特許 6351654 真空ポンプのローター

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6351654

(24)【登録日】2018年6月15日

(45)【発行日】2018年7月4日

(54)【発明の名称】真空ポンプのローター

(51)【国際特許分類】

   F04D 19/04 20060101AFI20180625BHJP

【ＦＩ】

   F04D19/04 D

   F04D19/04 F

【請求項の数】11

【外国語出願】

【全頁数】13

(21)【出願番号】特願2016-91257(P2016-91257)

(22)【出願日】2016年4月28日

(65)【公開番号】特開2016-217347(P2016-217347A)

(43)【公開日】2016年12月22日

【審査請求日】2016年4月28日

(31)【優先権主張番号】15167836.4

(32)【優先日】2015年5月15日

(33)【優先権主張国】EP

【前置審査】

(73)【特許権者】

【識別番号】391043675

【氏名又は名称】プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー

(74)【代理人】

【識別番号】100069556

【弁理士】

【氏名又は名称】江崎 光史

(74)【代理人】

【識別番号】100111486

【弁理士】

【氏名又は名称】鍛冶澤 實

(74)【代理人】

【識別番号】100173521

【弁理士】

【氏名又は名称】篠原 淳司

(74)【代理人】

【識別番号】100191835

【弁理士】

【氏名又は名称】中村 真介

(72)【発明者】

【氏名】ヤン・ホフマン

【審査官】 岸 智章

(56)【参考文献】

【文献】 特開平０２−２０１１００（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２０１２／０１４８３９０（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 米国特許第０６４１２１７３（ＵＳ，Ｂ１）

【文献】 特開２００３−０１３８８０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｆ０４Ｄ １９／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

真空ポンプのローター（６６）であって、ローター軸（６８）を中心として回転可能に支承されたローターシャフト（７０）と、該ローターシャフト（７０）に設けられ、軸方向に連続し、其々複数のローター羽根（７２）を有する複数のローター面を有し、その際、真空ポンプの吸入側の高真空領域（７４）内の各ローター面内のローター羽根（７２）の数量が、真空ポンプの予真空又は低真空領域（７６）の各ローター面内におけるそれよりも少ないこと、その際、ローター（６６）が、軸方向に連続し、各ローター面内のローター羽根（７２）の数量が異なる二つの領域に区分されており、そして高真空領域（７４）内における各ローター面内のローター羽根の数量が、真空ポンプのこれに続く領域内における各ローター面内のローター羽根（７２）の数量よりも、２倍分だけ少なく、全てのローター羽根（７２）が、同じ調整角度を有することを特徴とするローター。

【請求項2】

ローター羽根構造が、予真空又は低真空領域（７６）から出発して、真空ポンプの高真空領域（７４）に向かって開かれることを特徴とする請求項１に記載のローター。

【請求項3】

ローター（６６）が、傾斜したローター羽根（７２）を有し、その調整角度が、ローター軸（６８）に少なくとも基本的に直角である各ローター面に対して２０°から３５°の領域にあることを特徴とする請求項１または２に記載のローター。

【請求項4】

請求項１から３のいずれか一項に記載少なくとも一つのローター（６６）を有する真空ポンプ。

【請求項5】

真空ポンプのローター（６６）の製造方法であって、
当該方法において、ローターシャフト（７０）と該ローターシャフト（７０）に設けられた複数のローター羽根（７２）を有するローター（６６）が、一体に、中実材料から成るシリンダー状の一つのベースボディ（７８）から製造されており、
これは、ローターシャフト（７０）に設けられ、軸方向に連続し、其々複数のローター羽根を有する複数のローター面の製造の為に、ねじ（８０）がシリンダー状のベースボディ（７８）内に切り込まれ、そして、ローター軸（６８）に少なくとも基本的に直角な異なる面内において、複数の環状溝（８２）がベースボディ（７８）内に設けられることによって製造され、そして、
引き続いて、軸方向でみて真空ポンプの高真空領域（７４）の方に開かれたローター羽根構造の製造の為に、真空ポンプの高真空領域（７４）内における少なくとも一つのローター面の製造されるローター羽根（７２）の一部がとりのぞかれることを特徴とする方法。

【請求項6】

其々、複数のローター羽根（７２）を有する複数のローター面の製造の為に、まずねじ（８０）がシリンダー状のベースボディ（７８）内に切り込まれ、そして引き続いて環状溝（８２）が、ローター軸（６８）に対して其々少なくとも基本的に直角な異なる面内に設けられるか、またはその逆が行われることを特徴とする請求項５に記載の方法。

【請求項7】

１条または多条のねじ（８０）がシリンダー状のベースボディ（７８）内に切り込まれることを特徴とする請求項５または６に記載の方法。

【請求項8】

ねじ（８０）が、円形状の鋸ディスク又は側フライスによってシリンダー状のベースボディ（７８）内に切り込まれることを特徴とする請求項５から７に記載の方法。

【請求項9】

環状溝（８２）が旋盤上で、又は鋸ディスク又は側フライスによってシリンダー状のベーブボディ（７８）に設けられることを特徴とする請求項５から８のいずれか一項に記載の方法。

【請求項10】

複数の環状溝（８２）の間の異なる軸方向の間隔によって、相応して異なる軸方向高さのローター羽根（７２）が製造されることを特徴とする請求項５から９のいずれか一項に記載の方法。

【請求項11】

傾斜したローター羽根（７２）が製造され、ローター軸（６８）に少なくとも基本的に直角なローター面に対するその調整角度が、このローター面の領域におけるねじ（８０）のピッチによって決定されることを特徴とする請求項５から１０のいずれか一項に記載の方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ローター軸を中心として回転可能に支承されたローターシャフトと、該ローターシャフトに設けられ、軸方向に相連続する、各複数のローター羽根を有するローター面を有する、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプのローターに関する。更に、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプのローターの製造方法に関する。本発明は、そのようなローターを有する真空ポンプにも関する。

【背景技術】

【0002】

これまで冒頭に記載した形式の真空ポンプの為のローターディスクは、個々に、多数の、特に切断ステップ及び／又はフライスプロセスにより製造され、そして引き続いてローターシャフトに接合されていた。その際、ローターディスクは、特に各ローター軸に直角のローター面に対する調整角度に関して、及び、ローター羽根の数量に関して、製造方法及び形式によって異なる幾何形状を有する。

【0003】

相応する真空ポンプの為のローターの構成の為に、通常、多数の異なるローターディスクが使用可能である必要があるので、製造コストは比較的高く、更に、ローターディスクの製造の為に、其々、多数の個々の、切断過程及び／又はフライス過程が必要である。更に、真空ポンプの効率の為、又は吸引性能の為に、ローターのローター羽根構造は、本質的な基準である。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】米国特許出願公開第２０１２／１４８３９０Ａ１号明細書

【特許文献2】特開平２−２０１１０Ａ号明細書

【特許文献3】ドイツ連邦共和国出願公開第１０１０３２３０Ａ１号明細書

【特許文献4】特開２００３−０１３８８０Ａ号明細書

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

よって本発明の課題は、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプの為のローターと、冒頭に記載した形式の少なくとも一つのローターを有する真空ポンプであって、そのローター羽根構造が真空ポンプの効率の向上の為に最適化されているものを提供することである。更にそのような真空ポンプ、特にターボ分子ポンプのローターの製造の為の方法であって、可能なかぎり簡単かつ安価な方法が提供されるべきである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

発明に従い、この課題は、請求項１に記載の特徴を有する真空ポンプ、特にターボ分子ポンプのローターによって、請求項８に記載の特徴を有する真空ポンプによって、及び請求項９に記載の特徴を有する方法によって解決される。本発明に係るローターの好ましい実施形と、本発明に係る方法の好ましい態様は、下位の請求項、本明細書、及び図面から生ずる。

【0007】

真空ポンプ、特にターボ分子ポンプの発明に係るローターは、ローター軸を中心に回転可能に支承されたローターシャフトと、該ローターシャフトに設けられ、軸方向に連続し、其々、複数のローター羽根を有する複数のローター面を有している。その際、真空ポンプの吸引側の高真空領域における各ローター面におけるローター羽根の数量は、真空ポンプの予真空領域又は低真空領域内の各ローター面におけるよりも少ない。特に、高真空領域におけるローター面ごとのローター羽根の数量は、予真空領域又は低真空領域におけるものよりも２倍から４倍だけ少ない。

【0008】

この態様に基づいて、最適なローター羽根構造が生じる。これによって真空ポンプの効率が相応して向上される。

【0009】

ローターは、中実材料から製造される、つまり一体式に形成されていることが可能である。代替として、ローターは、複数の別体の、互いに独立した、つまり必ずしも同時に一つの製造プロセスで製造されていないローターディスクからなることが可能である。これらは、ローターの形成のため、軸方向で重なり合い、そして一つの共通なローターシャフトに設けられている。

【0010】

本発明は、その結果、ローターが一体に形成されているか、または個々のローターディスクから成る構成を有するかに拠らない。

【0011】

好ましくは、ローターは、軸方向に連続し、各ローター面内におけるローター羽根の数量が異なる少なくとも二つの領域に区分されている。その際、各ローター面の数量は軸方向でみて、真空ポンプの高真空領域から出発して真空ポンプの予真空領域又は低真空領域にむかって増加している。

【0012】

代替として、又は追加的に、ローターは、軸方向に連続し、各ローター面に置けるローター羽根の数量が異なる二の領域又はこれを越える領域を有することが可能である。その際、各ローター面に置けるローター羽根の数量は、軸方向でみて、真空ポンプの高真空領域から出発して真空ポンプの低真空領域に向かって減少している。

【0013】

発明に係るローターの有利な実施形に従い、ローターは、軸方向に連続し、各ローター面に置けるローター羽根の数量が異なる二つの領域に区分されている。その際、高真空領域における各ローター面内のローター羽根の数量は、真空ポンプのこれに続く領域における各ローター面内のローター羽根の数量よりも２倍分だけ少ない。

【0014】

本発明に係るローターの代替的な有利な実施形に従い、ローターは、軸方向に連続し、各ローター面におけるローター羽根の数量が異なる三つの領域に区分されている。その際、高真空領域における各ローター面のローター羽根の数量は、真空ポンプのこれに続く領域、特に中真空領域における各ローター面内のローター羽根の数量よりも２倍分だけ少なく、そして真空ポンプの予真空領域又は低真空領域における各ローター面内のローター羽根の数量よりも３倍分または４倍分だけ少ない。

【0015】

発明に係るローターの別の有利な実施形に従い、ローターは、各ローター面に置けるローター羽根の数量が異なる、軸方向に連続する四つの領域に区分されている。その際、各ローター面におけるローター羽根の数量は、真空ポンプの高真空領域から出発して予真空領域又は低真空領域に儲かって１：２：３：４の比率で増加する。

【0016】

ローター羽根構造が、真空ポンプの予真空領域から出発して高真空領域に向かって開かれるとき、特に有利である。開放性は、ここでは、軸方向における透光性の意味である。つまり、ローターの所定の軸方向の領域においてローター羽根の構造が、例えば、ローター面に沿って閉じられるほどに、周囲方向における二つの連続する羽根の間に存在する各中間空間（これら中間空間の間を、光は、ローターの軸方向の領域を通過することができる）は小さくなる。

【0017】

好ましくは、ローターは、複数のローター羽根を有する。ローター軸に対して少なくとも基本的に直角な各ローター面に対するその調整角度（ローター羽根の調整角度）は、２０°から３５°の領域にある。好ましくは、各ローター面内において、其々、全てのローター羽根が同じ調整角度を有する。その際、この統一的な調整角度は、全てのローター面内において同じである。

【0018】

更に好ましくは、少なくとも二つのローター面が、そのローター羽根の軸方向の高さに関して互いに異なっていることが意図される。調整されたローター羽根の軸方向の高さは、これら羽根構造の開放性を決定する。ローター面に置けるローター羽根構造の取り除きは、開放性を明らかに高める。ローター面におけるローター羽根の軸方向の高さは、このローター面におけるローター羽根の名目上の（独語：ｎｏｍｉｎｅｌｌ）数量、つまり、場合によって行われるこのローター面からのローター羽根の取り除きの前のローター羽根の数量の関数（独語：Ｆｕｎｋｔｉｏｎ）であることが可能である。この関数は、真空ポンプの所望の、又は必要な吸引状態に応じて選択されることが可能である。

【0019】

特に、ローターシャフトとローター羽根は互いに一体に形成されている。ローターは、好ましくは中実材料から成る、特にシリンダー状のベースボディから製造されている。

【0020】

真空ポンプ、特にターボ分子ポンプの製造の為の本発明に係る方法は、ローターシャフトに設けられ、軸方向に連続し、其々、複数のローター羽根を有する複数のローター面の製造の為に、ねじがシリンダー状のベースボディ中に切り込まれそして、其々、ローター軸に少なくとも基本的に垂直な異なる面内に、複数の環状溝がベースボディ中に設けられることによって、ローターシャフトと、該ローターシャフトに設けられた複数の羽根を有するローターが、中実の材料から成るシリンダー状のベースボディから一体に製造され、そして引き続いて、軸方向でみて真空ポンプの高真空領域に向かって開かれたローター羽根構造を製造するために、真空ポンプの高真空領域内における少なくとも一つのローター面の製造されたローター羽根の一部が取り除かれる点において際立っている。

【0021】

本方法のこの態様に基づいて、ローターは、比較的少ない労力で、かつ、ひいては相応して安価に製造されることが可能である。

【0022】

その際、其々複数のローター羽根を有するローター面の製造の為の発明に係る方法の有利な態様に従い、複数のローター面は、先ず、ねじをシリンダー状のベースボディ中に切り込まれる。引き続いて、環状溝が、ローター軸に少なくとも基本的に垂直な異なる面中に設けられる。

【0023】

本発明に係る方法の代替的な態様に従い、其々、複数のローター羽根を有する複数のローター面の製造の為に、先ず、環状溝が、ベースボディの中の、其々、ローター軸に少なくとも基本的に垂直な異なる面中に設けられ、その際、引き続いて、ねじがシリンダー状のベースボディ中に切り込まれる。

【0024】

１条ねじ又は多条ねじがシリンダー状のベースボディ中に切り込まれることが可能である。

【0025】

目的にかなり、ねじは円形の鋸ディスク又は側フライスによってシリンダー状のベースボディ中に切り込まれる。

【0026】

環状溝は、目的に適って、旋盤上又は鋸ディスク若しくは側フライスによってシリンダー状のベースボディ中に設けられることが可能である。

【0027】

複数の環状溝の間の異なる軸方向の間隔によって、相応して異なる軸方向の高さの複数のローター羽根が製造されることができる。

【0028】

好ましくは、傾斜したローター羽根が製造される。その調整角度は、ローター軸に少なくとも基本的に直角な各ローター面に対して、このローター面の領域におけるねじのピッチによって決定される。

【0029】

ねじの切り込みによって、及び、中実材料から成るシリンダー状のベースボディ内への差込み（独語：Ｅｉｎｓｔｉｃｈｅｎ）を形成することによって、まず複数のローター羽根と同じ数量を有するローター面が生じる。軸方向の間隔が、環状溝形成の際にどのように選択されるかに応じて、傾斜した複数ローター羽根は、異なる程度の軸方向高さで延在する。其々、ローター軸に垂直な複数のローター面に対する複数のローター羽根の調整角度は、シリンダー状のベースボディ内に設けられるねじのピッチによって決定される。個々のローター面の軸方向の延在と、ひいてはその軸方向のローター羽根高さが変更可能である。その際、ローター羽根は、例えば高真空領域内において、他の領域内においてよりもより大きな軸方向の延在を有する。

【0030】

すでに上述したように、まずねじが切り込まれそして引き続いて環状溝が設けられるか、又は、まず環状溝が設けられ、そしてその後ねじが切り込まれることが可能である。引き続いて、軸方向でみて真空ポンプの高真空領域の方に向かって開かれた、つまり透光性のローター羽根構造を製造する為に、真空ポンプの高真空領域内の少なくとも一つのローター面内の製造されるローター羽根の一部が取り除かれる。各ローター羽根の取り除きは、例えば、エンドミル（独語：Ｆｉｎｇｅｒｆｒａｅｓｅｒ）等によって行われることが可能である。真空ポンプの高真空領域においては、複数の羽根は好ましくは重なり合わないので、そこでは、比較的開かれた羽根構造が存在している。好ましくは、場合によっては存在する中真空領域内においても、複数のローター羽根の重なり合いも存在しない。特に、真空ポンプの予真空領域又は低真空領域においてローター羽根の重なりが生じる。その際、ねじ切りおよび環状溝によってつくりだされた全てのローター羽根は、予真空領域又は低真空領域内に保持されることが可能である。

【0031】

例えば、３６条までのねじが、中実材料から成るシリンダー状のベースボディ中に切り込まれることが可能であるので、真空ポンプの予真空又は低真空領域内には、ローター面ごとに３６の羽根が設けられることが可能である。中真空領域内では、その際、例えば一つおきのローター羽根が取り除かれることが可能である一方で、高真空領域における各三番目のローター羽根のみが残される。ローター面内におけるローター羽根の数量は、真空ポンプの予真空領域又は低真空領域から出発して、ローター面ごとのローター羽根の数量に関して例えば３：２：１の比率である。

【0032】

基本的に、中実材料から成るベースボディ内に設けられるべきねじは、条について他の数量、つまり、他の条数を有することが可能で、かつ他のローター羽根が選択されることが可能である。その際、好ましくは、真空ポンプの高真空領域内の各ローター面内のローター羽根の数量は、真空ポンプの予真空領域又は低真空領域内の各ローター面内のものよりも２倍分から４倍分だけ少ない。

【0033】

アンバランスが生じないことを保証するために、異なるローター面内のローター羽根は、其々、周囲方向において同様に分配されている。

【0034】

ある意味、ローター羽根の上側および下側の縁部が、環状溝形成の際に、例えば円形の鋸ディスクによって又は側フライスによって撤去されるとき、またはこのような形式の製造によって上側および下側の縁部が、ローター羽根に生じないとき、ローター羽根の断面は、其々、長方形の代わりに特に平行四辺形である。

【0035】

すでに上述したように、ローター羽根の調整角度は有利には２０°から３５°の領域にある。調整角度の好ましい値は、２７°の領域にある。

【0036】

例えば、半径方向において一定の厚さを有する円形状の鋸ディスク又は側フライスの使用すると、半径方向において一定の断面のローター羽根が生ずる。しかしまた、基本的に、環状溝形成及びねじは、例えば、半径方向に増加する又は減少する厚さを有する鋸ディスク又は側フライスによって設けられることが可能である。これによってローター羽根は、半径方向に円すい形に拡張される、又は先細となる断面を生じる。

【0037】

貼付の図面を参照しつつ実施例に基づいて本発明を以下に詳細に説明する。

【図面の簡単な説明】

【0038】

【図1】真空ポンプの例示的な実施形の簡略図。真空ポンプは、発明に係るローターを設けられることが可能である。

【図2】中実材料からなる例示的なシリンダー状のベースボディの簡略図。このベースボディから、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプの発明に係るローターが、本発明に係る方法にしたがい製造されている。

【図3】中実材料からなるベースボディ中の、例示的な、図２の切り込まれたねじの簡略図

【図4】本発明に係る方法に従い製造された本発明に係るローターの例示的な実施形の簡略図。ローターは、ねじを設けられた図３のベースボディ内に環状溝を設けることによって得られたものである。

【図5】中実材料から得られたベースボディ内に図２に従い設けられた例示的な環状溝の簡略図。

【図6】本発明に係る方法により製造された発明に係るローターの例示的な実施形の簡略図。ローターは、環状溝を設けられた図５のベースボディ内にねじを切ることによって得られたものである。

【図7】発明に係るローターの発明に係る方法によって製造された例示的なローター羽根構造の簡略図。

【発明を実施するための形態】

【0039】

図１は、簡略図にて、真空ポンプの例示的な実施形を示す。この真空ポンプは発明に係るローターを設けられている。

【0040】

図１に示された真空ポンプは、インレットフランジ１２によって取り囲まれたポンプインレット１４と、ポンプインレット１４に及ぶガスを、図１に表されていないポンプアウトレットに搬送するための複数のポンプ段を有している。真空ポンプは、静的なハウジング１６を有するステーターと、該ハウジング１６内に設けられたローターを有する。ローターは、ローター軸１８を中心として回転可能に支承されたローターシャフト２０を有している。

【0041】

真空ポンプは、ターボ分子ポンプとして形成されており、そして、互いにシリアルに接続され、ポンプ効果を発する、複数のターボ分子的ポンプ段を有している。これらポンプ段は、ローターシャフト２０と接続された複数のターボ分子的ローターディスク２２と、軸方向において該ローターディスク２２の間に設けられ、そしてハウジング１６に固定された複数のターボ分子的ステーターディスク２４を有する。これらは、スペーサーリング２６によって互いに所望の軸方向間隔に保持されている。ローターディスク２２とステーターディスク２４は、吸い込み領域（独語：Ｓｃｈｏｅｐｆｂｅｒｅｉｃｈ）２８内に、矢印３０の方向に向けられた軸方向のポンプ作用を提供する。

【0042】

真空ポンプは、更に、半径方向において互いに入れ子式に設けられ、そしてポンプ作用を奏するよう互いにシリアルに接続された三つのホルベックポンプ段を有する。ホルベックポンプ段のローター側の部材は、ローターシャフト２０と接続されたローターハブ３２と、該ローターハブ３２に固定され、そしてこれによって担持されたシリンダー側面形状の二つのホルベックロータースリーブ３４，３６を有する。これらは、ローター軸１８に同軸に向けられており、そして半径方向において入れ子式に接続されている。更に、シリンダー側面形状の二つのホルベックステータースリーブ３８，４０が設けられている。これらは同様に、ローター軸１８に軸方向に向けられており、そして半径方向において入れ子式に接続されている。ホルベックポンプ段のポンプ効果を発する表面は、それぞれ、各一つのホルベックロータースリーブ３４，３６とホルベックステータースリーブ３８，４０の狭い半径方向のホルベック間隙を形成しつつ互いに向き合った半径方向の側面によって形成されている。その際、ポンプ効果を発する表面の一方は滑らかに形成されており、この場合ホルベックロータースリーブ３４または３６と向かい合った方のポンプ効果を発する表面３８，４０は、ローターシャフト１８の周りを軸方向にねじ線形状に推移する複数の溝を有する構造下部を有する。これら溝の中をローターの回転によってガスが搬送され、そしてこれによってポンピングが行われる。

【0043】

ローターシャフト２０の回転可能な支承は、ポンプアウトレットの領域のローラー支承部４２によって、及びポンプインレット１４の領域の永久磁石支承部４４によって行われる。

【0044】

永久磁石支承部４４は、ローター側の支承半部４６とステーター側の支承半部４８を有する。これらは、軸方向に互いに積層された永久磁石の複数のリング５０，５２からなる各一つのリング積層部を有している。その際、磁石リング５０，５２は、半径方向の支承間隙５４を形成しつつ互いに向き合っている。

【0045】

永久磁石支承部４４の内部には、緊急用又は安全用支承部（Ｎｏｔ− ｏｄｅｒ Ｆａｎｇｌａｇｅｒ）５６が設けられている。これは、潤滑されていないローラー支承部として形成されており、そして真空ポンプの通常の運転においては、非接触で空転し、そしてローターがステーターに対して半径方向に過剰に傾倒した際に初めて係合するに至り、ローターの為の半径方向のストッパーを形成する。これは、ローター側の構造がステーター側の構造と衝突するのを防止する。

【0046】

ローラー支承部４２の領域内には、ローターシャフト２０に、ローラー支承部４２に向かって増加する外直径を有する円すい形のスプラッシュナット５８が設けられている。これは、作動媒体、例えば潤滑媒体のようなものを浸された吸収性の複数のディスク６０を有する作動媒体貯蔵部のスキマーとすべき接触を行う。運転中、作動媒体は毛細管効果によって作動媒体貯蔵部からスキマーを介して回転するスプラッシュナット５８へと伝達され、そして遠心力の結果、スプラッシュナット５８に沿って、スプラッシュナット５８の大きくなる外直径の方向へとローラー支承部４２に向かって搬送され、そこで例えば潤滑機能を発揮する。

【0047】

真空ポンプ１０は、ローターの回転駆動の為の駆動モーター６２を有する。その回転誌は、ローターシャフト２０によって形成されている。制御ユニット６４が、駆動モーター６２を駆動する。

【0048】

ターボ分子的ポンプ段は、吸い込み領域２８内において、矢印３０の方向のポンプ作用を提供する。

【0049】

発明に係るローター６６の例示的な実施形と、そのようなローターの発明に係る製造方法の例示的態様は、以下に図２から７に基づいて詳細に説明される。

【0050】

ローター６６は、ローター軸６８を中心として回転可能に支承された各一つのローターシャフト７０と、該ローター軸７０に設けられ、軸方向に連続し、複数のローター羽根７２を有する複数のローター面を有している。その際、ローター羽根７２の数量は、各ローター面において、真空ポンプの吸入側の高真空領域においては、真空ポンプの予真空領域又は低真空領域７６内の各ローター面におけるよりも２倍から４倍少ない。

【0051】

ローター６６は、各ローター面内の異なる数量のローター羽根７２を有する軸方向に連続する少なくとも二つの領域に区分されていることが可能である。その際、各ローター面におけるローター羽根７２の数量は、軸方向で見て、真空ポンプの高真空領域７４から出発して、真空ポンプの予真空又は低真空領域７６に向かって減少する（図７参照）。

【0052】

その際、高真空領域における各ローター面におけるローター羽根７２の数量は、真空ポンプのこれに続く領域における各ローター面のローター羽根７２の数量よりも２倍少ないことが可能である。

【0053】

ローター６６は、各ローター面におけるローター羽根７２の数量が異なる軸方向に互いに連続する三つの領域に区分されていることも可能である。高真空領域における各ローター面内のローター羽根７２の数量は、真空ポンプのこれに続く領域における各ローター面内におけるローター羽根７２の数量よりも、２倍少なく、そして真空ポンプの予真空領域又は低真空領域７６における各ローター面内のローター羽根７２の数量よりも３倍又は４倍少ない。

【0054】

ローター６６は、各ローター面内におけるローター羽根７２の数量が異なる、軸方向に連続する四つの領域に区分されていることも可能である。その際、各ローター面内におけるローター羽根７２の数量は、高真空領域７４から出発して真空ポンプの予真空領域又は低真空領域７６に向かって比率１：２：３：４で増加している。

【0055】

特に図７に基づいて見て取ることができるように、ローター羽根構造は、予真空領域又は低真空領域７６から出発して、真空ポンプの高真空領域７４に向かって、透光性が大きくなるという意味において開かれている。

【0056】

ローター６６は、傾斜したローター羽根７２を有する。その調整角度は、各ローター軸６８に少なくとも基本的に直角なローター面に対して、２０°から３５°の領域にある。

【0057】

ローターシャフト７０と該ローターシャフト７０に設けられた複数のローター羽根７２を有するローター６６は、中実材料から成るシリンダー状のベースボディ７８（図２参照）から一体式に製造される。ローターシャフト７０に設けられ、軸方向に互いに連続し、其々複数のローター羽根７２を有する複数のローター面の製造の為に、ねじ８０がシリンダー状のベースボディ７８内に切られており、そしてローター軸に対して少なくとも基本的に直角である、異なる各面で、環状溝８２がベースボディ７８内につくられる（図３から図６参照）。

【0058】

引き続いて、軸方向でみて真空ポンプの高真空領域７４の方にむかってより開かれた、つまりより透光性の高いローター羽根構造の製造の為に、真空ポンプの高真空領域７４における少なくとも一つのローター面の製造されたローター羽根７２の一部が取り除かれる。

【0059】

その際、例えば、まずねじ８０は、シリンダー状のベースボディ７８内に切り込まれ、その際、引き続いて環状溝８２が、其々、少なくとも基本的にローター軸６８に対して垂直な、異なる面内に設けられる（図３及び４参照）。

【0060】

代替として、環状溝８２はまずベースボディ７８内に設けられることが可能である。その際、引き続いてねじ８０が、すでに環状溝８２を設けられたシリンダー状のベースボディ７８に切り込まれる（図５および６参照）。

【0061】

その際、１条ねじ又は多条ねじ８０がシリンダー状のベースボディ７８内に切り込まれることが可能である。

【0062】

ねじ１８は、例えば円形状の鋸ディスクまたは側フライスによってシリンダー状のベースボディ７８内に切り込まれることが可能である。環状溝８２は、例えば、旋盤上で、又は鋸ディスク又は側フライスによってシリンダー状のベースボディ７８内に設けられることが可能である。

【0063】

環状溝８２の間の様々な軸方向の間隔によって、相応して様々な軸方向の高さのローター羽根７２が製造されることが可能である。

【0064】

傾斜したローター羽根７２が製造されることが可能である。
其々、ローター軸に少なくとも基本的に直角であるローター面に対するその調整角度は、このローター面の領域のねじ８０のピッチ（独語：Ｓｔｅｉｇｕｎｇ）によって決定される。

【0065】

図２は、中実材料から成るシリンダー状のベースボディ７８を示す。図３および４の図では、環状溝８２が設けられる前に、まずねじ８０が中実材料からなるベースボディ７８内に切り込まれる。これと反対に、図５および６の図では、ねじ１８がベースボディ７８に切り込まれる前に、中実材料からなるベースボディ７８内に環状溝８２がまず設けられる。

【0066】

図３および４または５および６に従い行われる方法ステップによって、其々、まず、同じ数量のローター羽根７２を有する複数のローター面が生じる。

【0067】

軸方向でみて真空ポンプの高真空領域７４の方に向かってより開かれた、つまりより透光性の高いローター羽根構造を作りだすために、その後、真空ポンプの高真空領域７２内における少なくとも一つのローター面の製造されたローター羽根７２の一部は除去される（図７参照）。

【0068】

その際、ローター６６は、図７の図に従い、例えば、軸方向に連続し、かつ各ローター面のローター羽根７２の数量が異なる三つの領域に区分されることが可能である。当該例においては、高真空領域７４における各ローター面内のローター羽根７２の数量は、例えば、真空ポンプのこれに続く領域（ここでは中真空領域８４）内の各ローター面内のローター羽根７２の数量よりも２倍だけ少なく、そして、真空ポンプの予真空領域又は低真空領域７６内における各ローター面内のローター羽根７２の数量よりも３倍だけ少ない。

【0069】

その際、ローターディスクは、予真空又は低真空領域７６内に複数の羽根７２を有している。中真空領域８４中では、別の処理ステップ中において、例えば各２番目のローター羽根７２が取り除かれることが可能である。その後、各ローター面内には、１８のローター羽根７２のみがなお存在する。高真空領域においては、各ローター面内で、其々二つの連続するローター羽根７２が取り除かれるので、高真空領域７４内の各ローター面内では、１２のローター羽根７２のみがなお残されている。これは、１：２：３の比率の羽根構造を生じる。

【0070】

例えば１：２：４の比率を有し、そして予真空又は低真空領域内のより大きな最大の羽根数量を有する、ここで純粋に例示的にのみ説明される代替的羽根構造においては、羽根の数量は、例えば４８、２４および１２である。一般的に、任意の比率が可能である。

【0071】

追加的に除去された各ローター羽根７２’が図７中に破線で示唆されている。更に、図７においては鋸パス８６も、どのようにしてこれがねじ８０を設ける際に、中実材料からなるベースボディ７８内に生じるか、見て取ることができる。すでに上述したように、これと異なるローター羽根構造も考え得る。

【0072】

所望のカバー比率、又はローター羽根の開放性は、所望の領域において、特にローター羽根７２の軸方向の高さが異なることによって達成されることが可能である。

【0073】

本発明に係る方法に従い製造された発明に係るローター６６は、例えば図１に表された形式の真空ポンプ１０内において使用されることが可能である。

【符号の説明】

【0074】

１０ 真空ポンプ
１２ インレットフランジ
１４ ポンプインレット
１６ ハウジング
１８ ローターシャフト
２０ ローターシャフト
２２ ローターディスク
２４ ステーターディスク
２６ スペーサーリング
２８ 吸い込み領域
３０ 矢印
３２ ローターハブ
３４ ホルベックロータースリーブ
３６ ホルベックロータースリーブ
３８ ホルベックステータースリーブ
４０ ホルベックステータースリーブ
４２ ローラー支承部
４４ 永久磁石支承部
４６ ローター側の支承半部
４８ ステーター側の支承半部
５０ 永久磁石リング
５２ 永久磁石リング
５４ 半径方向の支承間隙
５６ 緊急用又は安全用支承部
５８ 円すい形のスプラッシュナット
６０ 吸収性のディスク
６２ 駆動モーター
６４ 制御ユニット
６６ ローター
６８ ローター軸
７０ ローターシャフト
７２ ローター羽根
７２’ ローター羽根
７４ 高真空領域
７６ 予真空又は低真空領域
７８ シリンダー状のベースボディ
８０ ねじ
８２ 環状溝
８４ 中真空領域
８６ 鋸パス

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】