】

以下の説明は、本開示の発明的態様を説明するためのいくつかの実装形態を対象とする。しかしながら、本明細書の教示が、多数の様々な方法で適用され得ることは、当業者には容易に認識されよう。説明する実装形態は、動いている（ビデオなど）か静止している（静止画像など）かにかかわらず、およびテキスト、グラフィック、または描画にかかわらず、画像を表示するように構成され得る任意のデバイス、装置、またはシステム内に実装され得る。より詳細には、説明する実装形態は、限定はしないが、携帯電話、マルチメディアインターネット対応携帯電話、モバイルテレビジョン受信機、ワイヤレスデバイス、スマートフォン、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）デバイス、パーソナルデータアシスタント（ＰＤＡ）、ワイヤレス電子メール受信機、ハンドヘルドまたはポータブルコンピュータ、ネットブック、ノートブック、スマートブック、タブレット、プリンタ、コピー機、スキャナ、ファクシミリデバイス、全地球測位システム（ＧＰＳ）受信機／ナビゲータ、カメラ、デジタルメディアプレーヤ（ＭＰ３プレーヤなど）、カムコーダ、ゲーム機、腕時計、時計、計算機、テレビジョンモニタ、フラットパネルディスプレイ、電子リーディングデバイス（電子書籍など）、コンピュータモニタ、自動車ディスプレイ（走行距離計および速度計のディスプレイなどを含む）、コックピット制御機器および／またはディスプレイ、カメラビューディスプレイ（車両内のリアビューカメラのディスプレイなど）、電子写真、電子掲示板または標示、プロジェクタ、建築構造物、電子レンジ、冷蔵庫、ステレオシステム、カセットレコーダまたはプレーヤ、ＤＶＤプレーヤ、ＣＤプレーヤ、ＶＣＲ、ラジオ、ポータブルメモリチップ、洗濯機、乾燥機、洗濯／乾燥機、パーキングメータ、（マイクロ電気機械システム（ＭＥＭＳ）用途を含む電気機械システム（ＥＭＳ）用途ならびに非ＥＭＳ用途などにおけるような）パッケージ化、美的構造（一片の宝石または衣服の上への画像の表示など）、および多様なＥＭＳデバイスなど、多様な電子デバイスに含まれ得るかまたは関連付けられ得ることが考えられる。本明細書の教示はまた、限定はしないが、電子スイッチデバイス、無線周波数フィルタ、センサ、加速度計、ジャイロスコープ、動作検知デバイス、磁力計、家庭用電子機器のための慣性コンポーネント、家庭用電子機器製品のパーツ、バラクタ、液晶デバイス、電気泳動デバイス、駆動方式、製造プロセス、および電子試験機器など、非ディスプレイ用途において使用され得る。したがって、教示は、図に示される実装形態だけに限定されることを意図されているのではなく、当業者に容易に明らかとなる広い利用可能性を有することを意図されている。

【0027】

本明細書で説明するシステムおよび方法は、とりわけ、基板内に形成された開口の上に、および開口から離れて移動するシャッターを含むＭＥＭＳ光変調器を含む。一実装形態では、シャッターは、シャッターが開口から横方向に離隔される開位置とシャッターが開口の上に整列される閉位置との間を移動する。シャッターは、開口の上におよび開口から離れて移動して、開口を通って進む光を遮るかまたは通す。シャッターは、開口に対して横行する経路に沿って進み、開位置から閉位置への第１の運動方向に移動し、反対方向に移動して閉位置から開位置に移動する。シャッターは、前縁および後縁を有する。シャッターは開位置と閉位置との間を移動するので、シャッターの前縁は開口の上を進み、シャッターの後縁は開口に向かって移動するが開口の上を進むことはない。一実装形態では、シャッターは、閉位置にあるときは開口の上に非対称的に整列され、シャッターの前縁が開口から配置される距離よりも大きい開口からの距離に、シャッターの後縁を配置する。

【0028】

いくつかの実装形態では、ＭＥＭＳ光変調器は、第２の開口を含むことができる。シャッターは、基板内の開口と第２の開口との間に配設され、開位置と閉位置との間を移動して、これらの２つの開口の間を通る光を変調することができる。開口は、互いに対して整列されて、光が一方の開口から他方に通ることを可能にする。一実装形態では、第２の開口は、第１の端辺と第２の端辺とを有し、シャッターが開位置にあるとき、第２の端辺がシャッターに近接する。開口の第２の端辺は、第２の開口の中心から、第１の端辺よりも遠くに延びて、第２の開口を基板内の開口と非対称的に配列することができる。

【0029】

いくつかの実装形態では、基板内の開口は、第１の端辺と第２の端辺とを有し、シャッターが開位置にあるとき、第２の端辺がシャッターに近接する。いくつかの実装形態では、シャッターが開位置にあるとき、基板内の開口の第２の端辺は、シャッターの前縁を越えて延びる。

【0030】

本開示で説明する主題の特定の実装形態は、以下の潜在的な利点のうちの１つまたは複数を実現するように実装され得る。

【0031】

本明細書で説明するシステムおよび方法は、光が、閉じたシャッターの下から漏れることで生じ得る光の回折および反射の効果を含む光漏洩効果を低減する、延長されたシャッターを設けることによって改善されたコントラスト比を提供することができる。シャッターの後縁が開口から、従来のシャッターにおけるよりも遠い距離に配置されるように、シャッターが延長され得る。これにより、開口を通過する光を遮るために、シャッターの長さが延長されて、より大きいシャッターがもたらされる。加えて、シャッターを延ばして後縁を開口からより遠くに配設するが、シャッターの前縁を開口に対して従来の位置に維持させることによって、シャッターの前縁が開口にわたって移動する時間が維持される。したがって、開位置と閉位置との間でシャッターを切り替えるのに必要な時間を変えることなく、シャッターの光を遮る能力が改善される。

【0032】

本明細書で説明するシステムおよび方法はまた、いくつかの実装形態では、シャッターの上の開口の長さを延ばして開口をシャッターの後縁に向かってより遠くに延長させることによって、視野角を改善することができる。延長された開口は、光が、基板内の開口からシャッターの上の開口に通るときに進み得る角度の範囲を増加する。シャッターの上の延長された開口は、後縁に向かう開口の端辺における視野角を改善する。

【0033】

一実装形態では、開示するシステムおよび方法はまた、基板内の開口の長さをシャッターの後縁に向かって延ばすことによって、視野角を増加することができる。基板内の開口を延ばすことによって、光が基板を通過するために、より広い空間が設けられる。その上、延長された開口は、基板内の開口の延長部とシャッターの上の開口の対向する端辺との間の経路に沿って高い視野角で進んでいる光を通す開口の能力を高める。シャッターの下の延長された開口は、シャッターの前縁に向かう開口の端辺における視野角を改善した。

【0034】

図１Ａは、例示的なディスプレイ装置の等角図であり、例示的な直視型ＭＥＭＳ方式ディスプレイ装置１００の概略図を提示する。ディスプレイ装置１００は、行および列に配列された複数の光変調器１０２ａ〜１０２ｄ（全体として「光変調器１０２」）を含む。ディスプレイ装置１００において、光変調器１０２ａおよび１０２ｄは開状態にあり、光を通させる。光変調器１０２ｂおよび１０２ｃは閉状態にあり、光の通過を妨げる。光変調器１０２ａ〜１０２ｄの状態を選択的にセットすることによって、ディスプレイ装置１００は画像１０４を形成することができる。バックライト付きディスプレイに対して、光変調器１０２は、１つまたは複数のランプ１０５からの光を遮る。他の実装形態では、ディスプレイ装置１００は、ディスプレイ装置１００の前面から発生する周辺光の反射によって画像を形成するか、またはディスプレイ装置１００は、ディスプレイ装置１００の前面に配置された１つまたは複数のランプ１０５からの光の反射によって、すなわちフロントライトを使用して画像を形成することができる。いずれの場合も、光変調器１０２の閉状態または開状態が、たとえば、限定はしないが、光を遮断、反射、吸収、フィルタリング、偏光、回折すること、または別の方法で光の特性または経路を変更することによって、光路内の光を変調する。

【0035】

図示のディスプレイ装置１００において、各光変調器１０２は、画像１０４中の画素１０６に対応する。他の実装形態では、ディスプレイ装置１００は、複数の光変調器１０２を利用して、画像１０４中の画素１０６を形成することができる。たとえば、ディスプレイ装置１００は、３つの色固有光変調器１０２を含み得る。特定の画素１０６に対応する色固有光変調器１０２のうちの１つまたは複数を選択的に開くことによって、ディスプレイ装置１００は、画像１０４中のカラー画素１０６を生成することができる。これらの色固有光変調器１０２を使用するこの実施形態では、画像１０４中の画素１０６は、カラー画素１０６の３つの色を作成する３つの光変調器１０２と関連付けられた３つの画素１０６を含むことになる。別の例では、ディスプレイ装置１００は、画像１０４中のグレースケールを提供するために、画素１０６ごとに２つ以上の光変調器１０２を含む。

【0036】

ディスプレイ装置１００は、結像光学素子を必要としないという点で直視型ディスプレイである。ユーザは、ディスプレイ装置１００を直接見ることによって画像を見る。代替実装形態では、ディスプレイ装置１００は、投影型ディスプレイ内に組み込まれる。そのような実装形態では、ディスプレイは、光をスクリーンまたは壁の上に投影することによって画像を形成する。

【0037】

直視型ディスプレイは、透過モードまたは反射モードのいずれかで動作し得る。透過型ディスプレイでは、光変調器は、ディスプレイの後ろに配置された１つのランプまたは複数のランプから発する光をフィルタリングし、または選択的に遮断する。ランプからの光は、場合によっては、光ガイドまたは「バックライト」に注入される。透過直視型ディスプレイ実装形態は、光変調器を含む一方の基板がバックライトのすぐ上に配置されるサンドイッチアセンブリ配列を円滑にするように、透明基板またはガラス基板の上に構築されることが多い。いくつかの透過型ディスプレイ実装形態では、色固有光変調器は、カラーフィルタ材料を各光変調器１０２と関連付けることによって作成される。他の透過型ディスプレイ実装形態では、色は、以下で説明するように、異なる原色を有するランプの照度を変えることによるフィールド順次式カラー方法を使用して生成され得る。

【0038】

図示の光変調器１０２の各々は、シャッター１０８および開口１０９を含む。各シャッター１０８は、前縁１２０および後縁１２２を有する。画像１０４中の画素１０６を照明するために、シャッター１０８は開口から離れて配置され、見ている人に向かって光が開口１０９を通過するように開口１０９から横方向に離隔される。画素１０６を未点灯のまま保つために、シャッター１０８が開口１０９と揃えられて光が開口１０９を通過するのを妨げるように、シャッター１０８は別の異なる位置に配置される。開口１０９は、透明基板上に置かれた膜であり得る反射材料または光吸収材料を通してパターニングされた開口部によって画定される。光変調器１０２Ａおよび１０２Ｂは、光変調器１０２Ａによって示される開位置のシャッター１０８と、光変調器１０２Ｂによって示される閉位置のシャッター１０８との対照比較を提示する。図示の対照比較は、シャッター１０２Ｂが、前縁１２０を開口１０９にわたって移動して、光が開口１０９を通過するのを妨げることによって閉じることを示す。

【0039】

ディスプレイ装置１００は、基板と、シャッター１０８の移動を制御するための光変調器１０２とに接続された制御マトリクスも含む。制御マトリクスは、画素の行ごとに、少なくとも１つの書込み許可相互接続１１０（「スキャンライン相互接続」とも呼ばれる）と、各画素列に対する１つのデータ相互接続１１２と、ディスプレイ装置１００中のすべての画素に、または少なくとも複数の列と複数の行の両方からの画素に共通電圧を与える１つの共通相互接続１１４とを含む、一連の電気相互接続（たとえば、相互接続１１０、１１２および１１４）を含む。適切な電圧（「書込み許可電圧、Ｖ_ｗｅ」）の印加に応じて、所与の画素行に対する書込み許可相互接続１１０は、行中の画素を、新規シャッター移動命令を受諾するように準備する。データ相互接続１１２は、新規移動命令を、データ電圧パルスの形で伝達する。データ相互接続１１２に印加されるデータ電圧パルスは、いくつかの実装形態において、シャッターの静電的な移動に直接寄与する。他の実装形態では、データ電圧パルスは、スイッチ、たとえばトランジスタ、または、通常、データ電圧よりも振幅が高い別個の作動電圧の、光変調器１０２への印加を制御する他の非線形回路要素を制御する。次に、これらの作動電圧を印加した結果、シャッター１０８の静電駆動移動が生じ、シャッター１０８を第１の位置から第２の位置に移動させる。いくつかの実装形態では、これは、シャッター１０８を開位置から閉位置に移動させる。しかし、他の実装形態では、作動電圧は、開と閉との間の中間である、第１の位置と第２の位置との間にシャッターを駆動することができる。

【0040】

図１Ｂは、図１Ａのディスプレイ装置１００のブロック図１５０である。図１Ａおよび図１Ｂを参照すると、上述のディスプレイ装置１００の要素に加えて、ブロック図１５０に示すように、ディスプレイ装置１００は、複数のスキャンドライバ１５２（「書込み許可電圧源」とも呼ばれる）および複数のデータドライバ１５４（「データ電圧源」とも呼ばれる）を含む。スキャンドライバ１５２は、スキャンライン相互接続１１０に書込み許可電圧を印加する。データドライバ１５４は、データ相互接続１１２にデータ電圧を印加する。ディスプレイ装置のいくつかの実装形態において、データドライバ１５４は、特に画像１０４のグレースケールがアナログ方式で導出されるべきである場合、光変調器にアナログデータ電圧を提供するように構成される。アナログ動作において、光変調器１０２は、ある範囲の中間電圧がデータ相互接続１１２を通して印加されると、シャッター１０８における、ある範囲の中間開状態が生じ、その結果、画像１０４におけるある範囲の中間照度状態すなわちグレースケールが生じるように設計される。

【0041】

他の場合には、データドライバ１５４は、２つ、３つまたは４つのデジタル電圧レベルの縮小セットのみを制御マトリクスに印加するように構成される。これらの電圧レベルは、デジタル方式で、シャッター１０８の各々に対して開状態または閉状態をセットする。

【0042】

スキャンドライバ１５２およびデータドライバ１５４は、デジタルコントローラ回路１５６（「コントローラ１５６」とも呼ばれる）に接続される。コントローラ１５６は、入力される画像信号１５７を処理してディスプレイ１００の空間アドレス指定およびグレースケールの機能に適したデジタル画像フォーマットにする、入力処理モジュール１５８を含む。各画像の画素位置およびグレースケールのデータは、データが必要に応じてデータドライバ１５４に取り出され得るようにフレームバッファ１５９内に記憶される。データは、行によっておよび画像フレームによってグルーピングされた所定のシーケンスに編成されて、ほぼ直列方式でデータドライバ１５４に送られる。データドライバ１５４は、直列並列データコンバータと、レベルシフティングと、一部の用途向けにはデジタルアナログ電圧コンバータとを含み得る。

【0043】

ディスプレイ装置１００は、場合によっては、共通ドライバ１５３のセットを含む。いくつかの実装形態では、共通ドライバ１５３は、コントローラ１５６からのコマンドに従って、画素のアレイ１０３の複数の行および列中のすべての光変調器の同時作動を駆動および／または初期化することが可能である電圧パルスを出す。

【0044】

異なるディスプレイ機能のためのドライバ（たとえば、スキャンドライバ１５２、データドライバ１５４、および共通ドライバ１５３）は、コントローラ１５６内のタイミング制御モジュール１６０によって時間同期される。モジュール１６０からのタイミングコマンドが、ランプドライバ１６８と、画素のアレイ１０３内の特定の行の書込み許可およびシーケンシングと、データドライバ１５４からの電圧の出力と、光変調器作動をもたらす電圧の出力とにより、赤、緑および青ならびに白色ランプ（それぞれ１６２、１６４、１６６、および１６７）の照度を調整する。

【0045】

コントローラ１５６は、アレイ１０３内のシャッター１０８の各々が、新規画像１０４に適した照度レベルにリセットされ得るシーケンシングまたはアドレス指定方式を決定する。

【0046】

いくつかの実装形態において、画像状態１０４についてのデータは、コントローラ１５６によって、画素のアレイ１０３に、スキャンラインとも呼ばれる個々の行の順次アドレス指定によりロードされる。シーケンス中の行すなわちスキャンラインごとに、スキャンドライバ１５２は、アレイ１０３のその行について、書込み許可相互接続１１０に書込み許可電圧を印加し、続いて、データドライバ１５４が、選択された行中の各列について、所望のシャッター状態に対応するデータ電圧を供給する。このプロセスは、アレイ中のすべての行についてデータがロードされるまで繰り返す。いくつかの実装形態において、データローディングのための選択された行のシーケンスは、線形であり、アレイ中の上から下に進む。他の実装形態では、選択された行のシーケンスは、視覚的アーティファクトを最小限にするために擬似ランダム化される。さらなる実装形態では、シーケンシングはブロックで編成され、この場合、ブロックに対して、画像状態１０４の特定の一部のみについてのデータが、たとえば、シーケンス中のアレイの５行おきにのみアドレス指定することによってアレイにロードされる。

【0047】

代替実装形態では、画素のアレイ１０３と、画素を制御する制御マトリクスとが、方形の行および列以外の構成で配列され得る。たとえば、画素は、六角形アレイまたは曲線をなす行および列で配列され得る。概して、本明細書で使用するスキャンラインという用語は、書込み許可相互接続を共有する、任意の複数の画素を指すものである。

【0048】

ディスプレイ１００は、タイミング制御モジュール１６０、フレームバッファ１５９、スキャンドライバ１５２、データドライバ１５４、ならびにドライバ１５３および１６８を含む複数の機能ブロックを含む。各ブロックは、区別できるハードウェア回路および／または実行可能コードのモジュールのいずれかを表すものと理解され得る。いくつかの実装形態では、機能ブロックは、回路基板および／またはケーブルによって互いに接続された別個のチップまたは回路として提供される。代替として、これらの回路の多くは、ガラスまたはプラスチックの同じ基板上に画素アレイ１０３とともに組み立てられ得る。他の実装形態では、ブロック図１５０にある複数の回路、ドライバ、プロセッサ、および／または制御機能は、単一のシリコンチップ内で互いと統合され得、そのシリコンチップは、次に、画素アレイ１０３を保持する透明基板に直接接着される。

【0049】

コントローラ１５６はプログラミングリンク１８０を含み、プログラミングリンク１８０によって、コントローラ１５６内で実装されるアドレス指定、色、および／またはグレースケールのアルゴリズムは、特定の用途の必要性に応じて変更され得る。いくつかの実装形態では、プログラミングリンク１８０は、コントローラ１５６が環境条件に対応してイメージングモードまたはバックライト電力を調整し得るように、周辺光または温度のセンサなどの環境センサから情報を伝える。コントローラ１５６はまた、ランプならびに光変調器の作動に必要な電力を供給する電源入力１８２を含む。必要に応じて、ドライバ１５２、１５３、１５４、および／または１６８は、入力電圧１８２を、シャッター１０８の作動、またはランプ１６２、１６４、１６６、および１６７などのランプの照明に十分な様々な電圧に変換するためのＤＣ−ＤＣコンバータを含み得るかまたはそれと関連付けられ得る。

【0050】

図２は、図１ＡのＭＥＭＳ方式ディスプレイ装置１００内への組み込みに適している例示的なシャッター方式光変調器２００の斜視図である。シャッター方式光変調器２００（シャッターアセンブリ２００とも呼ばれる）は、アクチュエータ２０４に結合されたシャッター２０２を含む。シャッター２０２は、３つのスロット２０９と３つの遮光部２１３とを含む。アクチュエータ２０４は、２つの別個のコンプライアント電極ビームアクチュエータ２０５（「アクチュエータ２０５」）から形成され得る。シャッター２０２は、一方の側でアクチュエータ２０５に結合する。アクチュエータ２０５は、表面２０３に対して実質的に平行である運動面における基板２０１の表面２０３の上方で、シャッター２０２を横方向に移動させる。シャッター２０２の反対側は、アクチュエータ２０４によって加えられる力に対向する復元力を与えるスプリング２０７に結合する。

【0051】

各アクチュエータ２０５は、シャッター２０２をロードアンカ２０８に接続するコンプライアントロードビーム２０６を含む。ロードアンカ２０８は、コンプライアントロードビーム２０６とともに、機械的サポートとして働き、シャッター２０２を、基板２０１の表面２０３に近接して懸架されたまま保つ。ロードアンカ２０８は、コンプライアントロードビーム２０６とシャッター２０２とを表面２０３に物理接続し、ロードビーム２０６を、バイアス電圧、一部の事例ではグランドに電気接続する。

【0052】

各アクチュエータ２０５は、各ロードビーム２０６に隣接して配置されたコンプライアント駆動ビーム２１６も含む。駆動ビーム２１６は、一方の端部において、駆動ビーム２１６の間で共有される駆動ビームアンカ２１８に結合する。各駆動ビーム２１６の他端は、自由に移動する。各駆動ビーム２１６は、駆動ビーム２１６の自由端と、ロードビーム２０６の固定端との近くのロードビーム２０６に最接近するように湾曲される。

【0053】

表面２０３は、光を通過させるための１つまたは複数の開口２１１を含む。シャッターアセンブリ２００が、たとえばシリコンから作られる不透明基板２０１上に形成される場合、表面２０３は基板２０１の表面であり、開口２１１は、基板２０１を貫通する穴のアレイをエッチングすることによって形成される。シャッターアセンブリ２００が、たとえばガラスまたはプラスチックから作られる透明基板２０１上に形成される場合、表面２０３は、基板２０１上に堆積された遮光層の表面であり、開口は、表面２０３をエッチングして穴２１１のアレイに形成される。開口２１１は概して、円形、楕円形、多角形、蛇行状、または形状が不規則でよい。図示のシャッター２０２は、基板２０１の開口２１１と揃えられ得る３つのスロット２１３を有する。開口２１１とスロット２１３との間の整列によって、基板２０１を通過し、シャッター２０２を通過し得る光の量が一部制御される。図示のスロット２１３は方形であるが、任意の適した形状またはパターンが使用されてもよい。

【0054】

動作時、光変調器２００を組み込むディスプレイ装置は、駆動ビームアンカ２１８を介して駆動ビーム２１６に電位を印加する。第２の電位が、ロードビーム２０６に印加され得る。駆動ビーム２１６とロードビーム２０６との間の得られる電位差は、駆動ビーム２１６の自由端を、ロードビーム２０６の固定端の方に引き付け、ロードビーム２０６のシャッター端を、駆動ビーム２１６の固定端の方に引き付け、そうすることによって、シャッター２０２を、駆動アンカ２１８に向かって横に駆動する。コンプライアント部材２０６は、ビーム２０６および２１６にわたる電圧が除去されたとき、ロードビーム２０６がシャッター２０２をその初期位置に押し戻すように、スプリングとして働き、ロードビーム２０６に蓄えられた応力を解放する。駆動ビーム２１６およびコンプライアント部材２０６は、シャッター２０２を開口２１１の上で横に移動させる。シャッター２０２は、線２１５で示す直線経路に沿って前後に進む。

【0055】

弾性シャッターアセンブリ内のアクチュエータ２０５は、第１の位置と第２の位置との間で動作するようにセットされ、第１の位置および第２の位置は、この図示の例に対して、閉位置もしくは作動位置および弛緩位置である。しかしながら、設計者は、アクチュエータ２０５がその弛緩位置にあるとき常に、シャッターアセンブリ２００が、「開」状態すなわち光を通すかまたは「閉」状態すなわち光を遮るかのいずれかであるように開口２１１を配置することを、選択することができる。説明の目的で、本明細書で説明する弾性シャッターアセンブリは、それらの弛緩状態において開であるように設計されることが、以下で仮定される。シャッター２０２は、光が開口２１１からスロット２０９を通って進むことを可能にするように開口２１１の上にスロット２０９が整列される開位置と、光がシャッター２０２を越えて進むのを妨げるように開口２１１の上に遮光部２１３が整列される閉位置との間を移動する。

【0056】

いくつかの実装形態では、「開」および「閉」のアクチュエータのセットは、制御電子回路が、シャッターを開状態および閉状態の各々に静電的に駆動することができるように、シャッターアセンブリの一部として設けられ得る。

【0057】

他のタイプのシャッター制御システムが、本明細書で説明するディスプレイとともに使用されてもよい。一部のケースでは、制御は、ディスプレイの周囲にあるドライバ回路に接続された行および列相互接続の受動マトリクスアレイを用いて遂行される。他のケースでは、ディスプレイの速度、グレースケールおよび／または電力消費性能のいずれかを向上させるために、アレイの各画素内の素子のスイッチングおよび／またはデータ記憶要素（いわゆるアクティブマトリクス）を含むことが適切である。これらの制御システムのいずれかが、本明細書で説明するシステムおよび方法を用いて使用され得る。

【0058】

図３Ａは、シャッター方式光変調器（シャッターアセンブリ）３０２を組み込んだディスプレイ装置３００の断面図である。各シャッターアセンブリ３０２は、シャッター３０３とアンカ３０５とを組み込んでいる。アンカ３０５とシャッター３０３との間で接続されると、表面の少し上でシャッターを懸架するのを助けるコンプライアントビームアクチュエータについては図示していない。シャッターアセンブリ３０２は、プラスチックまたはガラスで作製され得る透明基板３０４上に配設される。基板３０４上に配設された後ろ向き反射層、反射膜３０６が、シャッターアセンブリ３０２のシャッター３０３の閉位置の下に置かれた複数の表面開口３０８を画定する。反射膜３０６は、表面開口３０８を通らない光を、ディスプレイ装置３００の後ろに向かって逆反射する。反射開口層３０６は、スパッタリング、蒸着、イオンプレーティング、レーザアブレーション、または化学気相堆積を含むいくつかの堆積技術によって薄膜方式で形成された、含有物をもたない微粒金属膜であり得る。別の実装形態では、後ろ向き反射層３０６は、誘電鏡などの鏡から形成され得る。誘電鏡は、高および低屈折率の材料を交互に繰り返す誘電薄膜の積層として作製される。シャッターが自由に移動する反射膜３０６からシャッター３０３を分離する垂直ギャップは、０．５〜１０ミクロンの範囲内である。垂直ギャップの規模は、閉状態における、シャッター３０３の辺と、開口３０８の辺との間の横方向の重複よりも小さくてよい。

【0059】

ディスプレイ装置３００は、基板３０４を平面光ガイド３１６から分離する随意のディフューザ３１２および／または随意の輝度強化膜３１４を含む。光ガイドは、透明材料、すなわちガラス材料またはプラスチック材料を含む。図示の光ガイド３１６は、１つまたは複数の光源３１８によって照射され、バックライトを形成する。光源３１８は、たとえば、限定はしないが、白熱電球、蛍光灯、レーザ、または発光ダイオード（ＬＥＤ）でよい。反射体３１９は、ランプ３１８から光ガイド３１６に光を向けるのを助ける。前向き反射膜３２０が、バックライト３１６の後ろに配設され、シャッターアセンブリ３０２に向かって光を反射する。シャッターアセンブリ３０２のうちの１つを通らない、バックライトからの光線３２１などの光線は、バックライトに戻され、膜３２０から再度反射される。この方式において、第１の経路上に画像を形成するためにディスプレイを離れることができない光は、リサイクルし、シャッターアセンブリ３０２のアレイ中の他の開いた開口の透過のために利用可能にすることができる。そのような光リサイクルは、ディスプレイの照明効率を上げることがわかっている。

【0060】

光ガイド３１６は、ランプ３１８から開口３０８の方に、したがってディスプレイの前面の方に光を向け直す１組の幾何学的光リダイレクタまたはプリズム３１７を含む。光リダイレクタ３１７は、代替可能に断面が三角形、台形になる、または湾曲することができる形状をもつ光ガイド３１６のプラスチック本体内に成形することができる。プリズム３１７の密度は概して、ランプ３１８からの距離とともに増大する。

【0061】

代替実装形態では、開口層３０６は、光吸収材料で作ることができ、代替実装形態では、シャッター３０３の表面は、光吸収材料または光反射材料のいずれかでコーティングすることができる。代替実装形態では、開口層３０６は、光ガイド３１６の表面に直接堆積され得る。代替実装形態では、開口層３０６は、シャッター３０３およびアンカ３０５と同じ基板上に配設される必要はない。

【0062】

カバープレート３２２は、ディスプレイ装置３００の前面を形成する。カバープレート３２２の後ろ側は、コントラストを増すために、ブラックマトリクス３２４でカバーされ得る。代替実装形態では、カバープレート３２２は、カラーフィルタ、たとえば、シャッターアセンブリ３０２のうちの異なるものに対応する、別個の赤色、緑色、および青色フィルタを含む。カバープレート３２２は、シャッターアセンブリ３０２から所定の距離だけ離れて支えられ、図示のギャップ３２６を形成する。ギャップ３２６は、機械的サポートもしくはスペーサ３２７によって、および／またはカバープレート３２２を基板３０４に付着させる粘着シール３２８によって維持される。粘着シール３２８は、作動流体３３０を密閉する。作動流体３３０はまた、潤滑剤としても働き得る。一実装形態では、作動流体３３０は、高い表面濡れ性をもつ疎水性液体である。

【0063】

薄板金属または成形プラスチックのアセンブリブラケット３３２は、カバープレート３２２と、基板３０４と、バックライト３１６と、他の構成要素部とを合わせて、辺の周りに保持する。アセンブリブラケット３３２は、複合ディスプレイ装置３００に剛性を加えるために、ねじまたはインデントタブで固定される。いくつかの実装形態では、光源３１８は、エポキシポッティング化合物によって、所定の場所に成形される。反射体３３６は、光ガイド３１６の辺から漏れた光を光ガイドに戻すのを助ける。シャッターアセンブリ３０２およびランプ３１８に制御信号ならびに電力を与える電気相互接続は、図３Ａに示していない。

【0064】

図３Ａのディスプレイ装置３００は、ＭＥＭＳアップ構成と呼ばれ、ＭＥＭＳ方式光変調器が、基板３０４の前面、すなわち見ている人の方を向く表面上に形成される。シャッターアセンブリ３０２は、反射開口層３０６のすぐ上に構築される。ＭＥＭＳダウン構成と呼ばれる代替実装形態では、シャッターアセンブリは、反射開口層が形成される基板とは別個の基板上に配設される。図３Ｂは、シャッター方式ディスプレイ装置のＭＥＭＳダウン実装形態の断面図である。図３ＢのＭＥＭＳダウン構成において、ＭＥＭＳ方式光変調器３０２を収容する基板３０４は、図３Ａのディスプレイ装置３００におけるカバープレート３２２に取って代わり、上部基板の後面、すなわち見ている人とは反対を向き、バックライト３１６の方を向く表面にＭＥＭＳ方式光変調器３０２が配置されるように配向される。ＭＥＭＳダウン実装形態において、ＭＥＭＳ方式光変調器３０２は、反射開口層３０６からのギャップに直接対向して、かつギャップにわたって配置される。ギャップは、開口プレート３０７と、ＭＥＭＳ変調器３０２が形成される基板３０４とを接続する一連のスペーサポスト（図示せず）によって維持され得る。いくつかの実装形態では、スペーサは、アレイ中の各画素内に、または各画素間に配設される。ＭＥＭＳ光変調器３０２を、それらの対応する開口３０８から分離するギャップまたは距離は、１０ミクロン未満、またはシャッターと開口との間の重複よりも小さい距離であり得る。基板３０４上に形成されたシャッターアセンブリ３０２は、この実装形態では開口プレート３０７上の開口層３０６を形成する反射膜内に形成されるそれぞれの開口３０８と揃えられる。光キャビティ３１６からの光は、開口層３０６内の開口３０８を通過し、層３２４内に形成された開口３５０に向かって進むことができる。一実装形態では、層３２４は、一実装形態においてガラス、プラスチックまたはいくつかの他の好適な材料で形成された透明基板３０４の表面に堆積された金属材料の層である。シャッターアセンブリ３０２のシャッター３０３は、光が開口３０８を通って開口３５０に進むのを妨げるために、開口３０８と３５０との間の位置に移動することができる。代替として、シャッター３０３は、光が開口３０８から開口３５０を通って進むのを可能にするために、開口３０８および３５０から横方向に離れて配置され得る。

【0065】

図４は、第１の位置にあるＭＥＭＳ方式シャッターおよび第２の位置にあるＭＥＭＳ方式シャッターの上面図を示す。具体的には、図４は、第１のシャッターアセンブリ４０２Ａおよび第２のシャッターアセンブリ４０２Ｂを含むシャッターアレイ４００の一部の上面図を示す。各シャッターアセンブリ４０２Ａおよび４０２Ｂは、第１の位置と第２の位置との間を運動方向４１０に沿って移動し、それぞれの開口４０８にわたって横に移動するシャッター４０４を含む。シャッターアセンブリ４０２Ａおよび４０２Ｂは、基板４３０上に形成される。基板４３０は透明であってよく、ガラス、プラスチックまたは任意の他の好適な材料であってよい。２つのシャッターアセンブリ４０２Ａおよび４０２Ｂを、代表的なディスプレイにおいて図４に示すが、図示のシャッターアセンブリ４０２Ａおよび４０２Ｂと同様の数百、数千または数百万のシャッターアセンブリが基板４３０上に形成され得ることは、当業者には理解されよう。

【0066】

図示の開口４０８は基板４３０内に形成され、図３Ａおよび図３Ｂを参照して述べたように、開口４０８は、光ガイド３１６などの光ガイドからシャッター４０４Ａおよび４０４Ｂに向かって光が進むことを可能にする。図４の実装形態では、開口４０８Ａおよび４０８Ｂは、基板４３０の表面上に堆積された遮光膜４１９の層内に開口をエッチングすることによって形成される。図示の開口４０８は、運動方向を示す線４１０を横切って整列された第１の端辺４３２および第２の端辺４３４を有する方形周縁辺を有する。シャッター４０４Ａおよび４０４Ｂもまた方形であり、第１の辺４３６および第２の辺４３８を含む周縁辺を有し、辺４３６と４３８の両方もまた、運動方向４１０を横切る。各シャッター４０４Ａおよび４０４Ｂは、軸４５０に沿って延びる長さと軸４５２に沿って延びる幅とを有する。

【0067】

シャッター４０４Ａは、開口４０８Ａの上に整列されるように示されており、開口４０８Ａは、点線の周縁辺で示され、シャッター４０４Ａが開口４０８Ａを覆うことを示すために内部をクロスハッチングされている。整列されると、シャッター４０４Ａは、光が開口４０８Ａを通過するのを妨げ、開口４０８Ａを通る光を変調して、シャッターアセンブリ４０２Ａから送られる光の輝度を減少させる。

【0068】

図４は、シャッター４０４Ａおよび４０４Ｂが２つの位置の間を移動することを示す。アセンブリ４０２Ａのシャッター４０４Ａは、この実装形態では、光が開口４０８から伝わるのを妨げる第１の位置に示される。シャッターアセンブリ４０２Ｂのシャッター４０４Ｂは、この実装形態では、開口４０８Ｂから横方向に離隔されて光が開口４０８Ｂを通過するのを可能にする第２の位置に示される。図示の第１および第２のシャッター位置は、シャッター４０４の位置の単なる例であり、他の実装形態では、シャッターは、開口を横切って途中まで移動させて、開口と部分的に重複する位置に至ることができる。その上、図２のスロット２０９で示すタイプのスロット付きシャッターを有する実装形態では、第１および第２の位置は、スロット２０９を基板２３０内の開口２１１に対して異なる配置に配列する位置に対応することがある。さらに他の実装形態は、複数のシャッターを使用して開口を覆い、光が開口を通過するのを妨げることができ、これらの実装形態では、複数のシャッターの位置もまた、図４に示す位置と異なることがある。

【0069】

図４は、さらに、シャッター４０４Ａおよび４０４Ｂが、それぞれ、それらのそれぞれの開口４０８Ａおよび４０８Ｂより大きい表面積を覆うことを示す。したがって、シャッター４０４Ａなどのシャッターの周縁辺は、開口４０８Ａの周縁辺を越えて延び、基板４３０の表面に堆積された遮光膜４１９と重なる。図示の例では、シャッター４０４Ａは、開口４０８Ａの長さおよび幅よりともに大きい長さおよび幅を有する。しかしながら、他の実装形態では、シャッター４０４Ａは、軸４５０に沿って測定される開口４０８Ａの長さに等しいかまたは実質的に等しい、軸４５０に沿って測定される長さを有することがある。

【0070】

図４は、さらに、シャッター４０４Ａが、開口４０８Ａと非対称的に揃えられ、第１のシャッターの辺４３６Ａが開口４０８Ａの第１の端辺４３２Ａを越える距離４１５Ａに延び、第２のシャッターの辺４３８Ａが開口４０８Ａの第２の端辺４３４Ａを越える、第２のより長い距離４１４Ａに延びることを示す。シャッター４０４Ａは、第１の位置に配列されるとき、開口４０８Ａと非対称的に揃えられ、開口４０８Ａと少なくとも同じ、またはそれ以上の広がりを持つ。シャッター４０４Ａのより大きい表面積は、開口４０８Ａの周縁辺を越えて延びて基板４３０上の遮光膜４１９と重なるシャッター４０４Ａの方形周縁辺をもたらす。破線は、第２のシャッターの辺４３８Ａが開口４０８Ａの端辺４３４Ａを越えて延びる距離４１４Ａを示す。同様に、破線はまた、第１シャッターの辺４３６Ａが開口４０８Ａの端辺４３２Ａを越えて延びる距離４１５Ａを示す。図示のように、距離４１４Ａは、距離４１５Ａより大きい。したがって、第２のシャッターの辺４３８Ａは、第２の開口の端辺４３４Ａを越えてより大きい距離を延び、開口４０８Ａから通る光を遮るための遮光膜４１９とのより大きい重複をもたらす。

【0071】

図４に示す例では、典型的なシャッター４０４Ａは、約１〜５０ミクロンの長さと５〜２００ミクロンの幅とを有する。距離４１４Ａおよび４１５Ａは、典型的には１ミクロン〜２０ミクロン、より一般的には２ミクロン〜１０ミクロンに及ぶが、他の距離が使用されてもよく、シャッターおよび開口のサイズも、取り組まれる用途に基づいて選択されるサイズとともに変わることがある。

【0072】

図４は、開口４０８Ｂを横切るシャッター４０４Ｂの運動方向を表す線４１０に沿って横に移動して、開口４０８Ｂから横方向に離隔されたシャッター４０４Ｂを示す。シャッター４０４Ａで示すシャッターの閉位置からこの第２の開位置までのシャッター４０４Ｂの移動によって、シャッター４０４Ｂの第１の辺４３６Ｂが開口４０８Ｂにわたって横に移動させられる。シャッター４０４Ｂは、開口４０８Ｂの全部または実質的に全部が露出され、覆いを取られて光が開口４０８Ｂを通過してシャッター４０４Ｂを越えてページの面の外に出る方向に進むことが可能になるまで移動する。図示のシャッター４０４Ｂは、開口４０８Ｂから横方向に離隔される位置に移動し、それによってシャッターの辺４３６Ｂが、開口４０８Ｂの第２の辺４３４Ｂから横方向に離隔される。代替実装形態では、シャッター４０４Ｂは、第２の位置に移動されると、その第１の辺４３６Ｂが開口４０８Ｂの第２の辺４３４Ｂの上に実質的に整列されるか、または代替として、第１の辺４３６Ｂを、シャッター４０４Ｂが依然として開口４０８Ｂの一部を覆ったままの位置に維持することができる。シャッターが開口の辺に対してどのように整列し得るかの一実装形態を、図５Ｂを参照しながら以下でより詳細に説明する。

【0073】

図５Ａおよび図５Ｂは、第１の開口と第２の開口との間に非対称的に整列され、運動方向に沿って横に移動するシャッターを示す断面図を示す。図５Ａは、第１の開口と第２の開口との間に非対称的に整列されたシャッターの断面図を提示する。具体的には、図５Ａは、第１の開口５０８と第２の開口５５０との間に配列されたシャッター５０４を含むシャッターアセンブリ５００を示す。開口５０８は、基板５３０上に堆積された遮光材料の膜５１９内に形成される。シャッター５０４は、第１の開口５０８を越えて延び、長さ５１５だけ遮光膜５１９と重なる第１の辺５３６と、開口５０８を越えて延び、第２のより長い長さ５１４だけ遮光膜５１９と重なる第２の辺５３８とを有する。シャッター５０４は、線５１０で示す運動方向に沿って開口５０８にわたって横に移動する。図示しないが図３のアクチュエータ３０５に類似するアクチュエータが、第１の位置と第２の位置との間で運動方向に沿ってシャッター５０４を駆動することができる。シャッター５０４は、基板５３０内の第１の開口５０８と同じ広がりを持って、すなわち完全に覆って整列されたシャッター５０４によって閉位置に示されている。そのように配置されると、シャッター５０４は、光ガイド５１６からの光が開口５０８および開口５５０を通過するのを妨げる。

【0074】

開口５５０は、図３のマスク３２４の材料に類似するブラックマトリクス材料などの材料の膜５２４内に形成され得る。膜５２４は、リソグラフィでパターニングされるかまたは別の方法で処理されて開口５５０を形成することができる。開口５５０は、基板５３０上の開口５０８と揃えられる。典型的には、開口５５０の形状は、開口５０８の形状と同様であるが、常にそうであるとは限らない。断面で示しているが、開口５５０は、膜５２４内の方形の開口部として形成され、第１の辺５５２および第２の辺５５４を有する方形の周縁辺を有する。第１の辺５５２は、閉位置にあるときにシャッター５０４の辺５３６と重なる。同様に、第２の辺５５４は、シャッター５０４の第２の辺５３８と重なり、辺５３８を越えて延びる。したがって、シャッター５０４の辺５３６と５３８の両方は、シャッター５０４が閉位置にあるときに膜５２４と重なる。図示の実装形態では、開口５５０は開口５０８より大きい。開口５０８の周縁辺５３２と５３４の両方は、シャッター５０４が開位置にあるときに開口５０８が開口５５０によって完全に露出されて覆いを取られるように、開口５５０の辺５５２および５５４から横方向に離間される。

【0075】

図５Ｂは、線５１０で示す方向に横に移動したシャッター５０４の断面図を示す。シャッター５０４は、開口５０８から横方向に離隔される位置に移動しており、光ガイド５１６からの光が開口５０８および開口５５０を通過するのを可能にする。図示の実装形態では、シャッター５０４は、許容ギャップを表す距離５６０だけ開口５０８から横方向に離隔される。許容ギャップは、シャッターの実際の位置がその予期する位置と一致しないことを引き起こすことがある製造中の変動に適応するための間隔を表す。図示の許容ギャップの距離５６０は、これらの変動を伴うとしても、開のときにシャッター５０８が開口５０８から離隔されるように、これらの変動に適応する。シャッター５０４の移動はアクチュエータ（図示せず）によって駆動され、シャッター５０４を第１の位置と第２の位置との間で移動させる。

【0076】

図５Ａおよび図５Ｂを比較するとわかるように、開口５０８にわたって進むのはシャッター５０４の辺５３６である。辺５３６はシャッター５０４の前縁であり、開口５０８全体にわたって進んでシャッター５０４を開状態または閉状態に配置するのはシャッター５０４の辺５３６である。シャッター５０４の第２の辺である後縁５３８は、開口５０８を横切らない。第２の辺５３８は、開口５０８に向かっておよび開口５０８から離れて移動するが、少なくとも開口５０８からの距離５１４より近づくことはない。したがって、図５Ｂに示すように、シャッター５０８の総移動距離（Ｔ）は、前縁５３６が移動する距離であり、その距離は、一実装形態では、

【0077】

Ｔ＝重複５１５＋開口の幅５０８＋任意の許容ギャップ５６０
であり得る。

【0078】

距離Ｔは、少なくとも部分的には、開位置と閉位置との間でシャッター５０４を移動させるのに必要な時間を決定する。一実装形態では、重複５１５は１μｍ〜５μｍに及ぶことがあり、許容範囲Ｔは０μｍ〜３μｍに及ぶことがある。しかしながら、重複の長さおよび許容範囲は、用途に応じて変化することがある。距離Ｔは、距離５１４とは無関係であり、距離５１４は、シャッター５０４が閉じているときにシャッター５０４の辺５３８が遮光膜５１９と重なる距離である。したがって、距離５１４は、距離Ｔ、または開位置と閉位置との間をシャッター５０４が移動するのに必要な時間を変えることなく増加され得る。しかしながら、距離５１４を延ばすと、閉位置にあるときに、光、とりわけシャッター５０４の辺５３８と遮光膜５１９との間を通る光を遮る、シャッター５０４の能力を改善することができる。図６Ａは、開口とシャッターとの間のギャップを通過する光源からの光の断面図である。

【0079】

具体的には、図６Ａは、光ガイド６１６に搭載された基板６３０上に形成されたそれぞれの開口６０８Ａ、６０８Ｂおよび６０８Ｃに近接して配設されたシャッター６０４Ａ、６０４Ｂおよび６０４Ｃを有する複数のシャッターアセンブリ６０２Ａ、６０２Ｂおよび６０２Ｃを含むディスプレイ６００の一部を示す。カバープレート６２２は、開口６５０Ａ、６５０Ｂおよび６５０Ｃが形成される膜６３２に隣接して配置される。図６Ａは、さらに、光を光ガイド６１６内に送る光源６１８を示す。光ガイド６１６は、光ガイド６１６内の光を分散し、基板６３０ならびに開口６０８Ａ、６０８Ｂおよび６０８Ｃの方に誘導する。

【0080】

図６Ａは、シャッター６０４Ａが、閉位置にあるときに、開口６０８Ａと非対称的に揃えられて、光の漏洩を低減すること、とりわけギャップ６２６を通って漏れる光を低減することを示す。図６Ａでは、シャッター６０４Ａは、開口６０８Ａの上に配設され、光が開口６５０Ａを通過するのを妨げる、すなわちシャッター６０４Ａは閉位置にある。しかしながら、図６Ａは、シャッター６０４Ａが、基板６３０および開口６０８Ａから垂直方向に離隔されていることを示す。シャッター６０４Ａと基板６３０上の遮光膜６１９との間の間隔は、破線で示すギャップ６２６を形成する。ギャップ６２６は、シャッター６０４Ａの両側に示され、ギャップ６２６が、典型的にはシャッター６０４Ａの全周縁の周りに延びることは、当業者には明白であろう。ギャップ６２６は開口部をもたらし、その開口部を通して、シャッター６０４Ａが閉位置にあるときでも、限られた範囲の角度に沿って進む光がシャッター６０４Ａの下を通り、カバープレート６２２を通過することがある。この漏洩する光、すなわち光の漏洩は、少なくとも一定の視野角において、ディスプレイに対するコントラスト比を低減することがある。

【0081】

図６Ａは、閉じたシャッター６０４Ａの右側のギャップ６２６から漏れる光６２１を示す。具体的には、図６Ａは、ギャップ６２６を通って隣接するシャッターアセンブリの開口の外に、直接に、または図示のように表面への反射によって進む光である、光の漏洩の１つのタイプを示す。漏れは、１つのシャッター６０４Ａの下から漏れ、次に第２の隣接する開口６５０Ｂを通って外に進む光線６２１で示される。光線６２１の終端部は破線で示され、表面６１９から反射した光の低下した強度を表す。辺６３８を開口６０８Ａからさらに延ばすことによって、シャッター６０４Ａが、ギャップ６２６を通過した光を遮ること、または光を表面６１９からより多い回数反射させて漸次強度を低下させることが可能になる。

【0082】

図６Ｂは、シャッターの辺の周りを進む回折光のパターンの図式表現である。図６Ｂは、回折光を、シャッター６０４Ａと遮光膜６１９との間のギャップ６２６を通って伝播し得る漏洩光として示す。図６Ｂは、回折光を一連の弧６２３として図で示す。弧６２５で示す回折パターンの一部は、開口６５０Ａを通って伝播する。徐々に広がる弧線６２３および６２５の間隔は、低下していく回折光の強度を表す。シャッター６０４Ａの辺６３８を開口６５０Ａから横方向にさらに移動させることによって、開口６５０を通過する回折光の強度は、辺６３８が開口６５０Ａにより近い場合よりも小さくなる。したがって、辺６３８を開口６５０Ａから遠い位置に延ばすことによって、シャッター６０４Ａが閉位置にあるときに開口６５０Ａを通過する回折光の強度が低下し、シャッター６０４Ａによって生成される画像のコントラスト比が改善する。

【0083】

したがって、両原因による光の漏洩は、開シャッターと閉シャッターとの間のコントラスト比を低下させることがある。シャッターが光の漏洩を防ぐ能力は、部分的には、シャッター６０４Ａなどのシャッターが、開口６０８Ａおよび６５０Ａなどの開口を画定する遮光膜６１９および６３２にわたって延びる距離によって決定される。

【0084】

本明細書で説明するシステムおよび方法では、シャッター６０４Ａは、図６Ａに示すように、開口６０８Ａの右側に示す距離６１４が、開口６０８Ａの左側の距離６１５より大きくなるように、開口６０８Ａの上に非対称的に整列される。シャッター６０４Ａが膜６１９に重なる、より大きい距離６１４は、開口６５０Ａを通る回折漏洩および６５０Ｂを通る反射漏洩を低減し、それゆえコントラスト比を改善する。

【0085】

図５Ｂを参照して上述したように、開位置または閉位置に移動するためにシャッター５０４が進む距離は、距離５１５と開口５０８の幅と任意の許容範囲５６０との和に等しい。開口５０８にわたって移動するのはシャッター５０４の辺であるので、移動距離Ｔは、シャッター５０４の辺５３６が移動する距離の関数であることがわかる。したがって、移動距離は、距離５１４ではなく距離５１５の関数である。距離５１５ではなく、閉じたときにシャッター５０８が遮光膜５１９と重なる距離５１４を増加することによって、本明細書で説明するシステムおよび方法は、開位置と閉位置との間で状態を切り替えるために必要な移動距離または移動時間を増加することなく、シャッター５０４の辺５３８の下からの光の漏洩を防ぐシャッターの能力を向上する。

【0086】

さらに、図５Ａに示すように、距離５１４が十分に大きい場合、開口５５０は、開口５５０の、シャッター５０４の辺５３８に近接する側で拡大され得る。図７は、ＭＥＭＳ方式シャッターが第１の開口の上に非対称的に整列され、第２の開口が増加された幅を有する断面図である。図７は、光キャビティ７１６に面するＭＥＭＳ基板７０９の表面上に形成されたシャッターアセンブリ７０２Ａ、７０２Ｂおよび７０２Ｃを有するＭＥＭＳダウンシャッターディスプレイ７００を示す。シャッターアセンブリは、それぞれの開口７０８Ａ、７０８Ｂおよび７０８Ｃの上に非対称的に整列されたそれぞれのシャッター７０４Ａ、７０４Ｂおよび７０４Ｃを有する。シャッターアセンブリ７０２Ａ、７０２Ｂおよび７０２Ｃは同様であるため、図示と理解とを容易にするために、これらのシャッターアセンブリの構造について、シャッターアセンブリ７０２Ｂを参照しながら説明する。

【0087】

シャッターアセンブリ７０２Ｂはシャッター７０４Ｂを含み、シャッター７０４Ｂの一方の側に重複７１４を有し、重複７１４は他方の側のシャッター７０４Ｂの重複７１５より大きい。したがって、シャッター７０４Ｂは、図６Ａのシャッター６０４Ａと同様にその右側で延長され、それによって、シャッター７０４Ｂの辺７３８は、辺７３６が開口７０８Ｂから離れるよりも遠くに開口７０８Ｂから離れる。シャッターアセンブリ７０２Ｂはまた、図６Ａの開口６５０Ｂと比較して、シャッター７０４Ｂの辺７３８に近接する開口７５０Ｂの側で距離７６５を延長される上部開口７５０Ｂを有する。したがって、シャッター７０４Ｂと開口７５０Ｂの両方が、さらに開口７０８Ｂの右に延長される。開口７５０Ｂは、前述の開口６５０Ｂと同様であり、遮光膜７２４の層によって画定され得る。典型的には、層７２４は、シャッターアセンブリ７０２Ａ、７０２Ｂおよび７０２Ｃが形成されるＭＥＭＳ基板７０９上に形成される金属材料の層となる。膜７２４内の開口７５０は、基板７３０内の開口７０８の上に非対称的に整列され、右側により遠く延びる。より広い開口７５０は、光線７２１のような、軸を大きく外れた角度における光を伝えるために追加の距離７６５をもたらす。光線７２１は、延長された開口空間７６５を通過する角度においておよび経路に沿って進んでいる。これは、アセンブリ７０２の、開口７５０に追加された追加の距離７６５を有する側で、シャッターアセンブリ７０２の視野角を改善する。加えて、延長された開口７５０は、ディスプレイの明るさを改善することができる。

【0088】

図８は、ＭＥＭＳ方式シャッターが第１の開口の上に非対称的に整列され、第２の開口が、基板上に形成されたシャッターアセンブリの終端辺まで延びる断面図である。図８は、開口プレート８３０および光キャビティ８１６に面する基板８０９の側に形成されたシャッターアセンブリ８０２Ａ、８０２Ｂおよび８０２Ｃを有するＭＥＭＳダウン構成内の、基板８０９上に形成された３つのシャッターアセンブリ８０２Ａ、８０２Ｂおよび８０２Ｃを示す。各シャッターアセンブリ８０２Ａ、８０２Ｂおよび８０２Ｃは、閉位置において、それぞれの開口８０８Ａ、８０８Ｂおよび８０８Ｃと非対称的に揃えられ、シャッターアセンブリの、シャッターが開くときに移動する側の方により遠く延びるシャッター８０４Ａ、８０４Ｂおよび８０４Ｃを有する。この実装形態では、シャッターアセンブリ８０２Ａ、８０２Ｂおよび８０２Ｃは、図６Ａの開口６５０Ａ、６５０Ｂおよび６５０Ｃと比較して、長さ８６７だけ延長された開口８５０Ａ、８５０Ｂおよび８５０Ｃを有する。開口８５０Ｃは、シャッターアセンブリ８０２Ｃの終端辺における、またはその付近における端部８５４Ｃを有する。図８では、開口８５０Ｃは、シャッター８０４Ｃが開くときに移動する側である右側に延長される。

【0089】

シャッター８０４Ａ、８０４Ｂおよび８０４Ｃもまた、シャッターが開くときに移動する側である右側により遠く延びる。延長されたシャッター８０４Ａ、８０４Ｂおよび８０４Ｃは、それぞれの開口８０８Ａ、８０８Ｂおよび８０８Ｃの上に非対称的に整列される。延長されたシャッター８０４Ａ、８０４Ｂおよび８０４Ｃは、高い角度で進む、光線８２１などの光線を遮るための表面を提供する。したがって、延長されたシャッター８０４Ａ、８０４Ｂおよび８０４Ｃは、高い角度で開口８０８Ａ、８０８Ｂおよび８０８Ｃの辺８３４に向かう方向に進む光を遮り、開口８５０Ａ、８５０Ｂおよび８５０Ｃがシャッターアセンブリの右側で膜８２４を含む必要性を低減する。縮小または除去された膜８２４は、今度は、より大きい開口をもたらし、それゆえシャッターが開に移動する側の方により大きい視野角をもたらして、より高い軸外輝度をもたらす。

【0090】

追加の長さ８６７は、一実施では、長さ８６７を示す両矢印で示す位置において基板８０９上の膜８２４を除去することによって、またはそこに膜８２４を堆積させないことによって達成され得る。図８は、３つのシャッターアセンブリ８０２Ａ、８０２Ｂおよび８０２Ｃのすべてを、シャッターアセンブリの終端辺かまたは実質的に終端辺に向かう片側に延長された開口を有するように示すが、いくつかの実装形態では、シャッターアセンブリのうちのいくつかは、そのそれぞれのシャッターアセンブリの終端辺に向かって延長されない開口を有することがある。シャッターアセンブリ８０２Ａ、８０２Ｂおよび８０２Ｃは、それぞれ、シャッターを開位置の方に右に移動させるように配向される。他の実装形態では、シャッターアセンブリの配向は変わることがあり、ディスプレイ内のいくつかのシャッターは、同じディスプレイ内で、他のシャッターと異なる方向に移動することがある。

【0091】

延長部８６７の長さは、シャッターアセンブリ内に構築された相互接続、コンデンサ、または他の構成要素の位置に、一部依存する。典型的には、シャッターアセンブリの辺において、相互接続、トランジスタおよび場合によっては他の機構または構成要素が存在する。図８を参照しながら説明したデバイスおよびプロセスでは、その膜８２４の部分は、トランジスタ、相互接続および他の構成要素が位置する点まで除去される。開口８５０Ａ、８５０Ｂおよび８５０Ｃをこれらの構成要素の位置まで延長することで、それぞれのシャッターアセンブリ内にある構成要素と干渉することなく、ディスプレイ８００の開口および開口率が増加され得る。一実装形態では、膜８２４は、光キャビティ８１６からの光を遮ることができる金属膜であり、延長部８６７は、約５μｍ〜２０μｍの長さである。最も近い相互接続まで除去される膜８２４を有する開口は、図１０に示す平面図などの上面平面図によって示され得る。図示のように、開口１０５０は、シャッター１００４が開位置にあり、それゆえ開口１００８から離隔されるとき、シャッター１００４が開口１０５０によって露出されるように延長され得る。行１０３８において、開口１０５０は、実質的に相互接続１０６４の位置まで、または他の実装形態ではトランジスタまたはコンデンサなどの別の構成要素もしくは機構まで延長される。

【0092】

上記のように、図示のシャッター８０４Ａ、８０４Ｂおよび８０４Ｃは、それぞれ、光を遮る単一のボディを有する。しかし、他の実装形態では、シャッターは、図２のシャッターアセンブリ２００のように、複数の開口から光を通す複数のスロットを有することがある。

【0093】

図９は、第２の位置にあるシャッターの下に延びる第１の開口の上に非対称的に整列されたＭＥＭＳ方式シャッターの断面図である。図９は、開口プレート９３０および光キャビティ９１６に面する基板９０９の側に形成されたシャッターアセンブリ９０２Ａ、９０２Ｂおよび９０２Ｃを有するＭＥＭＳダウン構成内の、基板９０９上に形成された３つのシャッターアセンブリ９０２Ａ、９０２Ｂおよび９０２Ｃを示す。各シャッターアセンブリ９０２Ａ、９０２Ｂおよび９０２Ｃは、閉位置において、それぞれの開口９０８Ａ、９０８Ｂおよび９０８Ｃと非対称的に揃えられ、シャッターアセンブリの、シャッターが開くときに移動する側の方により遠く延びるシャッター９０４Ａ、９０４Ｂおよび９０４Ｃを有する。この実装形態では、図９は、開位置にあり、基板９３０内の開口９０８Ｂの辺９３２から横方向に離隔されたシャッター９０４Ｂを示す。この実装形態では、開口９５０Ｂの端辺９５２における視野角を改善するために、開口９０８Ｂが拡張される。一実装形態では、開口９０８Ｂは、シャッター９０４Ｂが開位置にあるとき、シャッター９０４Ｂの下に延びるように拡張される。この実装形態では、開口９０８Ｂは、シャッター９０４Ｂの破線で示す部分９６０が、開位置にあるときでもシャッター９０８Ｂが開口９０８Ｂの上で懸架されるように、開口９０８Ｂの上に延びるように拡張される。部分９６０は、部分９６０に衝突する光を遮って、その光が開口９５０Ｂを通過することを妨げることができる。しかしながら、延長された開口９０８Ｂは、光線９２１で示す高い角度の方向に沿って、その部分９６０から離れ、開口９５０Ｂの端部９５２に向かって進む光の放出を可能にする。これは、ディスプレイ９００の視野角を改善し、シャッター９０４Ｂと開口９０８Ｂとの間の整合不良に対する許容範囲を改善することができる。一実装形態では、開口９０８Ｂは図９に示すよりも小さい程度に拡張され、開口９０８Ｂは、シャッター９０４Ｂから離隔されてシャッター９０４Ｂの下にまで延びないが、開口９０８Ｂは依然として、その開位置にあるときに、開口９０８Ｂの、シャッター９０４Ｂに近接する側で拡張され、延長される。

【0094】

図１０は、基板上に形成されたシャッターアセンブリの終端辺まで延びる複数の開口の上面図を示す。図１０は、ディスプレイ１０００の一部を示す。ディスプレイ１０００は、複数のシャッターアセンブリ１００２を含む。図１０は、光が通過し、図６に示すカバープレート６２２など、ディスプレイのカバープレートに向かって進む開口１０５０を画定する上部材料層１０１０を示す上面平面図によって、シャッターアセンブリ１００２の配列を提示する。図１０は、シャッターアセンブリの一方の部分の上に単一の材料層を含み、シャッターアセンブリの対向する部分を、図１０の断面図で示すように露出されたままとする、開口１０５０の平面図を提示する。開口１０５０は、基板１０３０上に形成されたシャッターアセンブリ１００２の実質的に終端辺まで延びる。

【0095】

図１０は、さらに、シャッターアセンブリ１００２が反対方向に配向されることがあることを示す。たとえば、図１０は、行１０４０内のシャッターアセンブリ１００２が、行１０４２内のシャッター１０２４の進行方向と反対の方向に移動するシャッター１０２４を有することを示す。同様に、行１０３８内のシャッター１００４は、行１０４６内のシャッター１００４の進行方向と反対の方向に移動することによって開口１００８にわたって移動する。シャッターアセンブリ１００２の配向を交番することによって、高い視野角において改善された表示を提供するという、非対称的に整列されたシャッター１００４の利点が、ディスプレイ１０００にわたって分配されて、矢印１０６０の方向を含む複数の方向に沿って、および矢印１０６２の方向に沿って高角度での表示が改善されることが理解される。

【0096】

図１１Ａおよび図１１Ｂは、複数の光変調器ディスプレイ要素を含むディスプレイデバイスを示すシステムブロック図である。ディスプレイデバイス４０は、本明細書で説明するように、いくつかの実装形態では、光が開口を通過するのを遮るようにシャッターが配置されるとき、開口と非対称的に揃えられるシャッターを有する光変調器を含むことができる。ディスプレイデバイス１１４０は、たとえば、スマートフォン、セルラー電話または携帯電話であり得る。ただし、ディスプレイデバイス１１４０の同じ構成要素またはその若干異なる形態はまた、テレビ、コンピュータ、タブレット、電子リーダー、ハンドヘルドデバイス、およびポータブルメディアデバイスなど、様々なタイプのディスプレイデバイスを示す。

【0097】

ディスプレイデバイス１１４０は、ハウジング１１４１、ディスプレイ１１３０、アンテナ１１４３、スピーカ１１４５、入力デバイス１１４８およびマイクロフォン１１４６を含む。ハウジング１１４１は、射出成形および真空成形など、様々な製造プロセスのうちのいずれかから形成され得る。さらに、ハウジング１１４１は、限定はしないが、プラスチック、金属、ガラス、ゴム、およびセラミック、またはそれらの組合せを含む、様々な材料のうちのいずれかから形成され得る。ハウジング１１４１は、異なる色の、または異なるロゴ、ピクチャもしくはシンボルを含む他の取外し可能な部分と交換され得る取外し可能な部分（図示せず）を含み得る。

【0098】

ディスプレイ１１３０は、本明細書で説明するように、双安定ディスプレイまたはアナログディスプレイを含む様々なデバイスのうちのいずれかであり得る。ディスプレイ１１３０はまた、プラズマ、ＥＬ、ＯＬＥＤ、ＳＴＮ ＬＣＤもしくはＴＦＴ ＬＣＤなどのフラットパネルディスプレイ、またはＣＲＴもしくは他のチューブデバイスなどの非フラットパネルディスプレイを含むように構成され得る。加えて、ディスプレイ１１３０は、本明細書で説明するように、光変調器方式ディスプレイを含み得る。

【0099】

ディスプレイデバイス１１４０の構成要素は、図１１Ａに概略的に示されている。ディスプレイデバイス１１４０は、ハウジング１１４１を含んでおり、その中に少なくとも部分的に収容された追加の構成要素を含むことができる。たとえば、ディスプレイデバイス１１４０はネットワークインターフェース１１２７を含んでおり、ネットワークインターフェース１１２７はアンテナ１１４３を含んでおり、アンテナ１１４３はトランシーバ１１４７に結合され得る。ネットワークインターフェース１１２７は、ディスプレイデバイス１１４０に表示されることのある画像データのソースであり得る。したがって、ネットワークインターフェース１１２７は、画像ソースモジュールの一例であるが、プロセッサ１１２１および入力デバイス１１４８も、画像ソースモジュールの働きをすることができる。トランシーバ１１４７はプロセッサ１１２１に接続され、プロセッサ１１２１は調整ハードウェア１１５２に接続される。調整ハードウェア１１５２は、（信号をフィルタリングするかまたは別の方法で操作するなど）信号を調整するように構成され得る。調整ハードウェア１１５２は、スピーカ１１４５およびマイクロフォン１１４６に接続され得る。プロセッサ１１２１は、入力デバイス１１４８およびドライバコントローラ１１２９にも接続され得る。ドライバコントローラ１１２９は、フレームバッファ１１２８およびアレイドライバ１１２２に結合されてよく、アレイドライバ１１２２は、次いでディスプレイアレイ１１３０に結合され得る。図１１Ａに明示されていない要素を含む、ディスプレイデバイス１１４０における１つまたは複数の要素は、メモリデバイスとして機能するように構成され、プロセッサ１１２１と通信するように構成され得る。いくつかの実装形態では、電源１１５０は、特定のディスプレイデバイス１１４０の設計における実質的にすべての構成要素に電力を提供することができる。

【0100】

ネットワークインターフェース１１２７は、ディスプレイデバイス１１４０がネットワークを介して１つまたは複数のデバイスと通信できるように、アンテナ１１４３およびトランシーバ１１４７を含む。ネットワークインターフェース１１２７はまた、たとえば、プロセッサ１１２１のデータ処理要件を緩和するためのいくつかの処理能力を有し得る。アンテナ１１４３は、信号を送信および受信することができる。いくつかの実装形態では、アンテナ１１４３は、ＩＥＥＥ １６．１１規格、たとえばＩＥＥＥ １６．１１（ａ）、（ｂ）、もしくは（ｇ）、またはＩＥＥＥ ８０２．１１規格、たとえばＩＥＥＥ ８０２．１１ａ、ｂ、ｇ、ｎ、およびそのさらなる実装形態に従って、ＲＦ信号を送信および受信する。いくつかの他の実装形態では、アンテナ１１４３は、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）規格に従ってＲＦ信号を送信および受信する。セルラー電話の場合、アンテナ１１４３は、符号分割多元接続（ＣＤＭＡ）、周波数分割多元接続（ＦＤＭＡ）、時分割多元接続（ＴＤＭＡ）、Ｇｌｏｂａｌ Ｓｙｓｔｅｍ ｆｏｒ Ｍｏｂｉｌｅ ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎｓ（ＧＳＭ）、ＧＳＭ／汎用パケット無線サービス（ＧＰＲＳ：Ｇｅｎｅｒａｌ Ｐａｃｋｅｔ Ｒａｄｉｏ Ｓｅｒｖｉｃｅ）、拡張データＧＳＭ環境（ＥＤＧＥ：Ｅｎｈａｎｃｅｄ Ｄａｔａ ＧＳＭ Ｅｎｖｉｒｏｎｍｅｎｔ）、地上基盤無線（ＴＥＴＲＡ：Ｔｅｒｒｅｓｔｒｉａｌ Ｔｒｕｎｋｅｄ Ｒａｄｉｏ）、広帯域ＣＤＭＡ（Ｗ−ＣＤＭＡ）、Ｅｖｏｌｕｔｉｏｎ Ｄａｔａ Ｏｐｔｉｍｉｚｅｄ（ＥＶ−ＤＯ）、１ｘＥＶ−ＤＯ、ＥＶ−ＤＯ Ｒｅｖ Ａ、ＥＶ−ＤＯ Ｒｅｖ Ｂ、高速パケットアクセス（ＨＳＰＡ）、高速ダウンリンクパケットアクセス（ＨＳＤＰＡ）、高速アップリンクパケットアクセス（ＨＳＵＰＡ）、発展型高速パケットアクセス（ＨＳＰＡ＋：Ｅｖｏｌｖｅｄ Ｈｉｇｈ Ｓｐｅｅｄ Ｐａｃｋｅｔ Ａｃｃｅｓｓ）、Ｌｏｎｇ Ｔｅｒｍ Ｅｖｏｌｕｔｉｏｎ（ＬＴＥ）、ＡＭＰＳ、または３Ｇ、４Ｇもしくは５Ｇ技術を利用するシステムなど、ワイヤレスネットワーク内で通信するために使用される他の既知の信号を受信するように設計され得る。トランシーバ１１４７は、アンテナ１１４３から受信された信号を、プロセッサ１１２１によって受信でき、さらにプロセッサ１１２１によって操作できるように前処理することができる。トランシーバ１１４７はまた、プロセッサ１１２１から受信された信号を、アンテナ１１４３を介してディスプレイデバイス１１４０から送信できるように処理することができる。

【0101】

いくつかの実装形態では、トランシーバ１１４７は、受信機によって置き換えられ得る。さらに、いくつかの実装形態では、ネットワークインターフェース１１２７は、プロセッサ１１２１に送られることになる画像データを記憶または生成することができる画像ソースによって置き換えられ得る。プロセッサ１１２１は、ディスプレイデバイス１１４０の動作全体を制御することができる。プロセッサ１１２１は、圧縮された画像データなどのデータを、ネットワークインターフェース１１２７または画像ソースから受信し、そのデータを生の画像データへ、または生の画像データに素早く変換できるフォーマットへと処理する。プロセッサ１１２１は、処理されたデータをドライバコントローラ１１２９に、または記憶のためにフレームバッファ１１２８に送ることができる。生データは通常、画像内の各ロケーションにおける画像特性を識別する情報を指す。たとえば、そのような画像特性は、色、彩度およびグレースケールレベルを含み得る。

【0102】

プロセッサ１１２１は、ディスプレイデバイス１１４０の動作を制御するためのマイクロコントローラ、ＣＰＵまたは論理ユニットを含み得る。調整ハードウェア１１５２は、スピーカ１１４５に信号を送信するための、およびマイクロフォン１１４６から信号を受信するための増幅器およびフィルタを含み得る。調整ハードウェア１１５２は、ディスプレイデバイス１１４０内の個別構成要素であってよく、またはプロセッサ１１２１もしくは他の構成要素に組み込まれてもよい。

【0103】

ドライバコントローラ１１２９は、プロセッサ１１２１によって生成された生画像データを、直接プロセッサ１１２１から、またはフレームバッファ１１２８から取得でき、かつ生画像データをアレイドライバ１１２２への高速送信に向けて適切に再フォーマットすることができる。いくつかの実装形態では、ドライバコントローラ１１２９は、生画像データを、ディスプレイ１１３０でスキャンするのに適した時間的順序を有するように、ラスタ様フォーマットを有するデータフローに再フォーマットすることができる。次いで、ドライバコントローラ１１２９は、フォーマットされた情報をアレイドライバ１１２２に送る。ＬＣＤコントローラなどのドライバコントローラ１１２９は、独立型集積回路（ＩＣ）としてシステムプロセッサ１１２１に関連付けられることが多いが、そのようなコントローラは、多くの方法で実装され得る。たとえば、コントローラは、ハードウェアとしてプロセッサ１１２１中に埋め込まれること、ソフトウェアとしてプロセッサ１１２１中に埋め込まれること、またはアレイドライバ１１２２とハードウェアで完全に統合されることがある。

【0104】

アレイドライバ１１２２は、フォーマットされた情報をドライバコントローラ１１２９から受信することができ、ビデオデータを、ディスプレイ要素のディスプレイのｘ−ｙマトリクスから来る数百、場合によっては数千（またはそれよりも多く）のリード線に１秒当たり多数回適用される波形の並列セットに再フォーマットすることができる。

【0105】

いくつかの実装形態では、ドライバコントローラ１１２９、アレイドライバ１１２２、およびディスプレイ１１３０は、本明細書で説明するタイプのディスプレイのいずれにも適している。たとえば、ドライバコントローラ１１２９は、従来型のディスプレイコントローラまたは双安定ディスプレイコントローラ（光変調器ディスプレイ要素コントローラなど）であり得る。さらに、アレイドライバ１１２２は、従来型のドライバまたは双安定ディスプレイドライバ（光変調器ディスプレイ要素ドライバなど）であり得る。その上、ディスプレイアレイ１１３０は、従来型のディスプレイアレイまたは双安定ディスプレイアレイ（光変調器ディスプレイ要素のアレイを含むディスプレイなど）であり得る。いくつかの実装形態では、ドライバコントローラ１１２９は、アレイドライバ１１２２と統合され得る。そのような実装形態は、高集積システム、たとえば、携帯電話、ポータブル電子デバイス、ウォッチまたは小面積ディスプレイにおいて有用であり得る。

【0106】

いくつかの実装形態では、入力デバイス１１４８は、たとえば、ユーザがディスプレイデバイス１１４０の動作を制御することを可能にするように構成され得る。入力デバイス１１４８は、ＱＷＥＲＴＹキーパッドもしくは電話キーパッドなどのキーパッド、ボタン、スイッチ、ロッカー、タッチセンシティブスクリーン、ディスプレイアレイ１１３０と統合されたタッチセンシティブスクリーン、または感圧性もしくは感熱性の膜を含むことができる。マイクロフォン１１４６は、ディスプレイデバイス１１４０の入力デバイスとして構成され得る。いくつかの実装形態では、マイクロフォン１１４６を介したボイスコマンドが、ディスプレイデバイス１１４０の動作を制御するために使用され得る。

【0107】

電源１１５０は、様々なエネルギー蓄積デバイスを含むことができる。たとえば、電源１１５０は、ニッケルカドミウムバッテリーまたはリチウムイオンバッテリーなどの充電式バッテリーであり得る。充電式バッテリーを使用した実装形態では、充電式バッテリーは、たとえば、壁コンセントまたは光起電デバイスもしくはアレイから来る電力を使用して充電可能であり得る。代替的に、充電式バッテリーはワイヤレス充電可能であり得る。電源１１５０は、再生可能エネルギー源、キャパシタ、またはプラスチック太陽電池もしくは太陽電池塗料を含む太陽電池であってもよい。電源１１５０はまた、壁コンセントから電力を受け取るように構成され得る。

【0108】

いくつかの実装形態では、電子ディスプレイシステム内のいくつかの場所に位置し得るドライバコントローラ１１２９に制御プログラマビリティが存在する。いくつかの他の実装形態では、アレイドライバ１１２２に制御プログラマビリティが存在する。上述の最適化は、任意の数のハードウェアおよび／またはソフトウェア構成要素において、および様々な構成で実施され得る。

【0109】

本明細書で開示するシステム、ディスプレイのための方法および製造方法は、限定ではなく例示のために提供される、上記で説明した例を超えて展開する。本明細書で説明するシステムおよび方法は、限定はしないが、開口を有する基板上に形成された可動シャッターを有する光変調器を含む任意の適切な光変調器を用いて使用され得る。変調器と開口との間を進む軸を外れた角度の範囲を低減するために、少なくとも一か所において、光源と非対称的に揃えられ得る任意の変調器は、本明細書で開示するシステムおよび方法を含むことができる。

【0110】

したがって、本出願の原理を実質的に逸脱することなく、上記で説明した実装形態に対する変形および変更が作成可能である。そのような変形および変更もまた、添付の特許請求の範囲に含まれることが意図されている。それゆえ、上記の実装形態は、本出願を限定するものではなく、あらゆる点で例示的であるものと見なされるべきである。

【符号の説明】

【0111】

１００ ディスプレイ装置
１０２ 光変調器
１０２ａ 光変調器
１０２ｂ 光変調器
１０２ｃ 光変調器
１０２ｄ 光変調器
１０３ 画素アレイ
１０４ 画像
１０５ ランプ
１０６ 画素
１０８ シャッター
１０９ 開口
１１０ 書込み許可相互接続
１１２ データ相互接続
１１４ 共通相互接続
１２０ 前縁
１２２ 後縁
１５０ ブロック図
１５２ スキャンドライバ
１５３ 共通ドライバ
１５４ データドライバ
１５６ コントローラ
１５７ 画像信号
１５８ 入力処理モジュール
１５９ フレームバッファ
１６０ タイミング制御モジュール
１６２ 赤色ランプ
１６４ 緑色ランプ
１６６ 青色ランプ
１６７ 白色ランプ
１６８ ランプドライバ
１８０ プログラミングリンク
１８２ 電源入力
２００ シャッターアセンブリ
２０１ 基板
２０２ シャッター
２０３ 表面
２０４ アクチュエータ
２０５ アクチュエータ
２０６ コンプライアントロードビーム
２０７ スプリング
２０８ ロードアンカ
２０９ スロット
２１１ 開口
２１３ 遮光部
２１５ 線
２１６ コンプライアント駆動ビーム
２１８ 駆動ビームアンカ
２３０ 基板
３００ ディスプレイ装置
３０２ シャッターアセンブリ
３０３ シャッター
３０４ 透明基板
３０５ アンカ
３０６ 反射膜
３０７ 開口プレート
３０８ 開口
３１２ ディフューザ
３１４ 輝度強化膜
３１６ 平面光ガイド
３１７ 幾何学的光リダイレクタ
３１８ ランプ
３１９ 反射体
３２０ 前向き反射膜
３２１ バックライトからの光線
３２２ カバープレート
３２４ ブラックマトリクス
３２６ ギャップ
３２７ 機械的サポート
３２８ 粘着シール
３３０ 作動流体
３３２ アセンブリブラケット
３３６ 反射体
３５０ 開口
４００ シャッターアレイ
４０２Ａ 第１のシャッターアセンブリ
４０２Ｂ 第２のシャッターアセンブリ
４０４ シャッター
４０４Ａ シャッター
４０４Ｂ シャッター
４０８ 開口
４０８Ａ 開口
４０８Ｂ 開口
４１０ 運動方向
４１２Ａ 距離
４１４Ａ 距離
４１５Ａ 距離
４１９ 遮光膜
４３０ 基板
４３２ 開口の端辺
４３２Ａ 開口の端辺
４３２Ｂ 開口の端辺
４３４ 開口の端辺
４３４Ａ 開口の端辺
４３４Ｂ 開口の端辺
４３６ シャッターの辺
４３６Ａ シャッターの辺
４３６Ｂ シャッターの辺
４３８ シャッターの辺
４３８Ａ シャッターの辺
４５０ 軸
４５２ 軸
５００ シャッターアセンブリ
５０４ シャッター
５０８ 開口
５１０ 線
５１４ 距離
５１５ 重複
５１６ 光ガイド
５１９ 遮光膜
５２４ 膜
５３０ 基板
５３２ 周縁辺
５３４ 周縁辺
５３６ シャッターの辺
５３８ シャッターの辺
５５０ 開口
５５２ 開口の辺
５５４ 開口の辺
５６０ 距離
６００ ディスプレイ
６０２Ａ シャッターアセンブリ
６０２Ｂ シャッターアセンブリ
６０２Ｃ シャッターアセンブリ
６０４Ａ シャッター
６０４Ｂ シャッター
６０４Ｃ シャッター
６０８Ａ 開口
６０８Ｂ 開口
６０８Ｃ 開口
６１４ 距離
６１５ 距離
６１６ 光ガイド
６１８ 光源
６１９ 遮光膜
６２１ 光線
６２２ カバープレート
６２３ 回折光の一連の弧
６２５ 回折光の弧
６２６ ギャップ
６３０ 基板
６３２ 膜
６３６ シャッターの辺
６３８ シャッターの辺
６５０Ａ 開口
６５０Ｂ 開口
６５０Ｃ 開口
７００ ＭＥＭＳダウンシャッターディスプレイ
７０２Ａ シャッターアセンブリ
７０２Ｂ シャッターアセンブリ
７０２Ｃ シャッターアセンブリ
７０４Ａ シャッター
７０４Ｂ シャッター
７０４Ｃ シャッター
７０８Ａ 開口
７０８Ｂ 開口
７０８Ｃ 開口
７０９ ＭＥＭＳ基板
７１４ 重複
７１５ 重複
７１６ 光キャビティ
７２１ 光線
７２４ 遮光膜
７３０ 基板
７３６ 辺
７３８ 辺
７５０ 開口
７５０Ｂ 開口
７６５ 距離、開口空間
８００ ディスプレイ
８０２Ａ シャッターアセンブリ
８０２Ｂ シャッターアセンブリ
８０２Ｃ シャッターアセンブリ
８０４Ａ シャッター
８０４Ｂ シャッター
８０４Ｃ シャッター
８０８Ａ 開口
８０８Ｂ 開口
８０８Ｃ 開口
８０９ 基板
８１６ 光キャビティ
８２１ 光線
８２４ 膜
８３０ 開口プレート
８３４ 開口の辺
８５０Ａ 開口
８５０Ｂ 開口
８５０Ｃ 開口
８５４Ｃ 端部
８６７ 長さ
９００ ディスプレイ
９０２Ａ シャッターアセンブリ
９０２Ｂ シャッターアセンブリ
９０２Ｃ シャッターアセンブリ
９０４Ａ シャッター
９０４Ｂ シャッター
９０４Ｃ シャッター
９０８Ａ 開口
９０８Ｂ 開口
９０８Ｃ 開口
９０９ 基板
９１６ 光キャビティ
９２１ 光線
９３０ 開口プレート
９３２ 開口の辺
９５０Ｂ 開口
９５２ 開口の端辺
９６０ 部分
１０００ ディスプレイ
１００２ シャッターアセンブリ
１００４ シャッター
１００８ 開口
１０１０ 上部材料層
１０２４ シャッター
１０３０ 基板
１０３８ 行
１０４０ 行
１０４２ 行
１０４６ 行
１０５０ 開口
１０６０ 矢印
１０６２ 矢印
１０６４ 相互接続
１１２１ プロセッサ
１１２２ アレイドライバ
１１２７ ネットワークインターフェース
１１２８ フレームバッファ
１１２９ ドライバコントローラ
１１３０ ディスプレイ、ディスプレイアレイ
１１４０ ディスプレイデバイス
１１４１ ハウジング
１１４３ アンテナ
１１４５ スピーカ
１１４６ マイクロフォン
１１４７ トランシーバ
１１４８ 入力デバイス
１１５０ 電源
１１５２ 調整ハードウェア

【図1A】

【図1B】

【図2】

【図3A】

【図3B】

【図4】

【図5A】

【図5B】

【図6A】

【図6B】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11A】

【図11B】