特許6350234イオンビーム照射装置及びこれに用いられるプログラム

発明の名称　イオンビーム照射装置及びこれに用いられるプログラム

出願人　日新イオン機器株式会社　（識別番号 302054866）

　　　　特許公開件数ランキング 958 位（8件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1045 位（6件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6350234

公報発行日　2018年7月4

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6350234

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