特許 6352816 樹脂容器用コーティング装置および樹脂容器製造システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6352816

(24)【登録日】2018年6月15日

(45)【発行日】2018年7月4日

(54)【発明の名称】樹脂容器用コーティング装置および樹脂容器製造システム

(51)【国際特許分類】

   C23C 16/54 20060101AFI20180625BHJP

   C23C 16/44 20060101ALI20180625BHJP

【ＦＩ】

   C23C16/54

   C23C16/44 G

【請求項の数】5

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2014-557488(P2014-557488)

(86)(22)【出願日】2014年1月15日

(86)【国際出願番号】JP2014050596

(87)【国際公開番号】WO2014112533

(87)【国際公開日】20140724

【審査請求日】2016年12月8日

(31)【優先権主張番号】特願2013-7369(P2013-7369)

(32)【優先日】2013年1月18日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000227032

【氏名又は名称】日精エー・エス・ビー機械株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001416

【氏名又は名称】特許業務法人 信栄特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】島田 清典

【審査官】 末松 佳記

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００５−０３６２６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−００２４６９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−２３１４６８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−１７８８９０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−３０６７７３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｃ２３Ｃ １６／００−１６／５６

Ｂ６５Ｄ ２３／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

回転台と、
前記回転台を回転させるための駆動機構と、
前記回転台上に設置され、少なくとも４つの樹脂容器を直線上に並んだ状態で保持することが可能な容器保持部材と、
前記容器保持部材と組み合わされた状態において、前記容器保持部材に保持された前記樹脂容器の内面に薄膜を形成するコーティング処理を行うことが可能な電極部材と、
を備え、
前記容器保持部材は、前記樹脂容器が供給される容器供給位置と、前記電極部材と組み合わされた状態で前記コーティング処理が行われるコーティング処理位置と、前記コーティング処理によって薄膜が形成された前記樹脂容器を取り出すことが可能な容器取出位置とに配置されるように前記回転台上に複数設置され、
前記回転台上に複数設置された前記容器保持部材の各々は、前記回転台の回転に伴い、前記容器供給位置と、前記コーティング処理位置と、前記容器取出位置とを順次移動することを特徴とする樹脂容器用コーティング装置。

【請求項2】

前記容器保持部材は、さらに、前記コーティング処理によって薄膜が形成された前記樹脂容器の内部をクリーニングするクリーニング処理位置に配置されるように、前記回転台上に設置され、
前記回転台上に複数設置された前記容器保持部材の各々は、前記回転台の回転に伴い、前記容器供給位置と、前記コーティング処理位置と、前記クリーニング処理位置と、前記容器取出位置とを順次移動することを特徴とする請求項１に記載の樹脂容器用コーティング装置。

【請求項3】

請求項１または請求項２において、
前記回転台を回転可能に上面に配置する機台と、
前記機台の下方に配置され前記駆動機構を収容する機台ベースと、
前記回転台に固定され前記駆動機構からの運動を伝達する支軸と、
を更に備え、
複数の前記容器保持部材の各々は、前記支軸を中心として９０度間隔で前記回転板の上面に配置され、
複数の前記容器保持部材の各々は、９０度毎に間欠的に回転されて前記容器供給位置と、前記コーティング処理位置と、前記容器取出位置とを順次移動する、
ことを特徴とする樹脂容器用コーティング装置。

【請求項4】

請求項３において、
前記機台の上面の中央部には前記回転台を取り付けるための円形状の凹部が形成されており、
前記回転台の径は、前記機台の凹部の径よりも僅かに小さく形成されており、
前記回転台の上面と前記機台の上面とは略同じ高さとなるように配置されている、
ことを特徴とする樹脂容器用コーティング装置。

【請求項5】

前記樹脂容器を製造する樹脂容器製造装置と、
請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の樹脂容器用コーティング装置と、
前記樹脂容器製造装置によって製造され保持された状態の前記樹脂容器を、前記樹脂容器製造装置から取り出して前記樹脂容器用コーティング装置の前記容器供給位置まで搬送し、前記容器供給位置に配置された前記容器保持部材に少なくとも４つの前記樹脂容器を直線上に並んだ状態で保持させる樹脂容器搬送装置と、を備えることを特徴とする樹脂容器製造システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、樹脂容器の内面に薄膜を形成する樹脂容器用コーティング装置およびこの樹脂容器用コーティング装置を備える樹脂容器製造システムに関する。

【背景技術】

【0002】

家庭用品などに幅広く使用されるポリエチレンなどの樹脂は、一般的に酸素や二酸化炭素のような低分子ガスを透過する性質を有し、更に低分子有機化合物がその内部に収着してしまう性質も有している。このため、樹脂を容器として使用する際、ガラスなどの他の容器と比べ、その使用対象や使用形態などで種々の制約を受けることが知られている。例えば、樹脂容器に炭酸飲料水を充填して使用する場合には、その炭酸が容器を通じて外部に透過してしまい、炭酸飲料水としての品質を長期間維持するのが難しい場合がある。

【0003】

そこで、樹脂容器を製造する際、樹脂容器における低分子ガスの透過、及び低分子有機化合物の収着による不都合を解消するため、その樹脂容器の内部表面などに対し、プラズマＣＶＤ成膜技術を用いてＤＬＣ（Ｄｉａｍｏｎｄ Ｌｉｋｅ Ｃａｒｂｏｎ）コーティングなどの成膜を行うものが知られている。また、コーティング処理済みの樹脂容器を大量に製造する量産効率を向上させる観点から、容器保持部の一部に保持された樹脂容器の内面に薄膜を形成している間に、容器保持部の他の部分において、コーティング処理済みの樹脂容器を未成膜の樹脂容器と交換することが可能なコーティング装置が開示されている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】日本国特許第４８０４６５４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、特許文献１に記載のコーティング装置は、未成膜の樹脂容器を供給する位置とコーティング処理済の樹脂容器を取り出す位置とが共通である。このため、樹脂容器の供給工程と取出工程とを並行して行うことができず、コーティング処理済みの樹脂容器の量産効率を向上させることが難しかった。

【0006】

本発明は、コーティング処理済みの樹脂容器の量産効率を向上させることが可能な樹脂容器用コーティング装置および樹脂容器製造システムを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記課題を解決するために、本発明の樹脂容器用コーティング装置は、回転台と、前記回転台を回転させるための駆動機構と、前記回転台上に設置され、樹脂容器を保持することが可能な容器保持部材と、前記容器保持部材と組み合わされた状態において、前記容器保持部材に保持された前記樹脂容器の内面に薄膜を形成するコーティング処理を行うことが可能な電極部材と、を備え、前記容器保持部材は、前記樹脂容器が供給される容器供給位置と、前記電極部材と組み合わされた状態で前記コーティング処理が行われるコーティング処理位置と、前記コーティング処理によって薄膜が形成された前記樹脂容器を取り出すことが可能な容器取出位置とに配置されるように前記回転台上に複数設置され、前記回転台上に複数設置された前記容器保持部材の各々は、前記回転台の回転に伴い、前記容器供給位置と、前記コーティング処理位置と、前記容器取出位置とを順次移動することを特徴とするものである。

【0008】

また、本発明の樹脂容器用コーティング装置において、前記容器保持部材は、さらに、前記コーティング処理によって薄膜が形成された前記樹脂容器の内部をクリーニングするクリーニング処理位置に配置されるように、前記回転台上に設置され、前記回転台上に複数設置された前記容器保持部材の各々は、前記回転台の回転に伴い、前記容器供給位置と、前記コーティング処理位置と、前記クリーニング処理位置と、前記容器取出位置とを順次移動することが好ましい。

【0009】

また、本発明の樹脂容器製造システムは、前記樹脂容器を製造する樹脂容器製造装置と、樹脂容器用コーティング装置と、前記樹脂容器製造装置によって製造され保持された状態の前記樹脂容器を、前記樹脂容器製造装置から取り出して前記樹脂容器用コーティング装置の前記容器供給位置まで搬送し、前記容器供給位置に配置された前記容器保持部材に保持させる樹脂容器搬送装置と、を備えることを特徴とするものである。

【発明の効果】

【0010】

本発明によれば、容器供給位置に配置された容器保持部材に樹脂容器が供給されている間に、少なくとも、樹脂容器に対するコーティング処理とコーティング処理済の樹脂容器を取り出す処理とを並行して行なうことができる。従って、コーティング処理された樹脂容器を製造する量産効率を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】本発明に係る樹脂容器用コーティング装置の一例を示す平面図である。

【図2】図１のＡ−Ａ線における断面図である。

【図3】図１のＢ−Ｂ線における断面図である。

【図4】図１のＣ−Ｃ線における断面図である。

【図5】本発明に係る樹脂容器製造システムの一例を示す平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、本発明に係る樹脂容器用コーティング装置および樹脂容器製造システムの実施形態の一例を添付図面に基づいて説明する。

【0013】

図１は、樹脂容器用コーティング装置１を上方から見た平面図である。図２は、図１のＡ−Ａ線における断面図である。図１〜２に示すように、樹脂容器用コーティング装置１は、機台２と、機台２の上面に配置された回転台３と、樹脂容器が保持される容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄと、回転台３を回転駆動する駆動機構６とを備えている。

【0014】

機台２は、矩形状を有する厚板によって形成されている。機台２の上面中央部には回転台３を取り付けるための円形状の凹部３ａが形成されている。機台２は、その下方に、駆動機構６が収納される機台ベース２ａを備えている。

【0015】

回転台３は、円形状を有する平板によって形成されている。回転台３の径は、機台２の凹部３ａの径よりも僅かに小さく形成されている。回転台３は、機台２の凹部３ａに緩挿されており、回転台３の上面と機台２の上面とは略同じ高さとなるように配置されている。回転台３は、機台２に対して支軸７を中心に図に示す矢印Ｑの方向（反時計回りの方向）へ回転可能に設けられている。

【0016】

回転台３の上面には、複数（この形態では４つ）の容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄが配置されている。回転台３の矢印Ｑ方向への回転に伴って容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄは、回転台３とともに矢印Ｑ方向へ回転する。

【0017】

駆動機構６は、回転台３を回転させるための回転機構である。駆動機構６は、例えば、ステッピングモータ、サーボモータ等によって構成することができる。駆動機構６は、回転台３に固定された支軸７を介して回転台３を回転させる。駆動機構６は、機台ベース２ａ内に配置されている。

【0018】

容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄは、それぞれ複数の樹脂容器を保持することが可能な部材である。容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄは、回転台３上に支軸７を中心として９０度間隔で設置されている。

【0019】

容器保持部材５ａ（５ｂ，５ｃ，５ｄ）は、載置された樹脂容器を保持する容器保持用孔部９ａ（９ｂ，９ｃ，９ｄ）を有している。容器保持用孔部９ａ（９ｂ，９ｃ，９ｄ）は、容器保持部材５ａ（５ｂ，５ｃ，５ｄ）に複数個（この形態では４個）形成されており、容器保持部材５ａ（５ｂ，５ｃ，５ｄ）を上下方向に貫通している。例えば図２の容器保持部材５ｂに示されるように、樹脂容器８は、当該容器８の口部を容器保持用孔部９ｂに嵌入した状態で保持される。

【0020】

容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄは、回転台３とともに矢印Ｑ方向に回転する過程において、それぞれの容器保持部材が容器供給位置Ｐ１、コーティング処理位置Ｐ２、クリーニング処理位置Ｐ３、および容器取出位置Ｐ４の何れかの位置に配置されるように構成されている。それぞれの容器保持部材が配置される位置は、最初が容器供給位置Ｐ１、続いてコーティング処理位置Ｐ２、次にクリーニング処理位置Ｐ３、そして最後が容器取出位置Ｐ４の順序に設定されている。

【0021】

例えば、図１では、容器保持部材５ａが容器供給位置Ｐ１に配置され、容器保持部材５ｂがコーティング処理位置Ｐ２に配置され、容器保持部材５ｃがクリーニング処理位置Ｐ３に配置され、そして容器保持部材５ｄが容器取出位置Ｐ４に配置されている。

【0022】

この状態から回転台３が矢印Ｑ方向に回転されるとその回転に伴って各容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄも回転し、容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄはそれぞれ次の位置へ配置される。すなわち、容器保持部材５ａは容器供給位置Ｐ１から移動してコーティング処理位置Ｐ２に配置され、容器保持部材５ｂはコーティング処理位置Ｐ２から移動してクリーニング処理位置Ｐ３に配置され、容器保持部材５ｃはクリーニング処理位置Ｐ３から移動して容器取出位置Ｐ４に配置され、容器保持部材５ｄは容器取出位置Ｐ４から移動して容器供給位置Ｐ１に配置される。

【0023】

容器供給位置Ｐ１は、コーティング処理されていない樹脂容器（未成膜容器）が供給されるステージ（未成膜容器供給工程を行う位置）として設定されている位置である。例えば、ブロー成形機等によって成形された未成膜容器が複数個、等間隔で容器保持用孔部に嵌入される。本例では、容器供給位置Ｐ１に配置されている容器保持部材５ａの容器保持用孔部９ａに未成膜容器が４個嵌入される。

【0024】

コーティング処理位置Ｐ２は、チャンバ内に複数の樹脂容器が配置され、それらの樹脂容器の内面に一括成膜が行われるステージ（コーティング処理工程を行う位置）として設定されている位置である。コーティング処理位置Ｐ２に配置された容器保持部材は、容器保持用孔部に載置された樹脂容器を保持する部材として機能するとともに、チャンバを構成するチャンバ本体部としても機能する。図１に示す状態においては、容器保持部材５ｂがコーティング処理位置Ｐ２に配置されており、容器保持部材５ｂに載置された樹脂容器（容器供給位置Ｐ１で供給された４個の未成膜容器）がチャンバ内に密封されて一括成膜が行われる。このように、例えばコーティング処理位置Ｐ２に配置された容器保持部材５ｂは、容器保持用孔部９ｂに載置された樹脂容器８を保持する部材として機能するとともに、チャンバを構成するチャンバ本体部としても機能する。

【0025】

クリーニング処理位置Ｐ３は、樹脂容器の内部に付着した塵、ホコリ、ダスト、異物等のパーティクルが除去されるステージ（クリーニング処理工程を行う位置）として設定されている位置である。図１に示す状態においては、容器保持部材５ｃがクリーニング処理位置Ｐ３に配置されており、容器保持部材５ｃに載置された樹脂容器（コーティング処理位置Ｐ２で成膜された４個の樹脂容器）がクリーニング処理される。

【0026】

容器取出位置Ｐ４は、コーティング処理、およびクリーニング処理された樹脂容器が取り出されるステージ（成膜完了容器取出工程を行う位置）として設定されている位置である。図１に示す状態においては、容器保持部材５ｄが容器取出位置Ｐ４に配置されており、容器保持部材５ｄの容器保持用孔部９ｄに載置された樹脂容器（クリーニング処理位置Ｐ３でクリーニングされた４個の樹脂容器）がコーティング完了容器として取り出される。

【0027】

図３は、図１のＢ−Ｂ線における断面図であり、コーティング処理位置Ｐ２に設けられたコーティング部１０を示している。コーティング部１０は、チャンバ内に複数の樹脂容器を格納し、プラズマＣＶＤ技術を用いて樹脂容器の内部表面にケイ素化合物のガス等から構成される膜を一括成形する。

【0028】

コーティング部１０は、チャンバ本体部として機能する容器保持部材（図１及び図３に示す状態では容器保持部材５ｂ）と、チャンバ蓋部（電極部材の一例）１１と、チャンバ蓋支持部１２と、内部電極１３と、ガス供給部１４と、高周波電源１５を備える。

【0029】

コーティング処理位置Ｐ２において、容器保持部材５ｂは、チャンバ蓋部１１と組み合わされ、チャンバ蓋部１１とともに樹脂容器８を格納するためのチャンバを構成する。また、容器保持部材５ｂは、樹脂容器８を保持する容器保持部材としても機能する。

【0030】

チャンバ蓋部１１は、チャンバ蓋支持部１２によって容器保持部材５ｂの上部に上下方向（図３に示すＲの向き）に移動可能に支持されている。チャンバ蓋部１１には、容器保持部材５ｂに保持された樹脂容器８に対応する位置に、樹脂容器８の外形よりも若干大きい内径を有し下側に開口する円状の有底穴が形成されている。

【0031】

内部電極１３は、チャンバの格納室に設置された樹脂容器８の内部にそれぞれ挿入配置されるパイプ状の電極である。内部電極１３は、ガス供給部１４に連結されており、内部電極として機能するとともに、ガスを放出するガスノズルとしても機能する。

【0032】

ガス供給部１４は、内部電極１３を介して各樹脂容器８内に原料ガスを供給する。原料ガスとしては、ケイ素化合物、あるいは酸素等のガスと混合したガスを使用することができる。

【0033】

高周波電源１５は、プラズマＣＶＤの外部電極に電力を供給するための電源である。高周波電源１５は、機台ベース２ａ内に配置されている。

【0034】

このような構成を有するコーティング部１０において、容器保持用孔部９ｂに樹脂容器８の口部が嵌入された容器保持部材５ｂにチャンバ蓋部１１が取り付けられる。チャンバ蓋部１１は、チャンバ蓋支持部１２によって下方に移動され容器保持部材５ｂに取り付けられる。チャンバ蓋部１１が取り付けられることにより容器保持部材５ｂの内部は密封状態になる。また、内部電極１３が樹脂容器８の口部から樹脂容器８の内部に挿入配置される。

【0035】

チャンバ内の空気が真空ポンプによって排気され、チャンバの格納室内が真空状態にされる。ガス供給部１４から原料ガスが供給され、供給された原料ガスはパイプ状を有する内部電極１３の先端から樹脂容器８の内部に放出される。原料ガスの放出後に、チャンバに外部の高周波電源１５から電力が投入される。これにより、外部電極のチャンバと内部電極１３との間に生じる電位差によってプラズマが発生し、４つの樹脂容器８の内部表面に膜が一括形成される。なお、コーティング部１０におけるこれらの処理は、図示を省略する制御部から出力される各制御信号に基づいて実施される。

【0036】

図４は、図１のＣ−Ｃ線における断面図であり、クリーニング処理位置Ｐ３に設けられたクリーニング部２０を示している。クリーニング部２０は、容器保持部材５ｃと、容器押さえ部２１と、容器押さえ支持部２２と、ノズル２３と、ガス供給部２４を備える。

【0037】

容器押さえ部２１は、容器保持用孔部９ｃに嵌入された樹脂容器８を上方から押さえ込む樹脂容器８の外れ防止部材である。容器押さえ部２１は、その一方の端部２１ａが容器押さえ支持部２２に取り付けられ、上下方向（図４に示す矢印Ｓ方向）へ移動自在に支持されている。

【0038】

ノズル２３は、容器保持部材５ｃの容器保持用孔部９ｃに保持されている樹脂容器８の内部にそれぞれ挿入されるパイプ部材である。ノズル２３は、圧縮空気供給部２４に連結されている。圧縮空気供給部２４から供給された空気はノズル２３を介して樹脂容器８内に放出する。

【0039】

ところで、前述したコーティング部１０における成膜時において、樹脂容器の内部に挿入される内部電極１３等に膜が付着する場合がある。この場合、コーティング処理を複数回繰り返すことによりその膜が徐々に大きな堆積物となり、その堆積物が樹脂容器の内部に剥がれ落ちる場合がある。また、排気通路内に付着した堆積物が大気開放時の空気の流れで巻き上げられ樹脂容器内に入り込む場合もある。

【0040】

このようなクリーニング部２０において、各樹脂容器８内にノズル２３を挿入して、ノズル２３から圧縮空気を樹脂容器８内に吹き込む。このとき圧縮空気の吹き込みにより容器保持部材５ｃにセットした樹脂容器８が吹き飛ばされないように、樹脂容器８の上側に容器押さえ部２１を配置させて押さえ込む。これにより、成膜時に容器の内面に付着した塵、ホコリ、ダスト、異物等のパーティクルを樹脂容器８の外部に除去することができる。

【0041】

次に、このように構成される樹脂容器用コーティング装置１の動作について説明する。
コーティング処理が行なわれる初期状態では、４つの容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄは全て空の状態、すなわち、樹脂容器は載置されていない状態になっている。この状態をこの初期状態として、図１を参照して以下説明していく。

【0042】

初期状態において先ず、容器供給位置Ｐ１に配置された容器保持部材５ａの容器保持用孔部９ａに、コーティングされていない未成膜の樹脂容器８が嵌入されることにより供給される。

【0043】

容器保持部材５ａへの樹脂容器８の供給が完了すると、続いて、回転台３が支軸７を中心として矢印Ｑ方向へ９０度回転する。この回転により、容器保持部材５ａがコーティング処理位置Ｐ２まで移動する。

【0044】

このとき他の容器保持部材５ｂ，５ｃ，５ｄも矢印Ｑ方向へ同じ角度だけ回転して、容器保持部材５ｂがクリーニング処理位置Ｐ３まで移動し、容器保持部材５ｃが容器取出位置Ｐ４まで移動し、容器保持部材５ｄが容器供給位置Ｐ１まで移動する。

【0045】

容器保持部材５ａがコーティング処理位置Ｐ２まで移動すると、当該コーティング処理位置Ｐ２において、容器保持部材５ａに供給された樹脂容器８に対しコーティング処理が開始される。コーティング処理の内容は、図３に基づいて上述した通りである。

【0046】

このコーティング処理位置Ｐ２における容器保持部材５ａの樹脂容器８にコーティング処理が実施されている間、この処理と並行して、容器供給位置Ｐ１に配置された容器保持部材５ｄの容器保持用孔部９ｄには未成膜の樹脂容器８を嵌入する処理が実施される。

【0047】

容器保持部材５ａに供給された樹脂容器８へのコーティング処理と、容器供給位置Ｐ１に配置された容器保持部材５ｄへの容器供給処理とが完了すると、さらに、回転台３が９０度回転して、容器保持部材５ａがクリーニング処理位置Ｐ３まで移動する。

【0048】

このとき他の容器保持部材５ｂ，５ｃ，５ｄもそれぞれ同じ角度回転して、容器保持部材５ｂが容器取出位置Ｐ４まで移動し、容器保持部材５ｃが容器供給位置Ｐ１まで移動し、容器保持部材５ｄがコーティング処理位置Ｐ２まで移動する。

【0049】

容器保持部材５ａがクリーニング処理位置Ｐ３まで移動すると、当該クリーニング処理位置Ｐ３において、容器保持部材５ａに保持されている樹脂容器８に対しクリーニング処理が開始される。クリーニング処理の内容は、図４に基づいて上述した通りである。

【0050】

このクリーニング処理位置Ｐ３における容器保持部材５ａの樹脂容器８にクリーニング処理が実施されている間、この処理と並行して、コーティング処理位置Ｐ２に配置された容器保持部材５ｄの樹脂容器８に対しコーティング処理が実施される。また、容器供給位置Ｐ１に配置された容器保持部材５ｃの容器保持用孔部９ｃには未成膜の樹脂容器８を嵌入する処理が実施される。

【0051】

容器保持部材５ａに保持されている樹脂容器８へのクリーニング処理と、容器保持部材５ｄに保持されている樹脂容器８へのコーティング処理と、容器供給位置Ｐ１に配置された容器保持部材５ｃへの容器供給処理とが完了すると、さらに、回転台３が９０度回転して、容器保持部材５ａが容器取出位置Ｐ４まで移動する。

【0052】

このとき他の容器保持部材５ｂ，５ｃ，５ｄもそれぞれ同じ角度回転して、容器保持部材５ｂが容器供給位置Ｐ１まで移動し、容器保持部材５ｃがコーティング処理位置Ｐ２まで移動し、容器保持部材５ｄがクリーニング処理位置Ｐ３まで移動する。

【0053】

容器保持部材５ａが容器取出位置Ｐ４まで移動すると、当該容器取出位置Ｐ４において、容器保持部材５ａに載置されている成膜済み樹脂容器８を取出す処理が開始される。樹脂容器用コーティング装置１から取り出された樹脂容器８は、樹脂容器の内部に液体を充填する充填装置へと搬送される。

【0054】

この容器取出位置Ｐ４における容器保持部材５ａに保持された成膜済み樹脂容器８の取出し処理が実施されている間、この処理と並行して、クリーニング処理位置Ｐ３に配置された容器保持部材５ｄの樹脂容器８に対しクリーニング処理が実施される。また、コーティング処理位置Ｐ２に配置された容器保持部材５ｃの樹脂容器８に対しコーティング処理が実施される。また、容器供給位置Ｐ１に配置された容器保持部材５ｂの容器保持用孔部９ｂには未成膜の樹脂容器８を嵌入する容器供給処理が実施される。

【0055】

コーティング処理、クリーニング処理、取出し処理、容器供給処理の各処理が完了すると、さらに、回転台３が９０度回転して、容器保持部材５ａが再度、容器供給位置Ｐ１まで移動する。このとき容器保持部材５ａは、樹脂容器が供給されていない空の状態である。

【0056】

そして、容器供給位置Ｐ１まで戻った容器保持部材５ａに対しては上述したように未成膜の樹脂容器の供給処理が実施される。また、さらに回転が繰り返されると、順次、各位置Ｐ１からＰ４においてそれぞれ上述した動作が繰り返される。

【0057】

なお、上述した容器供給処理、コーティング処理、クリーニング処理、取出し処理、容器供給処理の各処理は所定時間内に終了するように設定されている。本例では、上述の４つの各処理が１０秒以内で処理が終了するように設定されており、回転台３は１０秒毎に支軸７を中心として矢印Ｑ方向へ９０度回転し、各位置Ｐ１からＰ４においてそれぞれ上述した動作が繰り返される。

【0058】

以上説明したように、本実施形態の樹脂容器用コーティング装置１によれば、回転台３上に４つの容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄが設置され、これら容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄの各々は、回転台３の回転に伴い、容器が供給される容器供給位置Ｐ１と、コーティング処理が行われるコーティング処理位置Ｐ２と、クリーニング処理が行われるクリーニング処理位置Ｐ３と、樹脂容器を容器保持部材から取り出される容器取出位置Ｐ４とを順次移動する。このため、例えば図１に示す容器供給位置Ｐ１に配置された容器保持部材５ａに樹脂容器８が供給されている間に、コーティング位置Ｐ２に配置された容器保持部材５ｂとチャンバ蓋部１１とによって樹脂容器８にコーティング処理を行いつつ、クリーニング処理位置Ｐ３に配置された容器保持部材５ｃの樹脂容器８にクリーニング処理を行ない、さらに、容器取出位置Ｐ４に配置された容器保持部材５ｄからコーティング処理済の樹脂容器を取り出すことができる。

【0059】

このように、未成膜容器供給工程と、コーティング処理工程と、クリーニング処理工程と、成膜完了容器取出工程とを並行して行うことができるため、コーティング処理を要する樹脂容器を製造する量産効率を向上させることができる。

【0060】

図５は、樹脂容器製造システム３０の一実施形態を上方から見た平面図である。樹脂容器製造システム３０は、樹脂容器を製造する成形機（樹脂容器製造装置の一例）４０と、樹脂容器にコーティング処理を行なう樹脂容器用コーティング装置１と、成形機４０で製造された樹脂容器を樹脂容器用コーティング装置１に搬送するロボットアーム（樹脂容器搬送装置の一例）５０を備える。なお、樹脂容器用コーティング装置１は、第１の実施形態において説明した樹脂容器用コーティング装置と同じ装置である。

【0061】

成形機４０は、樹脂容器の原料が供給される原料供給ステージ４１と、プリフォームを成形するプリフォーム成形ステージ４２と、プリフォームの温度分布を均一にするための温度調整ステージ４３と、空気を吹き込むブロー成形ステージ４４と、成形した樹脂容器を取り出す取出ステージ４５を備えている。取出ステージ４５に並列配置される樹脂容器の数および樹脂容器のピッチ（金型のピッチ）は、樹脂容器用コーティング装置１の容器供給位置Ｐ１に配置される容器保持部材５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄの容器保持用孔部９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄの数およびそのピッチに対応するように設定されている。

【0062】

ロボットアーム５０は、成形機４０と樹脂容器用コーティング装置１との間に配置されている。ロボットアーム５０は、成形機４０の取出ステージ４５に配置されている樹脂容器を取り出して、取り出した樹脂容器を樹脂容器用コーティング装置１の容器供給位置Ｐ１に配置されている容器保持部材５ａに搬送する。また、ロボットアーム５０は、搬送した樹脂容器を容器保持部材５ａの容器保持用孔部９ａに嵌入することにより保持させる。

【0063】

以上説明したように、本実施形態の樹脂容器製造システム３０によれば、成形機４０に保持された樹脂容器が、ロボットアーム５０によって直接的に樹脂容器用コーティング装置１に供給される。このため、成形機４０によって製造された樹脂容器をベルトコンベヤーで搬送してコーティング装置まで搬送する構成と比較して、コーティング装置に設置するための整列作業が不要となり量産効率がより向上する。

【0064】

また、取出ステージ４５の樹脂容器数およびそのピッチ（金型のピッチ）と、容器供給位置Ｐ１の容器保持用孔部９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄの数およびそのピッチを対応させたことにより、ロボットアーム５０によって確実に樹脂容器を受け渡すことができ、更に量産効率を向上させることができる。

【0065】

なお、取出ステージ４５の樹脂容器数およびそのピッチ（金型のピッチ）と、容器供給位置Ｐ１の容器保持用孔部９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄの数およびそのピッチが異なる構成の場合は、ロボットアーム５０によって、ピッチや数の相違を調整する構成としても良い。

【0066】

また、回転台３上に配置される容器保持部材の数、すなわちコーティング処理工程と並行して行う他の工程の数は、上記の例に限らず、クリーニング処理を省略した３工程、または、他の処理を加えて５以上の工程であっても良い。これによりさらに量産効率を向上させることが可能になる。

【0067】

また、コーティング処理の回数は１回に限定されず、２回のコーティング処理を行なうようにしても良い。すなわちコーティング処理工程を２工程備えるようにしても良い。その場合、同じコーティング処理を２回行うようにしても良いし、あるいは２回目のコーティング処理においては１回目と異なる膜を成膜するようにしても良い。

【0068】

以上、本発明を詳細にまた特定の実施態様を参照して説明したが、本発明の精神と範囲を逸脱することなく様々な変更や修正を加えることができることは当業者にとって明らかである。

【0069】

本発明を詳細にまた特定の実施態様を参照して説明したが、本発明の精神と範囲を逸脱することなく様々な変更や修正を加えることができることは当業者にとって明らかである。
本出願は、2013年1月18日出願の日本特許出願・出願番号2013-007369に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。

【符号の説明】

【0070】

１：樹脂容器用コーティング装置、２：機台、３：回転台、５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ：容器保持部材（チャンバ本体部）、６：駆動機構、７：支軸、８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄ：樹脂容器、９ａ，９ｂ，９ｃ，９ｄ：容器保持用孔部、１０：コーティング部、１１：チャンバ蓋部（電極部材の一例）、１２：チャンバ蓋支持部、１３：内部電極、１４：ガス供給部、１５：高周波電源、２０：クリーニング部、２１：容器押さえ部、２２：容器押さえ支持部、２３：ノズル、２４：圧縮空気供給部、Ｐ１：容器供給位置、Ｐ２：コーティング処理位置、Ｐ３：クリーニング処理位置、Ｐ４：容器取出位置

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】